特許6444698基板処理装置および基板処理方法

発明の名称　基板処理装置および基板処理方法

出願人　東芝メモリ株式会社　（識別番号 318010018）

　　　　特許公開件数ランキング 119 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 142 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6444698

公報発行日　2018年12月26

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6444698

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6444698「基板処理装置および基板処理方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録