特許6449802半導体製造用部品

発明の名称　半導体製造用部品

出願人　日本特殊陶業株式会社　（識別番号 4547）

　　　　特許公開件数ランキング 84 位（330件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 142 位（191件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6449802

公報発行日　2019年1月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6449802

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