特許6450402カウンターウエイトを用いたスパッタリングシステム及びスパッタリング方法

発明の名称　カウンターウエイトを用いたスパッタリングシステム及びスパッタリング方法

出願人　インテヴァック　インコーポレイテッド　（識別番号 507310307）

　　　　特許公開件数ランキング 1219 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1250 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6450402

公報発行日　2019年1月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6450402

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