特許 6452232 磁石解析装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6452232

(24)【登録日】2018年12月21日

(45)【発行日】2019年1月16日

(54)【発明の名称】磁石解析装置

(51)【国際特許分類】

   G01R 33/12 20060101AFI20190107BHJP

【ＦＩ】

   G01R33/12 M

【請求項の数】4

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2014-221174(P2014-221174)

(22)【出願日】2014年10月30日

(65)【公開番号】特開2016-90255(P2016-90255A)

(43)【公開日】2016年5月23日

【審査請求日】2017年8月30日

(73)【特許権者】

【識別番号】597046487

【氏名又は名称】株式会社ディー・エム・ティー

(74)【代理人】

【識別番号】110002354

【氏名又は名称】特許業務法人平和国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】平澤 正幸

【審査官】 續山 浩二

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００８−２８６７２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−２０８９７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−１４５１９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１４／０２５３１０６（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特開２０１０−０７８３４０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１３／０７６８３９（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｒ ３３／１２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

着磁された磁石の磁束量を第１の方向で検出する磁束検出部と、
基準軸を中心とする軌道上において前記磁石を回転させる磁石回転部と、
前記磁束検出部を前記第１の方向及び当該第１の方向と平面視において直交する第２の方向に移動自在に支持する位置決め部と、
前記磁石回転部により前記磁石を回転させたときに、前記磁束検出部で検出される磁束量の変化を正弦波信号として取得する信号取得部と、
前記信号取得部で取得された正弦波信号のＮ極側のピーク値及びＳ極側のピーク値が互いに近づくように、前記位置決め部において前記磁束検出部の前記第１の方向における位置を補正する共に、前記信号取得部で取得された正弦波信号に波形歪みが生じる範囲に設定された第１電気角における磁束量と、前記第１電気角と位相が１８０度異なる第２電気角における磁束量とが互いに近づくように、前記位置決め部において前記磁束検出部の前記第２の方向における位置を補正する位置補正部と、
を備える磁石解析装置。

【請求項2】

請求項１に記載の磁石解析装置において、
前記位置補正部は、前記信号取得部で取得された正弦波信号の電気角１５度から７５度までの間又は電気角１１５度から１６５度までの間に設定される第１の電気角における磁束量と、前記第１の電気角と位相が１８０度異なる第２の電気角における磁束量とが互いに近づくように、前記位置決め部において前記磁束検出部の前記第２の方向における位置を補正すること、
を特徴とする磁石解析装置。

【請求項3】

請求項２に記載の磁石解析装置において、
前記位置補正部は、前記信号取得部で取得された正弦波信号の電気角４５度又は電気角１３５度のいずれかを前記第１の電気角とし、当該第１の電気角における磁束量と、前記第１の電気角と位相が１８０度異なる第２の電気角における磁束量とが互いに近づくように、前記位置決め部において前記磁束検出部の前記第２の方向における位置を補正すること、
を特徴とする磁石解析装置。

【請求項4】

請求項１から３のいずれかに記載の磁石解析装置において、
前記位置補正部は、前記磁束検出部の前記第１の方向における位置の補正と、前記磁束検出部の前記第２の方向における位置の補正と、を交互に実行すること、
を特徴とする磁石解析装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、磁石解析装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、測定対象物の磁束分布を測定するために磁石解析装置が用いられている。この磁石解析装置において、磁気センサの中心を検査ステージの基準軸上に位置決めする方法が各種提案されている。この位置決め方法の一例として、１軸型の磁気センサを中心として回転する磁石の磁束量を正弦波信号として取得することにより、磁気センサの中心を検査ステージの基準軸上に位置決めする方法が提案されている（特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００８−２８６７２３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記特許文献１に記載された位置決め方法では、磁気センサのＹ軸（側面）方向において、正弦波信号のゼロクロス点における磁束量の変動、及びピーク値における磁束量の変動がそれぞれ極めて小さいため、磁束検出部としての磁気センサを正確に位置決めすることが困難であった。
本発明は、磁束検出部をより正確に位置決めすることができる磁石解析装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0005】

第１の発明は、着磁された磁石の磁束量を第１の方向で検出する磁束検出部と、基準軸を中心とする軌道上において前記磁石を回転させる磁石回転部と、前記磁束検出部を前記第１の方向及び当該第１の方向と平面視において直交する第２の方向に移動自在に支持する位置決め部と、前記磁石回転部により前記磁石を回転させたときに、前記磁束検出部で検出される磁束量の変化を正弦波信号として取得する信号取得部と、前記信号取得部で取得された正弦波信号のＮ極側のピーク値及びＳ極側のピーク値が互いに近づくように、前記位置決め部において前記磁束検出部の前記第１の方向における位置を補正する共に、前記信号取得部で取得された正弦波信号に波形歪みが生じる範囲に設定された第１電気角における磁束量と、前記第１電気角と位相が１８０度異なる第２電気角における磁束量とが互いに近づくように、前記位置決め部において前記磁束検出部の前記第２の方向における位置を補正する位置補正部と、を備える磁石解析装置である。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、磁束検出部をより正確に位置決めすることができる磁石解析装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】実施形態に係る磁石解析装置１の全体構成図である。

【図2】磁石Ｍとプローブ１４との位置関係を示す模式図である。

【図3】ＸＹ方向に位置ずれがない場合に取得される正弦波信号の波形図である。

【図4】ＸＹ方向に位置ずれがある場合に取得される正弦波信号の一例を示す波形図である。

【図5】制御部１０においてプローブ１４の位置決め処理を実行する場合の処理手順を示すフローチャートである。

【図6】プローブ１４のＸＹ方向における位置ずれ量と磁束量との関係を示す特性図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の実施形態を、図面を参照しながら説明する。
図１は、本実施形態に係る磁石解析装置１の全体構成図である。図２は、磁石Ｍとプローブ１４との位置関係を示す模式図である。
図１に示すように、本実施形態に係る磁石解析装置１は、制御部１０、チャック１１、モータ１２、エンコーダ１３、及びプローブ１４、を備える。また、磁石解析装置１は、モータドライバ１５、Ｄ／Ａ変換器１６、カウンタ１７、センサ出力検出部１８、Ａ／Ｄ変換器１９、及び位置決め部２０を備える。更に、磁石解析装置１は、表示装置２１、入力装置２２、及び出力装置２３を備える。

【0010】

チャック１１は、着磁された磁石Ｍを、回転軸Ａ１（後述）を中心として回転させる装置であり、例えば、着磁された円筒形の磁石を固定可能な３爪のスクロール型のチャックが用いられる。チャック１１には、通常の磁石解析においては、モータに組み込まれるロータ、ステータ等が固定される。一方、プローブ１４の位置決めにおいては、位置決め用の磁石Ｍが固定される。チャック１１に固定された磁石Ｍは、図２に示すように、チャック１１の回転軸Ａ１（基準軸）を中心とする軌道ＯＲ上を一定周期で回転する。チャック１１及びモータ１２（後述）は、本実施形態において、磁石回転部を構成する。

【0011】

モータ１２は、チャック１１を回転させる動力源である。モータ１２の出力軸（符号省略）は、チャック１１の回転軸Ａ１に連結されている。モータ１２は、モータドライバ１５、Ｄ／Ａ変換器１６を介して制御部１０と電気的に接続されている。モータ１２の回転速度は、制御部１０から出力された速度信号により制御される。
エンコーダ１３は、モータ１２の出力軸の回転角度に対応したパルス信号を出力する装置（ロータリーエンコーダ）である。エンコーダ１３から出力されたパルス信号は、カウンタ１７を介して、制御部１０に入力される。後述する制御部１０は、エンコーダ１３から出力されるパルス信号に基づいて、磁石Ｍ（チャック１１）の回転角度を判断することができる。

【0012】

プローブ１４は、測定対象物となる磁石Ｍの磁束量を検出する装置であり、プローブセンサ２４（磁束検出部）を備える。プローブセンサ２４は、チャック１１に固定された磁石Ｍの磁束量を検出し、その大きさに応じた電圧を検出信号として出力する磁気センサである。本実施形態のプローブセンサ２４は、図２に示すように、Ｘ＋方向（第１の方向）が正面となり、Ｘ−方向が背面となる。また、プローブセンサ２４は、Ｘ方向と平面視において直交するＹ＋及びＹ−方向（第２の方向）が側面となる。

【0013】

プローブセンサ２４は、センサ出力検出部１８、Ａ／Ｄ変換器１９を介して制御部１０と電気的に接続されている。プローブセンサ２４から出力された検出信号は、センサ出力検出部１８で増幅され、Ａ／Ｄ変換器１９を介して制御部１０に送信される。なお、センサ出力検出部１８は、プローブセンサ２４から出力された検出信号を増幅するアンプ回路、及び増幅した検出信号を正弦波信号として表示するモニタ装置を備える（いずれも不図示）。なお、図２は、チャック１１の回転軸Ａ１とプローブセンサ２４の中心Ａ２とが一致した状態を示している。

【0014】

位置決め部２０は、プローブ１４（プローブセンサ２４）を、Ｘ方向及びＹ方向に移動自在に支持する装置である。位置決め部２０は、制御部１０と電気的に接続されている。位置決め部２０によるプローブ１４の移動は、制御部１０から出力される位置制御信号により制御される。

【0015】

制御部１０は、磁石解析装置１の全体的な動作を制御する電子部品であり、マイクロコンピュータ及びその周辺回路（メモリ等）により構成される。図１において、制御部１０と各部との信号、データ等の送受信は、Ｉ／Ｏポート（不図示）を介して行われる。なお、本実施形態では、制御部１０によるプローブ１４の位置決め処理について説明し、通常の磁石解析処理についての説明を省略する。

【0016】

制御部１０（信号取得部）は、モータドライバ１５を介してモータ１２を制御することにより、磁石Ｍが固定されたチャック１１を回転させて、プローブ１４から出力される検出信号の変化を、連続する正弦波信号として取得する。
制御部１０（位置補正部）は、プローブ１４から得た正弦波信号のＮ極側のピーク値及びＳ極側のピーク値（以下、「ＮＳのピーク値」ともいう）が互いに近づくように位置決め部２０を制御して、プローブ１４（プローブセンサ２４）のＸ方向における位置を補正する。また、制御部１０（位置補正部）は、プローブ１４から得た正弦波信号の電気角４５°（度）における磁束量及び電気角２２５°における磁束量が互いに近づくように位置決め部２０を制御して、プローブ１４のＹ方向における位置を補正する。

【0017】

ここで、チャック１１の回転軸Ａ１とプローブセンサ２４の中心Ａ２との位置ずれについて説明する。図３は、ＸＹ方向に位置ずれがない場合に取得される正弦波信号の波形図（理論上の信号波形）である。図４は、ＸＹ方向に位置ずれがある場合に取得される正弦波信号の一例を示す波形図である。図４（ａ）は、Ｘ方向に±０．５ｍｍの位置ずれがある場合に取得される正弦波信号の一例を示す。また、図４（ｂ）は、Ｙ方向に±０．５ｍｍの位置ずれがある場合に取得される正弦波信号の一例を示す。

【0018】

なお、図４（ａ）では、Ｙ方向に位置ずれがないものとする。また、図４（ｂ）では、Ｘ方向に位置ずれがないものとする。また、図４（ａ）、（ｂ）において、実線で示す信号波形は、チャック１１の回転軸Ａ１とプローブセンサ２４の中心Ａ２とが一致している場合に取得される正弦波信号（図３に示す理論上の信号波形）を示す。更に、図３及び図４において、横軸は、磁石Ｍが回転軸Ａ１を中心として一回転したときの電気角（３６０°）を示す。また、縦軸は、プローブ１４で検出されるＮ極側及びＳ極側の磁束量（磁束密度）を示す。

【0019】

プローブセンサ２４の中心Ａ２がチャック１１の回転軸Ａ１と一致している場合、プローブ１４から取得される正弦波信号は、図３に示すように、ＮＳのピーク値が同じで、且つ電気角４５°における磁束量及び電気角２２５°における磁束量も同じ信号波形となる。以下の説明では、電気角４５°及び電気角２２５°を「検出電気角」ともいう。また、以下の説明では、電気角４５°における磁束量と電気角２２５°における磁束量との差分を、「検出電気角における磁束量の差分」ともいう。

【0020】

一方、プローブセンサ２４の中心Ａ２がチャック１１の回転軸Ａ１に対してＸ方向に位置ずれている場合、プローブ１４から取得される正弦波信号は、図４（ａ）に示すように、ＮＳのピーク値が互いに異なる信号波形となる。即ち、プローブセンサ２４のＸ方向の位置ずれは、ＮＳのピーク値において最も顕著に表れる。そのため、制御部１０において、プローブ１４から取得される正弦波信号のＮＳのピーク値を検出することにより、プローブセンサ２４のＸ方向における位置ずれの方向、及び位置ずれ量（ピーク値の差分）をより正確に判定することができる。

【0021】

具体的には、プローブセンサ２４の中心Ａ２がチャック１１の回転軸Ａ１に対してＸ＋方向（図２参照）に位置ずれている場合、図４（ａ）に示すように、プローブ１４から取得される正弦波信号（一点鎖線）において、Ｎ極側のピーク値は、Ｓ極側のピーク値よりも大きくなる。この場合、制御部１０は、プローブセンサ２４がＸ＋方向に位置ずれしていると判定し、プローブ１４（プローブセンサ２４）がＸ−方向に所定量だけ移動するように位置決め部２０を制御して、プローブ１４のＸ方向における位置を補正する。

【0022】

プローブセンサ２４の中心Ａ２がチャック１１の回転軸Ａ１に対してＸ−方向（図２参照）に位置ずれている場合、図４（ａ）に示すように、プローブ１４から取得される正弦波信号（破線）において、Ｎ極側のピーク値は、Ｓ極側のピーク値よりも小さくなる。この場合、制御部１０は、プローブセンサ２４がＸ−方向に位置ずれしていると判定し、プローブ１４（プローブセンサ２４）がＸ＋方向に所定量だけ移動するように位置決め部２０を制御して、プローブ１４のＸ方向における位置を補正する。なお、プローブ１４のＸ方向の位置を補正する際の移動量については、後述する。

【0023】

また、プローブセンサ２４の中心Ａ２がチャック１１の回転軸Ａ１に対してＹ方向に位置ずれている場合、図４（ｂ）に示すように、プローブ１４から取得される正弦波信号には、各半周期において波形歪みが生じる。特に、正弦波信号において、電気角０（３６０）°、９０°、１８０°、２７０°の近傍を除く範囲は、正弦波信号に波形歪みが生じる範囲となり、プローブ１４のＹ方向の位置ずれが顕著に表れる。そのため、プローブ１４から取得される正弦波信号に波形歪みが生じる範囲で磁束量を検出することにより、プローブセンサ２４のＹ方向における位置ずれの方向、及び位置ずれ量（検出電気角における磁束量の差分）をより正確に判定することができる。

【0024】

なお、正弦波信号における波形歪みは、図４（ｂ）に示すように、Ｎ極側では、電気角１５°から７５°の範囲、又は電気角１１５°から１６５°までの範囲において顕著となる。また、Ｓ極側では、電気角１９５°から２２５°の範囲、又は電気角２９５°から３４５°までの範囲において顕著となる。
Ｎ極側において正弦波信号に波形歪みが生じる範囲と、Ｓ極側において正弦波信号に波形歪みが生じる範囲は、位相が１８０°異なる。そのため、Ｎ極側の範囲において設定した電気角（以下、「第１電気角」ともいう）における磁束量と、この第１電気角と位相が１８０°異なるＳ極側の電気角（以下、「第２電気角」ともいう）における磁束量とを比較することにより、プローブセンサ２４のＹ方向における位置ずれの方向、及び位置ずれ量をより正確に判定することができる。

【0025】

以下、具体例について説明する。本例では、プローブ１４のＹ方向の位置ずれが最も顕著に表れる電気角として、第１電気角を４５°に設定した例について説明する。
プローブセンサ２４の中心Ａ２がチャック１１の回転軸Ａ１に対してＹ＋方向（図２参照）に位置ずれている場合、図４（ｂ）に示すように、プローブ１４から取得される正弦波信号において、第１電気角４５°における磁束量は、位相が１８０°異なる第２電気角２２５°における磁束量よりも大きくなる。この場合、制御部１０は、プローブセンサ２４がＹ＋方向に位置ずれしていると判定し、プローブ１４（プローブセンサ２４）がＹ−方向に所定量だけ移動するように位置決め部２０を制御して、プローブ１４のＹ方向における位置を補正する。

【0026】

また、プローブセンサ２４の中心Ａ２がチャック１１の回転軸Ａ１に対してＹ−方向（図２参照）に位置ずれている場合、図４（ｂ）に示すように、プローブ１４から取得される正弦波信号において、第１電気角４５°における磁束量は、第２電気角２２５°における磁束量よりも小さくなる。この場合、制御部１０は、プローブセンサ２４がＹ−方向に位置ずれしていると判定し、プローブ１４（プローブセンサ２４）がＹ＋方向に所定量だけ移動するように位置決め部２０を制御して、プローブ１４のＹ方向の位置を補正する。なお、プローブ１４のＹ方向の位置を補正する際の移動量については、後述する。

【0027】

上記例では、プローブ１４のＹ方向の位置ずれが最も顕著に表れる電気角として、第１電気角を４５°に設定した例について説明したが、第１電気角は、この例に限定されない。プローブ１４のＹ方向の位置ずれが最も顕著に表れる電気角として、第１電気角を１３５°に設定してもよい。この場合、第２電気角は、位相が１８０°異なる３１５°となる（図４（ｂ）参照）。

【0028】

また、正弦波信号において、波形歪みがより顕著に表れる第１電気角の範囲は、電気角１５°から７５°の範囲、又は電気角１１５°から１６５°までの範囲となる。そのため、第１電気角は、これらの範囲から任意に設定することができる。
なお、本出願人による実験では、第１電気角を上記範囲において設定した場合、プローブ１４の位置ずれ精度を５０μｍ以下にできることが確認された。即ち、本実施形態に係る磁石解析装置１では、先に説明した特許文献１（特開２００８−２８６７２３号公報）に記載された装置よりも更に高い位置ずれ精度を達成できることが立証された。

【0029】

制御部１０は、プローブ１４の位置決め処理として、ＮＳのピーク値及び検出電気角における磁束量が互いに近づくように、プローブ１４のＸ（＋又は−）方向の位置の補正とＹ（＋又は−）方向の位置の補正とを交互に実行する。

【0030】

次に、制御部１０において、プローブ１４の位置決め処理を実行する場合の動作について説明する。図５は、制御部１０において、プローブ１４の位置決め処理を実行する場合の処理手順を示すフローチャートである。図６は、プローブ１４のＸＹ方向における位置ずれ量と磁束量との関係を示す特性図である。図６（ａ）は、プローブ１４のＸ方向における位置ずれ量と磁束量との関係を示す特性図である。また、図６（ｂ）は、プローブ１４のＹ方向における位置ずれ量と磁束量との関係を示す特性図である。図６（ｂ）では、第１電気角を４５°（第２電気角を２２５°）とした場合の特性を示している。

【0031】

図５に示すステップＳ１において、制御部１０は、モータドライバ１５を介してモータ１２を制御して、磁石Ｍが固定されたチャック１１を回転させる。なお、プローブ１４の位置決め処理を実行する際、プローブ１４は、初期位置として、チャック１１の回転軸Ａ１のほぼ真上の位置に移動しているものとする。
ステップＳ２において、制御部１０は、プローブ１４から出力された検出信号の変化を正弦波信号として取得し、その正弦波信号におけるＮＳのピーク値の差分（Ｘ方向の差分）が規定値未満か否かを判定する。ステップＳ２の判定がＹＥＳであれば、処理は、ステップＳ４へ移行する。また、ステップＳ２の判定がＮＯであれば、処理は、ステップＳ３へ移行する。

【0032】

ステップＳ３において、制御部１０は、プローブ１４から出力された検出信号の変化を正弦波信号として取得し、その正弦波信号のＮＳのピーク値に基づいて、プローブ１４を移動させる方向を決定する。そして、制御部１０は、プローブ１４がＸ（＋又は−）方向に所定量だけ移動するように位置決め部２０を制御して、プローブ１４のＸ方向の位置を補正する。ステップＳ１及びＳ２の処理は、本実施形態における信号取得ステップ及び第１の補正ステップの処理に対応する。

【0033】

ここで、ステップＳ３におけるプローブ１４のＸ方向の移動量について説明する。図６（ａ）において、横軸は、Ｘ方向の位置ずれ量を示す。横軸において、０（ゼロ）を中心として、右側がＸ＋方向、左側がＸ−方向の位置ずれ量（ｍｍ）を示す。縦軸は、ＮＳのピーク値の差分に相当する磁束量（ｍＴ）を示す。図６（ａ）に示すように、プローブ１４のＸ＋方向の位置ずれ量が大きくなるにつれて、ＮＳのピーク値の差分はプラス側に大きくなる。また、プローブ１４のＸ−方向の位置ずれ量が大きくなるにつれて、ＮＳのピーク値の差分はマイナス側に大きくなる。このように、Ｘ方向の＋／−の位置ずれ量とＮＳのピーク値の差分とは比例関係にある。図６（ａ）に示す特性データは、予めメモリ（不図示）に記憶されている。

【0034】

制御部１０は、取得した正弦波信号のＮＳのピーク値の差分がプラス値であれば、プローブ１４がＸ＋方向に位置ずれしていると判定する。そして、制御部１０は、図６（ａ）に示す特性データに基づいて、ＮＳのピーク値の差分に応じた移動量を設定する。例えば、図６（ａ）に示すように、ＮＳのピーク値の差分に相当する磁束量が３０ｍＴであれば、プローブ１４の位置ずれは、Ｘ＋方向に０．４ｍｍとなる。そのため、制御部１０は、プローブ１４を移動させる方向をＸ−方向とし、プローブ１４の移動量を−０．４ｍｍに設定する。また、図６（ａ）に示すように、ＮＳのピーク値の差分に相当する磁束量が−４０ｍＴであれば、プローブ１４の位置ずれは、Ｘ−方向に−０．５ｍｍとなる。そのため、制御部１０は、プローブ１４を移動させる方向をＸ＋方向とし、プローブ１４の移動量を＋０．５ｍｍに設定する。

【0035】

ステップＳ４において、制御部１０は、プローブ１４から出力された検出信号の変化を正弦波信号として取得し、その正弦波信号における検出電気角４５°（第１電気角）及び２２５°（第２電気角）での磁束量の差分（Ｙ方向の差分）が規定値未満か否かを判定する。ステップＳ４の判定がＹＥＳであれば、処理は、ステップＳ６へ移行する。また、ステップＳ４の判定がＮＯであれば、処理は、ステップＳ５へ移行する。

【0036】

ステップＳ５において、制御部１０は、プローブ１４から出力された検出信号の変化を正弦波信号として取得し、その正弦波信号の検出電気角における磁束量に基づいて、プローブ１４を移動させる方向を決定する。そして、制御部１０は、プローブ１４がＹ（＋又は−）方向に所定量だけ移動するように位置決め部２０を制御して、プローブ１４のＹ方向の位置を補正する。ステップＳ１及びＳ３の処理は、本実施形態における信号取得ステップ及び第２の補正ステップの処理に対応する。

【0037】

ここで、ステップＳ５におけるプローブのＹ方向の移動量について説明する。図６（ｂ）において、横軸の項目及び単位は、図６（ａ）と同じである。縦軸は、検出電気角４５°及び２２５°での磁束量の差分に相当する磁束量（ｍＴ）を示す。図６（ｂ）に示すように、プローブ１４のＹ＋方向の位置ずれ量が大きくなるにつれて、磁束量の差分はプラス側に大きくなる。また、プローブ１４のＹ−方向の位置ずれ量が大きくなるにつれて、磁束量の差分はマイナス側に大きくなる。即ち、Ｙ方向の＋／−の位置ずれ量とＮＳにおける磁束量の差分とは比例関係にある。図６（ｂ）に示す特性データは、予めメモリ（不図示）に記憶されている。

【0038】

制御部１０は、取得した正弦波信号の検出電気角での磁束量の差分がプラス値であれば、プローブ１４がＹ＋方向に位置ずれしていると判定する。そして、制御部１０は、図６（ｂ）に示す特性データに基づいて、磁束量の差分に応じた移動量を設定する。例えば、図６（ｂ）に示すように、磁束量の差分に相当する磁束量が３０ｍＴであれば、プローブ１４の位置ずれは、Ｙ＋方向に０．５ｍｍとなる。そのため、制御部１０は、プローブ１４を移動させる方向をＹ−方向とし、プローブ１４の移動量を−０．５ｍｍに設定する。また、図６（ｂ）に示すように、磁束量の差分に相当する磁束量が−２０ｍＴであれば、プローブ１４の位置ずれは、Ｙ−方向に−０．３ｍｍとなる。そのため、制御部１０は、プローブ１４を移動させる方向をＹ＋方向とし、プローブ１４の移動量を＋０．３ｍｍに設定する。

【0039】

ステップＳ６において、制御部１０は、プローブ１４から出力された検出信号の変化を正弦波信号として取得し、その正弦波信号におけるＮＳのピーク値の差分（Ｘ方向の差分）が規定値未満か否かを判定する。後述するように、プローブ１４のＸ方向の位置を補正すると、プローブ１４のＹ方向において僅かな位置ずれが発生する。そのため、Ｙ方向の位置を補正した時点で、Ｘ方向の差分が規定未満であれば、ＸＹ方向共に差分が規定値未満であると判定することができる。ステップＳ６の判定がＹＥＳであれば、処理は、ステップＳ７へ移行する。また、ステップＳ６の判定がＮＯであれば、処理は、ステップＳ３へ戻る。

【0040】

ステップＳ７において、制御部１０は、プローブ１４のＸＹ方向の位置データ（座標データ）をメモリ（不図示）に記憶すると共に、モータドライバ１５を介してモータ１２を制御して、チャック１１の回転を停止させる。この後、制御部１０は、本フローチャートの処理を終了する。

【0041】

上述した本実施形態に係る磁石解析装置１は、例えば、以下のような効果を奏する。
磁石解析装置１において、制御部１０は、プローブ１４から得た正弦波信号のＮＳのピーク値が互いに近づくようにプローブ１４のＸ方向における位置を補正すると共に、プローブ１４から得た正弦波信号の検出電気角（電気角４５°及び電気角２２５°）における磁束量が互いに近くようにプローブ１４のＹ方向における位置を補正する。これによれば、プローブ１４のＸＹ方向の位置ずれが最も顕著に表れる位置で検出された値に基づいてプローブ１４の位置が補正されるため、本実施形態に係る磁石解析装置１は、チャック１１の回転軸Ａ１に対してプローブ１４をより正確に位置決めすることができる。

【0042】

磁石解析装置１において、制御部１０は、プローブ１４のＸ方向の位置の補正とＹ方向の位置の補正とを交互に実行する。プローブ１４のＸ方向の位置を補正すると、プローブ１４のＹ方向において僅かな位置ずれが発生する。同様に、プローブ１４のＹ方向の位置を補正すると、プローブ１４のＸ方向において僅かな位置ずれが発生する。そのため、プローブ１４のＸ方向の位置の補正とＹ方向の位置の補正とを交互に（必要に応じて繰り返し）実行することにより、プローブ１４の位置決め精度をより高めることができる。

【0043】

本発明は、上述した実施形態に限定されることなく、以下に示すような形態においても実施可能であり、それらも本発明の範囲内である。
本実施形態では、プローブ１４の位置決め処理（図５参照）において、取得した正弦波信号におけるＮＳのピーク値の差分及び検出電気角での磁束量の差分が、それぞれ規定値未満となるようにプローブ１４の位置を補正する例について説明した。これに限らず、取得した正弦波信号におけるＮＳのピーク値及び検出電気角での磁束量が、それぞれ最小値となるようにプローブ１４の位置を補正してもよい。

【0044】

本実施形態では、プローブ１４のＸＹ方向の位置を補正する際の移動量を、図６に示す特性データに基づいて設定する例について説明した。これに限らず、プローブ１４を移動する方向を判定し、プローブ１４をその方向に一定量（例えば、０．０２ｍｍ）だけ移動させるようにしてもよい。本例において、１回の補正におけるプローブ１４の移動量は、プローブセンサ２４の検出精度等に応じて適宜に設定することができる。

【0045】

本実施形態では、磁石Ｍが固定されたチャック１１を回転させて、プローブ１４から出力される検出信号の変化を、連続する正弦波信号として取得する例について説明した。これに限らず、プローブ１４から出力される検出信号の変化として、ＮＳのピーク値のみ、及び電気角４５°における磁束量及び電気角２２５°における磁束量のみを正弦波信号の一部として取得するようにしてもよい。

【符号の説明】

【0046】

１：磁石解析装置、１０：制御部、１１：チャック、１２：モータ、２０：位置決め部、２４：プローブセンサ、Ｍ：磁石

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】