特許6460501電子ビーム装置

発明の名称　電子ビーム装置

出願人　ＮＥＣプラットフォームズ株式会社　（識別番号 227205）

　　　　特許公開件数ランキング 145 位（230件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 150 位（207件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6460501

公報発行日　2019年1月30

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6460501

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