特許 6462316 測定用治具および測定用具

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6462316

(24)【登録日】2019年1月11日

(45)【発行日】2019年1月30日

(54)【発明の名称】測定用治具および測定用具

(51)【国際特許分類】

   G01R 31/00 20060101AFI20190121BHJP

   G01R 27/00 20060101ALI20190121BHJP

   G01R 35/00 20060101ALI20190121BHJP

【ＦＩ】

   G01R31/00

   G01R27/00

   G01R35/00 J

【請求項の数】5

【全頁数】19

(21)【出願番号】特願2014-218516(P2014-218516)

(22)【出願日】2014年10月27日

(65)【公開番号】特開2015-179060(P2015-179060A)

(43)【公開日】2015年10月8日

【審査請求日】2017年8月28日

(31)【優先権主張番号】特願2014-33660(P2014-33660)

(32)【優先日】2014年2月25日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000227180

【氏名又は名称】日置電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100104787

【弁理士】

【氏名又は名称】酒井 伸司

(72)【発明者】

【氏名】山越 秀人

【審査官】 島▲崎▼ 純一

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００１−０１３１８６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−０１３２１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０９−１１３５５５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００１−１９６２０５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｒ ３１／００

Ｇ０１Ｒ ２７／００

Ｇ０１Ｒ ３５／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

測定対象のチップ部品を保持可能な保持用凹部が形成されると共に当該保持用凹部の底面から突出するように接触子を配設可能に構成された測定用治具であって、
前記保持用凹部に嵌入して前記接触子に接触可能な凸部と当該凸部および被係合部が形成された本体部とを有する補正用治具における当該被係合部に係合して、前記凸部が前記保持用凹部に嵌入する規定位置に前記補正用治具を案内するための案内部を備え、
前記案内部は、前記保持用凹部の近傍に立設されて、前記被係合部としての位置決め用孔に挿通可能なガイドピンで構成されている測定用治具。

【請求項2】

前記補正用治具を前記規定位置に案内する際に前記本体部の嵌入が可能な嵌入用溝が形成されている請求項１記載の測定用治具。

【請求項3】

前記接触子と、前記保持用凹部の前記底面に対して前記接触子を上下動させる上下動機構とを備えている請求項１または２記載の測定用治具。

【請求項4】

前記規定位置に案内された前記補正用治具および前記保持用凹部によって保持された前記チップ部品を前記底面に向けて押圧する押圧機構を備えている請求項１から３のいずれかに記載の測定用治具。

【請求項5】

請求項１から４のいずれかに記載の測定用治具と、前記補正用治具とを備えている測定用具。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、測定対象のチップ部品を保持可能な保持用凹部が形成された測定用治具、および測定用治具と測定用治具の保持用凹部に嵌入可能な凸部を有する補正用治具とを備えた測定用具に関するものである。

【背景技術】

【0002】

チップ部品の製造時や、回路基板に対するチップ部品の実装時には、チップ部品が正常品であるか否かを検査するためにチップ部品についての任意のパラメータ（一例として電気的パラメータ：例えば抵抗値や静電容量値など）を測定する測定処理が行われる。この場合、今日では、回路基板の小型化（ファインピッチ化）に伴い、実装されるチップ部品も非常に小さくなっているため、測定処理に際してチップ部品の電極に接触子を接触させるには、予め規定された位置に電極が位置した状態となるようにチップ部品を測定処理位置に位置決めする必要がある。また、チップ部品を測定処理位置に位置決めする際には、ピンセット等の保持具を用いてチップ部品を保持して測定処理位置に搬送する必要が生じるが、載置姿勢が相違する複数のチップ部品のなかから測定対象の１つのチップ部品だけを保持する作業が困難であるため、パーツフィーダ等を用いてチップ部品を個々に整列させておく必要がある。

【0003】

具体的には、一例として、まず、下記の特許文献１に開示されているパーツフィーダを用いてチップ部品を整列させる。次いで、整列させられたチップ部品を、保持具によって保持する。続いて、保持したチップ部品を、出願人が下記の特許文献２に開示している四端子測定用チップ部品治具（以下、単に「チップ部品治具」ともいう）まで搬送し、チップ部品治具によってチップ部品を測定処理位置に位置決めした状態において、良否判定に必要なパラメータを測定し、測定結果と判定用基準値とに基づき、チップ部品の良否を検査する。

【0004】

この場合、出願人が開示しているチップ部品治具は、凹状に形成された定置部に一対の接触端子が配設された端子台を２つ備えて構成されている。また、このチップ部品治具では、両端子台の定置部を近接させるようにして両端子台を対向配置した状態において、一方の端子台における定置部上にチップ部品における一端部側部位を載置し、かつ他方の端子台における定置部上にチップ部品における他端部側部位を載置して（両定置部上にチップ部品を掛け渡すように配置して）チップ部品を位置決めすることにより、チップ部品の一端部側部位に形成されている電極が一方の端子台における両接触端子に接触させられ、かつチップ部品の多端部側部位に形成されている電極が他方の端子台における両接触端子に接触させられる。これにより、出願人が開示しているチップ部品治具では、小さなチップ部品の電極にそれぞれ一対の接触端子を接触させた状態で四端子法によって抵抗値や静電容量値などのパラメータを測定することが可能となっている。

【0005】

一方、この種のチップ部品についてのパラメータを測定（チップ部品を検査）する際には、接触端子や配線の電気抵抗等の測定値に対する影響を軽減するため、検査に先立って補正処理が行われる。この補正処理では、各接触端子をショートさせた状態（ショート状態）および各接触端子がオープンの状態（オープン状態）のそれぞれの状態においてパラメータを測定し、例えば、各状態における測定値の差分値を補正値として算出する。この場合、各接触端子をショート状態とする際には、チップ部品と同形状に形成した導電性を有する補正用治具を定置部に載置する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開平６−３２０１１６号公報（第２−３頁、第１−３図）

【特許文献2】特開２００８−２６２６０号公報（第３−７頁、第１−６図）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

ところが、出願人が開示している上記のチップ部品治具には、改善すべき以下の課題が存在する。すなわち、このチップ部品治具を用いたチップ部品の検査（パラメータの測定）に先立って行う補正処理では、チップ部品と同形状に形成した補正用治具が用いられる。この場合、チップ部品の小型化に伴って補正用治具が小形化されているため、このような小形の補正用治具をチップ部品治具の定置部に正確に位置決めして載置する作業が容易ではなく、載置に時間がかかる結果、補正処理の作業効率が低下している。一方、この種の補正用治具は、マシニングセンタ等の工作機械を用いた切削加工によって作製される。ここで、工作機械を用いた切削加工では、ある程度の大きさの材料の一部を所望の形状に正確に切削することは容易であるが、全体が小形の構造体を所望の形状に正確に切削するのは、ワーク（材料）のチャッキングが困難であること等の理由から、一般的に困難である。この場合、半導体の製造工程のような特殊な工程で作製することで、小形の補正用治具を正確に作製する方法も考えられるが、このような作製方法では、作製コストが高騰する結果、測定コスト（検査コスト）が高騰することとなる。このように、このチップ部品治具では、補正処理を行う際にチップ部品と同形状の補正用治具を用いることに起因して、作業効率の向上および測定コストの低減が困難となっており、その改善が望まれている。

【0008】

本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、作業効率の向上および測定コストの低減を実現し得る測定用治具および測定用具を提供することを主目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記目的を達成すべく、請求項１記載の測定用治具は、測定対象のチップ部品を保持可能な保持用凹部が形成されると共に当該保持用凹部の底面から突出するように接触子を配設可能に構成された測定用治具であって、前記保持用凹部に嵌入して前記接触子に接触可能な凸部と当該凸部および被係合部が形成された本体部とを有する補正用治具における当該被係合部に係合して、前記凸部が前記保持用凹部に嵌入する規定位置に前記補正用治具を案内するための案内部を備え、前記案内部は、前記保持用凹部の近傍に立設されて、前記被係合部としての位置決め用孔に挿通可能なガイドピンで構成されている。

【0011】

また、請求項２記載の測定用治具は、請求項１記載の測定用治具において、前記補正用治具を前記規定位置に案内する際に前記本体部の嵌入が可能な嵌入用溝が形成されている。

【0012】

また、請求項３記載の測定用治具は、請求項１または２記載の測定用治具において、前記接触子と、前記保持用凹部の前記底面に対して前記接触子を上下動させる上下動機構とを備えている。

【0013】

また、請求項４記載の測定用治具は、請求項１から３のいずれかに記載の測定用治具において、前記規定位置に案内された前記補正用治具および前記保持用凹部によって保持された前記チップ部品を前記底面に向けて押圧する押圧機構を備えている。

【0015】

また、請求項５記載の測定用具は、請求項１から４のいずれかに記載の測定用治具と、前記補正用治具とを備えている。

【発明の効果】

【0016】

請求項１記載の測定用治具、および請求項５記載の測定用具は、保持用凹部に嵌入して接触子に接触可能な凸部と凸部および被係合部が形成された本体部とを有する補正用治具における被係合部に係合して、凸部が保持用凹部に嵌入する規定位置に補正用治具を案内するための案内部を備えている。このため、この測定用治具および測定用具では、チップ部品と同程度の小形の凸部を、凸部よりも大きな本体部に形成して構成した補正用治具を、本体部の被係合部に案内部を係合させることで規定位置に案内することができる。つまり、この測定用治具および測定用具では、凸部よりも十分に大きく形成した本体部を有する補正用治具を用いて補正処理を行うことができる。したがって、この測定用治具および測定用具によれば、本体部を手作業での取り扱い（指先での挟持）がし易い大きさに形成した補正用治具を用いることで、チップ部品と同形状に形成されている補正用治具を保持用凹部に嵌入させて補正処理を行う構成と比較して、補正用治具を測定用治具に正確かつ容易にセットすることができる。また、この測定用治具および測定用具によれば、補正用治具の被係合部に案内部を係合させるだけで、補正用治具を嵌入位置に確実に案内して位置決めさせることができる。したがって、この測定用治具および測定用具によれば、補正処理の作業効率を十分に向上させることができる。また、ある程度の大きさの本体部を有する補正用治具は、工作機械を用いた切削加工によって低コストで作製することができる。したがって、この測定用治具および測定用具によれば、低コストの補正用治具を用いて補正処理を行うことができるため、チップ部品についてのパラメータを測定する際の測定コストを十分に低減させることができる。

【0017】

また、請求項１記載の測定用治具、および請求項５記載の測定用具によれば、保持用凹部の近傍に立設されて、被係合部としての位置決め用孔に挿通可能なガイドピンで案内部を構成したことにより、例えば、円柱状のガイドピンを採用することで、規定通り（設計通り）の形状のガイドピンを容易に作製することができるため、ガイドピンの作製コストを十分に低減することができる結果、測定用治具および測定用具の製造コストを十分に低減することができる。

【0018】

また、請求項２記載の測定用治具、および請求項５記載の測定用具では、補正用治具を規定位置に案内する際に補正用治具の本体部の嵌入が可能な嵌入用溝が形成されている。この場合、例えば、保持用凹部よりもやや幅広に形成されてチップ部品を保持用凹部に案内する機能を有する案内用凹部が測定用治具に形成されている構成において、補正用治具の凸部の保持用凹部への嵌入を可能とするには、補正用治具の本体部を案内用凹部に挿入可能な大きさとする必要があり、案内用凹部の幅が狭いときには、本体部を取り扱いがし難い小形に形成する必要がある。これに対して、嵌入用溝を有するこの測定用治具および測定用具によれば、嵌入用溝を案内用凹部よりも幅広に形成することで、本体部が案内用凹部の幅よりも大形で取り扱いがし易い補正用治具を用いて補正処理を行うことができるため、案内用凹部が測定用治具に形成されている構成においても、補正処理の効率を十分に向上させることができる。

【0019】

また、請求項３記載の測定用治具、および請求項５記載の測定用具によれば、接触子と、保持用凹部の底面に対して接触子を上下動させる上下動機構とを備えたことにより、保持用凹部内にチップ部品を嵌入させる作業時に接触子を下動させておくことで接触子が破損する事態を好適に回避することができるだけでなく、保持用凹部内にチップ部品を嵌入させた後に各接触子を上動させることでその先端部をチップ部品の電極に好適な接触圧で押し付けることができるため、チップ部品についての各種パラメータを正確に測定することができる。

【0020】

また、請求項４記載の測定用治具、および請求項５記載の測定用具によれば、規定位置に案内された補正用治具および保持用凹部によって保持されたチップ部品を底面に向けて押圧する押圧機構を備えたことにより、規定位置に案内された補正用治具および保持用凹部によって保持されているチップ部品を各接触子に対して好適な押圧力で押し付けることができるため、パラメータを一層正確に測定することができる。

【0021】

また、請求項５記載の測定用具では、測定用治具の保持用凹部に嵌入可能な凸部が形成されると共に、凸部が保持用凹部に嵌入する規定位置に補正用治具を案内するために測定用治具に配設された案内部との係合が可能な被係合部が形成された本体部を備えて補正用治具が構成されている。このため、この補正用治具および測定用具では、凸部が小形の場合であっても、本体部をある程度（手作業での取り扱いがし易い程度）の大きさに形成することができる。この場合、このようなある程度の大きさの本体部を有する補正用治具は、工作機械を用いた切削加工によって低コストで作製することができる。したがって、この補正用治具および測定用具によれば、低コストの補正用治具を用いて補正処理を行うことができるため、チップ部品についてのパラメータを測定する際の測定コストを十分に低減させることができる。また、この補正用治具および測定用具によれば、手作業での取り扱い（指先での挟持）がし易い大きさに本体部を形成することができるため、チップ部品と同形状に形成されている補正用治具を測定用治具の保持用凹部に嵌入させて補正処理を行う構成と比較して、補正用治具を測定用治具に容易にセットすることができる。また、この補正用治具および測定用具によれば、補正用治具の被係合部に案内部に係合させるだけで、補正用治具を嵌入位置に確実に案内して位置決めさせることができる。したがって、この補正用治具および測定用具によれば、補正処理の作業効率を十分に向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】測定用具１００における測定用治具１の外観斜視図である。

【図2】測定用治具１における保持用凹部２１ａ〜２１ｃの近傍の断面図である。

【図3】測定用治具１における保持用凹部２１ａ〜２１ｃの近傍の外観斜視図である。

【図4】測定用治具１における保持用凹部２１ａ〜２１ｃの近傍の平面図である。

【図5】図４におけるＡ−Ａ線断面図である。

【図6】図４におけるＢ−Ｂ線断面図である。

【図7】補正用治具５０ａの外観斜視図である。

【図8】補正用治具５０ｂの外観斜視図である。

【図9】補正用治具５０ｃの外観斜視図である。

【図10】補正用治具５０ｂを用いた補正処理を説明する第１の説明図である。

【図11】補正用治具５０ｂを用いた補正処理を説明する第２の説明図である。

【図12】補正用治具５０ｂを用いた補正処理を説明する第３の説明図（図４におけるＡ−Ａ線断面図）である。

【図13】補正用治具５０ｂを用いた補正処理を説明する第４の説明図である。

【図14】位置決め部２によるチップ部品Ｐの位置決め作業について説明するための断面図（図４におけるＣ−Ｃ線断面図）である。

【図15】位置決め部２によるチップ部品Ｐの位置決め作業について説明するための他の断面図（図４におけるＡ−Ａ線断面図）である。

【図16】保持用凹部２１によって位置決めされたチップ部品Ｐを押圧機構４のプッシャー４３によって下向きに押圧した状態の断面図（図４におけるＡ−Ａ線断面図）である。

【図17】他の実施の形態に係る測定用治具１Ａにおける保持用凹部２１の近傍の断面図である。

【図18】さらに他の実施の形態に係る測定用治具１Ｂにおける保持用凹部２１の近傍の断面図である。

【図19】位置決め部２および上下動機構６の構成を示す外観斜視図である。

【図20】接触子３１の先端部をベース部１１内に退避させた状態の位置決め部２および上下動機構６の断面図（図１９の断面Ｓで切断した断面図）である。

【図21】接触子３１の先端部を保持用凹部２１ａ〜２１ｃ内に突出させた状態の位置決め部２および上下動機構６の断面図（図１９の断面Ｓで切断した断面図）である。

【発明を実施するための形態】

【0023】

以下、測定用治具および測定用具の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

【0024】

最初に、「測定用具」の一例としての測定用具１００の構成について説明する。測定用具１００は、図１に示す測定用治具１と、図７〜図９に示す３つの補正用治具５０ａ〜５０ｃ（以下、区別しないときには「補正用治具５０」ともいう）とを備えて構成されている。

【0025】

測定用治具１は、「測定用治具」の一例であって、図１に示すように、位置決め部２、接続部３、押圧機構４および筐体５を備えて構成されている。位置決め部２は、図１，２および図１９〜図２１に示すように、２枚のベース板１１ａ，１１ｂで構成されて筐体５の天板から突出させられたベース部１１と、ベース部１１にねじ止め固定された凹部形成片１２と、ベース部１１に固定された支持ブロック１３と、支持ブロック１３を筐体５に取り付けるためのブラケット１４とを備えて構成されている。

【0026】

また、図２〜４に示すように、凹部形成片１２には、保持用凹部２１ａが底部に形成された案内用凹部２２ａ、保持用凹部２１ｂが底部に形成された案内用凹部２２ｂ、および保持用凹部２１ｃが底部に形成された案内用凹部２２ｃが並んで形成されている。この場合、本例の測定用治具１では、保持用凹部２１ａ〜２１ｃ（以下、これらを区別しないときには「保持用凹部２１」ともいう）がそれぞれ「保持用凹部」に相当する。

【0027】

また、本例の凹部形成片１２では、一例として、１．０ｍｍ×０．５ｍｍのチップ部品Ｐを位置決め可能に（嵌入可能に）保持用凹部２１ａが形成され、０．６ｍｍ×０．３ｍｍのチップ部品Ｐを位置決め可能に（嵌入可能に）保持用凹部２１ｂが形成され、かつ０．４ｍｍ×０．２ｍｍのチップ部品Ｐを位置決め可能に（嵌入可能に）保持用凹部２１ｃが形成されている。さらに、各案内用凹部２２は、図５，６に示すように、保持用凹部２１が形成された底部に向かって傾斜する傾斜面Ｆが設けられ、後述するように、傾斜面Ｆ上に落下させられたチップ部品Ｐを底部に向けて案内可能に構成されている。この場合、各案内用凹部２２の傾斜面Ｆは、底部から遠ざかるほど大きく傾斜するように（傾斜がきつくなるように）湾曲面で構成されている。

【0028】

また、図３，４に示すように、各案内用凹部２２の底部には、チップ部品Ｐを嵌入可能に形成されて保持用凹部２１に向けてチップ部品Ｐを案内可能な案内用溝２３ａ〜２３ｃ（以下、これらを区別しないときには「案内用溝２３」ともいう）がそれぞれ形成されている。この場合、図５，６に示すように、各案内用溝２３は、その内側面が垂直方向に対して３°〜５°の範囲内（一例として４°）で傾斜させられ、上縁部から下縁部に向かうほど幅狭となるように形成されている。

【0029】

なお、本例の測定用治具１では、保持用凹部２１ａに向けてチップ部品Ｐを案内する案内用溝２３ａにおける下縁部側の溝幅が０．５ｍｍよりもやや広く形成され、保持用凹部２１ｂに向けてチップ部品Ｐを案内する案内用溝２３ｂにおける下縁部側の溝幅が０．３ｍｍよりもやや広く形成され、保持用凹部２１ｃに向けてチップ部品Ｐを案内する案内用溝２３ｃにおける下縁部側の溝幅が０．２ｍｍよりもやや広く形成されている（「案内用溝」の溝幅が、「チップ部品」の平面視における短尺方向の幅と同程度に形成されている構成の例）。また、図３，４に示すように、本例の測定用治具１では、平面視における保持用凹部２１の一端部側および他端部側に案内用溝２３がそれぞれ形成されている。

【0030】

また、図３〜６に示すように、各案内用凹部２２の底部には、後述するように保持用凹部２１に位置決めしたチップ部品Ｐを保持用凹部２１の底面に向けて押圧するためのプッシャー４３（図１，１６参照）が凹部形成片１２に当接するのを回避可能に平面視円形状の当接回避用凹部２４が形成され、この当接回避用凹部２４の中央部に各保持用凹部２１がそれぞれ形成されている。この場合、本例の測定用治具１では、図５，６に示すように、各要素２１，２３，２４のうちで、保持用凹部２１の深さ（案内用凹部２２の底面からの深さ）が最も深く、かつ当接回避用凹部２４が最も浅く形成されると共に、案内用溝２３が保持用凹部２１の深さよりも浅く、かつ当接回避用凹部２４の深さよりも深くなるようにこれらが形成されている。

【0031】

この場合、本例の測定用治具１では、各保持用凹部２１や案内用凹部２２が形成されている凹部形成片１２を、測定用治具１の本体部（ベース部１１や筐体５）とは別体に形成することにより、上記の保持用凹部２１ａ〜２１ｃによって好適に位置決めすることのできないチップ部品Ｐを測定対象とするときには、そのチップ部品Ｐを好適に位置決め可能な大きさおよび形状の「保持用凹部」を形成した他の凹部形成片１２（図示せず）を製作してベース部１１に取り付けることにより、凹部形成片１２以外の構成要素を新たに製作することなく、継続して使用することが可能となっている。

【0032】

さらに、図２〜４に示すように、凹部形成片１２には、後述する図外の測定器の補正処理時に使用する補正用治具５０（図７〜図９参照）の本体部５１を嵌入可能な嵌入用溝２５が形成されている。この場合、嵌入用溝２５は、案内用凹部２２ａを横切るようにして（一例として案内用凹部２２ａに直交するようにして）形成されている。

【0033】

また、図２〜４に示すように、保持用凹部２１の近傍には、４つのガイドピン２６ａ〜２６ｄ（以下、区別しないときには「ガイドピン２６」ともいう）が立設（配設）されている。ガイドピン２６は、案内部に相当し、一例として、先端部にテーパー部を有する円柱状に形成されている。このガイドピン２６は、補正用治具５０の本体部５１に形成されている位置決め用孔５１ａ（被係合部）に挿入（係合）可能に構成されて、補正用治具５０を規定位置（図７〜図９に示す補正用治具５０の凸部５２が保持用凹部２１に嵌入する位置）に案内して位置決めする機能を有している。

【0034】

この場合、この測定用治具１では、補正用治具５０ａの凸部５２を保持用凹部２１ａに嵌入させる際には、ガイドピン２６ａ，２６ｂを用い、補正用治具５０ｂの凸部５２を保持用凹部２１ｂに嵌入させる際には、ガイドピン２６ｂ，２６ｃを用い、補正用治具５０ｃの凸部５２を保持用凹部２１ｃに嵌入させる際には、ガイドピン２６ｃ，２６ｄを用いるように構成されている。

【0035】

一方、接続部３は、各保持用凹部２１の底面から突出させられるように配設された接触子３１と、筐体５の背面に配設されて各接触子３１に接続された接続用コネクタ３２（図１参照）と、接触子３１および接続用コネクタ３２を相互に接続する配線基板および接続線（共に図示せず）とを備えている。

【0036】

この場合、本例の測定用治具１では、出願人が上記の特許文献２に開示しているチップ部品治具と同様にしてチップ部品Ｐについての任意のパラメータ（一例として電気的パラメータ：例えば抵抗値や静電容量値など）を四端子法によって測定することができるように、１つの保持用凹部２１につき４本の接触子３１がそれぞれ配設されている。具体的には、後述するように保持用凹部２１内に嵌入されて位置決めされた状態のチップ部品Ｐにおける一方の電極に接触させられる一対の接触子３１，３１と、そのチップ部品Ｐにおける他方の電極に接触させられる一対の接触子３１，３１とが保持用凹部２１の底面から突出させられている。

【0037】

また、本例の測定用治具１は、凹部形成片１２に対して各接触子３１を上下動させる上下動機構６を備えている。この場合、上下動機構６は、図１９〜２１に示すように、操作レバー３３と、位置決め部２を構成する支持ブロック１３によって支持されると共に先端部に操作レバー３３が取り付けられた回動軸３４と、回動軸３４の基端部側に取り付けられた偏芯カム３５と、２枚の保持板３６ａ，３６ｂで構成されて接触子３１の基端部側を保持する接触子保持部３６と、接触子３１の基端部に電気的に接続される導体パターンが形成された基板３７と、接触子保持部３６を上方（凹部形成片１２側）に付勢するスプリング３８とを備えて構成されている。本例の上下動機構６では、操作レバー３３を回動操作させたときに回動軸３４および偏芯カム３５が回動し、偏芯カム３５の回動に伴って接触子保持部３６が上下動する。この場合、スプリング３８の付勢力に抗して偏芯カム３５が接触子保持部３６を下向きに押圧することによって接触子保持部３６が下動し、偏芯カム３５の回動に伴って接触子保持部３６に対する下向きへの押圧が解除されたときにスプリング３８の付勢力によって接触子保持部３６が上動する。なお、図２０では、接触子保持部３６が下動した状態を図示し、図２１では、接触子保持部３６が上動した状態を図示している。また、本例の上下動機構６では、接触子保持部３６を上動させることにより、図５，６に実線で示すように、接触子保持部３６によって基端部側が保持されている各接触子３１の先端部（上端部）が凹部形成片１２における保持用凹部２１の底面から保持用凹部２１内に突出した状態となり、接触子保持部３６を下動させることにより、図１５に破線で示すように、各接触子３１の先端部（上端部）が保持用凹部２１の底面よりも下方に位置させられた状態（接触子３１の先端部がベース部１１内に退避させられた状態）となる。

【0038】

押圧機構４は、「押圧機構」の一例であって、図１に示すように、筐体５に固定されたガイドレール４１と、矢印Ｄの方向（各保持用凹部２１の並設方向）に沿ってスライド可能にガイドレール４１に取り付けられたアーム４２と、アーム４２に対して上下動可能に取り付けられたプッシャー４３とを備えている。この場合、プッシャー４３には、保持用凹部２１内に嵌入されたチップ部品Ｐを保持用凹部２１の底面に向けて好適な押圧力で押圧することができるようにウェイト４３ａが取り付けられている。

【0039】

なお、測定用治具１を用いたチップ部品Ｐの検査に際しては、チップ部品Ｐを保持する保持具（保持具等）、接続用ケーブルを介して接続部３の接続用コネクタ３２に接続されてチップ部品Ｐについての各種パラメータを測定する測定器、および後述するように保持用凹部２１へのチップ部品Ｐの嵌入作業時に各保持用凹部２１の近傍およびチップ部品Ｐの視認性を向上させるための拡大鏡などを使用するが、測定用治具１（「測定用治具」および「測定用具」）についての理解を容易とするために、保持具、測定器および拡大鏡についての図示および詳細な説明を省略する。

【0040】

補正用治具５０ａ〜５０ｃは、チップ部品Ｐの検査に先立って行う後述する補正処理において用いる「補正用治具」の一例であって、図７〜図９に示すように、本体部５１および凸部５２をそれぞれ備えて構成されている。この場合、各補正用治具５０ａ〜５０ｃは、一例として、導電性材料（例えば、銅やアルミニウム等の金属材料）を切削することによって作製される。

【0041】

本体部５１は、図７〜図９に示すように、測定用治具１の位置決め部２を構成する凹部形成片１２に形成されている嵌入用溝２５（図３参照）に嵌入可能な直方体状に形成されている。また、本体部５１には、被係合部としての２つの位置決め用孔５１ａが形成されている。この場合、位置決め用孔５１ａは、嵌入用溝２５に立設されているガイドピン２６（同図参照）の挿入（係合）が可能な円形に形成されている。

【0042】

凸部５２は、図７〜図９に示すように、本体部５１の先端面５１ｂから突出するように本体部５１に形成されている。この凸部５２は、凹部形成片１２に形成されている保持用凹部２１（図３参照）に嵌入して保持用凹部２１の底面から突出している状態の各接触子３１の先端部に接触して、各接触子３１を短絡させる（ショート状態とする）機能を有している。

【0043】

この場合、補正用治具５０ａの本体部５１に形成されている凸部５２の先端部側は、保持用凹部２１ａによって保持されるチップ部品Ｐ（この例では、１．０ｍｍ×０．５ｍｍのチップ部品Ｐ）の先端部側と同形状に形成されて、保持用凹部２１ａに嵌入可能となっている。また、補正用治具５０ｂの本体部５１に形成されている凸部５２の先端部側は、保持用凹部２１ｂによって保持されるチップ部品Ｐ（この例では、０．６ｍｍ×０．３ｍｍのチップ部品Ｐ）の先端部側と同形状に形成されて、保持用凹部２１ｂに嵌入可能となっている。さらに、補正用治具５０ｃの本体部５１に形成されている凸部５２の先端部側は、保持用凹部２１ｃによって保持されるチップ部品Ｐ（この例では、０．４ｍｍ×０．２ｍｍのチップ部品Ｐ）の先端部側と同形状に形成されて、保持用凹部２１ｃに嵌入可能となっている。

【0044】

図７〜図９に示すように、補正用治具５０ａ〜５０ｃは、本体部５１の先端面５１ｂに凸部５２を形成して構成されているため、凸部５２が小形の場合であっても、本体部５１をある程度（指先で挟持するなどの手作業での取り扱いがし易い程度）の大きさに形成することができる。この場合、補正用治具５０は、上記したように、導電性材料を切削することによって作製される。ここで、マシニングセンタ等の工作機械を用いた切削加工によって全体が小形の構造体を所望の形状に正確に切削するのは、ワーク（材料）のチャッキングが困難であること等の理由から、一般的に困難であるが、ある程度の大きさの材料の一部を所望の形状に正確に切削することは工作機械を用いて容易に行うことができる。このため、ある程度の大きさの本体部５１の先端面５１ｂに小形のチップ部品Ｐと同程度の小形の凸部５２が形成されて構成された補正用治具５０を、工作機械を用いた切削加工によって正確な形状に形成することができる。したがって、この補正用治具５０では、作製コストを十分に低減することが可能となっている。

【0045】

次に、測定用治具１を用いたチップ部品Ｐの検査方法について図面を参照して説明する。

【0046】

この測定用治具１を用いたチップ部品Ｐの検査に際しては、測定用治具１の近傍に拡大鏡をセットすると共に、接続用ケーブルを介して接続部３の接続用コネクタ３２を測定器に接続する。これにより、接続部３の各接触子３１が測定器に接続された状態となる。次いで、測定器の補正処理を実行する。この補正処理では、ガイドレール４１に対してアーム４２をスライドさせることで凹部形成片１２上からプッシャー４３を退避させると共に、操作レバー３３を操作することによって接触子保持部３６を下動させて各接触子３１をベース部１１内に退避させる。

【0047】

続いて、補正用治具５０を用いて各接触子３１を短絡させる（ショート状態とさせる）。まず、３つの補正用治具５０ａ〜５０ｃのうちの１つ（例えば、補正用治具５０ｂ）を位置決め部２にセットして、３つの保持用凹部２１ａ〜２１ｃのうちの１つ（例えば、保持用凹部２１ｂ）の底部に配設されている各接触子３１を短絡させる。具体的には、図１０に示すように、補正用治具５０ｂ（図８も参照）における本体部５１の先端面５１ｂに形成されている凸部５２を下向きにした状態で、本体部５１を指先で挟持して、補正用治具５０ｂを下向きに移動（凹部形成片１２に近接）させる。次いで、嵌入用溝２５の底面に立設されているガイドピン２６ｂ，２６ｃを、本体部５１に形成されている２つの位置決め用孔５１ａに挿入（係合）させ、続いて、補正用治具５０ｂを下向きにさらに移動させる。

【0048】

この際に、図１１に示すように、補正用治具５０ｂの本体部５１が嵌入用溝２５に嵌入する。次いで、補正用治具５０ｂを下向きにさらに移動させる。この際に、図１２に示すように、位置決め用孔５１ａに挿入（係合）されているガイドピン２６によって本体部５１が規定位置（嵌入位置）に案内されて、本体部５１の先端面５１ｂに形成されている凸部５２が保持用凹部２１ｂに嵌入する。

【0049】

次いで、押圧機構４のガイドレール４１に対してアーム４２をスライドさせて、図１３に示すように、補正用治具５０ｂの上方にプッシャー４３の先端部を位置させる。続いて、操作レバー３３を操作することによって接触子保持部３６を上動させて各接触子３１を保持用凹部２１の底面から突出させると共に、アーム４２に対してプッシャー４３を下動させることによって補正用治具５０ｂを保持用凹部２１の底面に向けて押圧する。この際に、各接触子３１の先端部が補正用治具５０ｂの凸部５２に接触し、これにより、各接触子３１が補正用治具５０ｂの凸部５２によって短絡される（ショート状態となる）。次いで、測定器を操作して、各接触子３１がショート状態のときにおける予め決められたパラメータ（例えば、抵抗値や静電容量値等の電気的パラメータ）を測定する。

【0050】

続いて、ガイドレール４１に対してアーム４２をスライドさせることで補正用治具５０ｂ上からプッシャー４３を退避させると共に、操作レバー３３を操作して各接触子３１をベース部１１内に退避させ、次いで、補正用治具５０ｂを位置決め部２から取り外す。これにより、各接触子３１同士の短絡（ショート状態）が解除されて、各接触子３１がオープン状態となる。続いて、測定器を操作して、各接触子３１がオープン状態のときにおける上記のパラメータ（抵抗値や静電容量値）を測定する。次いで、各接触子３１がショート状態のときにおけるパラメータの測定値、および各接触子３１がオープン状態のときにおけるパラメータの測定値から（例えば、両測定値の一方から他方を差し引いて）補正値を算出する。

【0051】

続いて、上記した手順と同様の手順で他の補正用治具５０を用いて、他の保持用凹部２１の底部に配設されている各接触子３１をショート状態とさせて、パラメータ（抵抗値や静電容量値）を測定し、次いで各接触子３１をオープン状態とさせた状態で同じパラメータを測定して補正値を算出する。次いで、算出した各補正値に基づいて測定器を補正する。以上により、補正処理が完了する。

【0052】

この場合、この補正用治具５０では、本体部５１が手作業での取り扱い（指先での挟持）がし易い程度の大きさに形成されている。このため、この補正用治具５０では、チップ部品Ｐと同形状に形成されている補正用治具と比較して、補正用治具５０を位置決め部２に容易にセットすることが可能となっている。したがって、この補正用治具５０を用いることで、補正処理の作業効率を十分に向上させることが可能となっている。

【0053】

次いで、チップ部品Ｐを検査する。この際には、まず、嵌入用溝２５から補正用治具５０を撤去した状態において操作レバー３３を操作することにより、接触子保持部３６を下動させて各接触子３１をベース部１１内に退避させる。次いで、図１４に破線で示すように、保持具によって保持したチップ部品Ｐを案内用凹部２２の上方に搬送し、保持具による保持を解除することにより、矢印Ｅ１で示すようにチップ部品Ｐを案内用凹部２２内に落下させる。この際に、測定対象のチップ部品Ｐを保持用凹部２１内に直接落下させるのが好ましいが、本例の測定用治具１では、後述するように、案内用凹部２２の傾斜面Ｆに落下させたチップ部品Ｐを保持用凹部２１まで容易に移動させることができるため、保持用凹部２１の形成位置を意識することなく、チップ部品Ｐを案内用凹部２２内に落下させればよい。

【0054】

この場合、図１４に一点鎖線で示すように、案内用凹部２２の傾斜面Ｆ上にチップ部品Ｐが落下したときには、矢印Ｅ２で示すように、チップ部品Ｐが自重によって案内用凹部２２の底部（傾斜面Ｆの下方部位）に向かって滑落して同図に二点鎖線で示すように案内用溝２３の近傍に位置した状態となる。この際に、本例の測定用治具１では、底部から遠ざかるほど大きく傾斜する（傾斜がきつくなる）ように案内用凹部２２の傾斜面Ｆが湾曲面で構成されているため、保持用凹部２１や案内用溝２３が形成されている底部から離れた位置にチップ部品Ｐが落下したとしても、このチップ部品Ｐが案内用凹部２２の底部（保持用凹部２１や案内用溝２３の近傍）に向かって好適に移動させられる。

【0055】

続いて、矢印Ｅ３で示すように、図示しない保持具等を利用してチップ部品Ｐを案内用溝２３上に向けて移動させる。この際には、図１４に実線で示すように、案内用溝２３上に移動させられたチップ部品Ｐが自重によって案内用溝２３内に落下する。この場合、本例の測定用治具１では、案内用溝２３の内側面が垂直方向に対して傾斜させられて、上縁部から下縁部に向かうほど幅狭となるように形成されているため、移動させられたチップ部品Ｐが案内用溝２３内にスムーズに落下する。

【0056】

次いで、保持具等を利用して案内用溝２３内のチップ部品Ｐを保持用凹部２１に向けてスライドさせる。この際に、本例の測定用治具１では、案内用溝２３の溝幅がチップ部品Ｐの平面視における短尺方向の幅と同程度に形成されているため、案内用溝２３内においてチップ部品Ｐが傾いたり回動したりすることなく、保持用凹部２１に向かって案内される。これにより、図１５に実線で示すように、保持用凹部２１上に移動させられたチップ部品Ｐが自重によって保持用凹部２１内に落下し、保持用凹部２１によって測定処理位置（つまり、保持用凹部２１の底部の位置）に位置決めされた状態となる。

【0057】

次いで、ガイドレール４１に対してアーム４２をスライドさせて保持用凹部２１の上方（保持用凹部２１によって位置決めされた状態のチップ部品Ｐの上方）にプッシャー４３の先端部を位置させる。続いて、図１６に示すように、操作レバー３３を操作することによって接触子保持部３６を上動させて各接触子３１を保持用凹部２１の底面から突出させると共に、アーム４２に対してプッシャー４３を下動させることによってチップ部品Ｐを保持用凹部２１の底面に向けて押圧する。

【0058】

この際には、保持用凹部２１内に突出させられた接触子３１の先端部が保持用凹部２１内のチップ部品Ｐにおける各電極に押し付けられて、チップ部品Ｐの電極と接触子３１とが電気的に接続された状態となる。この場合、本例の測定用治具１では、接触子保持部３６の上動に伴って上動させられる各接触子３１が座屈変形し、その弾性復帰力によって各接触子３１の先端部が好適な接触圧でチップ部品Ｐの電極に押し付けられた状態となる。この状態において測定器を操作することにより、一例として、四端子法によって抵抗値を測定させる。これにより、測定対象（検査対象）のチップ部品Ｐについての測定処理が完了する。この後、測定処理の測定結果（測定された抵抗値）と、良品のチップ部品Ｐから取得した基準抵抗値とを比較することにより、チップ部品Ｐが正常品であるか否かが検査される。なお、チップ部品Ｐの良否判定（検査）については、利用者が測定結果と判定用の基準値とを比較して良否を判定する方法だけでなく、そのような判定機能を測定器に設けて自動的に行うこともできる。

【0059】

一方、上記の測定処理を完了したときには、チップ部品Ｐ上からプッシャー４３を退避させる。この際には、各接触子３１の弾性復帰力によってチップ部品Ｐが上動させられる。次いで、保持具を用いてチップ部品Ｐを保持することにより、検査完了品（測定完了品）の載置場所まで搬送する。この後、上記の一連の測定処理と同様の手順で他のチップ部品Ｐについての測定処理を実行する。

【0060】

このように、この測定用治具１および測定用具１００は、保持用凹部２１に嵌入して接触子３１に接触可能な凸部５２と凸部５２および位置決め用孔５１ａ（被係合部）が形成された本体部５１とを有する補正用治具５０における位置決め用孔５１ａに係合して、凸部５２が保持用凹部２１に嵌入する規定位置に補正用治具５０を案内するためのガイドピン２６（案内部）を備えている。このため、この測定用治具１および測定用具１００では、チップ部品Ｐと同程度の小形の凸部５２を、凸部５２よりも大きな本体部５１に形成して構成した補正用治具５０を、本体部５１の位置決め用孔５１ａにガイドピン２６を係合させることで規定位置に案内することができる。つまり、この測定用治具１および測定用具１００では、凸部５２よりも十分に大きく形成した本体部５１を有する補正用治具５０を用いて補正処理を行うことができる。したがって、この測定用治具１および測定用具１００によれば、本体部５１を手作業での取り扱い（指先での挟持）がし易い大きさに形成した補正用治具を用いることで、チップ部品Ｐと同形状に形成されている補正用治具を保持用凹部２１に嵌入させて補正処理を行う構成と比較して、補正用治具５０を測定用治具１（位置決め部２）に正確かつ容易にセットすることができる。また、この測定用治具１および測定用具１００によれば、補正用治具５０の位置決め用孔５１ａにガイドピン２６を係合させるだけで、補正用治具５０を嵌入位置に確実に案内して位置決めさせることができる。したがって、この測定用治具１および測定用具１００によれば、補正処理の作業効率を十分に向上させることができる。また、ある程度の大きさの本体部５１を有する補正用治具５０は、工作機械を用いた切削加工によって低コストで作製することができる。したがって、この測定用治具１および測定用具１００によれば、低コストの補正用治具５０を用いて補正処理を行うことができるため、チップ部品Ｐについてのパラメータを測定する際の測定コストを十分に低減させることができる。

【0061】

また、この測定用治具１および測定用具１００によれば、保持用凹部２１の近傍に立設されて、被係合部としての位置決め用孔５１ａに挿通可能なガイドピン２６で案内部を構成したことにより、例えば、円柱状のガイドピン２６を採用することで、規定通り（設計通り）の形状のガイドピン２６を容易に作製することができるため、ガイドピン２６の作製コストを十分に低減することができる結果、測定用治具１および測定用具１００の製造コストを十分に低減することができる。

【0062】

また、この測定用治具１および測定用具１００では、補正用治具５０を規定位置に案内する際に補正用治具５０の本体部５１の嵌入が可能な嵌入用溝２５が形成されている。この場合、チップ部品Ｐを保持用凹部２１に案内する案内用凹部２２が測定用治具１に形成されている構成において、補正用治具５０の凸部５２の保持用凹部２１への嵌入を可能とするには、補正用治具５０の本体部５１を案内用凹部２２に挿入可能な大きさとする必要があり、案内用凹部２２の幅が狭いときには、本体部５１を取り扱いがし難い小形に形成する必要がある。これに対して、嵌入用溝２５を有するこの測定用治具１および測定用具１００によれば、嵌入用溝２５を案内用凹部２２よりも幅広に形成することで、本体部５１が案内用凹部２２の幅よりも大形で取り扱いがし易い補正用治具５０を用いて補正処理を行うことができるため、案内用凹部２２が測定用治具１に形成されている構成においても、補正処理の効率を十分に向上させることができる。

【0063】

また、この測定用治具１および測定用具１００によれば、接触子３１と、保持用凹部２１の底面に対して接触子３１を上下動させる上下動機構６（本例では、操作レバー３３、回動軸３４、偏芯カム３５、接触子保持部３６、基板３７およびスプリング３８等）とを備えたことにより、保持用凹部２１内にチップ部品Ｐを嵌入させる作業時に接触子３１を下動させておくことで接触子３１が破損する事態を好適に回避することができるだけでなく、保持用凹部２１内にチップ部品Ｐを嵌入させた後に各接触子３１を上動させることでその先端部をチップ部品Ｐの電極に好適な接触圧で押し付けることができるため、チップ部品Ｐについての各種パラメータを正確に測定することができる。

【0064】

また、この測定用治具１および測定用具１００によれば、規定位置に案内された補正用治具５０および保持用凹部２１によって保持されたチップ部品Ｐを底面に向けて押圧する押圧機構４（プッシャー４３等）を備えたことにより、規定位置に案内された補正用治具５０および保持用凹部２１によって保持されているチップ部品Ｐを各接触子３１に対して好適な押圧力で押し付けることができるため、パラメータを一層正確に測定することができる。

【0065】

また、この補正用治具５０および測定用具１００では、測定用治具１の保持用凹部２１に嵌入可能な凸部５２が形成されると共に、凸部５２が保持用凹部２１に嵌入する規定位置に補正用治具５０を案内するために測定用治具１に配設されたガイドピン２６（案内部）との係合が可能な位置決め用孔５１ａ（被係合部）が形成された本体部５１を備えて補正用治具５０が構成されている。このため、この補正用治具５０および測定用具１００では、凸部５２が小形の場合であっても、本体部５１をある程度（手作業での取り扱いがし易い程度）の大きさに形成することができる。この場合、このようなある程度の大きさの本体部５１を有する補正用治具５０は、工作機械を用いた切削加工によって低コストで作製することができる。したがって、この補正用治具５０および測定用具１００によれば、低コストの補正用治具５０を用いて補正処理を行うことができるため、チップ部品Ｐについてのパラメータを測定する際の測定コストを十分に低減させることができる。また、この補正用治具５０および測定用具１００によれば、手作業での取り扱い（指先での挟持）がし易い大きさに本体部５１を形成することができるため、チップ部品Ｐと同形状に形成されている補正用治具を測定用治具１の保持用凹部２１に嵌入させて補正処理を行う構成と比較して、補正用治具５０を測定用治具１（位置決め部２）に容易にセットすることができる。また、この補正用治具５０および測定用具１００によれば、補正用治具５０の位置決め用孔５１ａにガイドピン２６を挿通させるだけで、補正用治具５０を嵌入位置に確実に案内して位置決めさせることができる。したがって、この補正用治具５０および測定用具１００によれば、補正処理の作業効率を十分に向上させることができる。

【0066】

なお、測定用治具および測定用具の構成は、上記の構成に限定されない。例えば、案内部としての円柱状のガイドピン２６を備えた測定用治具１、およびガイドピン２６に係合可能（ガイドピン２６を挿入可能）な被係合部としての円形の位置決め用孔５１ａを備えた補正用治具５０を例に挙げて説明したが、案内部および被係合部を他の形状に形成することもできる。具体的には、案内部としてのガイドピンを断面が楕円形や多角形の形状の柱状に形成し、被係合部としての位置決め用孔をこれらのガイドピンを挿入（係合）可能な断面に形成することもできる。また、溝が形成されたガイド部材を案内部とすると共に、ガイド部材の溝に係合する部材を被係合部とする構成を採用することもできる。

【0067】

また、補正処理の際に、各接触子３１同士を短絡させていない状態をオープン状態としてパラメータを測定する例について上記したが、非導電性材料で作製した非導電性の補正用治具を用いて各接触子３１同士をオープン状態とし、その状態でパラメータを測定する補正を採用することもできる。この場合、補正用治具５０と同形状の補正用治具を非導電性材料で作製し、その補正用治具における凸部（上記した凸部５２と同形状の凸部）を保持用凹部２１に嵌入させて、各接触子３１の先端部に接触させることで、各接触子３１同士を確実にオープン状態とさせることができる。

【0068】

また、平面視における保持用凹部２１の一端部側および他端部側に案内用溝２３がそれぞれ形成された案内用凹部２２を有する位置決め部２（測定用治具１）を例に挙げて説明したが、図１７に示す測定用治具１Ａにおける位置決め部２ａのように、平面視における保持用凹部２１の一端部側（同図における上端部側）だけに案内用溝２３を形成した案内用凹部２７ａを「案内用凹部」として形成することもできる。なお、同図および図１８において、上記の測定用治具１における各構成要素と同様の機能を有する構成要素については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。また、プッシャー４３の当接を回避するための当接回避用凹部２４を形成した例について説明したが、当接回避用凹部２４については必須の構成要素ではなく、これを形成しない構成を採用することもできる（図示せず）。

【0069】

さらに、底部から遠ざかるほど大きく傾斜する湾曲面で構成した傾斜面Ｆを有する案内用凹部２２を例に挙げて説明したが、このような構成に代えて、図１８に示す測定用治具１Ｂにおける位置決め部２ｂのように、傾斜が一定の傾斜面Ｆｂを有する案内用凹部２７ｂを「案内用凹部」として形成することもできる。

【符号の説明】

【0070】

１，１Ａ，１Ｂ 測定用治具
２，２ａ，２ｂ 位置決め部
３ 接続部
４ 押圧機構
５ 筐体
６ 上下動機構
１１ ベース部
１１ａ，１１ｂ ベース板
１２ 凹部形成片
１３ 支持ブロック
１４ ブラケット
２１，２１ａ〜２１ｃ 保持用凹部
２２，２２ａ〜２２ｃ 案内用凹部
２３，２３ａ〜２３ｃ 案内用溝
２４ 当接回避用凹部
２５ 嵌入用溝
２６ ガイドピン
３１ 接触子
３２ 接続用コネクタ
３３ 操作レバー
３４ 回動軸
３５ 偏芯カム
３６ 接触子保持部
３６ａ，３６ｂ 保持板
３７ 基板
３８ スプリング
４１ ガイドレール
４２ アーム
４３ プッシャー
４３ａ ウェイト
５０，５０ａ〜５０ｃ 補正用治具
５１ 本体部
５１ａ 位置決め用孔
５１ｂ 先端面
５２ 凸部
１００ 測定用具
Ｆ，Ｆｂ 傾斜面
Ｐ チップ部品

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】