特許 6469469 光導波路モジュール

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6469469

(24)【登録日】2019年1月25日

(45)【発行日】2019年2月13日

(54)【発明の名称】光導波路モジュール

(51)【国際特許分類】

   G02B 6/12 20060101AFI20190204BHJP

   G02B 6/43 20060101ALI20190204BHJP

   H01S 5/022 20060101ALI20190204BHJP

【ＦＩ】

   G02B6/12 301

   G02B6/43

   H01S5/022

【請求項の数】8

【全頁数】17

(21)【出願番号】特願2015-22621(P2015-22621)

(22)【出願日】2015年2月6日

(65)【公開番号】特開2016-145907(P2016-145907A)

(43)【公開日】2016年8月12日

【審査請求日】2017年12月1日

(73)【特許権者】

【識別番号】501398606

【氏名又は名称】富士通コンポーネント株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100107766

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠重

(74)【代理人】

【識別番号】100070150

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠彦

(72)【発明者】

【氏名】甲把 理恵

(72)【発明者】

【氏名】大工原 治

(72)【発明者】

【氏名】秋枝 真一郎

(72)【発明者】

【氏名】森山 聡史

(72)【発明者】

【氏名】張 弘飛

(72)【発明者】

【氏名】神田 充貴

【審査官】 山本 貴一

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０００−０９８１５３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−１２０９５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−２３２３１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１０／０１４２８９６（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特開２００８−１５８４４０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−２４２７０６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−１９４２８６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−２８１９２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−１７５４１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１６−００４１６８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０２Ｂ ６／１２，６／１２２，６／４３

Ｈ０１Ｓ ５／０２２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の光導波路が形成されている光導波路シートと、
前記光導波路シートの一方の面側に設置された発光素子及び受光素子と、
を有し、
前記光導波路には、前記光導波路の一方の端部側より入射した光を前記受光素子に反射し、または、前記発光素子から出射した光を前記一方の端部側に向けて反射する入出力ミラーと、前記光導波路の他方の端部側より入射した光を前記光導波路シートの面に向けて反射する位置合わせミラーと、前記位置合わせミラーと前記他方の端部との間に形成された、前記光導波路が除去されたスリットとが形成されていることを特徴とする光導波路モジュール。

【請求項2】

前記位置合わせミラーおよび前記スリットは、前記複数の光導波路のうちの一部の光導波路に設けられていることを特徴とする、請求項１に記載の光導波路モジュール。

【請求項3】

複数の光導波路が形成されている光導波路シートと、
前記光導波路シートの面に設置された発光素子及び受光素子と、
前記光導波路に形成され、前記光導波路シートの一方の面から入射する光を前記光導波路に向けて反射する第一のミラーと、
前記光導波路に形成され、前記第一のミラーで反射され前記光導波路を伝搬した光を、前記光導波路シートの他方の面に向けて反射する第二のミラーと、
を有し、
前記他方の面に第１の溝が形成されており、
前記第一のミラーは前記第１の溝の斜面に形成されており、
前記一方の面に第２の溝が形成されており、
前記第二のミラーは前記第２の溝の斜面に形成されていることを特徴とする、光導波路モジュール。

【請求項4】

前記光導波路には、光信号を伝搬しないダミー光導波路が設けられ、
前記第一のミラーおよび前記第二のミラーは、前記ダミー光導波路に設けられていることを特徴とする、請求項３に記載の光導波路モジュール。

【請求項5】

複数の光導波路が形成されている光導波路シートと、
前記光導波路シートの一方の面に設置された発光素子及び受光素子と、
を有し、
前記複数の光導波路のうちの少なくとも一部の光導波路には、前記光導波路シートの一方の面より前記光導波路を除去して形成される斜面を有する第１の溝及び第２の溝と、前記第１の溝及び前記第２の溝が形成されている面の反対側の面より前記光導波路を除去して形成される斜面を有する第３の溝及び第４の溝が形成されており、
前記第１の溝の反対側に前記第３の溝が形成され、前記第２の溝の反対側に前記第４の溝が形成されていることを特徴とする光導波路モジュール。

【請求項6】

前記光導波路には、光信号を伝搬しないダミー光導波路が設けられ、
前記第１の溝、第２の溝、第３の溝及び第４の溝は、前記ダミー光導波路に設けられていることを特徴とする、請求項５に記載の光導波路モジュール。

【請求項7】

複数の光導波路が形成されている光導波路シートと、
前記光導波路シートの一方の面側に設置された発光素子及び受光素子と、
前記光導波路に形成され、前記光導波路の一方の端部より入射した光を前記光導波路シートの一方の面に向けて反射するミラーを有し、
前記ミラーは、前記光導波路シートの他方の面の光導波路に形成された溝の斜面により形成されており、
前記ミラーには、認識マークが設けられており、
前記認識マークは、前記斜面の中央部分に前記光導波路の幅方向にわたって直線状に形成されていることを特徴とする光導波路モジュール。

【請求項8】

前記光導波路シートにおいて、前記複数の光導波路が配列されている両側に、各々ダミーコアが設けられていることを特徴とする請求項４または６に記載の光導波路モジュール。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、光導波路モジュールに関する。

【背景技術】

【0002】

光通信等において、発光素子や受光素子が光導波路に実装されている光導波路モジュールがある。このような光導波路モジュールは、発光素子からの光が光導波路に入射するように、また、光導波路からの光が受光素子に入射するように、発光素子及び受光素子と光導波路との位置合わせを行った後、接合することにより作製される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００９−６９３６０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

光導波路モジュールを作製する方法としては、光導波路、発光素子や受光素子に、あらかじめ位置合わせマークを形成しておき、位置合わせマークにより位置合わせを行い実装するパッシブ実装と、光源等の光を光導波路に入射させて、光量を測定しながら、光量損失の最も少ない位置になるように位置合わせを行い実装するアクティブ実装とがある。

【0005】

アクティブ実装では、光量を計測しながら位置合わせを行うため、位置合わせに時間を要し、生産性が低く、製造される光導波路モジュールが高コストなものとなってしまう。従って、光導波路モジュールを低コストにて作製するにはパッシブ実装が好ましい。パッシブ実装には、光導波路に光を入射させて、光を入射させた光導波路の一部を基準として位置合わせする方法があるが、光導波路に光を入射させる光源が光量を調節することができないと、光導波路の所望の位置に発光素子や受光素子を実装することができず、光導波路モジュールにおいて所望の特性を得ることができない場合がある。

【0006】

このため、光導波路に発光素子又は受光素子が実装された光導波路モジュールにおいては、低コストで作製することができ、所望の特性を得ることのできる光導波路モジュールが求められている。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本実施の形態の一観点によれば、複数の光導波路が形成されている光導波路シートと、前記光導波路シートの一方の面側に設置された発光素子及び受光素子と、を有し、前記光導波路には、前記光導波路の一方の端部側より入射した光を前記受光素子に反射し、または、前記発光素子から出射した光を前記一方の端部側に向けて反射する入出力ミラーと、前記光導波路の他方の端部側より入射した光を前記光導波路シートの面に向けて反射する位置合わせミラーと、前記位置合わせミラーと前記他方の端部との間に形成された、前記光導波路が除去されたスリットとが形成されていることを特徴とする。

【発明の効果】

【0008】

開示の光導波路モジュールによれば、低コストで作製することができ、所望の特性を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】光導波路モジュールの構造図

【図2】光導波路モジュールの分解斜視図

【図3】光導波路モジュールの斜視図

【図4】光導波路シートとレンズシートの位置がずれて実装されたものの説明図

【図5】第１の実施の形態における光導波路モジュールの構造図

【図6】第１の実施の形態における光導波路モジュールの分解斜視図

【図7】第１の実施の形態における光導波路モジュールの斜視図

【図8】光導波路シートにおける光導波路の説明図

【図9】第１の実施の形態における光導波路シートの構造図

【図10】第１の実施の形態における光導波路シートの要部拡大図

【図11】第１の実施の形態における光導波路シートの説明図（１）

【図12】第１の実施の形態における光導波路シートの説明図（２）

【図13】第２の実施の形態における光導波路シートの要部拡大図（１）

【図14】第２の実施の形態における光導波路シートの説明図（１）

【図15】第２の実施の形態における光導波路シートの説明図（２）

【図16】第２の実施の形態における光導波路シートの要部拡大図（２）

【図17】第２の実施の形態における光導波路シートの説明図（３）

【図18】第３の実施の形態における光導波路シートの要部拡大図

【図19】第３の実施の形態における光導波路シートの説明図

【図20】第４の実施の形態における光導波路シートの要部拡大図

【図21】第４の実施の形態における光導波路シートの説明図

【図22】第５の実施の形態における光導波路シートの要部拡大図

【図23】第５の実施の形態における光導波路シートの説明図

【発明を実施するための形態】

【0010】

本発明を実施するための形態について、以下に説明する。尚、同じ部材等については、同一の符号を付して説明を省略する。

【0011】

最初に、光導波路モジュールを作製する際の光導波路への発光素子及び受光素子の実装について、図１〜図３に基づき説明する。図１〜図３に示されるように、光導波路モジュールは、光導波路シート９１０の上に、レンズシート９２０、フレキシブル基板９３０を順に積層して、接合することにより形成されている。フレキシブル基板９３０には、ＶＣＳＥＬ（Vertical Cavity Surface Emitting LASER）等の発光素子９４１やＰＤ（Photodiode）等の受光素子９４２、発光素子９４１を駆動するドライバ９４３、受光素子９４２からの信号を増幅するＴＩＡ（Transimpedance Amplifier）９４４等がフリップチップ実装されている。

【0012】

光導波路シート９１０には、その幅方向に沿って複数の光導波路９１１が設けられている。各々の光導波路９１１には、発光素子９４１から出射された光を光導波路９１１に入射させ、また、光導波路９１１における光を受光素子９４２に入射させるため、光導波路シート９１０の表面に対し約４５°の角度の斜面からなるミラー９１２が形成されている。レンズシート９２０には、複数のレンズ９２１が設けられており、光導波路シート９１０とフレキシブル基板９３０との間に設置されている。光導波路シート９１０の一方の端部９１０ａには、外部より各々の光導波路９１１に光を入出力するためのレンズ付きフェルール９５０が接続される。

【0013】

光導波路シート９１０、レンズシート９２０、発光素子９４１及び受光素子９４２は、レンズ付きフェルール９５０から光導波路シート９１０の光導波路９１１に入射した光が、光導波路９１１に設けられたミラー９１２により光導波路シート９１０の表面に対し垂直方向に向けて反射されて、レンズシート９２０におけるレンズ９２１を介して受光素子９４２に入射するように、また、発光素子９４１において発光した光が、レンズシート９２０におけるレンズ９２１を介して光導波路９１１に形成されたミラー９１２に入射し、ミラー９１２により反射されて光導波路９１１に入射するように、位置合わせがなされて接合されることが求められる。

【0014】

光導波路モジュールを作製する際には、低コスト化のためにはパッシブ実装が好ましいが、光導波路９１１に光を入射させることなくミラー９１２の位置を基準に各部の位置合わせを行う場合、ミラー９１２の部分が暗くなるため、ミラー９１２の位置を明確に視認することが困難であり、各部の正確な位置合わせを行うことはできない。

【0015】

このため、レンズ付きフェルール９５０より光導波路９１１に光を入射させた状態で、ミラー９１２で反射した光を用いてミラー９１２の位置を検出する方法がある。しかし、この方法の場合、ミラー９１２の境界が不明確となり、ミラー９１２の位置を正しく認識できない可能性があるため、光導波路シート９１０に対するレンズシート９２０の位置合わせを正確に行うことが困難となる。ミラー９１２の境界が不明確となるのは、１つには、ミラー９１２はある程度の面積を有する領域であるため、ミラー９１２いずれかの部分に焦点を合わせても、ミラー９１２の境界でデフォーカスとなる部分があるからである。また、光導波路９１１に光を入射させる光源は、専用の光源であり光量を調節することができない。このため、光導波路９１１のミラー９１２で反射する光が強すぎるとコントラストも強くなってしまい、ミラー９１２の境界部分の周囲にまで散乱光が漏れて、強い散乱光によりミラー９１２の境界部分が不鮮明となるからである。

【0016】

従って、上記の方法により位置合わせを行うと、図４に示すように、光導波路９１１のミラー９１２の位置とレンズシート９２０のレンズ９２１の位置とがずれてしまう場合がある。この位置で光導波路シート９１０とレンズシート９２０とを接合すると、光導波路９１１のミラー９１２において反射した光がレンズ９２１に入射せず、また、発光素子９４１から出射してレンズ９２１を介した光が光導波路９１１のミラー９１２に入射しないため、作製された光導波路モジュールは、所望の特性を得ることができない。

【0017】

従って、レンズ付きフェルール９５０から光導波路シート９１０の光導波路９１１に入射した光が、光導波路９１１に設けられたミラー９１２で反射してレンズシート９２０のレンズ９２１を介して受光素子９４２に入射するように、また、発光素子９４１において発光した光が、レンズシート９２０のレンズ９２１を介してミラー９１２に入射し、ミラー９１２により反射して光導波路９１１に入射するように、光導波路シート９１０、レンズシート９２０、発光素子９４１及び受光素子９４２の位置合わせがなされた光導波路モジュールが求められている。

【0018】

〔第１の実施の形態〕
次に、第１の実施の形態について説明する。本実施の形態における光導波路モジュールは、図５から図７に示されるように、光導波路シート１０の一方の面１０ｃの上に、レンズシート２０、フレキシブル基板３０を順に積層することにより形成されている。フレキシブル基板３０には、ＶＣＳＥＬ等の発光素子４１やＰＤ等の受光素子４２、発光素子４１を駆動するドライバ４３、受光素子４２からの信号を増幅するＴＩＡ４４等がフリップチップ実装されている。光導波路シート１０の一方の端部１０ａには、外部より各々の光導波路１１に光を入出力するためのレンズ付きフェルール５０が接続されている。

【0019】

図８に示されるように、光導波路シート１０には、光導波路１１となるコアが複数設けられており、光導波路１１となるコアの周囲は、クラッド１２により覆われている。クラッド１２の図示上下の両面には、各々ポリイミド層１３が形成されている。本実施の形態においては、光導波路１１となるコアの屈折率は約１．６であり、クラッド１２の屈折率は約１．５となるように形成されている。尚、図８は、光導波路シート１０の一方の端部１０ａ等から見た斜視図である。

【0020】

次に、本実施の形態における光導波路モジュールの光導波路シート１０について、図５、図９から図１１に基づき説明する。図９は、光導波路シート１０の全体を示し、図１０は、光導波路シート１０の他方の端部１０ｂ近傍の拡大図であり、図１１（ａ）は、図１０において一点鎖線１０Ａで囲まれた領域の拡大図であり、図１１（ｂ）は、図１１（ａ）における一点鎖線１１Ａ−１１Ｂにおいて切断した断面図である。

【0021】

図５及び図１１に示されるように、光導波路シート１０には、入出力ミラー１４と位置合わせミラー１５が形成されている溝１６と、スリット部１７とが設けられている。位置合わせミラー１５は、光導波路モジュールへの各部搭載の位置合わせに用いるミラーであり、入出力ミラー１４の位置を認識するためのマークとして機能する。

【0022】

溝１６は、光導波路シート１０の他方の面１０ｄに２つの斜面を形成することで形成される。入出力ミラー１４を形成する面と位置合わせミラー１５を形成する面とは、略直角となる。スリット部１７は、光導波路シート１０の他方の面１０ｄの側より、溝１６よりも他方の端部１０ｂ側の光導波路１１を除去することにより形成されている。従って、スリット部１７は、光導波路シート１０の他方の端部１０ｂと溝１６との間に形成されている。

【0023】

溝１６及びスリット部１７は、エキシマレーザ等を用いたレーザ加工によりクラッド１２の一部と光導波路１１を除去することにより形成されており、形成された光導波路１１の面は平坦であるため、ミラーとして機能する。尚、溝１６、スリット部１７は、ダイシングなどによっても形成可能である。

【0024】

本実施の形態においては、光導波路シート１０の一方の端部１０ａより入射した光は、入出力ミラー１４により反射され、光導波路シート１０の他方の端部１０ｂより入射した光は位置合わせミラー１５により反射される。

【0025】

図５に示されるように、入出力ミラー１４は、発光素子４１から出射された光を光導波路１１に入射させ、また、光導波路１１における光を受光素子４２に入射させるミラーであり、光導波路シート１０の表面に対し約４５°の角度の斜面を形成することにより形成されている。レンズシート２０には、複数のレンズ２１が設けられており、光導波路シート１０とフレキシブル基板３０との間に設置されている。

【0026】

本実施の形態において、光導波路シート１０とレンズシート２０を接合する際には、図１１（ｂ）における破線矢印Ａに示されるように、光導波路シート１０の他方の端部１０ｂより光導波路１１に光を入射させる。光導波路シート１０の他方の端部１０ｂより光導波路１１に入射した光は、光導波路１１よりスリット部１７の一方の面１７ａから出射され、スリット部１７の他方の面１７ｂから光導波路１１に入射する。スリット部１７には、コアとクラッドとが形成されていないため、光導波路１１を通りスリット部１７の一方の面１７ａから出射された光はスリット部１７において拡散し、拡散した光の一部がスリット部１７の他方の面１７ｂから光導波路１１に入射する。スリット部１７の一方の面１７ａから出射する光よりも、スリット部１７の他方の面１７ｂから光導波路１１に入射した光の方が弱くなるため、スリット部１７を設けることにより、位置合わせミラー１５に入射する光量を減らすことができる。

【0027】

スリット部１７の他方の面１７ｂより光導波路１１に入射して光導波路１１内を伝播する光は、位置合わせミラー１５により反射されるが、スリット部１７を通過することによって位置合わせミラー１５に入射する光量が減らされているため、位置合わせミラー１５の境界の周囲に漏れる散乱光を減らすことができ、位置合わせミラー１５を撮像した際のコントラストが低くなるので位置合わせミラー１５の境界が明確となる。

【0028】

これにより、本実施の形態における光導波路モジュールは、位置合わせミラー１５において反射された光を用いて位置合わせを行うことができ、光導波路シート１０に対するレンズシート２０の位置合わせを正確に行うことができる。

【0029】

従って、本実施の形態においては、光導波路シート１０の光導波路１１に入射した光が入出力ミラー１４により反射されてレンズ２１を介して受光素子４２に入射するように、また、発光素子４１からの光がレンズ２１を介し入出力ミラー１４に入射して反射し光導波路１１に入射するように、光導波路シート１０、レンズシート２０、発光素子４１及び受光素子４２の位置合わせを行うことができる。このように位置合わせがなされた状態で各部を接合することにより、光導波路シート１０、レンズシート２０、発光素子４１及び受光素子４２が所望の位置となる光導波路モジュールを作製することができる。

【0030】

上記においては、図１１（ｂ）における破線矢印Ａに示されるように、光導波路シート１０の他方の端部１０ｂより光導波路１１に光を入射させて位置合わせミラーの位置を判別して位置合わせを行う場合について説明したが、図１２に示されるように、光導波路シート１０のレンズシート２０が接合される一方の面１０ｃより破線矢印Ｂに示されるように光を入射させてもよい。破線矢印Ｂに示されるように光導波路シート１０の一方の面１０ｃより入射した光は位置合わせミラー１５により反射され、光導波路１１内を伝搬した後、光導波路１１とスリット部１７との界面となる他方の面１７ｂにおいて反射され、再び、光導波路１１を伝播して位置合わせミラー１５により入射光が入射した側に反射される。この場合、光源と画像認識のためのカメラ等を同じ位置に設置することができ、照明付き画像認識カメラ等を用いることが可能となる。照明付き画像認識カメラは光源の光量を調節することが可能であるため、破線矢印Ｂに入射させる光の光量を調節することにより、位置合わせミラー１５により反射される光の光量を所望の光量にすることができる。

【0031】

〔第２の実施の形態〕
次に、第２の実施の形態について説明する。図１３は、本実施の形態における光導波路シート１０における他方の端部１０ｂ近傍の拡大図であり、図１４（ａ）は、図１３において一点鎖線１３Ａで囲まれた領域の拡大図であり、図１４（ｂ）は、図１４（ａ）における一点鎖線１４Ａ−１４Ｂにおいて切断した断面図である。

【0032】

本実施の形態における光導波路モジュールでは、光導波路シート１０に光信号伝搬用の光導波路としては用いないダミーコア１１１を設け、図１４に示されるように、ダミーコア１１１に、第１の位置合わせミラー１１５を形成する第１の溝１１６と第２の位置合わせミラー１２５を形成する第２の溝１２６が設けられている。具体的には、ダミーコア１１１が設けられている部分の光導波路シート１０の一方の面１０ｃに、第１の位置合わせミラー１１５を形成する第１の溝１１６が形成されており、他方の面１０ｄに、第２の位置合わせミラー１２５を形成する第２の溝１２６が形成されている。尚、以下ダミーコアと光信号伝搬に用いる光導波路とを総称して「光導波路」と称する場合がある。

【0033】

第１の溝１１６は、光導波路シート１０の一方の面１０ｃに、光導波路シート１０の一方の面１０ｃに対して第１の位置合わせミラー１１５を形成する面が約４５°となるような溝を形成することにより形成されている。第２の溝１２６は、光導波路シート１０の他方の面１０ｄに、光導波路シート１０の一方の面１０ｃに対して第２の位置合わせミラー１２５の形成する面が約４５°となるような溝を形成することにより形成されている。よって、第１の位置合わせミラー１１５を形成する面と第２の位置合わせミラー１２５の形成する面とは、略平行となるように形成されている。第１の溝１１６及び第２の溝１２６は、エキシマレーザ等を用いたレーザ加工やダイシングによりクラッド１２とダミーコア１１１を除去することにより形成されている。形成されたダミーコア１１１の斜面は平坦であり、ミラーとして機能する。また、第１の溝１１６および第２の溝１２６は、光導波路１１に形成されている入出力ミラー１４と同様の加工で形成されるため、高精度で形成することができる。

【0034】

本実施の形態においては、破線矢印Ｃに示されるように光導波路シート１０の他方の面１０ｄより第１の位置合わせミラー１１５が形成されている位置に光を入射する。入射した光は、第１の位置合わせミラー１１５及び第２の位置合わせミラー１２５で反射され、光導波路シート１０の一方の面１０ｃより出射する。光導波路モジュールを構成する各部の位置合わせの際には、光導波路シート１０の一方の面１０ｃより出射された光を用いて第２の位置合わせミラー１２５の位置を判別することで位置合わせを行うが、光導波路シート１０の他方の面１０ｄより光を入射させる光源には、ＬＥＤ等の一般的な光源を用いることができるため、光量調節可能である。このように、光源の光量調節が可能であれば、第２の位置合わせミラー１２５において反射される光も減らすことができるため、ミラーでのコントラストが弱まることで第２の位置合わせミラー１２５の境界が明確となり、光導波路シート１０とレンズシート２０との正確な位置合わせを行うことが可能となる。

【0035】

本実施の形態においては、図１５に示すように、平面光源１６０を光導波路シート１０の他方の面１０ｄの側に設置し、平面光源１６０からの光を第１の位置合わせミラー１１５により反射させ、ダミーコア１１１内を伝播させ、第２の位置合わせミラー１２５により反射させてもよい。このように、平面光源１６０を用いることにより、第１の位置合わせミラー１１５に容易に光を入射させることができる。

【0036】

また、本実施の形態における光導波路モジュールは、図１７に示すように、光導波路シート１０に設けられている複数の光導波路１１の少なくとも一部に第１の位置合わせミラー１１５及び第２の位置合わせミラー１２５が形成されたものであってもよい。尚、図１６は、本実施の形態における光導波路シート１０における他方の端部１０ｂ近傍の拡大図であり、図１７（ａ）は、図１６において一点鎖線１６Ａで囲まれた領域の拡大図であり、図１７（ｂ）は、図１７（ａ）における一点鎖線１７Ａ−１７Ｂにおいて切断した断面図である。図１７（ａ）では、図示右側の光導波路１１に第１の位置合わせミラーと第２の位置合わせミラーとが形成されている。

【0037】

図１７に示す第２の溝１２６は２つの斜面により形成されており、一方の斜面により第２の位置合わせミラー１２５が形成され、他方の斜面により入出力ミラー１４が形成されている。また、第２の溝１２６は、入出力ミラー１４を形成する面と第２の位置合わせミラー１２５を形成する面とが略直角となるように形成される。また、第１の溝１１６は、光導波路シート１０の他方の端部１０ｂと第２の溝１２６との間に形成される。よって、光導波路シート１０において、第１の位置合わせミラー１１５及び第２の位置合わせミラー１２５は、入出力ミラー１４よりも、光導波路シート１０の他方の端部１０ｂ側に形成される。

【0038】

この場合、光は、図１７（ｂ）における破線矢印Ｄに示されるように、光導波路シート１０の他方の面１０ｄより入射し、第１の位置合わせミラー１１５及び第２の位置合わせミラー１２５において反射され、光導波路シート１０の一方の面１０ｃより出射される。

【0039】

尚、上記以外の第２の実施の形態の構成は、第１の実施の形態と同様である。

【0040】

〔第３の実施の形態〕
次に、第３の実施の形態について説明する。図１８は、本実施の形態における光導波路シート１０における他方の端部１０ｂ近傍の拡大図であり、図１９（ａ）は、図１８において一点鎖線１８Ａで囲まれた領域の拡大図であり、図１９（ｂ）は、図１９（ａ）における一点鎖線１９Ａ−１９Ｂにおいて切断した断面図である。

【0041】

本実施の形態における光導波路モジュールは、図１９に示されるように、光導波路としては用いられないダミーコア１１１が光導波路シート１０に設けられており、光導波路シート１０のダミーコア１１１が設けられている位置の一方の面１０ｃには、第１の溝２１６と第２の溝２２６が設けられており、他方の面１０ｄには、第３の溝２３６と第４の溝２４６が設けられている。

【0042】

図１９（ｂ）に図示するように、光導波路シート１０の一方の面１０ｃに形成される第１の溝２１６と、他方の面１０ｄに形成される第３の溝２３６とは、ダミーコア１１１を挟んで同じ位置に形成されている。同様に、光導波路シート１０の一方の面１０ｃに形成される第２の溝２２６と、他方の面１０ｄに形成される第４の溝２４６とは、ダミーコア１１１を挟んで同じ位置に形成されている。第２の溝２２６及び第４の溝２４６は、第１の溝２１６及び第３の溝２３６よりも、光導波路シート１０の他方の端部１０ｂ側に形成されている。

【0043】

第１の溝２１６及び第２の溝２２６は、光導波路シート１０の一方の面１０ｃからダミーコア１１１の略中央まで溝を形成することにより形成されている。また、第３の溝２３６及び第４の溝２４６は、光導波路シート１０の他方の面１０ｄからダミーコア１１１の略中央まで溝を形成することにより形成されている。

【0044】

第１の溝２１６、第２の溝２２６、第３の溝２３６及び第４の溝２４６は、エキシマレーザ等を用いたレーザ加工によりクラッド１２の一部とダミーコア１１１を除去することにより形成されている。尚、各溝形成の手法はレーザ加工には限定されない。各々の溝の加工により形成されたダミーコア１１１の斜面は平坦であり、ミラーとして機能する。

【0045】

本実施の形態においては、第１の溝２１６に形成される斜面、第２の溝２２６に形成される斜面、第３の溝２３６に形成される斜面、第４の溝２４６に形成される斜面により、各々位置合わせミラー２４５が形成されている。

【0046】

本実施の形態においては、第１の溝２１６と第３の溝２３６、第２の溝２２６と第４の溝２４６がそれぞれ同じ位置に形成されている。そのため、光導波路シート１０の一方の面１０ｃより入射した光を光導波路シート１０の一方の面１０ｃ及び他方の面１０ｄのいずれの面からも出射させることができる。同様に、光導波路シート１０の他方の面１０ｄより入射した光を、光導波路シート１０の一方の面１０ｃ及び他方の面１０ｄのいずれの面からも出射させることができる。

【0047】

よって、本実施の形態においては、光導波路モジュールを作製する際に、光導波路シート１０の一方の面１０ｃ及び他方の面１０ｄのうちのいずれの面からも光を入射させることができる。

【0048】

尚、上記以外の内容については、第１の実施の形態と同様である。

【0049】

〔第４の実施の形態〕
次に、第４の実施の形態について説明する。図２０は、光導波路シート１０における他方の端部１０ｂ近傍の拡大図であり、図２１（ａ）は、図２０において一点鎖線２０Ａで囲まれた領域の拡大図であり、図２１（ｂ）は、図２１（ａ）における一点鎖線２１Ａ−２１Ｂにおいて切断した断面図である。
本実施の形態における光導波路モジュールは、図２１に示されるように、光導波路シート１０における光導波路１１に、入出力ミラー１４と位置合わせミラー１５とが形成される溝１６と、位置合わせミラー１５の中央部分の認識マーク３１５とが設けられている。

【0050】

溝１６は、光導波路シート１０の他方の面１０ｄから、入出力ミラー１４を形成する面と位置合わせミラー１５を形成する面とが略直角となるような溝を形成することにより形成されている。尚、位置合わせミラー１５は、入出力ミラー１４よりも、光導波路シート１０の他方の端部１０ｂ側に形成されている。

【0051】

溝１６は、エキシマレーザ等を用いたレーザ加工などによりクラッド１２の一部と光導波路１１を除去することにより形成されている。加工により形成された光導波路１１の面は平坦でミラーとして機能する。また、認識マーク３１５は、光導波路１１に形成された位置合わせミラー１５となる斜面の中央部分にレーザ加工等により形成されている。図２１（ａ）に示すように、認識マーク３１５は光導波路の幅方向にわたって、直線状に形成されている。

【0052】

本実施の形態で、光導波路１１に一方の端部１０ａより入射した光は、入出力ミラー１４により反射され、他方の端部１０ｂより入射した光は位置合わせミラー１５により反射される。

【0053】

位置合わせミラー１５の認識マーク３１５が形成されている部分では光が散乱されるため、認識マーク３１５が形成されている部分は暗くなる。これにより、光導波路シート１０の他方の面１０ｄから認識マーク３１５が形成されている部分を認識することができる。認識マーク３１５は、位置合わせミラー１５を形成する斜面の中央部分に形成されているため、認識マーク３１５に焦点を合わせることにより、位置合わせミラー１５の中央部分を確認することができるため、実装精度を向上させることができる。

【0054】

本実施の形態において、光導波路シート１０とレンズシート２０を接合する際には、図２１（ｂ）における破線矢印Ｇに示されるように、光導波路シート１０の他方の端部１０ｂより光導波路１１に光を入射させる。光導波路１１に入射した光は位置合わせミラー１５により反射されるが、位置合わせミラー１５の中央部分には認識マーク３１５が形成されているため、位置合わせミラー１５の中央部分を認識することができる。これにより、光導波路シート１０に対するレンズシート２０の位置合わせを正確に行うことが可能となる。

【0055】

尚、上記以外の内容については、第１の実施の形態と同様である。

【0056】

〔第５の実施の形態〕
次に、第５の実施の形態について説明する。図２２は、本実施の形態における光導波路シート１０における他方の端部１０ｂ近傍の拡大図であり、図２３は、図２２において一点鎖線２２Ａで囲まれた領域の拡大図である。
本実施の形態における光導波路モジュールは、図２２及び図２３に示されるように、光導波路シート１０において、複数の光導波路１１が配列されており、光導波路１１の配列方向の両側に各々ダミーコア１１１が設けられている。図２３に示すように、両側の各々のダミーコア１１１には、第２の実施の形態における第１の位置合わせミラー１１５を有する第１の溝１１６及び第２の位置合わせミラー１２５を有する第２の溝１２６が設けられている。

【0057】

本実施の形態においては、配列されている複数の光導波路１１の配列方向の両側に位置するダミーコア１１１に、位置合わせに用いる第１の位置合わせミラー１１５及び第２の位置合わせミラー１２５が形成されている。光導波路の両側に位置するダミーコアに位置合わせミラーを形成しているので、互いに離れた位置にある位置合わせミラーの位置を判別することができ、位置合わせ精度をより一層高めることができる。

【0058】

尚、上記以外の内容については、第２の実施の形態と同様である。また、本実施の形態は、他の実施の形態における光導波路モジュールにも適用可能である。例えば、図２２及び図２３では両側にダミーコアを設けているが、両側に位置する光信号を伝送するための光導波路に第１の溝と第２の溝とを形成してもよい。また、全ての光導波路（ダミーコアを含む）に第１の溝と第２の溝とを形成しつつ、両側の光導波路に形成されている位置合わせミラーの位置判別のみを行うようにしても、本実施の形態と同様に位置合わせ制度を高めることは可能である。

【0059】

以上、本発明の実施に係る形態について説明したが、上記内容は、発明の内容を限定するものではない。

【符号の説明】

【0060】

１０ 光導波路シート
１０ａ 一方の端部
１０ｂ 他方の端部
１０ｃ 一方の面
１０ｄ 他方の面
１１ 光導波路（コア）
１２ クラッド
１３ ポリイミド層
１４ 入出力ミラー
１５ 位置合わせミラー
１６ 溝
１７ スリット部
２０ レンズシート
２１ レンズ
３０ フレキシブル基板
４１ 発光素子
４２ 受光素子
４３ ドライバ
４４ ＴＩＡ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】