特許 6471503 光照射装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6471503

(24)【登録日】2019年2月1日

(45)【発行日】2019年2月20日

(54)【発明の名称】光照射装置

(51)【国際特許分類】

   F21S 2/00 20160101AFI20190207BHJP

   F21V 7/28 20180101ALI20190207BHJP

   F21V 9/08 20180101ALI20190207BHJP

   F21V 13/08 20060101ALI20190207BHJP

   F21V 15/04 20060101ALI20190207BHJP

   F21V 17/00 20060101ALI20190207BHJP

   B05C 9/12 20060101ALN20190207BHJP

   F21Y 101/00 20160101ALN20190207BHJP

   F21Y 115/10 20160101ALN20190207BHJP

   F21Y 103/00 20160101ALN20190207BHJP

【ＦＩ】

   F21S2/00 311

   F21V7/28 240

   F21V9/08

   F21V13/08

   F21S2/00 340

   F21V15/04

   F21V17/00 451

   !B05C9/12

   F21Y101:00 300

   F21Y115:10

   F21Y103:00

【請求項の数】4

【全頁数】10

(21)【出願番号】特願2015-2867(P2015-2867)

(22)【出願日】2015年1月9日

(65)【公開番号】特開2016-129093(P2016-129093A)

(43)【公開日】2016年7月14日

【審査請求日】2017年11月13日

(73)【特許権者】

【識別番号】000000192

【氏名又は名称】岩崎電気株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001081

【氏名又は名称】特許業務法人クシブチ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】松川 泰之

(72)【発明者】

【氏名】川鍋 保文

(72)【発明者】

【氏名】石飛 裕和

(72)【発明者】

【氏名】齋藤 行正

(72)【発明者】

【氏名】山本 勝

(72)【発明者】

【氏名】田中 大作

【審査官】 山崎 晶

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０００−１８７８８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−０７３６７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−２５４７０６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｆ２１Ｓ ２／００

Ｂ０１Ｊ １０／００ − １９／３２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

照射領域に必要な波長を含む光を放射する光源と、前記必要な波長を含む光を透過する波長選択フィルタとを備え、前記光源から前記波長選択フィルタを透過した光を前記照射領域に照射する光照射装置において、
前記必要な波長の範囲外の光を吸収する光吸収物質を分散させて形成される吸収フィルタを備え、
前記光源を箱体に収容し、前記箱体に設けた照射開口が、前記光源側から前記波長選択フィルタ、及び前記吸収フィルタの順で積層配置したカバーユニットで覆われ、
前記カバーユニット内には、前記波長選択フィルタ、及び前記吸収フィルタの間に挟持されて両フィルタ間に隙間を確保するパッキンが配置され、
前記パッキンは、前記波長選択フィルタ、及び前記吸収フィルタを透過した前記光源の光を前記照射領域に照射させつつ、前記波長選択フィルタを透過せずに前記波長選択フィルタの周囲から漏れる前記光源の光を前記吸収フィルタに照射不能に遮光する位置に設けられる遮光性及び柔軟性を有する部材であることを特徴とする光照射装置。

【請求項2】

前記カバーユニットは、前記照射開口を有する枠カバーと、この枠カバーとの間に、前記波長選択フィルタ、前記パッキン、及び前記吸収フィルタを積層配置した状態で挟持する枠状のフィルタ押さえとを有していることを特徴とする請求項１に記載の光照射装置。

【請求項3】

前記光源からの光を、前記波長選択フィルタに斜めの入射角度を含む角度範囲で入射するように反射する反射鏡を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の光照射装置。

【請求項4】

前記波長選択フィルタは、前記光源の長手方向に並べた複数のフィルタで構成され、
前記パッキンは、前記波長選択フィルタの外縁に沿った枠形状に形成されると共に、前記波長選択フィルタを構成する複数のフィルタの境界部分に沿って延びて前記境界部分から漏れる光を前記吸収フィルタに照射不能に遮光する境界遮光部を一体に備えていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の光照射装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、波長選択フィルタを透過した光を照射領域に照射する光照射装置に関する。

【背景技術】

【0002】

一般に、紙やプラスチック等の表面に光硬化剤を被着し、この光硬化剤に光を照射して硬化する光硬化技術が知られており、液晶パネルの封止や、光学レンズ部品の接着、光ディスクの接着、プリント基板の部品仮止め等に広く応用されている。光硬化に用いられる光は、硬化剤の種類、硬化条件等によって異なり、紫外線（紫外光）の他、可視光や近赤外線が用いられることもある。
光硬化技術で用いられる光照射装置の光源には、光硬化に紫外線を利用する場合、通常、高圧水銀ランプやメタルハライドランプ等の放電ランプが使用されている（例えば、特許文献１参照）。
この種の光照射装置には、光源からの熱的影響を極力回避するために、照射領域に不必要な可視光及び近赤外線を遮断する熱線カットフィルタを配置したものがある（例えば、特許文献２参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特許第４６４２０６６号公報

【特許文献2】特開２００７−１９１５４３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、カットフィルタには透明基板上に誘電体多層膜を積層した波長選択フィルタが用いられ、透過特性に入射角度依存性がある。このため、照射領域に必要な波長をカットフィルタだけで調整した場合、フィルタに斜めに入射した光については不必要な波長が透過し、照射領域に照射されてしまう、という問題がある。

【0005】

本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、入射角度依存性を有する波長選択フィルタを用いた構成で、照射領域に不必要な波長の光を高精度に遮断することが可能な光照射装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記目的を達成するために、本発明は、照射領域に必要な波長を含む光を放射する光源と、前記必要な波長を含む光を透過する波長選択フィルタとを備え、前記光源から前記波長選択フィルタを透過した光を前記照射領域に照射する光照射装置において、前記必要な波長の範囲外の光を吸収する光吸収物質を分散させて形成される吸収フィルタを備え、前記光源を箱体に収容し、前記箱体に設けた照射開口が、前記光源側から前記波長選択フィルタ、及び前記吸収フィルタの順で積層配置したカバーユニットで覆われ、前記カバーユニット内には、前記波長選択フィルタ、及び前記吸収フィルタの間に挟持されて両フィルタ間に隙間を確保するパッキンが配置され、前記パッキンは、前記波長選択フィルタ、及び前記吸収フィルタを透過した前記光源の光を前記照射領域に照射させつつ、前記波長選択フィルタを透過せずに前記波長選択フィルタの周囲から漏れる前記光源の光を前記吸収フィルタに照射不能に遮光する位置に設けられる遮光性及び柔軟性を有する部材であることを特徴とする。

【0007】

また本発明は、上記光照射装置において、前記カバーユニットは、前記照射開口を有する枠カバーと、この枠カバーとの間に、前記波長選択フィルタ、前記パッキン、及び前記吸収フィルタを積層配置した状態で挟持する枠状のフィルタ押さえとを有していることを特徴とする。

【0008】

また本発明は、上記光照射装置において、前記光源からの光を、前記波長選択フィルタに斜めの入射角度を含む角度範囲で入射するように反射する反射鏡を備えることを特徴とする。

【0010】

また本発明は、上記光照射装置において、前記波長選択フィルタは、前記光源の長手方向に並べた複数のフィルタで構成され、前記パッキンは、前記波長選択フィルタの外縁に沿った枠形状に形成されると共に、前記波長選択フィルタを構成する複数のフィルタの境界部分に沿って延びて前記境界部分から漏れる光を前記吸収フィルタに照射不能に遮光する境界遮光部を一体に備えていることを特徴とする。

【発明の効果】

【0011】

本発明によれば、照射領域に必要な波長を含む光を透過する波長選択フィルタを備えるとともに、必要な波長の範囲外の光を吸収する吸収フィルタを備え、波長選択フィルタ、及び吸収フィルタを透過した光を照射領域に照射するので、入射角度依存性を有する波長選択フィルタを用いた構成で、照射領域に不必要な波長の光を高精度に遮断することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明の実施形態に係る光照射装置を示す図である。

【図2】光照射装置の照射ユニットを模式的に示す図である。

【図3】光照射装置のカバーユニットの分解斜視図である。

【図4】波長選択フィルタ、及び吸収フィルタの分光特性を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
図１は実施形態に係る光照射装置１を示す図である。
この光照射装置１は、可視光で硬化する物質に向けて可視光を照射する装置であり、対象物の照射面であるワークＷの上方に設置され、ワークＷに対して３９０ｎｍ〜５００ｎｍの可視光（可視光の短波長側の光）を略均一に照射する装置に構成されている。
この光照射装置１の外装を構成する外装体２の中には、照射ユニット１１と、照射ユニット１１を冷却する冷却ユニット２１と、照射ユニット１１とワークＷとの間に配置されるカバーユニット３１とが収納されている。

【0014】

図２は照射ユニット１１を模式的に示す図である。
照射ユニット１１は、光源を構成する直管型ランプ１２と、直管型ランプ１２から放射された光（図２中、光を破線で示す）を下方（ワークＷ側）に向けて反射する反射鏡ユニット１３とを備えている。
直管型ランプ１２は、例えば、発光管内にガリウムのハロゲン化物を封入し、４００〜４５０ｎｍの波長領域を多く出力するガリウムランプであり、ワークＷに沿って略平行に延在する長尺の直管型のランプが使用される。この直管型ランプ１２には、様々な光源を広く適用でき、例えば、高圧水銀ランプ、又は他のメタルハライドランプを適用しても良い。この直管型ランプ１２を支持するランプ支持体１２Ｓはカバーユニット３１に結合されている。

【0015】

反射鏡ユニット１３は、上方に凹む凹面鏡に形成され、直管型ランプ１２の直下を空けて直管型ランプ１２を囲うとともに直管型ランプ１２の長手方向に沿って延在する。この反射鏡ユニット１３は、直管型ランプ１２の全長を上方から覆うことで、直管型ランプ１２からワークＷに放射されない直接光をワークＷに向けて反射する。反射鏡ユニット１３を設けることにより、ワークＷに照射される光量を増やすことができ、直管型ランプ１２の光の利用効率を高めることができる。なお、反射鏡ユニット１３は、直管型ランプ１２の長手方向に延在する一対のレール２Ｒにスライド自在に支持され、交換等のメンテナンスがし易い位置に反射鏡ユニット１３を容易に移動可能である。

【0016】

外装体２は、下方に開口する開口部２Ｋを有する金属製の箱体で形成され、反射鏡ユニット１３の上方に、冷却用ラジエータ２１Ａ、冷却用ユニット２１Ｂ、及び冷却用ブロア２１Ｃ等を備えている。冷却用ラジエータ２１Ａ、冷却用ユニット２１Ｂ、及び冷却用ブロア２１Ｃは、冷却ユニット２１を構成する部品であり、冷却用ブロア２１Ｃにより冷却風を照射ユニット１１に送風し、照射ユニット１１の各部（直管型ランプ１２、及び反射鏡ユニット１３等）を空冷する。
また、冷却用ラジエータ２１Ａ、及び冷却用ユニット２１Ｂは、反射鏡ユニット１３に設けられた複数の孔部１３Ａにそれぞれ供給される冷却用流体を冷却する。複数の孔部１３Ａは反射鏡ユニット１３の長手方向に延在しており、各孔部１３Ａのそれぞれに冷却用流体を流すことによって反射鏡ユニット１３を効率良く冷却することができる。

【0017】

これにより照射ユニット１１の各部（直管型ランプ１２、及び反射鏡ユニット１３等）を強制冷却でき、直管型ランプ１２の発熱の影響による直管型ランプ１２、及び反射鏡ユニット１３等の温度上昇を十分に抑えることができる。またランプ収容ボックス１５の開口部２Ｋはカバーユニット３１で覆われるので、ランプ収容ボックス１５を外部空間から区画でき、外部空間の熱影響を抑えてランプ収容ボックス１５内に独立した冷却空間を形成することができる。

【0018】

カバーユニット３１は、外装体２の下方の開口部２Ｋを覆う蓋部材であり、直管型ランプ１２の長手方向に沿って延びる矩形薄型のカバーに形成されている。このカバーユニット３１には、直管型ランプ１２の直下に、直管型ランプ１２の長手方向に沿って延びる矩形の開口部３１Ａが形成されており、この開口部３１Ａを、直管型ランプ１２の直接光、及び反射鏡ユニット１３で反射した間接光が通過することによってワークＷに光が照射される。つまり、外装体２の開口部３１Ａは、ワークＷに向けて光を照射する照射開口部として機能する。また、このカバーユニット３１は外装体２から容易に着脱自在に取り付けられる。カバーユニット３１には、ランプ支持体１２Ｓを介して直管型ランプ１２が支持されているので、カバーユニット３１と直管型ランプ１２とを外装体２から容易に取り外し可能である。

【0019】

ここで、直管型ランプ１２の光には、ワークＷへの照射が不要な波長の光も含まれており、この不要波長の光を除去すべく、カバーユニット３１の開口部３１Ａには、開口部３１Ａを覆うように波長選択フィルタ３３が取り付けられている。
波長選択フィルタ３３は、透明基板上に誘電体多層膜を積層して形成される光学フィルタであり、ワークＷへの照射が必要な波長（必要波長）の光だけが透過し、不要波長の光は透過しない。これにより、波長選択フィルタ３３は、ワークＷに不必要な光を除去するカットフィルタとして機能する。

【0020】

ところで、波長選択フィルタ３３には、透過特性に入射角度依存性がある。このため、斜めに入射した光については不必要な波長であっても一部透過してしまう。特に、本実施形態の光照射装置１は、直管型ランプ１２から離れた位置に平板状の波長選択フィルタ３３を配置し、且つ、湾曲した反射鏡ユニット１３を用いて直管型ランプ１２の光を反射するため、図２に示すように、波長選択フィルタ３３に斜めに入射する光成分が比較的多く存在し、波長選択フィルタ３３を透過する不必要な波長の光が多くなり易い。
そこで、本構成では、不必要な波長の光を吸収する吸収フィルタ３５を更に設け、波長選択フィルタ３３、及び吸収フィルタ３５を透過した必要波長の光だけを照射領域たるワークＷに照射する構成にしている。

【0021】

図３はカバーユニット３１の分解斜視図を示している。
図３に示すように、カバーユニット３１は、開口部３１Ａを形成する枠カバー３２と、この枠カバー３２に積層配置される波長選択フィルタ３３、パッキン３４、及び吸収フィルタ３５と、これら波長選択フィルタ３３、パッキン３４、及び吸収フィルタ３５を、枠カバー３２に固定するフィルタ押さえ３６とを備えている。波長選択フィルタ３３、及び吸収フィルタ３５は、開口部３１Ａより若干大きい矩形の平板形状に形成され、本実施形態では同じ外形形状に形成されている。

【0022】

枠カバー３２、及びフィルタ押さえ３６は、金属、又は樹脂等の剛性を有する材料で形成されている。枠カバー３２の上面には、開口部３１Ａの外縁に沿って連続する矩形枠を形成するように凸条部３２Ａが設けられており、この凸条部３２Ａに、波長選択フィルタ３３、パッキン３４、及び吸収フィルタ３５を挟むように上方からフィルタ押さえ３６が配置され、複数の締結部材（本構成では締結ボルト）３７によってフィルタ押さえ３６が枠カバー３２に固定される。これによって、枠カバー３２とフィルタ押さえ３６との間に、波長選択フィルタ３３、パッキン３４、及び吸収フィルタ３５が挟持される。
本構成では、波長選択フィルタ３３と吸収フィルタ３５とをカバーユニット３１に一体に構成するので、複数のフィルタ３３、３５の照射ユニット１１への取り付けや取り外しが容易である。また複数のフィルタ３３、３５をほぼ重ねて配置するので、複数のフィルタ３３、３５を有するカバーユニット３１の高さを抑えることができ、光照射装置１の高さの増大を抑えることができる。

【0023】

パッキン３４は、重ねて配置される波長選択フィルタ３３と吸収フィルタ３５との間に隙間を確保するための隙間調整部材であり、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）等の遮光性、及び柔軟性を有する材料で形成されている。微少な隙間を空けることにより、一方のフィルタ３３、又は３５に外力が作用してもフィルタ３３、及び３５同士の接触を避けることができ、外力の伝達を抑えることができる。
特に波長選択フィルタ３３と吸収フィルタ３５の基材に、耐紫外線材であって透過率が高いといった利点を有する透明なガラス材（石英ガラス、ホウケイ酸ガラス等）を用いた場合に、パッキン３４を設けることによりこれらを積層配置しても、外力の影響によるガラス材の損傷等を効果的に抑制することができる。

【0024】

またパッキン３４は、少なくとも直管型ランプ１２側に配置される波長選択フィルタ３３周囲の隙間を遮光可能に波長選択フィルタ３３の外縁に沿った枠形状に形成されている。このため、直管型ランプ１２の光が、波長選択フィルタ３３の周囲から漏れてワークＷ側に配置される吸収フィルタ３５に入射してしまう事態を確実に防止することができる。

【0025】

また図３に示すように、直管型ランプ１２側の波長選択フィルタ３３が複数枚のフィルタ３３Ａを直管型ランプ１２の長手方向に並べた多板タイプに構成されており、これらフィルタ３３間の微小隙間に直管型ランプ１２からの光が入射する可能性がある。
本実施形態では、パッキン３４が、波長選択フィルタ３３を構成する複数のフィルタ３３Ａ（小片）の境界部分に沿って延びる境界遮光部３４Ａを一体に備えており、境界部分から漏れる光がワークＷ側に配置された吸収フィルタ３５に入射しないようにしている。すなわち、パッキン３４は、波長選択フィルタ３３を透過せずに吸収フィルタ３５に入射する光を遮光する遮光部材として機能し、吸収フィルタ３５の光吸収物質の劣化を抑えることができる。また、直管型ランプ１２の出射光は紫外光を含んでおり、この紫外光が吸収フィルタ３５に照射されることをパッキン３４で抑制できるので、光吸収物質の紫外線劣化を抑制することができる。これにより、吸収フィルタ３５の性能劣化を効率良く抑え、長寿命化を図ることができる。
なお、波長選択フィルタ３３を単板タイプに構成しても良い。単板タイプに構成した場合には、パッキン３４の上記境界遮光部３４Ａを削除しても良いし、削除しなくても良い。削除しない場合は、境界遮光部３４Ａの数の分だけ波長選択フィルタ３３、及び吸収フィルタ３５の隙間をより適切に維持し易くなる。

【0026】

図４は波長選択フィルタ３３、及び吸収フィルタ３５の分光特性を示している。図４中、符号ｆ１が波長選択フィルタ３３の分光特性を示し、符号ｆ２が吸収フィルタ３５の分光特性を示している。なお、図４に示す波長選択フィルタ３３の分光特性は、垂直入射での透過率特性である。
波長選択フィルタ３３は、図４に符号ｆ１で示すように、垂直入射での透過率特性において、３９０〜５００ｎｍの波長範囲に最大透過率が８５％以上となる透過波長域と、６００〜８００ｎｍの波長範囲の少なくとも一部に最大透過率が１％以下となる可視域及び近赤外光側のカット波長域と、２００〜４００ｎｍの波長範囲の少なくとも一部に最大透過率が１％以下となる紫外側カット波長域とを有している。また透明基板を耐熱性の比較的高い材料である石英ガラスで形成することで、波長選択フィルタ３３の耐熱性を高めている。

【0027】

具体的には、波長選択フィルタ３３は、石英ガラス製の透明基板の異なる面に、ナローバンドパス型（ＮＢＰ型）のフィルタを構成する第１積層体と、ブロードバンドパス型（ＢＢＰ型）のフィルタを構成する第２積層体とを有し、第１積層体により、４００〜６００ｎｍの波長範囲に最大透過率が８５％以上となる透過波長域と、透過波長域の短波長側の透過率が８５％から５％以下となる透過率曲線の傾斜と、長波長側の透過率が８５％から５％以下となる透過率曲線の傾斜とを構成している。さらに、ＮＢＰ型の第２積層体により、６００〜８００ｎｍの波長範囲の少なくとも一部に最小透過率が１％以下となる可視域および近赤外光側カット波長域と、２００〜４００ｎｍの波長範囲の少なくとも一部に最小透過率が１％以下となる紫外側カット波長域とを構成している。

【0028】

吸収フィルタ３５は、透明基板（石英ガラス、ホウケイ酸ガラス等）中に所定の波長の光を吸収する光吸収物質を分散させて形成される光学フィルタであり、波長選択フィルタ３３と同様に、カバーユニット３１の開口部３１Ａを覆う矩形の平板形状に形成されている。この吸収フィルタ３５は、図４に符号ｆ２で示すように、波長選択フィルタ３３の透過率が高く設定された波長範囲（３９０〜５００ｎｍ）の光を透過させ、それ以外の所定波長の光、つまり、ワークＷに不必要な波長の光を吸収する特性に設定される。吸収フィルタ３５は入射角度依存性を有さない。

【0029】

より具体的には、吸収フィルタ３５は、３９０ｎｍ未満の波長範囲を吸収波長域とし、３９０ｎｍ以上の波長範囲を最大透過率が９０％以上となる透過波長域としている。これにより、斜め入射により波長選択フィルタ３３を透過する、３９０ｎｍ未満の波長の光を吸収フィルタ３５で吸収することができる。
なお、図３に示すように、この吸収フィルタ３５についても、波長選択フィルタ３３と同様に、直管型ランプ１２の長手方向に並べた多板タイプに構成されている。このため、直管型ランプ１２の長手方向に長くなる波長選択フィルタ３３、及び吸収フィルタ３５を一部品で製作する場合と比べて、容易かつ低コストで製作することができる。

【0030】

以上の構成により、直管型ランプ１２から放射された光は、図２に示したように、直接、或いは反射鏡ユニット１３で反射されて波長選択フィルタ３３に様々な入射角度で入射する。垂直入射した光は、波長選択フィルタ３３の光学特性（図４中、符号ｆ１参照）に従い、透過率が高く設定された波長範囲（３９０〜５００ｎｍ）の光が透過し、それ以外の波長の光は殆ど透過しない。波長選択フィルタ３３を透過した光は、吸収フィルタ３５の透過率が高い波長範囲であるため、吸収フィルタ３５を透過し、ワークＷに照射される。

【0031】

一方、波長選択フィルタ３３に斜めに入射した光は、波長選択フィルタ３３の入射角度依存性に従い、一部が波長選択フィルタ３３を透過する。この透過した光は、吸収フィルタ３５に入射し、吸収フィルタ３５の光学特性（図４中、符号ｆ２参照）に従い、透過率が高く設定された波長範囲（３９０ｎｍ〜）の光は透過し、透過率が低く設定された波長範囲（３９０ｎｍ未満）の光は吸収フィルタ３５で吸収される。
これによって、波長選択フィルタ３３と吸収フィルタ３５の二段フィルタ構成によって、ワークＷに必要な波長範囲（３９０〜５００ｎｍ）の光をワークＷに照射し、ワークＷに不要な波長範囲（特に３９０ｎｍ未満）の光を高精度に遮断することができる。

【0032】

また上記二段フィルタ構成では、波長選択フィルタ３３を透過した光だけが吸収フィルタ３５に入射するので、吸収フィルタ３５の光吸収物質の劣化を抑え、吸収フィルタ３５の性能劣化を抑えることができる。

【0033】

以上説明したように、本実施形の形態では、照射領域に必要な波長を含む光を透過する波長選択フィルタ３３を備えるとともに、上記必要な波長の範囲外の光を吸収する吸収フィルタ３５を備え、波長選択フィルタ３３、及び吸収フィルタ３５を透過した光を照射領域であるワークＷに照射するようにしたので、入射角度依存性を有する波長選択フィルタ３３を用いた構成で、照射領域に不必要な波長の光を高精度に遮断し、必要な波長の光を高精度に照射することが可能になる。

【0034】

また吸収フィルタ３５は、波長選択フィルタ３３を透過した光が入射するように配置されるので、吸収フィルタ３５に入射する光の量を抑えることができる。これにより、吸収フィルタ３５の性能劣化を抑え、吸収フィルタ３５の寿命を延ばすことができる。このように、本構成では、一段目に波長選択フィルタ３３、二段目に吸収フィルタ３５を配置した多段フィルタ構成にすることによって、照射領域に不必要な波長の光を高精度に遮断するとともに、吸収フィルタ３５の長寿命化を図ることができる。

【0035】

但し、吸収フィルタ３５の寿命を十分に確保できる範囲であれば、吸収フィルタ３５を波長選択フィルタ３３よりも直管型ランプ１２側に配置しても良い。この構成によれば、吸収フィルタ３５を透過した波長範囲の光だけが波長選択フィルタ３３に入射するので、吸収フィルタ３５で吸収される波長範囲の光がワークＷに照射されることはない。

【0036】

また直管型ランプ１２の光を、波長選択フィルタ３３に斜めの入射角度を含む角度範囲で入射するように反射する反射鏡ユニット１３を備えるので、反射鏡ユニット１３を用いて光の利用効率を高めつつ、反射鏡ユニット１３を用いるために波長選択フィルタ３３に斜入射して透過してしまう不必要な光成分の増加による弊害を回避することができる。

【0037】

また光源である直管型ランプ１２と波長選択フィルタ３３とを、外装体２を構成する箱体に収容し、この箱体に設けた照射開口を含む開口部２Ｋは、波長選択フィルタ３３、及び吸収フィルタ３５を備えるカバーユニット３１で塞がれるので、波長選択フィルタ３３、及び吸収フィルタ３５をユニット化して容易に着脱することができる。従って、波長選択フィルタ３３、及び吸収フィルタ３５の着脱や点検等のメンテナンスを容易に行うことができる。
またカバーユニット３１により外装体２を周囲と区画することができるので、周囲の熱影響を抑えて外装体２内に独立した冷却空間を形成することが可能になり、外装体２内の冷却を効率良く行うことができる。

【0038】

さらにカバーユニット３１には、波長選択フィルタ３３と吸収フィルタ３５との間に、光源側に配置される一方のフィルタ（波長選択フィルタ３３）を透過せずに他方のフィルタ（吸収フィルタ３５）に入射する光を遮光するパッキン３４が介挿されるので、光源側のフィルタ（波長選択フィルタ３３）を通過した照射領域に不要な光が照射領域に照射されてしまうこと、及び、吸収フィルタ３５の性能劣化を抑えることができる。またパッキン３４が介挿されるので、波長選択フィルタ３３と吸収フィルタ３５とを確実に隙間を空けて配置することができ、フィルタ３３、３５同士の接触等を抑えることができる。

【0039】

上述した実施形態は、あくまでも本発明の一実施の態様を例示するものであって、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で任意に変形、及び応用が可能である。
例えば、波長選択フィルタ３３と吸収フィルタ３５とをカバーユニット３１に一体に構成する場合を説明したが、これに限らず、各フィルタ３３、３５のいずれか一方、或いは、両方をカバーユニット３１とは別の位置に配置するようにしても良い。要は、波長選択フィルタ３３と吸収フィルタ３５とを透過した光を照射領域に照射するように各フィルタ３３、３５を配置すれば良い。
また吸収フィルタ３５の表面に反射防止膜を設け、吸収フィルタ３５で反射される光成分を抑えるようにしても良い。

【0040】

また波長選択フィルタ３３と吸収フィルタ３５との二段フィルタ構成にする場合を説明したが、他の光学フィルタを、光源側、或いは、光源と反対側に配置して、三段以上のフィルタ構成にしても良い。但し、上記２段フィルタ構成が光透過率を確保する観点から最も有利である。
また光照射装置１の光源には、２本以上の直管型ランプを、各々の管軸を同軸に直列に並べ構成したものを用いることもできる。またＬＥＤ等の発光素子を配列した光源を用いることもできる。

【符号の説明】

【0041】

１ 光照射装置
２ 外装体（箱体）
２Ｋ 開口部（照射開口）
１１ 照射ユニット
１２ 直管型ランプ（光源）
１３ 反射鏡ユニット
２１ 冷却ユニット
３１ カバーユニット
３３ 波長選択フィルタ
３４ パッキン
３５ 吸収フィルタ
Ｗ ワーク（照射領域）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】