特許 6471888 プローブカード

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6471888

(24)【登録日】2019年2月1日

(45)【発行日】2019年2月20日

(54)【発明の名称】プローブカード

(51)【国際特許分類】

   G01R 31/26 20140101AFI20190207BHJP

   G01R 1/073 20060101ALI20190207BHJP

   H01L 21/66 20060101ALI20190207BHJP

【ＦＩ】

   G01R31/26 J

   G01R1/073 E

   H01L21/66 B

【請求項の数】8

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2014-179674(P2014-179674)

(22)【出願日】2014年9月3日

(65)【公開番号】特開2016-53529(P2016-53529A)

(43)【公開日】2016年4月14日

【審査請求日】2017年6月20日

(73)【特許権者】

【識別番号】000232405

【氏名又は名称】日本電子材料株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100091683

【弁理士】

【氏名又は名称】▲吉▼川 俊雄

(74)【代理人】

【識別番号】100179316

【弁理士】

【氏名又は名称】市川 寛奈

(72)【発明者】

【氏名】古崎 新一郎

【審査官】 青木 洋平

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００９−２５７９１０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開昭５３−０９３９７５（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開平０９−０１２２８２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−３２８９２８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開昭５１−０６４５８７（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 実開昭６１−０９３９３０（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 実開昭４９−０７５６８２（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｒ １／０６−１／０７３

Ｇ０１Ｒ ３１／２６

Ｈ０１Ｌ ２１／６４−２１／６６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１の板状体と、
前記第１の板状体と間隔を空けて配置され、前記第１の板状体に固定されたホルダーによって周囲が保持された第２の板状体と、
前記第１の板状体と前記第２の板状体との間に配置され、前記第２の板状体に対して、前記第１の板状体から離れる方向に弾性力を作用させるバネ部材とを備え、
前記第１の板状体に少なくとも一端が固定されたワイヤロープを用いて、前記第２の板状体を支持することを特徴とするプローブカード。

【請求項2】

前記第１の板状体に第１貫通孔を設け、前記第２の板状体に第２貫通孔を設けて、前記
ワイヤロープを前記第１貫通孔および前記第２貫通孔に挿入して、前記第２の板状体を支
持することを特徴とする請求項１に記載のプローブカード。

【請求項3】

前記ワイヤロープを１つの前記第１貫通孔および１つの前記第２貫通孔に挿入し、略Ｉ
字状に配置して、前記第２の板状体を支持することを特徴とする請求項２に記載のプローブカード。

【請求項4】

前記ワイヤロープを２つの前記第１貫通孔および２つの前記第２貫通孔に挿入し、略Ｕ
字状に配置して、前記第２の板状体を支持することを特徴とする請求項２に記載のプローブカード。

【請求項5】

前記第１の板状体と前記第２の板状体の間に、第３貫通孔が形成された少なくとも１つ
の第３の板状体を配置し、前記第３貫通孔に前記ワイヤロープを挿入することを特徴とす
る請求項２〜４のいずれか１項に記載のプローブカード。

【請求項6】

前記第２の板状体とは反対側の前記第１の板状体の表面に設けられた少なくとも１つの
調節手段によって、前記ワイヤロープの少なくとも一端が固定されて前記ワイヤロープの
張力が調節可能であることを特徴とする請求項２〜４のいずれか１項に記載のプローブカード。

【請求項7】

前記調節手段は、前記第１の板状体の表面に固定された土台、前記土台とネジ係合させ
る調節ネジ、前記調節ネジの上端に取り付けられるキャップ、および、前記調節ネジを回
転させるためのレバーから構成され、前記レバーを用いて前記調節ネジを回転させること
によって、前記ワイヤロープの張力を調節することが可能であることを特徴とする請求項
６に記載のプローブカード。

【請求項8】

前記ワイヤロープの径が、３０〜２００μｍであることを特徴とする請求項１〜７のい
ずれか１項に記載のプローブカード。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、プローブカードに設置された板状体の支持構造に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体の検査を行う際に使用するプローブカードは、様々な種類の板状体、つまり、外部の機器と接続される主回路基板、プローブが設けられるプローブ基板、プローブの位置精度を向上させるガイド板、主回路基板とプローブ基板との間にある中継回路基板、補強部材である補強板などが選択的に設置される。これらの板状体は、正確な検査を実施するために検査中に平坦性を保つことが求められる。

【0003】

しかしながら、検査環境によって、こららの板状体には様々な力が作用し、平坦性を保つのが困難になる。例えば、垂直型プローブカードに設置されるガイド板には、垂直型プローブの弾性力、あるいは、ガイド板自体の重みが作用し、プローブ基板に反りが生じる原因となる。また、カンチレバー型プローブカードにおけるプローブ基板には、主回路基板とプローブ基板とを接続する中継部材の弾性力、あるいは、プローブ基板自体の重みが作用し、プローブ基板に反りが生じる原因となる。

【0004】

このような板状体の反りによる変位は、板状体の中心部付近で顕著に表れ、板状体の反りは、プローブカードの構成部材の位置関係をずらす原因、あるいは、プローブカードにおける電気的接触を損なわせる原因となり、プローブカードによる検査の障害となる。

【0005】

このような板状体の反りにより生じる問題を解消するために、例えば、ガイド板の反りを防止する従来技術としては、図７に示すように、ガイド板６４をネジ６２などの固定手段を用いてプローブカード６１の補強板６３に固定する方法が用いられている。また、ネジを用いてガイド板の平行度を調節する方法（特許文献１参照）も用いられている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２００４−７７１５３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

多数の電極が高密度に配置されている検査素子の検査に用いられるプローブカードには、狭ピッチで配置されたプローブと、狭小な間隔で配線された回路基板が必要であり、このようなプローブカードでは、従来の様なネジなどの固定手段を配置するスペースを確保するのが困難になっている。

【0008】

そこで、本発明は、従来の問題点を解決するために、狭ピッチのプローブカードであっても、ネジなどの固定手段を用いることなく、ガイド板などの板状体の反りを防止することが可能な、プローブカードを構成する板状体の支持構造を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の板状体の支持構造は、プローブカードに設置された板状体の支持構造であって、平行に配置された複数の板状体の中から少なくとも２つの板状体として第１の板状体および第２の板状体を選択し、前記第１の板状体に少なくとも一端が固定されたワイヤロープを用いて、前記第２の板状体を支持することを特徴とする。

【0010】

前記第１の板状体に第１貫通孔を設け、前記第２の板状体に第２貫通孔を設けて、前記ワイヤロープを前記第１貫通孔および前記第２貫通孔に挿入して、前記第２の板状体を支持する。

【0011】

前記ワイヤロープを１つの前記第１貫通孔および１つの前記第２貫通孔に挿入し、略Ｉ字状に配置する、あるいは、前記ワイヤロープを２つの前記第１貫通孔および２つの前記第２貫通孔に挿入し、略Ｕ字状に配置することによって、前記第２の板状体を支持する。

【0012】

前記第１の板状体と前記第２の板状体の間に、第３貫通孔が形成された少なくとも１つの第３の板状体を配置し、前記第３貫通孔に前記ワイヤロープを挿入する。

【0013】

前記第２の板状体とは反対側の前記第１の板状体の表面に設けられた少なくとも１つの調節手段によって、前記ワイヤロープの少なくとも一端が固定されて前記ワイヤロープの張力が調節可能である。

【0014】

前記調節手段は、前記第１の板状体の表面に固定された土台、前記土台とネジ係合させる調節ネジ、前記調節ネジの上端に取り付けられるキャップ、および、前記調節ネジを回転させるためのレバーから構成され、前記レバーを用いて前記調節ネジを回転させることによって、前記ワイヤロープの張力を調節することが可能である。

【0015】

前記ワイヤロープの径が、３０〜２００μｍである。

【発明の効果】

【0016】

本発明の板状体の支持構造は、プローブカードに設置された板状体の支持構造であって、複数の板状体の中から少なくとも２つの板状体として第１の板状体および第２の板状体を選択し、第１の板状体に、少なくとも一端が固定されたワイヤロープを用いて第２の板状体を固定することによって、ワイヤロープはネジ、ボルト等よりも小径であることから、板状体におけるワイヤロープが占有する領域を小さくすることが可能となり、プローブまたは回路の設置に係る制約を大幅に減少させることが可能となる。

【0017】

前記第２の板状体とは反対側の前記第１の板状体の表面に設けられた少なくとも１つの調節手段によって、前記ワイヤロープの少なくとも一端が固定されて前記ワイヤロープの張力が調節可能であることによって、板状体を適切な状態で支持することができる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】本発明の第１の実施形態の板状体の支持構造を用いたプローブカードの断面図である。

【図2】第１の実施形態の板状体の支持構造の一部拡大図である。

【図3】補強板および調節手段の拡大図である。

【図4】プローブカードの底面の一部拡大図である。

【図5】本発明の第２の実施形態の板状体の支持構造を用いたプローブカードの断面図である。

【図6】本発明の第３の実施形態の板状体の支持構造を用いたプローブカードの断面図である。

【図7】固定手段としてネジを用いた従来のプローブカードの断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

図を用いて本発明の板状体の支持構造について詳細に説明する。まず初めに、本発明の第１の実施形態の板状体の支持構造について説明する。図１に示すのが第１の実施形態の板状体の支持構造を用いたプローブカード１の断面図であり、図２〜４は第１の実施形態の板状体の支持構造を用いた前記プローブカード１の一部を拡大した図面である。

【0020】

本発明の第１の実施形態の板状体の支持構造を用いたプローブカード１は、図１に示すように、複数の板状体として、主回路基板２、補強板３、前記主回路基板２の下面と間隔を空けて配置されている中継回路基板４、前記中継回路基板４の下面と間隔を空けて配置されている第1ガイド板５、前記第１ガイド板５の下面と間隔を空けて配置されている第２ガイド板６を用いる。そして、前記プローブカード１は板状体以外の部材として、前記第１ガイド板５と前記第２ガイド板６によって保持された垂直型のプローブ７を備えている。

【0021】

前記プローブカード１において、板状体の支持構造は、板状体である前記第２ガイド板６を前記ワイヤロープ９を用いて支持する構造を用いる。板状体の支持構造としてワイヤロープ９を用いて前記第２ガイド板６を前記補強板３と機械的に接続し、前記第２ガイド板６に対して前記補強板３方向への張力を作用させることで、前記第２ガイド板６を支持する。

【0022】

前記ワイヤロープ９を用いた板状体の支持構造について詳しく説明する。前記ワイヤロープ９の両端は、板状体である前記補強板３の上面に設けられた調節手段１０によって固定されている。そして、前記ワイヤロープ９は、前記補強板３に設けられた２つの貫通孔１５および前記第２ガイド板６に設けられた２つの貫通孔１９に挿入されて、略Ｕ字状に配置されている。

【0023】

前記補強板３と前記第２ガイド板６との間には、複数の板状体が配置されており、これらの板状体を含めたプローブカード１について、さらに詳細に説明する。板状体の１つである前記主回路基板２は、プローブカード１を試験装置と接続する基板であり、接続に使用する電極１２が上面に設けられている。また、前記主回路基板２を補強するための前記補強板３が前記主回路基板２の上面に取り付けられている。前記中継回路基板４は前記主回路基板２と電極、バンプ等を用いて電気的に接続され、下面に設けた電極を介して前記プローブ７と電気的に接続されており、プローブカード１における間隔変換機能を有する。

【0024】

前記第１ガイド板５と前記第２ガイド板６とは、前記プローブ７を保持するために用いられる板状体であり、図２に示すように、前記第１ガイド板５に設けられた第１ガイド孔１３および前記第２ガイド板６に設けられた第２ガイド孔１４に、前記プローブ７は挿入され、前記プローブ７の上部は前記第１ガイド孔１３から上方に突出し、上端が別の板状体である前記中継回路基板４の電極と接続されている。

【0025】

前記プローブ７は、バレルとバレルから下方に突出するプランジャから構成され、バレル内部のスプリングによって弾性力が作用している。この弾性力が第２ガイド板６に対して下方に作用し、前記第２ガイド板６の変形を生じさせる。図２に示すように、前記プローブ７のバレルは前記第２ガイド孔１４よりも径が大きいことから、前記第２ガイド板６の上面に保持され、前記プローブ７のプランジャだけが前記第２ガイド孔１４に挿入され、前記プランジャの先端が前記第２ガイド板６の下面から下方に突出している。

【0026】

前記中継回路基板４、前記第１ガイド板５および前記第２ガイド板６はホルダー８によって前記主回路基板２に保持され、前記ホルダー８、前記主回路基板２、および前記補強板３はボルトなどによって互いに固定されている。

【0027】

前記ワイヤロープ９は、図１に示すように、前記プローブカード１に略Ｕ字状に配置されており、両端が前記補強板３の上面に設けられた調節手段１０によって固定されている。前記補強板３、前記主回路基板２、前記中継回路基板４、前記第1ガイド板５、および前記第２ガイド板６には、それぞれ、互いに平行な２つの貫通孔１５，１６，１７，１８，１９が、直線上に設けられている。そして、前記ワイヤロープ９が、１列の貫通孔１５，１６，１７，１８，１９に挿入され、前記第２ガイド板６の下面を通過し、もう１列の貫通孔１５，１６，１７，１８，１９に挿入され、前記補強板３の上方に突出された前記ワイヤロープ９の両端が前記調節手段１０によって固定されることで、略Ｕ字状に配置される。

【0028】

この時、前記ワイヤロープ９は、前記第２ガイド板６の一方の貫通孔１９から前記第２ガイド板６の下面を通過し他方の貫通孔１９へと配置されているが、前記貫通孔１９から下方に突出したところで直角に折れ曲がることになる。この折れ曲がりを緩衝するために、図２に示すように、前記第２ガイド板６の下面の前記ワイヤロープ９が通過する箇所に２個のスペーサ１１を設け、前記ワイヤロープ９が前記第２ガイド板６の下面に接触しないようにしている。

【0029】

前記ワイヤロープ９は可撓性を有する材質であり、狭ピッチのプローブカード１に使用するために、例えば３０〜２００μｍの径を有するものを使用することができる。これは、従来の固定部材であるネジの径（１ｍｍ、０．３ｍｍ等）に比べると大幅に減少させることができる。これによって、ネジなどの固定部材に比べて、配置の自由度が増加し、狭ピッチのプローブカード１であっても前記ワイヤロープ９は適切な位置に配置することが可能となる。

【0030】

前記ワイヤロープ９としては、例えば、極細の金属線（ＳＵＳ３０４など）、または、芳香族ポリアミド系樹脂による極細繊維を用いることが可能である。前記ワイヤロープ９として、ＳＵＳ３０４の金属線を用いた場合、引張強度は、２０９〜２４５ｋｇｆ／ｍｍ２（２０００〜２５００ＭＰａ）となり、前記ワイヤロープ９の直径が２００μｍの場合、前記ワイヤロープ９の１本当たりの引張強度は、６〜７ｋｇｆとなる。図１のプローブカード１において、このような前記ワイヤロープ９を２０本用いると、全てのワイヤロープ９を合わせると、１８０ｋｇｆ程度の押圧力に対応することが可能となる。前記プローブカード１に、１本当たり１０ｇｆの反力を生じるプローブ７を１００００本用いて押圧接触を行う時に生じる反力は１００ｋｇｆとなるが、前記ワイヤロープ９が全体で１８０ｋｇｆまで対応可能であることから、十分に支えることができる。

【0031】

前記ワイヤロープ９を前記第２ガイド板６の下面を通過させる際に、狭ピッチで配置されている前記プローブ７の隙間を通過するように、前記貫通孔１９の位置を決定する。その一例を、第２ガイド板６を下から見た図である図４に示す。図に示すように、この時、前記ワイヤロープ９は上述のように径が小さいことから前記プローブ７の間を通すことが可能であり、また、前記貫通孔１９は前記第２ガイド孔１４の間に配置することができることから、従来のプローブ７の配置をあまり変更すること無く配置することも可能である。

【0032】

前記ワイヤロープ９の両端を固定し、前記ワイヤロープ９による張力を調節する調節手段１０が、前記補強板３の上面に２つ設けられている。前記調節手段１０は、図３に示すように、前記補強板３の上面にネジ２１で固定された土台２０、前記土台２０とネジ係合させる調節ネジ２２、前記調節ネジ２２の上端に取り付けられるキャップ２３、および、前記調節ネジ２２を回転させるためのレバー２４から構成される。

【0033】

前記土台２０の中心には、前記ワイヤロープ９を挿入する第１貫通孔２５および前記第１貫通孔２５の上方に位置し前記第１貫通孔２５と接続されたネジ孔２６が設けられている。前記調節ネジ２２は、前記ワイヤロープ９を挿入する第２貫通孔２７が中心に設けられ、第１ネジ部２８が形成された下部、前記レバー２４を挿入するレバー挿入孔３２が水平方向に形成された中間部、前記ワイヤロープ９をネジ溝に巻きつけるための第２ネジ部２９が形成された上部から構成され、前記中間部と前記上部との間にはスラスト軸受３０が設けられている。

【0034】

前記キャップ２３は、上方に開口を有する略円筒形状であり、上端が中心方向にへと傾斜した形状を用いている。そして、側面には複数の注入孔３１が設けられている。前記レバー２４は前記レバー挿入孔３２に挿入され、前記調節ネジ２２を回転させる際の持ち手となる。前記レバー２４は着脱可能であり、使用する時にだけ前記レバー挿入孔３２に挿入すればよい。

【0035】

前記調節手段１０による前記ワイヤロープ９の固定方法および張力の調節方法について説明する。前記調節ネジ２２を前記土台２０にネジ係合させる。この時、前記調節ネジの第１ネジ部２８は前記土台２０のネジ孔２６と完全に係合させるのではなく、ネジ係合を途中までにしておく。このように前記調節ネジ２２を前記土台２０に係合させると、前記土台２０の第１貫通孔２５と前記調節ネジ２２の第２貫通孔２７は直線上に配置され前記ワイヤロープ９は前記第１貫通孔２５および前記第２貫通孔２７に挿入される。

【0036】

前記第２貫通孔２７の上方から突出した前記ワイヤロープ９は、前記第２ネジ部２９のネジ溝に沿って巻きつけ、その後、前記キャップ２３を前記第２ネジ部２９に被せる。この時、前記ワイヤロープ９の余った部分は切断する。前記キャップ２３を被せた後、前記キャップ２３の内面と前記第２ネジ部２９との間に、前記注入孔３１から接着剤を注入し、前記キャップ２３、前記第２ネジ部２９、およびその間にある前記ワイヤロープ９を固定する。前記接着剤が硬化すると、図３に示すように、前記ワイヤロープ９の端部は前記調節手段１０によって固定される。

【0037】

前記ワイヤロープ９のもう一方の端部についても同様に、別の調節手段１０を用いて固定する。このようにして、前記ワイヤロープ９の両端を２つの前記調節手段１０によって固定した後、前記ワイヤロープ９による張力を調節する場合、前記レバー２４を前記レバー挿入孔３２に挿入して前記第１ネジ部２８を回転させる。前記第１ネジ部２８を締める方向に前記レバー２４を回転させると前記ワイヤロープ９による張力が低減され、前記第１ネジ部２８を緩める方向に前記レバー２４を回転させると前記ワイヤロープ９による張力が増加される。このように前記第１ネジ部２８を回転させる際に、前記スラスト軸受３０を設けていることによって、前記第２ネジ部２９は回転することなく前記ワイヤロープ９の端部の固定状態が保持されている。前記ワイヤロープ９による張力の調節は、上述のように１つの調節手段１０によって調節することができるが、２つの調節手段１０を用いて調節することも可能である。

【0038】

前記調節手段１０によるワイヤロープ９による張力の調節は、プローブカード１の平坦度、特に、第２ガイド板６の平坦度を確認しながら行う。前記第２ガイド板６には、前記プローブ７の弾性力によって下方への力が作用している。これにより、周囲がガイド手段８によって保持された前記第２ガイド板６は、中央が下方へと撓む変形が生じる。これに対して、前記ワイヤロープ９によって前記第２ガイド板６の中央付近を上方（前記補強板３の方向）へと張力を作用させて、前記第２ガイド板６の中央の下方への変形を抑制する。このような前記第２ガイド板６へ作用する力を、前記調節手段１０による前記ワイヤロープ９による張力を調節することで適切な状態へと調節することができる。

【0039】

前記調節手段１０の他の形態として、２つの調節手段を１つに組み合わせた形態とすることが可能である。２つの土台を一体構造とし、１つの土台に２つの調節ネジを係合させる構造としてもよい。前記調節手段１０として、調節ネジ２２を用いた手段について説明しているが、他の形態の調節手段を用いることも可能である。

【0040】

このように、本発明の板状体の支持構造は、前記ワイヤロープ９を用いて前記第２ガイド板６に、前記プローブ７による弾性力と反対方向の力を作用させることで、前記第２ガイド板６の変形を抑制し、平坦度を確保することが可能となり、所定の精度で狭ピッチのプローブカードの組立が実現できる。また、前記第２ガイド板６の変形を抑制することで、前記プローブ７と前記中継回路基板４との押圧接続する部分の接触圧力を確保し、安定した電気的接続を維持することで、本発明の板状体の支持構造を用いたプローブカード１の信頼性を向上させることが可能となる。

【0041】

次に、第２の実施形態の板状体の支持構造を用いたプローブカード４１について説明する。第１の実施形態と同じ部材については同じ符号を用いて説明する。前記プローブカード４１は、図５に示すように、板状体として、主回路基板２、補強板３、前記主回路基板２の下面と間隔を空けて配置されている中継回路基板４、前記中継回路基板４の下面と間隔を空けて配置されている第1ガイド板５、および、前記第１ガイド板５の下面と間隔を空けて配置されている第２ガイド板６を用いている。

【0042】

そして、前記プローブカード４１は、板状体以外の部材として、前記第１ガイド板５と前記第２ガイド板６によって保持された垂直型のプローブ７を備える。さらに、前記プローブカード４１において、前記主回路基板２と前記中継回路基板３との電気的接続には、バネを内蔵した接続ピン４２を用いている。そのために、前記プローブカード４１は、前記接続ピン４２を保持するためのガイド孔４４を設けた接続ピン用ガイド板４３を、前記主回路基板２と前記中継回路基板４との間に備えている。前記接続ピン用ガイド板４３はネジなどを用いてホルダーに固定されている。

【0043】

前記プローブカード４１は、バネを内蔵した前記接続ピン４２を用いていることによって、前記中継回路基板４にも下方への弾性力が作用している。周囲がホルダー８によって保持されている前記中継回路基板４は弾性力によって中央が下方へと撓む変形が生じる。そして、前記中継回路基板４の変形は、前記プローブ７を介して弾性力を受ける第２ガイド板６にも影響を与え変形を生じさせる。そこで、本実施形態では、板状体の支持構造として、前記中継回路基板４をワイヤロープ４９によって支持する構造を用いる。このような板状体の支持構造によって、前記中継回路基板４の変形を抑制し、さらに、前記第２ガイド板６への影響を減少させる。

【0044】

前記ワイヤロープ４９は、前記プローブカード４１に略Ｕ字状に配置されており、両端が前記補強板３の上面に設けられた調節手段１０によって固定されている。前記補強板３、前記主回路基板２、接続ピン用ガイド板４３、および前記中継回路基板４には、それぞれ、互いに平行な２つの貫通孔４５，４６，４７，４８が設けられている。そして、前記ワイヤロープ４９が、一方の貫通孔４５，４６，４７，４８に挿入され、前記中継回路基板４の下面を通過し、もう一方の貫通孔４５，４６，４７，４８に挿入され、前記補強板３の上方に突出された前記ワイヤロープ４９の両端が前記調節手段１０によって固定されることで、略Ｕ字状に配置される。

【0045】

前記貫通孔４５，４６の２つの間隔は、前記貫通孔４７，４８の２つの間隔よりも広くなっていることから、前記ワイヤロープ４９は前記主回路基板２と前記接続ピン用ガイド板４３との間で斜めになっている。これは、２つの調節手段１０の配置可能な位置と、前記貫通孔４７，４８が配置可能な位置が、様々な条件（例えばプローブ７、接続ピン４２等）によって制限されるからである。このように、前記貫通孔４５，４６，４７，４８は、様々な条件に応じて適宜位置を決定するが、場合によっては直線上に配置できないケースも存在する。しかしながら、前記ワイヤロープ４９は可撓性を有することから、前記ワイヤロープ４９を用いた第２の実施形態の板状体の支持構造は、ボルトの様な固定手段とは違って、必ずしも１直線となるように配置する必要はなく、適宜変更が可能であり、様々な構造のプローブカードに対応することが可能である。

【0046】

前記ワイヤロープ４９は、前記中継回路基板４の一方の貫通孔４８から前記中継回路基板４の下面を通過し他方の貫通孔４８へと配置されているが、前記貫通孔４８から下方に突出したところで直角に折れ曲がることになる。この折れ曲がりを緩衝するために、前記中継回路基板４の下面の前記ワイヤロープ４９が通過する箇所に１個のスペーサ５０を設け、前記ワイヤロープ４９が前記中継回路基板４の下面に接触しないようにしている。

【0047】

前記調節手段１０を用いて前記ワイヤロープ４９の両端は固定されているが、前記ワイヤロープ４９の両端を固定し、調節する調節手段１０の構造は、第１の実施形態と同じであることから詳細な説明は省略する。本実施形態の板状体の支持構造を用いたプローブカード４１では、前記レバー２４を用いて調節ネジ２２を回転させて前記ワイヤロープ４９による張力を調節することで、前記中継回路基板４の平坦度を確保し、これにより、前記接続ピン４２による前記中継回路基板４と前記主回路基板２との押圧接続部分の接触圧力、および、前記中継回路基板４と前記プローブ７との押圧接続部分の接触圧力を確保することで、安定した電気的接続を維持し、信頼性の高いプローブカードが実現できる。また、本実施形態の板状体の支持構造によって、プローブカード４１の平坦度を確保することで高い精度で狭ピッチのプローブカードの組立が実現できる。

【0048】

プローブカード４１において、第２の実施形態の板状体の支持構造と同時に、ワイヤロープ９を用いた第１の実施形態の支持構造を用いることも可能である。これにより、２つのワイヤロープ９，４９によって、前記第２ガイド板６と前記中継回路基板４を同時に支持し、張力をそれぞれ調節可能な構造とすることも可能である。

【0049】

次に、第３の実施形態の板状体の支持構造を用いたプローブカード５１について説明する。前記プローブカード５１は、第２の実施形態の板状体の支持構造を用いたプローブカード４１と同じ、中継回路基板４と主回路基板２とをバネを内蔵した接続ピン４２を用いて電気的に接続する構造である。よって、ワイヤロープおよび貫通孔以外の部材は、全て第２の実施形態のプローブカード４１の部材（符号を含めて）をそのまま用いて説明する。

【0050】

第３の実施形態の板状体の支持構造を用いたプローブカード５１は、図６に示すように、板状体として、主回路基板２、補強板３、接続ピン用ガイド板４３、中継回路基板４、第1ガイド板５、および、第２ガイド板６を用いる。そして、前記プローブカード５１は、板状体以外の部材として、前記接続ピン用ガイド板４３に保持された接続ピン４２、前記第１ガイド板５と前記第２ガイド板６によって保持された垂直型のプローブ７を備える。

【0051】

前記プローブカード５１は、前記接続ピン４２によって前記中継回路基板４に下方へ弾性力が作用しており、同時に、前記プローブ７によって前記第２ガイド板６に下方へ弾性力が作用していることから、これらの弾性力によって前記中継回路基板４および前記第２ガイド板６が変形する。そこで、本実施形態では、板状体の支持構造として、前記中継回路基板４および前記第２ガイド板６を互いに長さの異なる２本のワイヤロープ５２，５３を組み合わせて支持する構造を用いる。このような板状体の支持構造によって、前記補強板３方向への張力を作用させ、調節手段１０を用いて前記ワイヤロープ５２，５３による張力を調節することで抑制する。

【0052】

前記ワイヤロープ５２は、前記中継回路基板４を前記補強板３に機械的に接続し張力を作用させるために用いる。前記ワイヤロープ５２を挿入する貫通孔５４，５５，５６，５７を、前記補強板３、前記主回路基板２、前記接続ピン用ガイド板４３、および前記中継回路基板４にそれぞれ１つずつ設ける。そして、前記ワイヤロープ５２を貫通孔５４，５５，５６，５７に挿入し、前記中継回路基板４から下方へと突出する。前記ワイヤロープ５２の下端を、前記中継回路基板４の下面に固定する。固定方法は特に限定するものではないが、例えば、前記ワイヤロープ５２の下端を予め拡張させておいて、前記貫通孔５７に挿入できないようにしてもよく、また、はんだ、接着剤等を用いて固定してもよい。

【0053】

前記貫通孔５４，５５，５６，５７に挿入したワイヤロープ５２の上端は、前記補強板３の上面に設けた調節手段１０によって固定する。これにより、前記ワイヤロープ５２による前記中継回路基板４への張力を前記調節手段１０によって調節することで、前記中継回路基板４に対して上方（前記補強板３方向）に張力を加えて、前記中継回路基板４の変形を抑制する。

【0054】

前記ワイヤロープ５３は、前記第２ガイド板６を前記補強板３に機械的に接続し張力を作用させるために用いる。前記ワイヤロープ５３を挿入する貫通孔５４，５５，５６，５７，５８，５９を、前記補強板３、前記主回路基板２、前記接続ピン用ガイド板４３、前記中継回路基板４、前記第１ガイド板５、および前記第２ガイド板６にそれぞれ１つずつ設ける。そして、前記ワイヤロープ５３を貫通孔５４，５５，５６，５７，５８，５９に挿入し、前記第２ガイド板６から下方へと突出する。前記ワイヤロープ５３の下端を、前記第２ガイド板６の下面に固定する。固定方法は、前記ワイヤロープ５２と同じ方法を用いる。

【0055】

前記貫通孔５４，５５，５６，５７，５８，５９に挿入したワイヤロープ５３の上端は、前記補強板３の上面に設けた調節手段１０によって固定する。これにより、前記ワイヤロープ５３による前記第２ガイド板６への張力を前記調節手段１０によって調節することで、前記第２ガイド板６に対して上方（前記補強板３方向）に張力を加えて、前記第２ガイド板６の変形を抑制する。

【0056】

本実施形態の板状体の支持構造では、直線状に配置した２本のワイヤロープ５２，５３を組み合わせて用いることで、狭いスペースしか確保できない場合でも、中継回路基板４および第２ガイド板６の両方の変形をそれぞれ抑制し、前記中継回路基板４および前記第２ガイド板６の平坦度を同時に確保し、これにより、前記接続ピン４２による前記中継回路基板４と前記主回路基板２との押圧接続部分の接触圧力、および、前記中継回路基板４と前記プローブ７との押圧接続部分の接触圧力を同時に確保することで、安定した電気的接続を維持し、信頼性の高いプローブカードが実現できる。また、本実施形態の板状体の支持構造を用いてプローブカード５１の平坦度を確保することで所定の精度で狭ピッチのプローブカードの組立が実現できる。

【0057】

本発明の板状体の支持構造の説明では垂直型プローブカードを用いているが、本願発明の板状体の支持構造はカンチレバー型プローブカードにも用いることが可能である。また、本発明の板状体の支持構造は、第１〜３の実施形態において説明した板状体以外の板状体を支持するために用いることも可能である。さらに、本実施形態の板状体の支持構造をプローブカード以外にも使用することも可能である。

【符号の説明】

【0058】

１，４１，５１ プローブカード
２ 主回路基板
３ 補強板
４ 中継回路基板
５ 第１ガイド板
６ 第２ガイド板
７ プローブ
８ ホルダー
９，４９，５２，５３ ワイヤロープ
１０ 調節手段
１２ 電極
１３ 第１ガイド孔
１４ 第２ガイド孔
２０ 土台
２２ 調節ネジ
２３ キャップ
２４ レバー
４２ 接続ピン
４３ 接続ピン用ガイド板
４４ ガイド孔

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】