特許6475219保持部材及び静電チャック並びに半導体製造用装置

発明の名称　保持部材及び静電チャック並びに半導体製造用装置

出願人　日本特殊陶業株式会社　（識別番号 4547）

　　　　特許公開件数ランキング 84 位（328件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 148 位（182件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6475219

公報発行日　2019年2月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6475219

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