特許第6478370号(P6478370)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6478370選択ゲートに熱酸化物選択ゲート絶縁体を使用し、ロジックに部分置換ゲートを使用する一体化のための製法
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