特許 6479243 超音波映像システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】6479243

(24)【登録日】2019年2月15日

(45)【発行日】2019年3月6日

(54)【発明の名称】超音波映像システム

(51)【国際特許分類】

   G01N 29/32 20060101AFI20190225BHJP

   G01N 29/28 20060101ALI20190225BHJP

【ＦＩ】

   G01N29/32

   G01N29/28

【請求項の数】10

【全頁数】19

(21)【出願番号】特願2018-125801(P2018-125801)

(22)【出願日】2018年7月2日

【審査請求日】2018年7月2日

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000233044

【氏名又は名称】株式会社日立パワーソリューションズ

(74)【代理人】

【識別番号】110001807

【氏名又は名称】特許業務法人磯野国際特許商標事務所

(72)【発明者】

【氏名】富田 隆

(72)【発明者】

【氏名】北見 薫

(72)【発明者】

【氏名】菅谷 夏樹

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 正一

【審査官】 越柴 洋哉

(56)【参考文献】

【文献】 実開昭５９−１４４４６６（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 実開昭５９−１２７１３８（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 実開平０２−１１４５９４（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開２０００−２１３０１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭５８−２２５３３８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−１０１７１０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｎ ２９／００−２９／５２

Ｇ０１Ｂ １７／００−１７／０８

Ｇ０１Ｍ １０／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

超音波映像装置と、水槽とを備え、
前記水槽のＸ軸方向の端部において、Ｘ軸方向の両側内壁面との空隙位置を変化して配設させることができ、前記超音波映像装置のプローブを走査した場合に生じる超音波の伝播媒体である液状物質の波の前記端部での反射波を減衰させる反射波減衰手段が配設されており、
前記反射波減衰手段は、方形状かつ板状のベースと該ベースの片面に配設された複数の突起物とを含んでおり、前記突起物を前記プローブ側に向けて配設されており、
前記水槽の端部には、前記反射波減衰手段をＸ軸方向の両側内壁面との空隙位置を変化して配設する挿入溝を有する空隙位置変更手段が配設される
ことを特徴とする超音波映像システム。

【請求項2】

超音波映像装置と、水槽とを備え、
前記水槽のＸ軸方向の端部において、Ｘ軸方向の両側内壁面との空隙位置を変化して配設させることができ、前記超音波映像装置のプローブを走査した場合に生じる超音波の伝播媒体である液状物質の波の前記端部での反射波を減衰させる反射波減衰手段が配設されており、
前記反射波減衰手段は、方形状かつ板状であるベースと該ベースの片面に配設された複数の突起物とを含んでおり、前記ベースには流路となる複数の開口を有し、
前記突起物を前記水槽の端部側に向けて配設されており、
前記水槽の端部には、前記反射波減衰手段をＸ軸方向の両側内壁面との空隙位置を変化して配設する挿入溝を有する空隙位置変更手段が配設される
ことを特徴とする超音波映像システム。

【請求項3】

前記プローブがＸ軸方向に１ライン分走査された後にＹ軸方向に走査位置に走査される場合、前記反射波減衰手段は、前記突起物のうちの少なくとも一つが映像取得対象である被検体のＹ軸方向の始点位置より外側にあり、前記突起物のうちの少なくとも一つが前記被検体のＹ軸方向の終点位置より外側にある
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の超音波映像システム。

【請求項4】

前記反射波減衰手段は、鉛直方向において、前記突起物のうちの少なくとも一つが前記水槽内の液状物質の表面より上側の高さ位置にある
ことを特徴とする請求項３に記載の超音波映像システム。

【請求項5】

前記反射波減衰手段は、
前記超音波映像装置の測定モードが反射法であるときは、鉛直方向において、前記突起物のうちの少なくとも一つが被検体の載置台の下側表面より下側の高さ位置であり、
前記超音波映像装置の測定モードが透過法であるときは、鉛直方向において、前記突起物のうちの少なくとも一つが下側プローブ部の下端部より下側の高さ位置である
ことを特徴とする請求項３又は請求項４に記載の超音波映像システム。

【請求項6】

前記プローブをＸ軸方向に１ライン分走査した後にＹ軸方向に走査位置に走査するスキャナを有し、
前記反射波減衰手段は、Ｙ軸方向には、その一方端辺が少なくとも映像取得対象である被検体のＹ軸方向の始点位置より外側にあり、かつ、他方端辺が少なくとも前記被検体のＹ軸方向の終点位置より外側にある
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の超音波映像システム。

【請求項7】

前記反射波減衰手段は、鉛直方向において、上方端辺が少なくとも前記水槽内の液状物質の表面より上側の高さ位置である
ことを特徴とする請求項１、２、６のいずれか１項に記載の超音波映像システム。

【請求項8】

前記反射波減衰手段は、
前記超音波映像装置の測定モードが反射法であるときは、鉛直方向において、下方端辺が少なくとも被検体の載置台の下側表面より下側の高さ位置であり、
前記超音波映像装置の測定モードが透過法であるときは、鉛直方向において、下方端辺が少なくともプローブの下端部より下側の高さ位置である
ことを特徴とする請求項１、２、６、７のいずれか１項に記載の超音波映像システム。

【請求項9】

前記挿入溝は、前記反射波減衰手段を挿入する幅を有し、
前記空隙位置変更手段は、前記挿入溝を複数有する
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の超音波映像システム。

【請求項10】

超音波映像装置と、水槽とを備え、
前記水槽のＸ軸方向の端部において、Ｘ軸方向の両側内壁面との空隙位置を変化して配設させることができ、前記超音波映像装置のプローブを走査した場合に生じる超音波の伝播媒体である液状物質の波の前記端部での反射波を減衰させる反射波減衰手段が配設されており、
前記反射波減衰手段は、方形状かつ板状の第１ベース及び第２ベースとが接合されており、
前記第１ベースには、流路となる第１開口が複数有し、
前記第２ベースには、流路となる第２開口が複数有し、
前記第２開口の開口率は、前記第１開口の開口率より小さく、
前記第２ベース側を、前記水槽の端部側に向けて配設されており、
前記水槽の端部には、前記反射波減衰手段をＸ軸方向の両側内壁面との空隙位置を変化して配設する挿入溝を有する空隙位置変更手段が配設される
ことを特徴とする超音波映像システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、超音波映像システムに関する。

【背景技術】

【0002】

超音波映像システムは、超音波映像装置を使用し、多層構造の半導体等の被検体を試料載置台に載置して水槽等の液体貯留槽に蓄えた超音波の伝播媒体である液状物質に浸漬し、超音波映像装置に備えたプローブから該被検体に超音波を照射し、その反射波又は透過波を受信して対象界面を映像化する。該プローブは、超音波を該被検体に照射しながら、所定の速度で該被検体の始点（一方端点）から終点（他方端点）まで、Ｘ軸方向にスキャンする。プローブが終点に到達すると、Ｙ軸方向にプローブを所定量移動させ、所定の速度で反対方向に、視点から終点までＸ軸方向にスキャンする。該プローブをスキャンさせたときに、泡の発生や波打ちが生じる。

【0003】

特許文献１では、「被検体に水を介して超音波を放射しその反射波を受信する超音波プローブと、この超音波プローブを所定軸方向に移動させて超音波走査を行うスキャナとを備えた超音波検査装置において、水のレベルを検出する水位検出器と、この水位検出器の検出値と超音波プローブの位置とに基づいてプローブの水没量を演算する演算手段と、スキャナによる移動速度と水没量との関係を記憶する記憶部と、移動速度が定められたとき演算手段により得られる水没量を記憶部から得られる水没量に一致させるように水のレベルを調整するレベル調整手段とを設けたことを特徴とする超音波検査装置。」が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開平８−１３６５１８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

前記特許文献１においては、該プローブの移動速度が低速のときには効果があったが、高速になるにつれて、さらなる波打ち対策が必要となってきた。

【0006】

プローブをＸ軸方向にスキャンするとき、その移動速度は、被検体の大きさにもよるが、２０００ｍｍ／秒に達する（出願人の製品による）。該プローブは、水槽に蓄えられた液状物質の中を移動するので、当然、この動きにより、液状物質表面に、プローブ部の進む方向に波（進行波）が生じることになる。進行波は、水槽のＸ軸方向の壁に衝突して反射波を発生させることとなる。反射波は該進行波と合成される。これを繰り返すことにより、振幅のより大きな定常波を形成することとなる。その結果、定常波の変位の最小となる位置（又は近傍位置）にプローブ部のＸ軸位置が合致するとき、プローブ部が液状物質から外に出てしまうおそれがある。プローブ部の超音波照射部が液状物質から出てしまうと、対象界面の映像を取得できなくなる問題が生じる。

【0007】

本発明は、前記課題に鑑みなされたものであって、プローブの移動速度が高速のときであっても波打ちを抑制できる超音波映像システムを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

前記目的を達成するために、本発明の超音波映像システムは、超音波映像装置と、水槽とを備え、水槽のＸ軸方向の端部において、Ｘ軸方向の両側内壁面との空隙位置を変化して配設させることができ、超音波映像装置のプローブを走査した場合に生じる超音波の伝播媒体である液状物質の波の端部での反射波を減衰させる反射波減衰手段が配設されており、反射波減衰手段は、方形状かつ板状のベースと該ベースの片面に配設された複数の突起物とを含んでおり、突起物をプローブ側に向けて配設されており、水槽の端部には、反射波減衰手段をＸ軸方向の両側内壁面との空隙位置を変化して配設する挿入溝を有する空隙位置変更手段が配設されることを特徴とする。本発明のその他の態様については、後記する実施形態において説明する。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、プローブの移動速度が高速のときであっても波打ちを抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】反射波減衰手段を有する超音波映像システムの構成を示す外観図である。

【図2】空隙位置変更手段の構成を示す説明図であり、（ａ）は、反射波減衰手段の配設する方法を示す図であり、（ｂ）空隙位置変更手段の側面図である。

【図3】水槽内の反射波減衰手段の配設位置を示す上面図である。

【図4】超音波映像システムの制御系及び信号処理系の構成を示すブロック図である。

【図5】実施例１に係る反射波減衰手段を示す構造模式図であり、（ａ）は水槽に配設した際の側面図であり、（ｂ）は反射波減衰手段の斜視図である。

【図6】実施例２に係る反射波減衰手段を示す構造模式図であり、（ａ）は水槽に配設した際の側面図であり、（ｂ）は反射波減衰手段の分解斜視図である。

【図7】実施例３に係る反射波減衰手段を示す構造模式図であり、（ａ）は水槽に配設した際の側面図であり、（ｂ）は反射波減衰手段の斜視図である。

【図8】実施例４に係る反射波減衰手段を示す構造模式図であり、（ａ）は水槽に配設した際の側面図であり、（ｂ）は反射波減衰手段の斜視図である。

【図9】実施例５に係る反射波減衰手段を示す構造模式図であり、（ａ）は水槽に配設した際の側面図であり、（ｂ）は反射波減衰手段の斜視図である。

【図10】実施例６に係る反射波減衰手段を示す構造模式図であり、（ａ）は水槽に配設した際の側面図であり、（ｂ）は反射波減衰手段の斜視図である。

【図11】実施例７に係る反射波減衰手段を示す構造模式図であり、（ａ）は水槽に配設した際の側面図であり、（ｂ）は反射波減衰手段の斜視図である。

【図12】実施例８に係る水槽側壁頂部返し手段を示す構造模式図であり、（ａ）は水槽に配設した際の側面図であり、（ｂ）は水槽側壁頂部返し手段の斜視図である。

【図13】透過法の超音波映像装置の構成を示す図である。

【図14】透過法の超音波映像装置に、実施例１に係る反射波減衰手段を適用した場合を示す説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

本発明を実施するための実施形態について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。
図１は、反射波減衰手段３０を有する超音波映像システム１００の構成を示す外観図である。図１において、符号１はＸ，Ｙ，Ｚの直交３軸の座標系を示している。超音波映像システム１００は、超音波映像装置９０と、水槽１０とを含んで構成されている。

【0012】

超音波映像装置９０は、超音波の送受信を行う超音波プローブ２０と、当該超音波映像装置９０を統括制御して超音波映像を表示する映像表示装置５０と、超音波プローブ２０との間で電気信号を入出力する送受信装置６０（図４参照）と、超音波プローブ２０を機械的に走査するＸ軸スキャナ７１及びＹ軸スキャナ７２と、Ｘ軸スキャナ７１及びＹ軸スキャナ７２を制御するメカ制御装置７７（図４参照）とを備えている。超音波プローブ２０は、Ｘ軸スキャナ７１及びＹ軸スキャナ７２に支えられて、水槽１０に満たされた水１１に浸漬され、被検体１５に対向するように配置される。なお、超音波プローブ２０のＺ軸スキャナは省略してある。

【0013】

水槽１０内には水１１が注入されており、当該水１１中に被検体１５が水没状態で置かれている。水槽１０内の水１１は、超音波プローブ２０（超音波探触子）の下端の開口面から放射された超音波を、被検体１５の内部に効率良く伝播させるために必要な伝播媒体である液状物質である。被検体１５は、例えばウエハ、多層構造（または積層構造）等を含む半導体パッケージである。

【0014】

超音波プローブ２０はホルダ７３で支持されて設置されている。ホルダ７３はＸ軸スキャナ７１に取り付けられている。超音波プローブ２０は、水槽１０に満たされた水１１に浸漬され、被検体１２０の上部Ｚ方向に所定の距離を於いて対向するように配置されている。

【0015】

アーム状のＸ軸スキャナ７１はホルダ１８をＸ軸方向に移動させ、Ｙ軸スキャナ７２はＸ軸スキャナ７１をＹ軸方向に移動させる機能を有している。Ｘ軸スキャナ７１とＹ軸スキャナ７２によってスキャナ装置７０が構成される。当該スキャナ装置７０によって超音波プローブ２０をＸＹ方向に自在に移動させることができる。この移動動作に基づいて、超音波プローブ２０は被検体１５の表面における予め定められた測定範囲を走査し、超音波を送信し、測定範囲内において予め設定された複数の測定点で反射エコー波を受信し、当該測定範囲に含まれる内部構造の欠陥を映像化して検査することができる。超音波プローブ２０はケーブル２３を介して送受信装置６０（図４参照）と接続されている。

【0016】

本実施形態の超音波映像システム１００は、水槽１０のＸ軸方向の両端に、超音波映像装置９０の超音波プローブ２０を走査した際に生じる水１１（液状物質）の波が、水槽１０の端部で反射する反射波を減衰させる反射波減衰手段３０が配設されているのが特徴である。反射波減衰手段３０は、空隙位置変更手段４０により、水槽１０のＸ軸方向の量異端に配設されている。空隙位置変更手段４０は、図２を参照して後記する。反射波減衰手段３０の詳細については、図５〜図１４を参照して後記する。

【0017】

本発明者らは、昨今のパネルレベルパッケージング（ＰＬＰ）のように、被検体１５として約６００ｍｍ角の大きな被検体１５について検討した。このような大型の被検体１５を、例えば、２０００ｍｍ／秒の高速で超音波プローブ２０をＸ軸方向に往復スキャンした際に、水の波打ちの課題があることをわかった。本実施形態の反射波減衰手段３０は、このように大きな被検体であっても波の合成波の影響を抑制するという課題を解決するためになされたものである。なお、ＰＬＰは、シリコン基板ではなく、液晶製造で使いなれたガラスパネルを用いて低コスト化を図るものである。

【0018】

図２は、空隙位置変更手段４０の構成を示す説明図であり、（ａ）は、反射波減衰手段の配設する方法を示す図であり、（ｂ）空隙位置変更手段の側面図である。図２（ａ）に示す反射波減衰手段３０は、多数の突起３２を有する方形状かつ格子状であるベース３１で形成されている。水槽１０のＸ方向の端部には、反射波減衰手段３０をＸ軸方向の両側内壁面との空隙位置を変化して配設する挿入溝４１を有する空隙位置変更手段４０が配設される。図２（ａ）の場合、挿入溝４１は、例えば、５か所ある。この挿入溝４１への挿入位置を変更することにより、反射波減衰手段３０と水槽の壁面との位置を変更することができる。また、空隙位置変更手段４０の下端は、Ｚ軸方向に位置決めすることができる下端部４５を有している。反射波減衰手段３０Ａは、図２（ａ）に示すように下端部４５で係止される。また、空隙位置変更手段４０は、図２（ｂ）に示すように、水槽の端部に係止できるように、逆Ｕ字型の係止部４２を有する。

【0019】

図２に示す例では、反射波減衰手段３０は、空隙位置変更手段４０の挿入溝４１に対し１枚挿入した例を示したが、これに限定されるわけではない。例えば、挿入溝４１の左側から３番目と、５番目にそれぞれ反射波減衰手段３０を挿入してもよい。これにより、より、超音波プローブ２０の移動速度が高速のときに発生する波打ちを効果的に抑制できる。

【0020】

図２の要点をまとめると、本実施形態の水槽１０の端部には、反射波減衰手段３０をＸ軸方向の両側内壁面との空隙位置を変化して配設する挿入溝４１を有する空隙位置変更手段４０が配設されている。また、挿入溝４１は、反射波減衰手段３０のベース３１を挿入する幅を有し、空隙位置変更手段４０は、挿入溝４１を複数有することが特徴である。この挿入溝４１への反射波減衰手段３０の挿入位置を変更することにより、反射波減衰手段３０と水槽の壁面との位置を変更することができる。

【0021】

図３は、水槽１０内の反射波減衰手段４０の配設位置を示す上面図である。水槽１０は、４つの側面部と底面部で構成されている。水槽１０内の試料載置台１２の上に被検体１５が配設されている。水槽１０のＸ軸方向の左側の側面部１０Ｌ、右側の側面部１０Ｒには、空隙位置変更手段４０が係止されている。図３に示すように、左側の空隙位置変更手段４０において、反射波減衰手段３０が水槽１０の左側の側面部１０Ｌから３番目の挿入溝４１に挿入されている。同様に、右側の空隙位置変更手段４０において、反射波減衰手段３０が水槽１０の右側の側面部１０Ｒから３番目の挿入溝４１に挿入されている。

【0022】

超音波プローブ２０（図１参照）がＸ軸方向に１ライン分走査された後にＹ軸方向に走査位置に走査される場合、反射波減衰手段３０は、突起３２（突起物）のうちの少なくとも一つが映像取得対象である被検体１５のＹ軸方向の始点位置１６ｓより外側にあり、突起３２（突起物）のうちの少なくとも一つが被検体１５のＹ軸方向の終点位置１６ｅより外側にあることが好ましい。これにより、被検体１５のＹ軸方向の始点位置１６ｓより外側およびＹ軸方向の終点位置１６ｅより外側において、波打ちを抑制できる。

【0023】

反射波減衰手段３０は、Ｙ軸方向には、その一方端辺が少なくとも映像取得対象である被検体１５のＹ軸方向の始点位置１６ｓより外側にあり、かつ、他方端辺が少なくとも被検体１５のＹ軸方向の終点位置１６ｅより外側にあることが好ましい。これにより、被検体１５のＹ軸方向の始点位置１６ｓより外側およびＹ軸方向の終点位置１６ｅより外側において、波打ちを抑制できる。

【0024】

図４は、超音波映像システムの制御系及び信号処理系の構成を示すブロック図である。超音波プローブ２０は、当該超音波プローブ２０の走査位置を検知するエンコーダ２１と、電気信号と超音波信号とを相互に変換する圧電素子２２とを備えている。圧電素子２２は、単一焦点型の超音波センサである。

【0025】

映像表示装置５０は、超音波プローブ２０の走査位置を制御する走査制御部５１と、超音波の周波数を制御する周波数制御部５２と、超音波の送受信タイミングを制御するタイミング制御部５３と、超音波画像を生成する画像生成部５４とを備えている。

【0026】

送受信装置６０は、バースト波の電気信号を生成するバースト波発信器６１と、インパルス波の電気信号を生成するインパルス波発信器６２と、スイッチ６３と、超音波プローブ２０が受信した受信信号を増幅するアンプ６４と、当該受信信号をアナログ信号からデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器６５と、当該受信信号を信号処理する信号処理部６６とを備えている。

【0027】

走査制御部５１は、メカ制御装置７７と入出力可能に接続されている。走査制御部５１は、メカ制御装置７７とＸ軸スキャナ７１とＹ軸スキャナ７２によって超音波プローブ２０の走査位置を制御すると共に、メカ制御装置７７から超音波プローブ２０の現在の走査位置情報を受信する。

【0028】

メカ制御装置７７の出力側は、Ｘ軸スキャナ７１及びＹ軸スキャナ７２に接続されている。メカ制御装置７７には、超音波プローブ２０のエンコーダ２１の出力側が接続されている。メカ制御装置７７は、エンコーダ２１の出力信号によって、超音波プローブ２０の走査位置を検知し、Ｘ軸スキャナ７１及びＹ軸スキャナ７２によって、超音波プローブ２０が指示された走査位置になるように制御する。メカ制御装置７７は、走査制御部５１から超音波プローブ２０の制御指示を受けると共に、超音波プローブ２０の走査位置情報を応答する。

【0029】

タイミング制御部５３は、走査制御部５１から取得した超音波プローブ２０の走査位置情報に基づいて、送受信装置６０に超音波の送受信タイミング信号（情報）を出力し、周波数制御部５２に超音波の周波数情報を出力する。

【0030】

周波数制御部５２は、タイミング制御部５３が出力した超音波の周波数情報に基づいて、バースト波発信器６１に所定の周波数のバースト波を所定パルス数だけ出力するように指示する。

【0031】

バースト波発信器６１は、周波数制御部５２が出力した信号に基づいて、圧電素子２２に所定の周波数のバースト波を所定パルス数だけ出力するものである。インパルス波発信器６２は、タイミング制御部５３が出力したタイミング信号に基づいて、圧電素子２２にインパルス波を出力するものである。スイッチ６３は、タイミング制御部５３の出力信号に基づいて、バースト波とインパルス波のいずれを圧電素子２２に出力するかを切り替えるものである。

【0032】

圧電素子２２は、圧電膜の両面にそれぞれ電極が取り付けられているものであり、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、セラミックス、フッ素系共重合体等で構成される。圧電素子２２は、両電極間に電圧が印加されることにより、当該圧電膜から超音波を送信する。さらに圧電素子２２は、当該圧電膜が受信したエコー波（受信波）を、前記両電極間に発生する電圧である受信信号に変換する。アンプ６４は、当該受信信号を増幅して出力信号Ｖｏｕｔとして出力するものである。Ａ／Ｄ変換器６５は、増幅された当該受信信号を、アナログ信号からデジタル信号に変換するものである。

【0033】

信号処理部６６は、受信信号を信号処理するものである。信号処理部６６は、タイミング制御部５３が出力するゲートパルスＶgateによって、受信信号の所定期間のみを切り出す。信号処理部６６は、所定期間の受信信号の振幅情報、または、所定期間の受信信号の時間情報を、画像生成部５４に出力する。画像生成部５４は、信号処理部６６の出力信号に基づいて、所定周波数に於ける超音波画像を生成するものである。

【0034】

（超音波映像装置の動作）
図４を参照しつつ、超音波映像装置９０の一連の動作について説明する。
走査制御部５１は、超音波プローブ２０を＋Ｘ方向にスキャンして１ライン分の画素を取得する。走査制御部５１は、超音波プローブ２０がＸ方向の端に位置していることを検知したならば、超音波プローブ２０を＋Ｙ方向に所定ピッチだけ移動させたのち、−Ｘ方向にスキャンして、１ライン分の画像を取得する。これを繰り返して、走査制御部５１は、所定範囲の走査を行う。

【0035】

映像表示装置５０のタイミング制御部５３は、走査制御部５１から超音波プローブ２０のＸ方向とＹ方向の走査位置情報を受け取り、Ｙ方向の走査位置情報に基づいて周波数制御部５２に周波数を指示し、Ｘ方向の走査位置情報に基づいて送受信装置６０に超音波の送信を指示すると共に、受信信号を信号処理するためのゲートパルスＶgateを出力する。

【0036】

送受信装置６０は、バースト波発信器６１が出力したバースト信号とインパルス波発信器６２が出力したインパルス信号のいずれかをスイッチ６３により切り替えて、超音波プローブ２０に信号を出力する。さらに、送受信装置６０は、超音波プローブ２０が受信したエコー波（受信波）の受信信号を、アンプ６４で増幅したのち、Ａ／Ｄ変換器６５によってデジタル信号に変換する。信号処理部６６は、タイミング制御部５３から入力されたゲートパルスＶgateに基づいて、受信信号（デジタル信号）を信号処理し、映像表示装置５０に出力する。

【0037】

映像表示装置５０は、走査制御部５１が取得した走査位置の情報を画素位置とし、送受信装置６０が信号処理した受信信号の情報を画素の輝度情報として、被検体１５の内部構造を画像化して表示する。被検体１２０の内部を示す超音波画像は、受信信号の振幅情報によるものでも、受信信号が所定振幅以上になる時間の情報によるものでもよい。

【0038】

以下、各種の反射波減衰手段３０について説明する。
（実施例１）
図５は、実施例１に係る反射波減衰手段３０Ａを示す構造模式図であり、（ａ）は水槽１０に配設した際の側面図であり、（ｂ）は反射波減衰手段３０Ａの水槽１０の壁に接する（向き合う）側からみた斜視図である。即ち、図５（ｂ）は、図５（ａ）の側面部１０Ｒ側（右側）の斜視図である。図５（ａ）に示すように、水槽１０の側面部１０Ｌ，１０Ｒから所定距離の位置に反射波減衰手段３０Ａが配設されている。図５（ｂ）に示すように、反射波減衰手段３０Ａは、多数の突起３２を有する方形状かつ格子状であるベース３１で形成されている。突起３２は、樹脂材料等の柔らかい材料であり、例えば、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＥＰＤＭ（エチレン-プロピレンゴム）、ＡＢＳ（アクリロニトリル、ブタジエン、スチレン）等の樹脂が好ましい。なお、突起３２は、細線等の金属材料であってもよい。

【0039】

水槽１０に貯めた液状物質１１Ａの中に試料載置台１２を設置し、被検体１５の上方で超音波プローブ２０を高速で移動させると、水槽１０中の液状物質表面に進行波が生じ、進行波は水槽内壁（例えば、側面部１０Ｌ，１０Ｒの内壁）に当たって反射波を生じる。超音波プローブ２０をＸ軸方向に繰り返し往復動作させることにより、進行波と反射波が合成され、より大きな合成波を生じさせる。これにより、液状物質１１Ａの表面の変位が大きくなり、超音波プローブ２０の先端が液状物質１１Ａから露出すると、超音波による被検体１５の画像が取得できなくなる。また、水槽１０の側面部の高さを超える合成波になると液状物質１１Ａが水槽１０から溢れ、被検体１５を静置させることも難しくなる。さらには、液状物質１１Ａ中に気泡を巻き込むことにより、超音波による画像取得を阻害する。

【0040】

このため、本実施例では、水槽１０の側壁に反射波減衰手段３０Ａを配設することにより、超音波の伝播媒体である液状物質１１Ａの波の側面部１０Ｌ，１０Ｒ（端部）での反射波を抑制することができる。反射波減衰手段３０Ａは、貫通口を有したベース（例えば、格子状のベース３１）に、先端が少し曲がった細い突起３２を複数設けた構造とする。突起３２を水槽１０の側壁側に向け配設することにより、進行波が貫通口を設けたベースを通り、突起３２で拡散させられることにより、反射波を抑制することができる。

【0041】

反射波減衰手段３０Ａは、鉛直方向（Ｚ軸方向）に、突起３２（突起物）のうちの少なくとも一つが水槽１０内の液状物質１１Ａの表面より上側の高さ位置にあることが好ましい。また、反射波減衰手段３０Ａは、鉛直方向に、上方端辺３０Ａｕが少なくとも水槽１０内の液状物質１１Ａの表面より上側の高さ位置であることが好ましい。これにより、液状物質１１Ａの表面より上側において、波打ちを抑制できる。

【0042】

反射波減衰手段３０Ａは、鉛直方向（Ｚ軸方向）において、突起３２（突起物）のうちの少なくとも一つが被検体の載置台の下側表面１２ｄより下側の高さ位置であることが好ましい。また、反射波減衰手段３０Ａは、鉛直方向において、下方端辺３０Ａｄが少なくとも被検体１５の試料載置台１２の下側表面１２ｄより下側の高さ位置であることが好ましい。これにより、液状物質１１Ａ内の被検体の載置台の下側表面１２ｄ付近での波打ちを抑制できる。

【0043】

実施例１の反射波減衰手段３０Ａは、方形状かつ板状であるベース（例えば、ベース３１）と該ベースの片面に配設された複数の突起物（例えば、突起３２）とを含んでおり、ベースには流路となる複数の開口を有し、突起物を水槽１０の端部側（側面部側）に向けて配設されていることが特徴である。

【0044】

（実施例２）
図６は、実施例２に係る反射波減衰手段３０Ｂを示す構造模式図であり、（ａ）は水槽１０に配設した際の側面図であり、（ｂ）は反射波減衰手段３０Ｂの水槽１０の壁に接する（向き合う）側からみた分解斜視図である。即ち、図６（ｂ）は、図６（ａ）の側面部１０Ｒ側（右側）の分解斜視図である。図６（ａ）に示すように、水槽１０の側面部１０Ｌ，１０Ｒから間隔ｄだけ離した位置に反射波減衰手段３０Ｂが配設されている。反射波減衰手段３０Ｂは、方形状かつ板状の第１ベース３０Ｂ１と、方形状かつ板状の第２ベース３０Ｂ２とを貼り合わせた構造である。図６（ｂ）に示すように、第１ベース１０Ｂ１は、貫通口３３を複数有し、第２ベース３０Ｂ２は、第１ベース３０Ｂ1の貫通口３３の開口率より小さい貫通口３４を複数有する。

【0045】

言い換えると、反射波減衰手段３０Ｂは、貫通口を設けた板（第１ベース３０Ｂ１）に開口率の異なる板（第２ベース３０Ｂ２）を貼り合せた構造である。水槽１０内の超音波プローブ２０を中心とした内側には、開口率の大きな貫通口３３を設けた板を配し、その外側には開口率の小さな貫通口３４を設けた板を配するものとする。被検体１５の上方で超音波プローブ２０を高速で移動させると、水槽１０中の液状物質表面に進行波が生じる。進行波は開口率の大きな貫通口３３を設けた板を通り、開口率の小さな貫通口３４を設けた板で進行波が減衰させられる。また、開口率の小さな貫通口３４を設けた板を通り抜けた進行波は、水槽１０の側壁で反射するが、波のエネルギーが減衰しているため、開口率の小さな貫通口３４を設けた板を通ることができない。なお、この形態の反射波減衰手段３０Ｂは、水槽１０の側壁から間隔ｄを設けて設置すると効果が高いが、進行波の大きさや開口率等により決める必要があり、一義的に決定できる寸法ではない。

【0046】

実施例２の反射波減衰手段３０Ｂは、方形状かつ板状の第１ベース及び第２ベースとが接合されており、第１ベースには、流路となる貫通口３３（第１開口）が複数有し、第２ベースには、流路となる貫通口３４（第２開口）が複数有する。第２開口の開口率は、第１開口の開口率より小さく、第２ベース側を、前記水槽の端部側に向けて配設されていることが特徴である。

【0047】

（実施例３）
図７は、実施例３に係る反射波減衰手段３０Ｃを示す構造模式図であり、（ａ）は水槽１０に配設した際の側面図であり、（ｂ）は反射波減衰手段３０Ｃの水槽１０の壁に接する（向き合う）側とは反対方向からみた斜視図である。即ち、図７（ｂ）は、図７（ａ）の側面部１０Ｌ側（左側）の斜視図である。図７（ａ）に示すように、水槽１０の側面部１０Ｌ，１０Ｒに、複数の突起３２Ｃを有する反射波減衰手段３０Ｃが配設されている。図７（ｂ）に示すように、反射波減衰手段３０Ｃは、方形状かつ板状のベース３１Ｃに、断面（ＸＺ平面上の断面）が三角状でＹ軸方向に長い突起３２Ｃを複数有する。

【0048】

被検体１５の上方で超音波プローブ２０を高速で移動させると、水槽１０中の液状物質１１Ａの表面に進行波が生じる。進行波は、反射波減衰手段３０Ｃの突起３２Ｃにより、反射波の方向を変更させられる。これにより、進行波と反射波が合成し、より大きな進行波となることを抑制することができる。

【0049】

実施例３の反射波減衰手段３０Ｃは、方形状かつ板状のベース（例えば、ベース３１Ｃ）と該ベースの片面に配設された複数の突起物（例えば、突起３２Ｃ）とを含んでおり、突起物を超音波プローブ２０側に向けて配設されていることが特徴である。なお、突起３２Ｃの断面は三角状となっているが、半円状、半楕円状等であってもよい。

【0050】

（実施例４）
図８は、実施例４に係る反射波減衰手段３０Ｄを示す構造模式図であり、（ａ）は水槽１０に配設した際の側面図であり、（ｂ）は反射波減衰手段３０Ｄの水槽１０の壁に接する（向き合う）側とは反対方向からみた斜視図である。即ち、図８（ｂ）は、図８（ａ）の側面部１０Ｌ側（左側）の斜視図である。図８（ａ）に示すように、水槽１０の側面部１０Ｌ，１０Ｒに、複数の突起３２Ｄを有する反射波減衰手段３０Ｄが配設されている。図８（ｂ）に示すように、反射波減衰手段３０Ｄは、方形状かつ板状のベース３１Ｄに、断面（ＸＺ平面上の断面）が三角状でＹ軸方向に長い突起３２Ｄを複数有する。実施例４は、実施例３と異なり、突起３２Ｄが上方（Ｚ軸の負側の方向）に向かって、大きくなっている。

【0051】

即ち、反射波減衰手段３０Ｄは、突起３２Ｄを、上方に向けて徐々に大きくなるように配設した構造としている。被検体１５の上方で超音波プローブ２０を高速で移動させると、水槽１０中の液状物質１１Ａの表面に進行波が生じる。進行波の振幅は、進行波の大きさに比例するため、上方に向けて突起物を大きくすることにより、効果的に反射波の方向を変更することができる。

【0052】

実施例４の反射波減衰手段３０Ｄは、方形状かつ板状のベース（例えば、ベース３１Ｄ）と該ベースの片面に配設された複数の突起物（例えば、突起３２Ｄ）とを含んでおり、突起物を超音波プローブ２０側に向けて配設されている。突起物は、上方に向けて徐々に大きくなることが特徴である。なお、突起３２Ｃの断面は三角状となっているが、半円状、半楕円状等であってもよい。

【0053】

（実施例５）
図９は、実施例５に係る反射波減衰手段３０Ｅを示す構造模式図であり、（ａ）は水槽１０に配設した際の側面図であり、（ｂ）は反射波減衰手段３０Ｅの水槽１０の壁に接する（向き合う）側とは反対方向からみた斜視図である。即ち、図９（ｂ）は、図９（ａ）の側面部１０Ｌ側（左側）の斜視図である。図９（ａ）に示すように、水槽１０の側面部１０Ｌ，１０Ｒに、複数の突起３２Ｅを有する反射波減衰手段３０Ｅが配設されている。図９（ｂ）に示すように、反射波減衰手段３０Ｅは、方形状かつ格子状のベース３１Ｅに、断面（ＸＺ平面上の断面）が三角状でＹ軸方向に長い突起３２Ｅを複数有する。突起３２Ｅは、上下方向（Ｚ軸の正負方向）において所定の間隔をおいてベース３１Ｅに配設されており、その所定の間隔が波の貫通口となる。

【0054】

即ち、反射波減衰手段３０Ｅは、貫通口を設けた板（例えば、ベース３１Ｅ）は超音波プローブ２０を中心とした内側に向け、突起３２Ｅは水槽１０の側壁面に向け、間隔ｄで配設する構造とする。被検体１５の上方で超音波プローブ２０を高速で移動させると、水槽１０中の液状物質１１Ａの表面に進行波が生じる。進行波が貫通口を設けた板を通り、水槽１０の側壁で反射した後、突起３２Ｅにより反射波の方向が変更させられることにより、反射波を抑制することができる。

【0055】

実施例５の反射波減衰手段３０Ｅは、方形状かつ板状であるベース（例えば、ベース３１Ｅ）と該ベースの片面に配設された複数の突起物（例えば、突起３２Ｅ）とを含んでおり、ベースには流路となる複数の開口を有し、突起物を水槽１０の端部側に向けて配設されている。なお、突起３２Ｅの断面は三角状となっているが、半円状、半楕円状等であってもよい。

【0056】

（実施例６）
図１０は、実施例６に係る反射波減衰手段３０Ｆを示す構造模式図であり、（ａ）は水槽１０に配設した際の側面図であり、（ｂ）は反射波減衰手段３０Ｆの水槽１０の壁に接する（向き合う）側とは反対方向からみた斜視図である。即ち、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）の側面部１０Ｌ側（左側）の斜視図である。図１０（ａ）に示すように、水槽１０の側面部１０Ｌ，１０Ｒに、複数の平板状の突起３２Ｆを有する反射波減衰手段３０Ｆが配設されている。図１０（ｂ）に示すように、反射波減衰手段３０Ｆは、方形状かつ板状のベース３１Ｆに、断面（ＸＺ平面上の断面）が方形状でＹ軸方向に長い突起３２Ｆを複数有する。平板状の突起３２Ｆには、小さな穴３５が複数有している。

【0057】

被検体１５の上方で超音波プローブ２０を高速で移動させると、水槽１０中の液状物質１１Ａの表面に進行波が生じる。進行波は、反射波減衰手段３０Ｆの突起３２Ｆにより、反射波の方向を変更させられる。これにより、進行波と反射波が合成し、より大きな進行波となることを抑制することができる。また、上下方向（Ｚ軸の正負方向）に変更された波は、平板に開けられた小さな穴３５を通過することにより、波のエネルギーを減衰させることができる。

【0058】

実施例６の反射波減衰手段３０Ｆは、方形状かつ板状のベース（例えば、ベース３１Ｆ）と該ベースの片面に配設された複数の突起物（例えば、突起３２Ｆ）とを含んでおり、突起物を超音波プローブ２０側に向けて配設されている。突起３２Ｆは、Ｙ軸方向に対し平板状となっているのが特徴である。

【0059】

（実施例７）
図１１は、実施例７に係る反射波減衰手段３０Ｇを示す構造模式図であり、（ａ）は水槽１０に配設した際の側面図であり、（ｂ）は反射波減衰手段３０Ｇの水槽１０の壁に接する（向き合う）側とは反対方向からみた斜視図である。即ち、図１１（ｂ）は、図１１（ａ）の側面部１０Ｌ側（左側）の斜視図である。図１１（ａ）に示すように、水槽１０の側面部１０Ｌ，１０Ｒに、複数の平板状の突起３２Ｇを有する反射波減衰手段３０Ｇが配設されている。図１１（ｂ）に示すように、反射波減衰手段３０Ｇは、方形状かつ板状のベース３１Ｇに、断面（ＸＺ平面上の断面）が方形状でＹ軸方向に長い突起３２Ｇを複数有する。平板状の突起３２Ｇには、小さな穴３５が複数有している。

【0060】

即ち、反射波減衰手段３０Ｇは、突起３２Ｇを、上方に向けて徐々に大きくなるように配設した構造としている。被検体１５の上方で超音波プローブ２０を高速で移動させると、水槽１０中の液状物質１１Ａの表面に進行波が生じる。進行波の振幅は、進行波の大きさに比例するため、上方に向けて突起物を大きくすることにより、効果的に反射波の方向を変更することができる。

【0061】

実施例７の反射波減衰手段３０Ｇは、方形状かつ板状のベース（例えば、ベース３１Ｇ）と該ベースの片面に配設された複数の突起物（例えば、突起３２Ｇ）とを含んでおり、突起物を超音波プローブ２０側に向けて配設されている。突起物は、上方に向けて徐々に大きくなることが特徴である。

【0062】

（実施例８）
図１２は、実施例８に係る水槽側壁頂部返し手段３７を示す構造模式図であり、（ａ）は水槽１０に配設した際の側面図であり、（ｂ）は水槽側壁頂部返し手段３７の水槽１０の壁に接する（向き合う）側とは反対方向からみた斜視図である。即ち、図１２（ｂ）は、図１２（ａ）の側面部１０Ｌ側（左側）の斜視図である。図１２（ａ）に示すように、水槽１０の側面部１０Ｌ，１０Ｒに、水槽側壁頂部返し手段３７が配設されている。水槽側壁頂部返し手段３７は、断面（ＸＺ平面上の断面）がＬ字形状の頂部返し部３７ａと、頂部返し部３７ａを側面部に係合させる係合部３７ｂとを含んで構成される。図１２（ｂ）に示すように、水槽側壁頂部返し手段３７は、Ｙ軸方向に長い形状である。なお、頂部返し部３７ａと係合部３７ｂとは、一体成形してもよい。

【0063】

水槽１０に貯めた液状物質１１Ａの中に試料載置台１２を設置し、被検体１５の上方で超音波プローブ２０を高速で移動させると、水槽１０中の液状物質表面に進行波が生じ、進行波は水槽内壁（例えば、側面部１０Ｌ，１０Ｒの内壁）に当たって反射波を生じる。超音波プローブ２０をＸ軸方向に繰り返し往復動作させることにより、進行波と反射波が合成され、より大きな合成波を生じさせる。これにより、液状物質１１Ａの表面の変位が大きくなり、超音波プローブ２０の先端が液状物質１１Ａから露出すると、超音波による被検体１５の画像が取得できなくなる。また、水槽１０の側面部の高さを超える合成波になると液状物質１１Ａが水槽１０から溢れ、被検体１５を静置させることも難しくなる。さらには、液状物質１１Ａ中に気泡を巻き込むことにより、超音波による画像取得を阻害する。

【0064】

このため、本実施例では、水槽１０の側壁に、水槽側壁頂部返し手段３７を配設することにより、超音波の伝播媒体である液状物質１１Ａの波の側面部１０Ｌ，１０Ｒ（端部）での反射波を抑制することができる。水槽側壁頂部返し手段３７は、断面がＬ字形状の頂部返し部３７ａを有しているため、反射波が頂部返し部３７ａが障害となり、反射波を抑制することができる。

【0065】

以上実施例１〜８において、超音波映像装置９０が反射法である場合について説明したが、これに限定されるわけではない。例えば、超音波映像装置９０が透過法であってもよい。

【0066】

図１３は、透過法の超音波映像装置の構成を示す図である。被検体１５は、検査対象ホルダ１７に載置され、第１超音波探触部８１（上方プローブ）と第２超音波探触部８２（下方プローブ）との間に配置される。検査対象ホルダ１７は、超音波を透過する材料、例えば、ポリエチレン、ポリメチルペンテン等のプラスチック材料、アクリル樹脂、等により構成される。

【0067】

取り付け部品８５は、Ｘ軸走査部８０及び第１のＺ軸走査部８３を固定し、取り付け部品８６は、Ｘ軸走査部８０及び第２のＺ軸走査部８４を固定する。取り付け部品８５と取り付け部品８６とは、互いにネジ等の締結具により一体化されている。プローブホルダ８７は、第１超音波探触部８１を固定するためのホルダであり、第１のＺ軸走査部８３を介して±Ｚ軸方向に駆動可能である。Ｌ字金具８８は、第２超音波探触部８２を固定するための金具であり、第２のＺ軸走査部８４を介して±Ｚ軸方向に駆動可能である。

【0068】

Ｘ軸走査部８０が、Ｘ方向に駆動することで、第１超音波探触部８１及び第２超音波探触部８２は共に±Ｘ方向に駆動する。Ｙ軸走査部（図示せず）が、Ｙ軸方向に駆動することで、第１超音波探触部８１及び第２超音波探触部８２は共に±Ｙ方向に駆動する。つまり、±Ｘ方向、±Ｙ方向において、第２超音波探触部８２は、第１超音波探触部８１に追従して駆動する。

【0069】

一方、第１のＺ軸走査部８３が、Ｚ軸方向に駆動することで、第１超音波探触部８１は±Ｚ方向に駆動し、第２のＺ軸走査部８４が、Ｚ軸方向に駆動することで、第２超音波探触部２は±Ｚ方向に駆動する。つまり、±Ｚ方向において、第１超音波探触部８１と第２超音波探触部８２とは、独立して駆動可能である。

【0070】

図１４は、透過法の超音波映像装置に、実施例１に係る反射波減衰手段を適用した場合を示す説明図である。実施例１と同様に、水槽１０の側面部１０Ｌ，１０Ｒから所定距離の位置に反射波減衰手段３０Ａが配設されている。反射波減衰手段３０Ａは、多数の突起３２を有する方形状かつ格子状であるベース３１で形成されている。突起３２は、樹脂材料等の柔らかい材料であり、例えば、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＥＰＤＭ（エチレン-プロピレンゴム）、ＡＢＳ（アクリロニトリル、ブタジエン、スチレン）等の樹脂が好ましい。

【0071】

反射波減衰手段３０Ａは、鉛直方向（Ｚ軸方向）において、突起３２（突起物）のうちの少なくとも一つが第２超音波探触部８２（下側プローブ部）の下端部８２Ｌより下側の高さ位置まであることが好ましい。これにより、液状物質１１Ａ内の、下端部８２Ｌ付近の波打ちを抑制できる。

【0072】

反射波減衰手段３０Ａは、鉛直方向（Ｚ軸方向）において、下方端辺３０Ａｄが少なくとも第２超音波探触部８２（下側プローブ）の下端部８２Ｌより下側の高さ位置であることが好ましい。これにより、液状物質１１Ａ内の、下端部８２Ｌ付近の波打ちを抑制できる。

【0073】

水槽１０に貯めた液状物質１１Ａの中に検査対象ホルダ１７を設置し、被検体１５の上方及び下方で、第１超音波探触部８１（上方プローブ）と第２超音波探触部８２（下方プローブ）を高速で移動させると、水槽１０中の液状物質１１Ａの表面に進行波が生じるとともに、液状物質１１Ａ内においても進行波が生じる。

【0074】

このため、図１４に示す実施例では、水槽１０の側壁に反射波減衰手段３０Ａを配設することにより、超音波の伝播媒体である液状物質１１Ａの波の側面部１０Ｌ，１０Ｒ（端部）での反射波を抑制することができる。反射波減衰手段３０Ａは、貫通口を有したベース（例えば、格子状のベース３１）に、先端が少し曲がった細い突起３２を複数設けた構造とする。突起３２を水槽１０の側壁側に向け配設することにより、進行波が貫通口を設けたベースを通り、突起３２で拡散させられることにより、反射波を抑制することができる。

【0075】

なお、図１４においては、実施例１の反射波減衰手段３０Ａ（図５参照）の例について説明したが、これに限定されない。実施例２〜７の反射波減衰手段３０、及び、実施例８の水槽側壁頂部返し手段３７についても適用することができる。

【0076】

本実施形態の超音波映像システム１００は、超音波映像装置９０と、水槽１０とを備え、水槽１０の端部において、超音波映像装置９０の超音波プローブ２０を走査した場合に生じる超音波の伝播媒体である液状物質の波の端部での反射波を減衰させる反射波減衰手段３０が配設されている。反射波減衰手段３０は、複数の突起３２（突起物）を有し、超音波映像装置９０の超音波プローブ２０をＸ軸方向に走査した際に、Ｘ軸方向の水槽１０の両端部に、反射波減衰手段３０が配設されている。これにより、超音波プローブ２０を高速に移動したときであっても波打ちを抑制することができる。

【0077】

また、他の効果として、試料載置台１２を水の中に沈めるときに流入する水の勢いを軽減することができる。

【0078】

なお、本発明は前記した実施形態に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、突起３２を樹脂であることが好ましいとしたが、ステンレス等の金属であってもよい。ステンレスは、耐水性を有している。また、前記した実施形態は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。

【符号の説明】

【0079】

１ 座標系
１０ 水槽
１１ 水
１１Ａ 液状物質
１２ 試料載置台
１５ 被検体
１７ 検査対象ホルダ
２０ 超音波プローブ
３０，３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ，３０Ｄ，３０Ｅ，３０Ｆ，３０Ｇ 反射波減衰手段
３１ ベース
３２ 突起（突起物）
３７ 水槽側壁頂部返し手段
４０ 空隙位置変更手段
４１ 挿入溝
５０ 映像表示装置
７０ スキャナ装置
７１ Ｘ軸スキャナ
７２ Ｙ軸スキャナ
８１ 第１超音波探触部（上方プローブ）
８２ 第２超音波探触部（下方プローブ）
９０ 超音波映像装置
１００ 超音波映像システム

【要約】

【課題】プローブの移動速度が高速のときであっても波打ちを抑制できる超音波映像システムを提供する。
【解決手段】超音波映像システムは、超音波映像装置と、水槽１０とを備え、水槽１０の端部において、超音波映像装置の超音波プローブ２０を走査した際に生じる超音波の伝播媒体である液状物質の波の端部での反射波を減衰させる反射波減衰手段３０が配設されている。反射波減衰手段３０は、複数の突起３２を有し、超音波映像装置の超音波プローブ２０をＸ軸方向に走査した際に、Ｘ軸方向の水槽１０の両端部に、反射波減衰手段３０が配設されている。
【選択図】図５

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】