【図1】図１は、例示用の装置を示す。

【図2】図２Ａ及び図２Ｂは、例示用の装置における歪を示す。

【図3】図３Ａ及び図３Ｂは、センサを概略的に示す。

【図4】図４Ａ及び図４Ｂは、装置を示す。

【図5A-5C】図５Ａ〜図５Ｃは、装置を示す。

【図6】図６は、装置の断面を示す。

【図7】図７Ａ及び図７Ｂは、装置を示す。

【図8】図８Ａ及び図８Ｂは、装置を示す。

【図9】図９Ａ及び図９Ｂは、装置を示す。

【図10】図１０は、方法を示す。

【図11】図１１Ａ〜図１１Ｒは、方法を示す。

【図12】図１２Ａ〜図１２Ｇは、方法を示す。

【図13】図１３は、方法を示す。

【図14】図１４Ａ〜図１４Ｄは、トランジスタを概略的に示す。

【図15】図１５Ａ〜図１５Ｄは、装置を示す。

【図16】図１６Ａ〜図１６Ｆは、装置を示す。

【図17】図１７Ａ〜図１７Ｃは、装置を示す。

【図18】図１８Ａ及び図１８Ｂは、装置を示す。

【図19】図１９は、装置を示す。

【図20】図２０Ａ〜図２０Ｃは、装置を示す。

【図21】図２１Ａ〜図２１Ｔは、装置を示す。