特許6482595高抵抗率半導体基板を製造するための方法

発明の名称　高抵抗率半導体基板を製造するための方法

出願人　ソイテック　（識別番号 507088071）

　　　　特許公開件数ランキング 1553 位（16件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 3357 位（5件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6482595

公報発行日　2019年3月13

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6482595

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