特許 6484482 ガラス板製造方法およびガラス板製造装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6484482

(24)【登録日】2019年2月22日

(45)【発行日】2019年3月13日

(54)【発明の名称】ガラス板製造方法およびガラス板製造装置

(51)【国際特許分類】

   B65G 49/06 20060101AFI20190304BHJP

   C03B 35/00 20060101ALI20190304BHJP

   G01N 21/892 20060101ALI20190304BHJP

   G01N 21/84 20060101ALI20190304BHJP

【ＦＩ】

   B65G49/06 Z

   C03B35/00

   G01N21/892 A

   G01N21/84 C

【請求項の数】11

【全頁数】19

(21)【出願番号】特願2015-68073(P2015-68073)

(22)【出願日】2015年3月30日

(65)【公開番号】特開2016-26968(P2016-26968A)

(43)【公開日】2016年2月18日

【審査請求日】2018年3月14日

(31)【優先権主張番号】特願2014-134122(P2014-134122)

(32)【優先日】2014年6月30日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】598055910

【氏名又は名称】ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100111187

【弁理士】

【氏名又は名称】加藤 秀忠

(74)【代理人】

【識別番号】100159916

【弁理士】

【氏名又は名称】石川 貴之

(72)【発明者】

【氏名】辻 純弥

(72)【発明者】

【氏名】寺西 雅和

(72)【発明者】

【氏名】伊▲せ▼ 広教

【審査官】 小金井 匠

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００８−０２９９２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０８−１４１６３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−０４３８２９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０８−０４０５９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１２６３１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−１９１１３７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ６５Ｇ ４９／００−４９／０８

Ｇ０１Ｎ ２１／８４−２１／９５８

Ｃ０３Ｂ ３５／００

Ｈ０１Ｌ ２１／６８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ガラス板を第１方向に搬送する搬送工程と、
前記ガラス板が前記第１方向に搬送される際に、前記第１方向と交差する第２方向における前記ガラス板の動きを抑制する抑制工程と、
を備え、
前記抑制工程は、前記ガラス板の第１主表面と、前記第１主表面に対向するように配置される第１ガイド部材との間の第１隙間において、第１気体を前記第１主表面に沿って流すことにより、前記第１ガイド部材に向かう力を前記ガラス板に与える第１気体供給工程を有する、
ガラス板製造方法。

【請求項2】

前記抑制工程は、前記第１主表面の裏側の第２主表面と、前記第２主表面に対向するように配置される第２ガイド部材との間の第２隙間において、第２気体を前記第２主表面に沿って流すことにより、前記第２ガイド部材に向かう力を前記ガラス板に与える第２気体供給工程をさらに有する、
請求項１に記載のガラス板製造方法。

【請求項3】

前記第１気体供給工程において、前記第１気体は、前記第１ガイド部材に向かって噴出されることにより、前記第１ガイド部材の表面に沿って流れて前記第１隙間に導かれ、
前記第２気体供給工程において、前記第２気体は、前記第２ガイド部材に向かって噴出されることにより、前記第２ガイド部材の表面に沿って流れて前記第２隙間に導かれる、
請求項２に記載のガラス板製造方法。

【請求項4】

前記搬送工程において、前記ガラス板は、前記ガラス板の一の端部が把持されることにより吊り下げられた状態で、前記端部と平行な前記第１方向に搬送され、
前記第１気体供給工程において、前記第１気体は、前記第１方向に沿って徐々に狭くなる前記第１隙間を流れ、
前記第２気体供給工程において、前記第２気体は、前記第１方向に沿って徐々に狭くなる前記第２隙間を流れる、
請求項２または３に記載のガラス板製造方法。

【請求項5】

前記ガラス板を検査する検査工程をさらに備え、
前記抑制工程は、少なくとも前記検査工程の前に行われる、
請求項１〜４のいずれか１項に記載のガラス板製造方法。

【請求項6】

ガラス板を第１方向に搬送するための搬送機構と、
前記ガラス板が前記第１方向に搬送される際に、前記第１方向と交差する第２方向における前記ガラス板の動きを抑制するための抑制機構と、
を備え、
前記抑制機構は、
前記ガラス板の第１主表面に対向する第１ガイド表面を有する第１ガイド部材と、
前記第１主表面の裏側の第２主表面に対向する第２ガイド表面を有する第２ガイド部材と、
前記第１ガイド表面に向かって第１気体を噴出する第１気体噴出機構と、
前記第２ガイド表面に向かって第２気体を噴出する第２気体噴出機構と、
を有し、
前記第１気体噴出機構は、前記第１主表面と前記第１ガイド表面との間の第１隙間において、前記第１気体を前記第１主表面に沿って流して、前記第１ガイド部材に向かう力を前記ガラス板に与え、
前記第２気体噴出機構は、前記第２主表面と前記第２ガイド表面との間の第２隙間において、前記第２気体を前記第２主表面に沿って流して、前記第２ガイド部材に向かう力を前記ガラス板に与える、
ガラス板製造装置。

【請求項7】

前記第１ガイド部材は、前記第１気体を前記第１ガイド表面に沿って流して、前記第１気体を前記第１隙間に導き、
前記第２ガイド部材は、前記第２気体を前記第２ガイド表面に沿って流して、前記第２気体を前記第２隙間に導く、
請求項６に記載のガラス板製造装置。

【請求項8】

前記搬送機構は、前記ガラス板の一の端部を把持することにより前記ガラス板を吊り下げた状態で、前記端部と平行な前記第１方向に前記ガラス板を搬送し、
前記第１ガイド部材は、前記第１方向に沿って前記第１主表面に徐々に近付く前記第１ガイド表面を有し、
前記第２ガイド部材は、前記第１方向に沿って前記第２主表面に徐々に近付く前記第２ガイド表面を有する、
請求項６または７に記載のガラス板製造装置。

【請求項9】

前記ガラス板を検査する検査機構をさらに備え、
前記抑制機構は、少なくとも、前記第１方向において前記検査機構の上流側に設置されている、
請求項６〜８のいずれか１項に記載のガラス板製造装置。

【請求項10】

前記抑制機構は、さらに、前記第１方向において前記検査機構の下流側に設置されている、
請求項９に記載のガラス板製造装置。

【請求項11】

前記第１方向において前記検査機構の上流側に設置されている複数の前記抑制機構を備え、
複数の前記抑制機構のそれぞれにおいて、前記第１主表面と前記第１ガイド表面との間の最小距離、および、前記第２主表面と前記第２ガイド表面との間の最小距離は、前記第１方向に沿って徐々に小さくなる、
請求項９または１０に記載のガラス板製造装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ガラス板製造方法およびガラス板製造装置に関する。

【背景技術】

【0002】

ガラス板の製造工程では、所定のサイズに切断されたガラス板を検査するための検査工程が行われる。検査工程では、例えば、ガラス板の表面に形成されるキズおよび脈理等の欠陥が光学的手法により検知される。

【0003】

特許文献１（特開２００９−２３６７７１号公報）には、ガラス板の検査装置の一例が開示されている。この検査装置は、ガラス板の上辺を把持する上部把持手段と、ガラス板の下辺を把持する下部把持手段とを備える。この検査装置は、上部把持手段と下部把持手段とを離反させてガラス板に上下方向の張力を付与した状態で、ガラス板の欠陥を検知する装置に対してガラス板を相対的に移動させる。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかし、特許文献１（特開２００９−２３６７７１号公報）に開示される検査装置は、上部把持手段および下部把持手段によってガラス板に上下方向の張力を付与するため、液晶ディスプレイ装置に使用されるような大型かつ薄いガラス板を把持する場合、ガラス板が割れるおそれがある。

【0005】

また、ガラス板を移動させながらガラス板の欠陥を高い精度で検知するためには、ガラス板の姿勢を安定化させ、ガラス板の振動を抑制する必要がある。特に、ガラス板の表面の法線の向きを安定化させること、および、ガラス板の表面の法線方向の振動を低減することが、ガラス板の検査精度の向上に重要である。

【0006】

本発明の目的は、ガラス板の検査工程におけるガラス板の振動を低減することができるガラス板製造方法およびガラス板製造装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明に係るガラス板製造方法は、搬送工程と、抑制工程とを備える。搬送工程は、ガラス板を第１方向に搬送する。抑制工程は、ガラス板が第１方向に搬送される際に、第１方向と交差する第２方向におけるガラス板の動きを抑制する。抑制工程は、第１気体供給工程を有する。第１気体供給工程は、ガラス板の第１主表面と、第１主表面に対向するように配置される第１ガイド部材との間の第１隙間において、第１気体を第１主表面に沿って流すことにより、第１ガイド部材に向かう力をガラス板に与える。

【0008】

一般的に、大型の薄いガラス板は、搬送中に何ら力が付与されていない場合、ガラス板の周囲の圧力の微小な変化によって、ガラス板の主表面と直交する方向に振動しやすい。しかし、本発明に係るガラス板製造方法では、搬送されているガラス板の一方の主表面は、その主表面と対向するガイド部材に向かう力を受ける。ガラス板の主表面とガイド部材との間には気体が流れているので、ガラス板はガイド部材と衝突せず、ガラス板とガイド部材との間の距離は安定的に保たれる。そのため、搬送されているガラス板は、その主表面と直交する方向において力の変化を受けにくい。従って、本発明に係るガラス板製造方法は、ガラス板の振動を低減することができる。

【0009】

また、抑制工程は、第２気体供給工程をさらに有することが好ましい。第２気体供給工程は、第１主表面の裏側の第２主表面と、第２主表面に対向するように配置される第２ガイド部材との間の第２隙間において、第２気体を第２主表面に沿って流すことにより、第２ガイド部材に向かう力をガラス板に与える。

【0010】

このガラス板製造方法では、搬送されているガラス板の一対の主表面は、互いに反対方向の力を受ける。一対の主表面のそれぞれが受ける力の大きさが同じである場合、主表面と直交する方向においてガラス板に作用する力は釣り合っている。そのため、搬送されているガラス板は、その主表面と直交する方向において力の変化を受けにくい。従って、本発明に係るガラス板製造方法は、ガラス板の振動を低減することができる。

【0011】

また、端面測定工程は、第１気体供給工程において、第１気体は、第１ガイド部材に向かって噴出されることにより、第１ガイド部材の表面に沿って流れて第１隙間に導かれ、第２気体供給工程において、第２気体は、第２ガイド部材に向かって噴出されることにより、第２ガイド部材の表面に沿って流れて第２隙間に導かれることが好ましい。

【0012】

また、搬送工程において、ガラス板は、ガラス板の一の端部が把持されることにより吊り下げられた状態で、端部と平行な第１方向に搬送されあることが好ましい。この場合、第１気体供給工程において、第１気体は、第１方向に沿って徐々に狭くなる第１隙間を流れ、第２気体供給工程において、第２気体は、第１方向に沿って徐々に狭くなる第２隙間を流れる。

【0013】

また、ガラス板を検査する検査工程をさらに備えることが好ましい。この場合、抑制工程は、少なくとも検査工程の前に行われる。

【0014】

このガラス板製造方法では、搬送工程において搬送されるガラス板の振動が低減されるので、検査工程において、ガラス板の欠陥の検出精度の低下が抑制される。

【0015】

本発明に係るガラス板製造装置は、ガラス板を固定するためのテーブルと、ガラス板の端面を面取り加工するための面取り砥石と、搬送機構と、抑制機構とを備える。搬送機構は、ガラス板を第１方向に搬送するための機構である。抑制機構は、ガラス板が第１方向に搬送される際に、第１方向と交差する第２方向におけるガラス板の動きを抑制するための機構である。抑制機構は、第１ガイド部材と、第２ガイド部材と、第１気体噴出機構と、第２気体噴出機構とを有する。第１ガイド部材は、ガラス板の第１主表面に対向する第１ガイド表面を有する。第２ガイド部材は、第１主表面の裏側の第２主表面に対向する第２ガイド表面を有する。第１気体噴出機構は、第１ガイド表面に向かって第１気体を噴出する。第２気体噴出機構は、第２ガイド表面に向かって第２気体を噴出する。第１気体噴出機構は、第１主表面と第１ガイド表面との間の第１隙間において、第１気体を第１主表面に沿って流して、第１ガイド部材に向かう力をガラス板に与える。第２気体噴出機構は、第２主表面と第２ガイド表面との間の第２隙間において、第２気体を第２主表面に沿って流して、第２ガイド部材に向かう力をガラス板に与える。

【0016】

また、第１ガイド部材は、第１気体を第１ガイド表面に沿って流して、第１気体を第１隙間に導き、第２ガイド部材は、第２気体を第２ガイド表面に沿って流して、第２気体を第２隙間に導くことが好ましい。

【0017】

また、搬送機構は、ガラス板の一の端部を把持することによりガラス板を吊り下げた状態で、端部と平行な第１方向にガラス板を搬送することが好ましい。この場合、第１ガイド部材は、第１方向に沿って第１主表面に徐々に近付く第１ガイド表面を有し、第２ガイド部材は、第１方向に沿って第２主表面に徐々に近付く第２ガイド表面を有する。

【0018】

また、ガラス板を検査する検査機構をさらに備えることが好ましい。この場合、抑制機構は、少なくとも、第１方向において検査機構の上流側に設置されている。

【0019】

また、抑制機構は、さらに、第１方向において検査機構の下流側に設置されていることが好ましい。

【0020】

このガラス板製造装置では、検査機構の上流側だけではなく検査機構の下流側においてもガラス板の振動を低減することにより、検査機構の上流側におけるガラス板の振動をより低減することができる。従って、このガラス板製造装置は、検査機構によるガラス板の欠陥の検出精度の低下をより効果的に抑制することができる。

【0021】

また、第１方向において検査機構の上流側に設置されている複数の抑制機構を備えることが好ましい。この場合、複数の抑制機構のそれぞれにおいて、第１主表面と第１ガイド表面との間の最小距離、および、第２主表面と第２ガイド表面との間の最小距離は、第１方向に沿って徐々に小さくなる。

【発明の効果】

【0022】

本発明に係るガラス板製造方法およびガラス板製造装置は、ガラス板の検査工程におけるガラス板の振動を低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】ガラス板の製造工程を表すフローチャートの一例である。

【図2】実施形態に係るガラス板製造装置の斜視図である。

【図3】図２の矢印ＩＩＩの方向から見た、ガラス板製造装置の側面図である。

【図4】図２の矢印ＩＶの方向から見た、ガラス板製造装置の上面図である。

【図5】エアナイフから吐出されガイド板によって導かれる空気の流れを説明するための図である。

【図6】エアナイフおよびガイド板の寸法および位置の一例を説明するための図である。

【図7】エアナイフおよびガイド板の寸法および位置の一例を説明するための図である。図６の矢印ＶＩＩの方向から見た図である。

【図8】変形例Ｂに係るガラス板製造装置の上面図である。

【図9】変形例Ｃに係るガラス板製造装置の上面図である。

【発明を実施するための形態】

【0024】

本発明の一実施形態について、図面を参照しながら説明する。本実施形態に係るガラス板製造装置１００は、主として、ガラス板１０を搬送するための搬送装置１０２、および、搬送装置１０２によって搬送されているガラス板１０を検査するための検査装置１０４を備えている。

【0025】

（１）ガラス板の製造工程の概要
最初に、ガラス板１０の製造工程について説明する。ガラス板１０は、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイおよび有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）の製造に用いられる。ガラス板１０は、例えば、０.２ｍｍ〜０.８ｍｍの厚みを有し、かつ、縦６８０ｍｍ〜２２００ｍｍおよび横８８０ｍｍ〜２５００ｍｍのサイズを有する。

【0026】

ガラス板１０の一例として、以下の（ａ）〜（ｊ）の組成を有するガラスが挙げられる。

【0027】

（ａ）ＳｉＯ₂：５０質量％〜７０質量％、
（ｂ）Ａｌ₂Ｏ₃：１０質量％〜２５質量％、
（ｃ）Ｂ₂Ｏ₃：１質量％〜１８質量％、
（ｄ）ＭｇＯ：０質量％〜１０質量％、
（ｅ）ＣａＯ：０質量％〜２０質量％、
（ｆ）ＳｒＯ：０質量％〜２０質量％、
（ｇ）ＢａＯ：０質量％〜１０質量％、
（ｈ）ＲＯ:５質量％〜２０質量％（Ｒは、Ｍｇ、Ｃａ、ＳｒおよびＢａから選択される少なくとも１種である。）、
（ｉ）Ｒ’₂Ｏ:０質量％〜２．０質量％（Ｒ’は、Ｌｉ、ＮａおよびＫから選択される少なくとも１種である。）、
（ｊ）ＳｎＯ₂、Ｆｅ₂Ｏ₃およびＣｅＯ₂から選ばれる少なくとも１種の金属酸化物。

【0028】

なお、上記の組成を有するガラスは、０．１質量％未満の範囲で、その他の微量成分の存在が許容される。

【0029】

図１は、ガラス板１０の製造工程を表すフローチャートの一例である。ガラス板１０の製造工程は、主として、成形工程（ステップＳ１）と、採板工程（ステップＳ２）と、第１検査工程（ステップＳ３）と、切断工程（ステップＳ４）と、粗面化工程（ステップＳ５）と、端面加工工程（ステップＳ６）と、洗浄工程（ステップＳ７）と、第２検査工程（ステップＳ８）と、梱包工程（ステップＳ９）とから構成される。

【0030】

成形工程Ｓ１では、ガラス原料を加熱して得られた熔融ガラスから、ダウンドロー法またはフロート法によって、ガラスシートが連続的に成形される。成形されたガラスシートは、歪みおよび反りが発生しないように温度制御されながら、ガラス徐冷点以下まで冷却される。

【0031】

採板工程Ｓ２では、成形工程Ｓ１で成形されたガラスシートが切断されて、所定の寸法を有する素板ガラスが得られる。

【0032】

第１検査工程Ｓ３では、採板工程Ｓ２で得られた素板ガラスが、ガラス板製造装置１００によって検査される。第１検査工程Ｓ３では、主として、素板ガラスの内部に存在する透光性および非透光性の異物が検知される。異物は、例えば、ガラス原料成分、金属および微小な泡である。また、第１検査工程Ｓ３では、素板ガラスの主表面に存在する脈理およびキズが検知されてもよい。

【0033】

切断工程Ｓ４では、第１検査工程Ｓ３で得られた素板ガラスが切断されて、製品サイズのガラス板１０が得られる。素板ガラスは、レーザを用いて高い精度で切断される。

【0034】

粗面化工程Ｓ５では、切断工程Ｓ４で得られたガラス板１０の主表面の表面粗さを増加させる粗面化処理が行われる。ガラス板１０の粗面化処理は、例えば、フッ化水素を含むエッチャントを用いるウエットエッチングである。

【0035】

端面加工工程Ｓ６では、粗面化工程Ｓ５で粗面化処理が行われたガラス板１０の端面の面取り加工が行われる。面取り加工された端面の一部は、Ｒ形状を有する。

【0036】

洗浄工程Ｓ７では、端面加工工程Ｓ６で端面の面取り加工が行われたガラス板１０が洗浄される。ガラス板１０には、素板ガラスの切断、および、ガラス板１０の端面加工によって生じた微小なガラス片や、雰囲気中に存在する有機物等の異物が付着している。ガラス板１０の洗浄によって、これらの異物が除去される。

【0037】

第２検査工程Ｓ８では、洗浄工程Ｓ７で洗浄されたガラス板１０が検査される。具体的には、ガラス板１０の主表面が光学的に測定されて、ガラス板１０の欠陥が検知される。ガラス板１０の欠陥は、例えば、ガラス板１０の主表面に形成される脈理、ガラス板１０の主表面に存在するキズおよびクラック、ガラス板１０の主表面に付着している異物、および、ガラス板１０の内部に存在している微小な泡等である。

【0038】

梱包工程Ｓ９では、第２検査工程Ｓ８における検査に合格したガラス板１０が、ガラス板１０を保護するための合紙と交互にパレット上に積層されて、梱包される。梱包されたガラス板１０は、ＦＰＤの製造業者等に出荷される。

【0039】

（２）ガラス板製造装置の構成
ガラス板製造装置１００は、第１検査工程Ｓ３において、搬送装置１０２によって素板ガラスを搬送しながら、検査装置１０４によって素板ガラスの欠陥を光学的に検査する。欠陥は、主として、素板ガラスの内部に存在する、微小な泡等の異物である。図２は、ガラス板製造装置１００の斜視図である。図３は、図２に示される矢印ＩＩＩの方向から見た、ガラス板製造装置１００の側面図である。図４は、図２に示される矢印ＩＶの方向から見た、ガラス板製造装置１００の上面図である。ガラス板製造装置１００は、圧力が一定になるように制御されている空間に設置されている。以下、搬送装置１０２によって搬送され検査装置１０４によって検査される素板ガラスを、便宜的に、ガラス板１０と記載する。

【0040】

（２−１）搬送装置の構成
搬送装置１０２は、直立状態のガラス板１０を水平方向に搬送する。搬送装置１０２によって搬送されるガラス板１０の主表面の法線は、水平方向に平行である。図２〜図４には、三次元空間の直交座標系を構成するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸が示されている。Ｘ軸は、ガラス板１０の搬送方向に平行である。Ｙ軸は、ガラス板１０の主表面の法線に平行である。Ｚ軸は、鉛直方向に平行であり、かつ、ガラス板１０の主表面の法線と直交する。

【0041】

Ｘ軸の向きは、ガラス板１０が搬送される方向である。以下、Ｘ軸の負方向を上流側と呼び、Ｘ軸の正方向を下流側と呼ぶ。ガラス板１０は、上流側から下流側に向かって搬送される。図４に示されるように、上流側から下流側に向かって見た場合に、ガラス板１０の右側をＹ軸の負方向とし、ガラス板１０の左側をＹ軸の正方向とする。Ｚ軸の向きは、鉛直方向上向きである。

【0042】

搬送装置１０２は、主として、上部ガイド機構１１０と、クランプ機構１１２と、下部ガイド機構１１４と、複数のエアナイフ１１６ａ，・・・と、複数のガイド板１１８ａ，・・・とを備える。以下、ガラス板１０の左側の主表面を左主表面１０ａと呼び、ガラス板１０の右側の主表面を右主表面１０ｂと呼ぶ。

【0043】

（２−１−１）上部ガイド機構
上部ガイド機構１１０は、搬送されるガラス板１０の上方において、Ｘ軸方向に沿って延びるガイドレールである。上部ガイド機構１１０は、クランプ機構１１２が取り付けられている。上部ガイド機構１１０は、クランプ機構１１２をＸ軸方向に移動させるための駆動機構（図示せず）を備える。

【0044】

（２−１−２）クランプ機構
クランプ機構１１２は、ガラス板１０のＺ軸正方向の端部である上端部を把持する。クランプ機構１１２は、主として、基部１１２ａと、複数の把持部１１２ｂとを備える。基部１１２ａは、Ｘ軸方向に沿って延びる部材である。基部１１２ａは、上部ガイド機構１１０と摺動可能なように、上部ガイド機構１１０に取り付けられている。基部１１２ａは、上部ガイド機構１１０と摺動することにより、Ｘ軸方向に移動することができる。基部１１２ａの下側には、Ｘ軸方向に沿って複数の把持部１１２ｂが等間隔に取り付けられている。把持部１１２ｂは、ガラス板１０の上端部を把持して、ガラス板１０をクランプ機構１１２に固定する。なお、把持部１１２ｂの数、および、基部１１２ａに対する把持部１１２ｂの取り付け位置は、ガラス板１０の寸法、および、ガラス板１０の搬送速度等に応じて適宜に設定されてもよい。

【0045】

クランプ機構１１２は、上部ガイド機構１１０によってＸ軸方向に搬送される。これにより、搬送装置１０２は、クランプ機構１１２に把持されたガラス板１０をＸ軸方向に搬送することができる。

【0046】

（２−１−３）下部ガイド機構
下部ガイド機構１１４は、Ｘ軸方向に沿って延びる部材である。下部ガイド機構１１４のＺ軸正方向の端面には、Ｘ軸方向に沿ってスリット１１４ａが形成されている。スリット１１４ａは、搬送されるガラス板１０のＺ軸負方向の端部である下端部が収容される空間である。ガラス板１０の下端は、スリット１１４ａの底部と接触しない。下部ガイド機構１１４は、上部ガイド機構１１０によって搬送されるガラス板１０の下端部がＹ軸方向に移動することを抑制する。

【0047】

（２−１−４）エアナイフ
エアナイフ１１６ａ，・・・は、ガラス板１０の主表面１０ａ，１０ｂに向かって空気の噴流を吹き付けるための装置である。エアナイフ１１６ａ，・・・は、ガラス板１０の左右両側に配置される。

【0048】

エアナイフ１１６ａ，・・・は、空気の噴流が吐出される吐出孔（図示せず）を有する。吐出孔は、エアナイフ１１６ａ，・・・の先端部に形成され、Ｚ軸方向に延びる細長い孔である。エアナイフ１１６ａ，・・・は、吐出孔から吐出される空気の量を制御するためのレギュレータ（図示せず）を有する。レギュレータは、例えば、圧力調整弁である。エアナイフ１１６ａ，・・・は、吐出孔から吐出される空気のＸＹ平面における向きを制御するための風向調整機構（図示せず）を有する。風向調整機構は、例えば、エアナイフ１１６ａ，・・・の姿勢を制御する機構である。エアナイフ１１６ａ，・・・は、後述するように、搬送されるガラス板１０のＹ軸方向の移動を抑制してガラス板１０の姿勢を安定化させる効果を有する。

【0049】

図４に示されるように、ガラス板製造装置１００は、４個のエアナイフ１１６ａ，１１６ｂ，１１６ｃ，１１６ｄを備える。以下、必要に応じて、４個のエアナイフ１１６ａ，１１６ｂ，１１６ｃ，１１６ｄを、それぞれ、第１左エアナイフ１１６ａ、第１右エアナイフ１１６ｂ、第２左エアナイフ１１６ｃおよび第２右エアナイフ１１６ｄと呼ぶ。

【0050】

第１左エアナイフ１１６ａおよび第２左エアナイフ１１６ｃは、ガラス板１０の左側に配置されている。第１右エアナイフ１１６ｂおよび第２右エアナイフ１１６ｄは、ガラス板１０の右側に配置されている。第１左エアナイフ１１６ａおよび第１右エアナイフ１１６ｂは、第２左エアナイフ１１６ｃおよび第２右エアナイフ１１６ｄの上流側に配置されている。Ｘ軸方向およびＺ軸方向において、第１左エアナイフ１１６ａは、第１右エアナイフ１１６ｂと同じ位置に配置され、第２左エアナイフ１１６ｃは、第２右エアナイフ１１６ｄと同じ位置に配置されている。第１左エアナイフ１１６ａと左主表面１０ａとの間の距離は、第１右エアナイフ１１６ｂと右主表面１０ｂとの間の距離と同じである。第２左エアナイフ１１６ｃと左主表面１０ａとの間の距離は、第２右エアナイフ１１６ｄと右主表面１０ｂとの間の距離と同じである。

【0051】

第１左エアナイフ１１６ａおよび第２左エアナイフ１１６ｃは、左主表面１０ａのＺ軸方向の中央部に向かって空気を吹き付ける。第１右エアナイフ１１６ｂおよび第２右エアナイフ１１６ｄは、右主表面１０ｂのＺ軸方向の中央部に向かって空気を吹き付ける。

【0052】

（２−１−５）ガイド板
ガイド板１１８ａ，・・・は、ガラス板１０の主表面１０ａ，１０ｂに対抗して配置される部材である。ガイド板１１８ａ，・・・は、ガラス板１０の左右両側に配置される。ガイド板１１８ａ，・・・の数は、エアナイフ１１６ａ，・・・の数と同じである。

【0053】

ガイド板１１８ａ，・・・は、Ｙ軸方向の位置を調整するための位置調整機構（図示せず）、および、ＸＹ平面における向きを制御するための角度調整機構（図示せず）を有する。ガイド板１１８ａ，・・・は、後述するように、エアナイフ１１６ａ，・・・から吐出された空気を、ガイド板１１８ａ，・・・とガラス板１０との間の空間に導くための部材である。

【0054】

図４に示されるように、ガラス板製造装置１００は、４個のガイド板１１８ａ，１１８ｂ，１１８ｃ，１１８ｄを備える。以下、必要に応じて、４個のガイド板１１８ａ，１１８ｂ，１１８ｃ，１１８ｄを、それぞれ、第１左ガイド板１１８ａ、第１右ガイド板１１８ｂ、第２左ガイド板１１８ｃおよび第２右ガイド板１１８ｄと呼ぶ。

【0055】

第１左ガイド板１１８ａおよび第２左ガイド板１１８ｃは、ガラス板１０の左側に配置されている。第１右ガイド板１１８ｂおよび第２右ガイド板１１８ｄは、ガラス板１０の右側に配置されている。第１左ガイド板１１８ａおよび第１右ガイド板１１８ｂは、第２左ガイド板１１８ｃおよび第２右ガイド板１１８ｄの上流側に配置されている。Ｘ軸方向およびＺ軸方向において、第１左ガイド板１１８ａは、第１右ガイド板１１８ｂと同じ位置に配置され、第２左ガイド板１１８ｃは、第２右ガイド板１１８ｄと同じ位置に配置されている。

【0056】

第１左ガイド板１１８ａは、左主表面１０ａと対向する第１左ガイド表面１１９ａを有する。第１右ガイド板１１８ｂは、右主表面１０ｂと対向する第１右ガイド表面１１９ｂを有する。第２左ガイド板１１８ｃは、左主表面１０ａと対向する第２左ガイド表面１１９ｃを有する。第２右ガイド板１１８ｄは、右主表面１０ｂと対向する第２右ガイド表面１１９ｄを有する。Ｘ軸方向において、第１左ガイド表面１１９ａと左主表面１０ａとの間の距離は、第１右ガイド表面１１９ｂと右主表面１０ｂとの間の距離と同じである。Ｘ軸方向において、第２左ガイド表面１１９ｃと左主表面１０ａとの間の距離は、第２右ガイド表面１１９ｄと右主表面１０ｂとの間の距離と同じである。

【0057】

次に、第１左ガイド板１１８ａの作用効果について、図面を参照しながら説明する。以下の説明は、他のガイド板１１８ｂ，１１８ｃ，１１８ｄにも適用可能である。

【0058】

第１左ガイド板１１８ａは、第１左エアナイフ１１６ａから吐出された空気を第１左ガイド表面１１９ａに沿って流すことで、第１左ガイド表面１１９ａと左主表面１０ａとの間の空間に空気を導く。図５は、第１左エアナイフ１１６ａから吐出され、第１左ガイド板１１８ａによって導かれる空気の流れを説明する図である。図５は、図４と同様の上面図である。図５には、空気の流れが白抜きの矢印Ｆ１〜Ｆ４で示されている。図５に示されるように、第１左ガイド板１１８ａの第１左ガイド表面１１９ａは、ガイド湾曲面１１９ａ１と、ガイド平面１１９ａ２とを有する。ガイド湾曲面１１９ａ１は、上流側から下流側に向かって左主表面１０ａに徐々に近付く面である。ガイド平面１１９ａ２は、ガイド湾曲面１１９ａ１の下流側に位置し、左主表面１０ａに平行な面である。ガイド湾曲面１１９ａ１は、ガイド平面１１９ａ２と滑らかに接続されている。すなわち、第１左ガイド表面１１９ａは、上流側から下流側に向かって左主表面１０ａに徐々に近付く。ガイド平面１１９ａ２と左主表面１０ａとの間の距離は、第１左ガイド表面１１９ａと左主表面１０ａとの間の距離の最小値である。

【0059】

図５を参照しながら、第１左エアナイフ１１６ａから吐出された空気の流れについて説明する。最初に、空気の噴流は、第１左エアナイフ１１６ａの吐出孔から、第１左ガイド板１１８ａのガイド湾曲面１１９ａ１に向かって吐出される（矢印Ｆ１）。このとき、コアンダ効果によって、吐出された空気の噴流は、第１左ガイド板１１８ａに引き寄せられる。その結果、空気は、ガイド湾曲面１１９ａ１に沿って流れる（矢印Ｆ２）。この時、噴流が周りの流体を引き込む性質によって、ガイド湾曲面１１９ａ１に沿って流れる空気は、周囲の空気を引き込む（矢印Ｆ３）。そして、周囲の空気を引き込んだ空気は、ガイド平面１１９ａ２と左主表面１０ａとの間の空間においてＸ軸方向に沿って流れる（矢印Ｆ４）。

【0060】

また、第１左ガイド板１１８ａの下流側には、気体を吸引する吸引機構（図示せず）が設置されている。ガイド平面１１９ａ２と左主表面１０ａとの間の空間を通過した空気は、吸引機構によって吸引される。

【0061】

（２−２）検査装置の構成
検査装置１０４は、ガラス板１０の内部に存在する異物を光学的手法により検知する。検査装置１０４は、エアナイフ１１６ａ，・・・およびガイド板１１８ａ，・・・の下流側に設置されている。

【0062】

検査装置１０４は、主として、光源１２０と、ラインセンサー１２２とから構成される。光源１２０は、ガラス板１０の左側に設置されている。ラインセンサー１２２は、光源１２０と対向するように、ガラス板１０の右側に設置されている。光源１２０は、Ｚ軸方向に延びるライン光を、Ｙ軸の負方向に向かって照射する。ラインセンサー１２２は、Ｚ軸方向に配置された複数のカメラ１２２ａを有している。ラインセンサー１２２は、光源１２０から照射されてガラス板１０を通過したライン光をカメラ１２２ａで受光する。ラインセンサー１２２は、受光したライン光の強さの変化に基づいて、ガラス板１０の歪みを検出して、ガラス板１０の内部に存在する異物を検知する。ラインセンサー１２２のカメラ１２２ａのフォーカスエリアは、±５ｍｍ以下である。

【0063】

（３）ガラス板製造装置の具体例
ガラス板製造装置１００の構成の一例について説明する。図６および図７は、第１左エアナイフ１１６ａおよび第１左ガイド板１１８ａの寸法および位置を説明するための図である。図６は、図３と同様の側面図である。図７は、図４と同様の上面図の一部であり、図６に示される矢印ＶＩＩの方向から見た図である。図６および図７には、ガラス板１０、第１左エアナイフ１１６ａ、第２左エアナイフ１１６ｃ、第１左ガイド板１１８ａおよび第２左ガイド板１１８ｃのみが示されている。ガラス板１０のＸ軸方向の寸法Ｌ１は、２４００ｍｍである。ガラス板１０のＺ軸方向の寸法Ｌ２は、１５５０ｍｍである。搬送装置１０２によってＸ軸方向に搬送されるガラス板の搬送速度は、１２００ｍｍ／ｓである。以下の説明は、他のエアナイフ１１６ｂ，１１６ｃ，１１６ｄ、および、他のガイド板１１８ｂ，１１８ｃ，１１８ｄにも適用可能である。

【0064】

図６において、第１左エアナイフ１１６ａのＺ軸方向の寸法Ｌ３は、６２７ｍｍである。第１左ガイド板１１８ａのＺ軸方向の寸法Ｌ４は、６９３ｍｍである。第１左エアナイフ１１６ａのＺ軸方向の中心位置は、第１左ガイド板１１８ａのＺ軸方向の中心位置と同じである。ガラス板１０の上端と、第１左エアナイフ１１６ａの上端との間の距離Ｌ５は、３７６ｍｍである。ガラス板１０の下端と、第１左エアナイフ１１６ａの下端との間の距離Ｌ６は、５４７ｍｍである。

【0065】

図７において、第１左ガイド板１１８ａのＸ軸方向の寸法Ｌ７は、８４５ｍｍである。第１左ガイド板１１８ａのガイド湾曲面１１９ａ１は、ＸＹ平面においてＲ形状を有し、その径Ｌ８は、３００ｍｍである。第１左ガイド板１１８ａのガイド平面１１９ａ２のＸ軸方向の寸法Ｌ９は、１９５ｍｍである。ガイド平面１１９ａ２と左主表面１０ａとの間の距離Ｌ１０は、１０ｍｍである。第１左エアナイフ１１６ａは、上流側から下流側に向かって左主表面１０ａに近付くように配置される。第１左エアナイフ１１６ａと左主表面１０ａとの間の距離の最小値Ｌ１１は、３２ｍｍである。第１左エアナイフ１１６ａと左主表面１０ａとの間の角度θは、３０度である。第１左ガイド板１１８ａのガイド平面１１９ａ２と左主表面１０ａとの間の空間を流れる空気の速さの最大値は、１．０ｍ／ｓ〜２．０ｍ／ｓである。ガイド平面１１９ａ２と左主表面１０ａとの間の空間を流れる空気の速さは、ガラス板１０の搬送速度に応じて調整され、ガラス板１０の搬送速度よりも大きいことが好ましい。

【0066】

第１左エアナイフ１１６ａおよび第１左ガイド板１１８ａのＺ軸方向の寸法は、大きいほど好ましい。第１左エアナイフ１１６ａおよび第１左ガイド板１１８ａのＺ軸方向の中心位置は、ガラス板１０のＺ軸方向の中心位置に近いほど好ましい。

【0067】

第１左エアナイフ１１６ａおよび第１左ガイド板１１８ａの寸法および位置に関する上記の数値Ｌ３〜Ｌ１１およびθは一例であり、ガラス板１０の寸法Ｌ１，Ｌ２、および、ガラス板１０の搬送速度に応じて適宜に設定される。

【0068】

（４）特徴
ガラス板製造装置１００は、第１検査工程Ｓ３において、搬送装置１０２によってガラス板１０をＸ軸方向に搬送しながら、検査装置１０４によって、ガラス板１０の内部に存在する異物を光学的手法により検知する。

【0069】

搬送装置１０２によって搬送されるガラス板１０の主表面１０ａ，１０ｂには、エアナイフ１１６ａ，・・・から吐出される空気が吹き付けられる。空気は、ガイド板１１８ａ，・・・によって導かれて、ガイド板１１８ａ，・・・とガラス板１０との間の空間をＸ軸方向に沿って流れる。

【0070】

第１左エアナイフ１１６ａから吐出され第１左ガイド板１１８ａによって導かれる空気の作用について、図５を参照しながら説明する。図５に示されるように、第１左エアナイフ１１６ａから吐出された空気は、周囲の空気を引き込みながらガイド湾曲面１１９ａ１に沿って流れ、ガイド平面１１９ａ２と左主表面１０ａとの間の空間を流れる。第１左ガイド板１１８ａとガラス板１０との間の空間は、第１左エアナイフ１１６ａから吐出された空気の流路であり、上流側から下流側に向かって徐々に狭くなる。そのため、第１左ガイド板１１８ａとガラス板１０との間の空間において、空気の流速は、上流側から下流側に向かって徐々に大きくなる。特に、ガイド平面１１９ａ２と左主表面１０ａとの間の空間において、空気の流速は最大となる。ベルヌーイの定理により、空気の流速が増加するほど空気の圧力は低下するので、ガイド平面１１９ａ２と左主表面１０ａとの間の空間は、周囲の空間に対して負圧となる。その結果、ガラス板１０は、第１左ガイド板１１８ａに向かうＹ軸方向の力を受ける。同様に、第１右エアナイフ１１６ｂから吐出され第１右ガイド板１１８ｂによって導かれる空気によって、ガラス板１０は、第１右ガイド板１１８ｂに向かうＹ軸方向の力を受ける。また、ガラス板１０は、第２左ガイド板１１８ｃに向かうＹ軸方向の力、および、第２右ガイド板１１８ｄに向かうＹ軸方向の力を受ける。このように、ガラス板１０は、Ｙ軸の正方向の力、および、Ｙ軸の負方向の力を受けながら、Ｘ軸方向に搬送される。

【0071】

ガイド板１１８ａ，・・・の作用によってガラス板１０が受けるＹ軸方向の力が最大となる領域は、ガイド板１１８ａ，・・・と対向する領域、すなわち、Ｚ軸方向における中央領域である。ガラス板１０のＺ軸方向における中央領域は、ガラス板１０を把持するクランプ機構１１２、および、ガラス板１０のＹ軸方向の移動を抑制する下部ガイド機構１１４からＺ軸方向において最も離れたポイントを含む。そのため、搬送されているガラス板１０のＺ軸方向における中央領域は、Ｙ軸方向に何ら力が付与されていない場合には、ガラス板１０の周囲の圧力の微小な変化によってＹ軸方向に振動しやすい。

【0072】

しかし、本実施形態において、搬送装置１０２によって搬送されるガラス板１０は、Ｚ軸方向における中央領域において、Ｙ軸の正方向および負方向の力が付与される。Ｙ軸の正方向の力の大きさが、Ｙ軸の負方向の力の大きさと同じである場合、ガラス板１０に作用するＹ軸方向の力は釣り合っている。そのため、搬送されているガラス板１０は、Ｚ軸方向における中央領域においてＹ軸方向の力の変化を受けにくくなる。従って、ガラス板１０のＹ軸方向の振動が低減される。

【0073】

また、搬送されているガラス板１０に付与されるＹ軸方向の力は、エアナイフ１１６ａ，・・・から吐出される空気の流量および向き、もしくは、ガイド板１１８ａ，・・・の位置および角度を調整することにより、高い精度で制御することができる。そのため、ガラス板製造装置１００は、搬送されているガラス板１０のＹ軸方向の振動を容易に低減することができる。

【0074】

また、第１左ガイド板１１８ａのガイド平面１１９ａ２と、ガラス板１０の左主表面１０ａとの間の空間を通過した空気は、吸引機構によって吸引される。これにより、ガイド平面１１９ａ２と左主表面１０ａとの間の空間における、左主表面１０ａに沿う気流が安定化するので、ガラス板１０のＹ軸方向の振動が低減される。

【0075】

また、搬送装置１０２によって搬送されているガラス板１０がＹ軸方向に振動すると、検査装置１０４のラインセンサー１２２のカメラ１２２ａの焦点位置がずれるので、ガラス板１０の内部に存在する異物の検出精度が低下する。また、ラインセンサー１２２のカメラ１２２ａのフォーカスエリアが±３ｍｍ以下と短い場合、カメラ１２２ａの焦点位置に高い精度が要求されるので、ガラス板１０の内部に存在する異物の検出精度が低下する。従って、ガラス板製造装置１００は、搬送されているガラス板１０の振動を低減し、ガラス板１０のＹ軸方向の振動の振幅を１ｍｍ以下に抑えることができるので、ガラス板１０の内部に存在する異物の検出精度の低下を抑制することができる。

【0076】

（５）変形例
以上、本発明に係るガラス板製造装置の実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良および変更が施されてもよい。

【0077】

（５−１）変形例Ａ
実施形態のガラス板製造装置１００は、４個のエアナイフ１１６ａ，１１６ｂ，１１６ｃ，１１６ｄ、および、４個のガイド板１１８ａ，１１８ｂ，１１８ｃ，１１８ｄを備えている。しかし、ガラス板製造装置１００が備えるエアナイフ１１６ａ，・・・の数、および、ガイド板１１８ａ，・・・の数は、ガラス板１０の寸法Ｌ１，Ｌ２、および、ガラス板１０の搬送速度に応じて適宜に設定されてもよい。

【0078】

ガラス板製造装置１００に備えられるエアナイフ１１６ａ，・・・およびガイド板１１８ａ，・・・の数が大きいほど、ガラス板１０の主表面１０，１０ｂに沿う空気の流れがより安定的になるため、搬送されるガラス板１０のＹ軸方向の振動がより効果的に抑えられる。そのため、ガラス板製造装置１００が設置される空間においてＹ軸方向の気流が発生しても、ガラス板１０のＹ軸方向の振動が十分に抑えられ、ガラス板１０の内部に存在する異物の検出精度の低下が抑制される。

【0079】

（５−２）変形例Ｂ
実施形態のガラス板製造装置１００では、エアナイフ１１６ａ，・・・およびガイド板１１８ａ，・・・は、検査装置１０４の上流側に設置されている。しかし、エアナイフ１１６ａ，・・・およびガイド板１１８ａ，・・・は、検査装置の下流側にも設置されてもよい。図８は、本変形例におけるガラス板製造装置１００の上面図である。図８に示されるガラス板製造装置１００は、検査装置の下流側において、２個のエアナイフ１１６ｅ，１１６ｆ、および、２個のガイド板１１８ｅ，１１８ｆをさらに備えている。エアナイフ１１６ｅおよびガイド板１１８ｅは、ガラス板１０の左側に配置されている。エアナイフ１１６ｆおよびガイド板１１８ｆは、ガラス板１０の右側に配置されている。

【0080】

検査装置１０４によるガラス板１０の内部に存在する異物の検出精度の低下を抑制するためには、検査装置１０４の上流側においてガラス板１０の振動を低減することが重要である。しかし、本変形例のように、検査装置１０４の上流側だけではなく検査装置１０４の下流側においてもガラス板１０の振動を低減することにより、検査装置１０４の上流側におけるガラス板１０の振動がさらに低減される。そのため、本変形例は、検査装置１０４によるガラス板１０の内部に存在する異物の検出精度の低下をより効果的に抑制することができる。

【0081】

（５−３）変形例Ｃ
実施形態のガラス板製造装置１００は、４個のエアナイフ１１６ａ，１１６ｂ，１１６ｃ，１１６ｄ、および、４個のガイド板１１８ａ，１１８ｂ，１１８ｃ，１１８ｄを備えている。ガラス板１０の左主表面１０ａは、上流側から下流側に向かって、第１左ガイド板１１８ａおよび第２左ガイド板１１８ｃと対向している。このように、ガラス板１０の搬送方向に沿って複数のガイド板１１８ａ，・・・が設置されている場合、ガイド板１１８ａ，・・・とガラス板１０との間の距離を、上流側から下流側に向かって徐々に小さくしてもよい。すなわち、ガラス板１０の搬送方向に沿って、ガイド板１１８ａ，・・・をガラス板１０に向かって徐々に近付けてもよい。

【0082】

図９は、本変形例におけるガラス板製造装置１００の上面図である。図９には、ガラス板１０、第１左エアナイフ１１６ａ、第２左エアナイフ１１６ｃ、第１左ガイド板１１８ａおよび第２左ガイド板１１８ｃのみが示されている。図９に示されるように、第２左ガイド板１１８ｃの第２左ガイド表面１１９ｃと左主表面１０ａとの間の距離の最小値Ｌ２０は、第１左ガイド板１１８ａの第１左ガイド表面１１９ａと左主表面１０ａとの間の距離の最小値Ｌ１０よりも小さい。図９には示されていないが、同様に、第２右ガイド板１１８ｄの第２右ガイド表面１１９ｄと右主表面１０ｂとの間の距離の最小値は、第１右ガイド板１１８ｂの第１右ガイド表面１１９ｂと右主表面１０ｂとの間の距離の最小値よりも小さい。

【0083】

全てのエアナイフ１１６ａ，・・・から吐出される空気の風量および風向が同じである場合、ガイド板１１８ａ，・・・がガラス板１０に近いほど、ガイド板１１８ａ，・・・とガラス板１０との間の空間を流れる空気の速度が増加して空気の圧力が低下する。そのため、ガイド板１１８ａ，・・・がガラス板１０に近いほど、ガイド板１１８ａ，・・・に向かってガラス板１０に作用するＹ軸方向の力が大きくなるので、ガラス板１０のＹ軸方向の振動がより効果的に低減される。しかし、上流側においてガイド板１１８ａ，・・・とガラス板１０との間の距離が小さすぎる場合、ガラス板１０のＹ軸方向の振動によって、ガラス板１０がガイド板１１８ａ，・・・に接触して破損するおそれがある。そのため、本変形例のように、ガイド板１１８ａ，・・・とガラス板１０との間の距離は、上流側から下流側に向かって徐々に小さくなることが好ましい。

【0084】

（５−４）変形例Ｄ
実施形態のガラス板製造装置１００では、ガラス板１０の左右両側に、エアナイフ１１６ａ，・・・およびガイド板１１８ａ，・・・が配置されている。しかし、ガラス板１０の左側のみ、または、ガラス板１０の右側のみに、エアナイフ１１６ａ，・・・およびガイド板１１８ａ，・・・が配置されていてもよい。

【0085】

例えば、ガラス板１０の左主表面１０ａと対向するエアナイフ１１６ａ，・・・およびガイド板１１８ａ，・・・のみが配置されている場合、ガラス板１０は、左側のガイド板１１８ａ，・・・に向かう力を受ける。ガラス板１０の左主表面１０ａと、ガイド板１１８ａ，・・・との間には空気が流れているので、ガラス板１０はガイド板１１８ａ，・・・と衝突せず、ガラス板１０とガイド板１１８ａ，・・・との間の距離は安定的に保たれる。そのため、搬送されているガラス板１０は、Ｙ軸方向において力の変化を受けにくい。従って、本変形例においても、ガラス板１０の振動が低減される。

【0086】

（５−５）変形例Ｅ
実施形態のガラス板製造装置１００は、第１検査工程Ｓ３において、採板工程Ｓ２で得られた素板ガラスであるガラス板１０の欠陥を検知する。しかし、ガラス板製造装置１００は、第２検査工程Ｓ８において、洗浄工程Ｓ７で洗浄されたガラス板１０の欠陥を検知してもよい。この場合、ガラス板製造装置１００は、ガラス板１０の内部に存在する異物を検知する代わりに、ガラス板１０の主表面に形成される脈理、ガラス板１０の主表面に存在するキズおよびクラック、および、ガラス板１０の主表面に付着している異物等を検知してもよい。また、ガラス板製造装置１００は、ガラス板１０の内部に存在する異物を検知すると共に、ガラス板１０の主表面に形成される脈理、ガラス板１０の主表面に存在するキズおよびクラック、および、ガラス板１０の主表面に付着している異物等をさらに検知してもよい。

【0087】

（５−６）変形例Ｆ
実施形態のガラス板製造装置１００は、第１検査工程Ｓ３において、エアナイフ１１６ａ，・・・から吐出されガイド板１１８ａ，・・・によって導かれる空気によって形成される、ガラス板１０の主表面１０ａ，１０ｂに沿う空気の流れによって、ガラス板１０のＹ軸方向の振動を十分に抑えて、ガラス板１０の内部に存在する異物の検出精度の低下を抑制することができる。

【0088】

しかし、ガラス板製造装置１００は、第１検査工程Ｓ３の前に、ガラス板１０の主表面１０ａ，１０ｂに付着している異物を除去する洗浄工程をさらに行ってもよい。洗浄工程は、例えば、主表面１０ａ，１０ｂに向かって空気を吹き付けて、主表面１０ａ，１０ｂに付着している異物を吹き飛ばして主表面１０ａ，１０ｂから除去する。具体的には、洗浄工程は、エアノズル等を用いて主表面１０ａ，１０ｂに向かって高圧の圧縮空気を噴出し、主表面１０ａ，１０ｂに付着している異物を吹き飛ばして除去する。その後、洗浄工程は、エアノズルの近傍に設置されるバキュームノズル等を用いて、エアノズルから噴出された圧縮空気を、主表面１０ａ，１０ｂから除去された異物と共に吸引する。異物は、採板工程Ｓ２においてガラスシートの切断面から発生するガラス微小片であるカレット、および、成形工程Ｓ１においてガラスシートを徐冷しながら下方に搬送するために用いられる搬送ロールに起因する物質等である。

【0089】

本変形例では、第１検査工程Ｓ３の前に、ガラス板１０の主表面１０ａ，１０ｂに付着している異物を除去する洗浄工程を行うことで、検査装置１０４によるガラス板１０の内部に存在する異物の検出精度の低下をより効果的に抑制することができる。

【0090】

（５−７）変形例Ｇ
実施形態のガラス板製造装置１００は、エアナイフ１１６ａ，・・・から吐出されガイド板１１８ａ，・・・によって導かれる空気によって形成される、ガラス板１０の主表面１０ａ，１０ｂに沿う空気の流れによって、ガラス板１０のＹ軸方向の振動を十分に抑えることができる。

【0091】

しかし、ガラス板製造装置１００は、第１検査工程Ｓ３において、ガラス板１０のＹ軸方向の振動が十分に抑えられているか否かを検査装置１０４で確認してもよい。第１検査工程Ｓ３において、検査装置１０４のラインセンサー１２２のカメラ１２２ａは、Ｙ軸方向の合焦位置において、ガラス板１０を撮像する。合焦位置は、カメラ１２２ａの像のピントが最も合う位置であり、カメラ１２２ａのフォーカスエリアにある。合焦位置は、Ｙ軸方向の任意の位置に設定することができる。しかし、ガラス板１０の厚み方向（Ｙ軸方向）に散らばって形成されている欠陥を効果的に検出するためには、合焦位置は、Ｙ軸方向に振動していないときのガラス板１０の厚み方向の中心にあることが好ましい。

【0092】

搬送装置１０２によって搬送されているガラス板１０のＹ軸方向の振動が十分に抑制されていない場合、ガラス板１０が、カメラ１２２ａのフォーカスエリアから外れることがある。特に、カメラ１２２ａのフォーカスエリアが±３ｍｍ以下と短い場合、ガラス板１０は、Ｙ軸方向に振動することでフォーカスエリアから外れやすい。カメラ１２２ａのフォーカスエリアからガラス板１０が外れると、ガラス板１０の内部に存在する異物の検出精度が低下するおそれがある。

【0093】

そのため、本変形例のガラス板製造装置１００は、第１検査工程Ｓ３において、カメラ１２２ａのフォーカスエリアからガラス板１０が外れていることを検知した場合には、そのガラス板１０を不良品と判定して、切断工程Ｓ４に送らずに製造ラインから取り除いてもよい。なお、ガラス板１０がフォーカスエリアから外れているか否かを判定するために、カメラ１２２ａから、ガラス板１０の主表面１０ａ，１０ｂまでのＹ軸方向の距離を測定する距離センサが用いられてもよい。この場合、カメラ１２２ａの撮像のタイミングと、距離センサの測定のタイミングとをできるだけ近付けるために、距離センサは、カメラ１２２ａの近傍に設置されることが好ましい。

【符号の説明】

【0094】

１０ ガラス板
１０ａ 左主表面（第１主表面）
１０ｂ 右主表面（第２主表面）
１００ ガラス板製造装置
１０２ 搬送装置（搬送機構）
１０４ 検査装置（検査機構）
１１６ａ 第１左エアナイフ（第１気体噴出機構）
１１６ｂ 第１右エアナイフ（第２気体噴出機構）
１１６ｃ 第２左エアナイフ（第１気体噴出機構）
１１６ｄ 第２右エアナイフ（第２気体噴出機構）
１１８ａ 第１左ガイド板（第１ガイド部材）
１１８ｂ 第１右ガイド板（第２ガイド部材）
１１８ｃ 第２左ガイド板（第１ガイド部材）
１１８ｄ 第２右ガイド板（第２ガイド部材）
１１９ａ 第１左ガイド表面（第１ガイド表面）
１１９ｂ 第１右ガイド表面（第２ガイド表面）
１１９ｃ 第２左ガイド表面（第１ガイド表面）
１１９ｄ 第２右ガイド表面（第２ガイド表面）

【先行技術文献】

【特許文献】

【0095】

【特許文献1】特開２００９−２３６７７１号公報

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】