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特許第6484645号(P6484645)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6484645電力の一様性が改善されたプラズマ発生用装置

書誌要約請求の範囲詳細な説明課題実施例実施するための形態図面の説明

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