特許6490435成膜方法及び成膜装置

発明の名称　成膜方法及び成膜装置

出願人　株式会社オプトラン　（識別番号 300075751）

　　　　特許公開件数ランキング 2710 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1273 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6490435

公報発行日　2019年3月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6490435

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