特許第6491484号(P6491484)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6491484シリコン化学蒸気輸送による炭化シリコン結晶成長
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  • 特許6491484-シリコン化学蒸気輸送による炭化シリコン結晶成長 図000002
  • 特許6491484-シリコン化学蒸気輸送による炭化シリコン結晶成長 図000003
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