特許6491859スパッタリングターゲットの製造方法及びスパッタリングターゲット

発明の名称　スパッタリングターゲットの製造方法及びスパッタリングターゲット

出願人　株式会社フルヤ金属　（識別番号 136561）

　　　　特許公開件数ランキング 6839 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 2686 位（5件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6491859

公報発行日　2019年3月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6491859

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