特許 6493531 蛍光Ｘ線分析装置及びそれに用いられるスペクトル表示方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6493531

(24)【登録日】2019年3月15日

(45)【発行日】2019年4月3日

(54)【発明の名称】蛍光Ｘ線分析装置及びそれに用いられるスペクトル表示方法

(51)【国際特許分類】

   G01N 23/223 20060101AFI20190325BHJP

【ＦＩ】

   G01N23/223

【請求項の数】4

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2017-526793(P2017-526793)

(86)(22)【出願日】2015年7月3日

(86)【国際出願番号】JP2015069264

(87)【国際公開番号】WO2017006383

(87)【国際公開日】20170112

【審査請求日】2017年12月28日

(73)【特許権者】

【識別番号】000001993

【氏名又は名称】株式会社島津製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100114030

【弁理士】

【氏名又は名称】鹿島 義雄

(72)【発明者】

【氏名】古川 博朗

【審査官】 藤田 都志行

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１３−０５３８７２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−２７１２４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１０−３１８８３６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−１１９１０８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０３−０７３８３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０２−０４７５４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 発明協会公開技報公技番号２０１４−５００９０７

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｎ ２３／２２３

ＪＳＴＰｌｕｓ／ＪＳＴ７５８０（ＪＤｒｅａｍＩＩＩ）

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

Ｘ線を試料に出射するＸ線管と、
前記試料からのＸ線を検出する検出器とを備え、
前記検出器で検出されたＸ線に基づいて、Ｘ線エネルギーと元素の含有量との関係を示すスペクトルを作成して表示する蛍光Ｘ線分析装置であって、
前記試料の結晶構造によって生じる回折Ｘ線によるピーク位置を特定した情報と前記試料に含まれる元素によって生じる蛍光Ｘ線によるピーク位置を特定した情報とを含む識別情報を作成する識別情報作成部と、
前記識別情報に基づいて、前記スペクトル中の各ピークに回折Ｘ線情報または蛍光Ｘ線情報または回折Ｘ線情報および蛍光Ｘ線情報の両方を表示する表示制御部とを備えることを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。

【請求項2】

前記識別情報作成部は、入力装置によって入力された試料の結晶構造の種類に基づいて、前記回折Ｘ線によるピーク位置を特定することを特徴とする請求項１に記載の蛍光Ｘ線分析装置。

【請求項3】

前記識別情報作成部は、複数の結晶構造の種類に基づいて、識別情報をそれぞれ作成して、
前記表示制御部は、複数の識別情報の内から選択された少なくとも１つの識別情報に基づいて、前記スペクトル中のピークに回折Ｘ線情報を表示することを特徴とする請求項１に記載の蛍光Ｘ線分析装置。

【請求項4】

Ｘ線を試料に出射するＸ線管と、
前記試料からのＸ線を検出する検出器とを備え、
前記検出器で検出されたＸ線に基づいて、Ｘ線エネルギーと元素の含有量との関係を示すスペクトルを作成して表示する蛍光Ｘ線分析装置に用いられるスペクトル表示方法であって、
前記試料の結晶構造によって生じる回折Ｘ線によるピーク位置を特定した情報と前記試料に含まれる元素によって生じる蛍光Ｘ線によるピーク位置を特定した情報とを含む識別情報を作成する識別情報作成ステップと、
前記識別情報に基づいて、前記スペクトル中の各ピークに回折Ｘ線情報または蛍光Ｘ線情報または回折Ｘ線情報および蛍光Ｘ線情報の両方を表示する表示ステップとを含むことを特徴とするスペクトル表示方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、試料中に含まれる元素の情報を取得する蛍光Ｘ線分析装置及びそれに用いられるスペクトル表示方法に関する。

【背景技術】

【0002】

蛍光Ｘ線分析装置は、固体試料や粉体試料や液体試料に一次Ｘ線を照射し、一次Ｘ線により励起されて放出される蛍光Ｘ線の強度を検出することによって、その試料に含まれる元素の定性や定量分析を行うものである。
図４は、従来の一般的なエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置の構成を示す概略構成図である。エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置１０１は、試料Ｓが内部に配置される分析チャンバ２０と、Ｘ線管１０と検出器３０とが内部に配置された装置筐体５０と、パルスプロセッサ４１と、データメモリ４２と、Ｘ線管１０と検出器３０とを制御するコンピュータ１６０とを備える。

【0003】

分析チャンバ２０は、四角形板状の試料ベース２１と、四角形板状の上面を有する四角筒形状の上部チャンバ２２とを有する。試料ベース２１の中央部には、円形状の開口２１ａが形成されている。上部チャンバ２２の一つの側壁の下面と試料ベース２１の上面側の一辺とが軸となるように、上部チャンバ２２は試料ベース２１に対して回転可能に取り付けられている。そして、上部チャンバ２２の内部は、真空ポンプ（図示せず）と接続されており、真空ポンプによって真空に排気されるようになっている。このような分析チャンバ２０によれば、上部チャンバ２２を開くことにより、試料Ｓの分析面が開口２１ａを塞ぐように試料Ｓを配置することができ、試料Ｓを配置した後、上部チャンバ２２を閉めて、上部チャンバ２１の内部を真空に排気することができる。

【0004】

装置筐体５０は、四角形板状の下面を有する四角筒形状であり、四角筒形状の側壁の上面に試料ベース２１の下面側の周縁部が取り付けられている。そして、装置筐体５０の内部には、Ｘ線管１０と検出器３０とが配置されている。

【0005】

Ｘ線管１０は、例えば、ポイントフォーカスのＸ線管球であり、筐体を有し、筐体の内部に陽極であるターゲット（図示せず）と陰極であるフィラメント（図示せず）とが配置されている。これにより、ターゲットに高電圧を印加するとともに、フィラメントに低電圧を印加することで、フィラメントから放射された熱電子をターゲットの端面に衝突させることで、ターゲットの端面で発生した一次Ｘ線を出射するようになっている。図５は、このようにして得られた一次Ｘ線のエネルギー分布を示す図である。エネルギー分布は、ターゲットの材質に応じた特性Ｘ線が連続Ｘ線に重畳したものとなる。

【0006】

そして、Ｘ線管１０は、試料ベース２１の開口２１ａの左下方に固定して取り付けられており、Ｘ線管１０から出射される一次Ｘ線が開口２１ａ中に入射角θで入射するように構成されている。よって、試料Ｓの分析面が開口２１ａを塞ぐように当接されることで、試料Ｓの分析面が一次Ｘ線に入射角θで照射されるようになっている。

【0007】

検出器３０は、例えば、導入窓が形成された筐体を有し、筐体の内部に蛍光Ｘ線を検出する検出素子（半導体素子）が配置されている。そして、検出器３０は、試料ベース２１の開口２１ａの右下方に固定して取り付けられており、試料Ｓの分析面で発生する蛍光Ｘ線が導入窓に入射するように構成されている。よって、試料Ｓの分析面が一次Ｘ線に照射されると、検出器３０は試料Ｓの分析面で発生した蛍光Ｘ線を検出するようになっている。このとき、検出器３０からの出力信号は階段波状になり、階段波状の各１段がそれぞれ蛍光Ｘ線を検出していることを示し、また、各段の高さが波長λ、すなわちＸ線エネルギーＥを表している。このような出力信号を受けるパルスプロセッサ４１は、各段の高さ（Ｘ線エネルギーＥ）に比例した高さのパルスに変換していくことになる。そして、データメモリ４２は、１つのパルスが変換されると、パルスの高さに応じたＸ線エネルギー位置Ｅに強度「１」を加算していき、その結果、横軸に蛍光Ｘ線エネルギーＥ、縦軸に元素の含有量（強度）となるスペクトルが作成される。図６は、元素Ｓｎの試料Ｓを測定したときに作成されたスペクトルの一例である。

【0008】

各元素は特有のＸ線エネルギーＥを持つ蛍光Ｘ線を発生させるので、測定者は、図６に示すようなスペクトルを観察することにより、スペクトル中の各ピークがどの元素の蛍光Ｘ線によるものであるかを判断し、試料Ｓに含まれる元素の種類を特定している。例えば、図６では、或るピークが２８．５ｋｅＶにあり、２８．５ｋｅＶのＸ線エネルギーＥを持つ蛍光Ｘ線を調べて、元素「Ｓｎ」の蛍光Ｘ線の内のＫｂ線であると判断し、或るピークが２５．０ｋｅＶにあり、２５．０ｋｅＶのＸ線エネルギーＥを持つ蛍光Ｘ線を調べて、元素「Ｓｎ」の蛍光Ｘ線の内のＫａ線であると判断している。

【0009】

ところで、一次Ｘ線は、図５に示すように連続Ｘ線が含まれており、作成されたスペクトルには、図６に示すように試料Ｓから発せられる蛍光Ｘ線以外にＢｒａｇｇの条件を満たした回折Ｘ線が含まれる。例えば、図６では、回折Ｘ線のピークとして５ｋｅＶのピークや６ｋｅＶのピークや７ｋｅＶのピークが表れている。このような回折Ｘ線は、蛍光Ｘ線のピークに比べてブロードなピークとして現れやすいことや、試料Ｓの配置方向を変えるとピークの強度やＸ線エネルギー位置Ｅ等が変化することが知られており、これらの情報を元に測定者は蛍光Ｘ線によるピークと回折Ｘ線によるピークとを区別している。

【0010】

一方、スペクトル中に回折Ｘ線が含まれることを避けるために、例えば、＜１＞試料Ｓに照射する一次Ｘ線のエネルギー分布を変化させること（例えば、特許文献１参照）や、＜２＞試料Ｓへの入射角θや取り出し角を変更して測定すること（例えば、特許文献２参照）等が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0011】

【特許文献1】特開２００１−３４９８５１号公報

【特許文献1】特開平５−５２７７５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0012】

しかしながら、上述したような＜１＞の方法では、一次Ｘ線のエネルギー分布を変化させるための機構を追加する必要があるのと同時に、一次Ｘ線の強度を大幅に低下させることになるため、それを補うためにＸ線管１０が出射する一次Ｘ線の強度を数倍〜数十倍以上増加させなければならず、これらのことから装置自体の大型化や高価格化が避けられなかった。また、上述したような＜２＞の方法では、試料Ｓの結晶構造によって回折Ｘ線のＸ線エネルギーＥが異なることから、入射角θや取り出し角を変更するために、Ｘ線管１０や検出器３０等を任意の位置に設定できるようにする必要があり、やはり装置自体の大型化や高価格化が避けられなかった。
そこで、本発明は、装置構成を変更することなく、ソフトウエア的に蛍光Ｘ線と回折Ｘ線とを識別して、蛍光Ｘ線情報と回折Ｘ線情報とをスペクトル中のピークに表示する蛍光Ｘ線分析装置及びそれに用いられるスペクトル表示方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0013】

上記課題を解決するためになされた本発明の蛍光Ｘ線分析装置は、Ｘ線を試料に出射するＸ線管と、前記試料からのＸ線を検出する検出器とを備え、前記検出器で検出されたＸ線に基づいて、Ｘ線エネルギーと元素の含有量との関係を示すスペクトルを作成して表示する蛍光Ｘ線分析装置であって、前記試料の結晶構造によって生じる回折Ｘ線によるピーク位置を特定した情報と前記試料に含まれる元素によって生じる蛍光Ｘ線によるピーク位置を特定した情報とを含む識別情報を作成する識別情報作成部と、前記識別情報に基づいて、前記スペクトル中の各ピークに回折Ｘ線情報または蛍光Ｘ線情報または回折Ｘ線情報および蛍光Ｘ線情報の両方を表示する表示制御部とを備えるようにしている。

【0014】

ここで、「回折Ｘ線情報」とは、結晶面の面方位（ミラー指数；ｈ，ｋ，ｌ）を含むものであり、例えば、「１１０」や「３１０」等となる。これにより、測定者はピークがミラー指数「１１０」や「３１０」のピークである可能性を認識することができるようになる。
また、「蛍光Ｘ線情報」とは、元素の種類の情報を含むものであり、例えば、「ＦｅＫａ」や「ＣｕＫａ」等となる。これにより、測定者はピークが「ＦｅＫａ」や「ＣｕＫａ」のピークである可能性を認識することができるようになる。

【発明の効果】

【0015】

以上のように、本発明の蛍光Ｘ線分析装置によれば、装置構成を変更することなく、ソフトウエア的に回折Ｘ線が特定されて、「１１０」や「３１０」等の回折Ｘ線情報がスペクトル中のピークに表示される。

【0016】

また、ソフトウエア的に蛍光Ｘ線が特定されて、「ＦｅＫａ」や「ＣｕＫａ」等の蛍光Ｘ線情報がスペクトル中のピークに表示される。

【0017】

そして、本発明によれば、「１１０」や「３１０」等の回折Ｘ線情報とともに、「ＦｅＫａ」や「ＣｕＫａ」等の蛍光Ｘ線情報がスペクトル中のピークに表示される。その結果、測定者は蛍光Ｘ線と回折Ｘ線とを、より正確に識別することができる。このとき、ピークによっては、蛍光Ｘ線情報と回折Ｘ線情報との両方が表示されることになる。その場合、測定者は表示された蛍光Ｘ線情報と回折Ｘ線情報とに基づいて、蛍光Ｘ線によるピークか回折Ｘ線によるピークかを区別することができるようになる。

【0018】

また、上記の発明において、前記識別情報作成部は、入力装置によって入力された試料の結晶構造の種類に基づいて、前記回折Ｘ線によるピーク位置を特定するようにしてもよい。
ここで、「試料の結晶構造（結晶系）の種類」としては、例えば「塩化ナトリウム型構造」や「塩化セシウム型構造」や「低合金鋼」等が挙げられる。

【0019】

さらに、上記の発明において、前記識別情報作成部は、複数の結晶構造の種類に基づいて、識別情報をそれぞれ作成して、前記表示制御部は、複数の識別情報の内から選択された少なくとも１つの識別情報に基づいて、前記スペクトル中のピークに回折Ｘ線情報を表示するようにしてもよい。
以上のように、本発明の蛍光Ｘ線分析装置によれば、測定者が、測定した「試料の結晶構造の種類」を理解していなくても、複数の識別情報の内から最適な識別情報を選択して表示させることができる。

【0020】

そして、本発明のスペクトル表示方法は、Ｘ線を試料に出射するＸ線管と、前記試料からのＸ線を検出する検出器とを備え、前記検出器で検出されたＸ線に基づいて、Ｘ線エネルギーと元素の含有量との関係を示すスペクトルを作成して表示する蛍光Ｘ線分析装置に用いられるスペクトル表示方法であって、前記試料の結晶構造によって生じる回折Ｘ線によるピーク位置を特定した識別情報を作成する識別情報作成ステップと、前記識別情報に基づいて、前記スペクトル中のピークに回折Ｘ線情報を表示する表示ステップとを含むようにしている。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】本発明の実施形態に係るエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置の一例を示す概略構成図。

【図2】図１のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置に表示されるスペクトルの一例。

【図3】スペクトル表示方法について説明するフローチャート。

【図4】従来の一般的なエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置を示す概略構成図。

【図5】一次Ｘ線のエネルギー分布を示す図。

【図6】図４のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置で作成されるスペクトルの一例。

【発明を実施するための形態】

【0022】

以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。なお、本発明は、以下に説明するような実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様が含まれることはいうまでもない。

【0023】

図１は、本発明の実施形態に係るエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置の一例を示す概略構成図である。なお、上述した従来のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置１０１と同様のものについては、同じ符号を付している。
エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置１は、試料Ｓが内部に配置される分析チャンバ２０と、Ｘ線管１０と検出器３０とが内部に配置された装置筐体５０と、パルスプロセッサ４１と、データメモリ４２と、Ｘ線管１０と検出器３０とを制御するコンピュータ６０とを備える。すなわち、本発明の実施形態に係るエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置１と、従来のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置１０１とでは、コンピュータの構成のみが異なっている。

【0024】

コンピュータ６０は、ＣＰＵ（制御部）６１とメモリ６４と入力装置６２と表示装置６３とを備える。メモリ６４は、元素の種類とＸ線エネルギーＥとの対応関係を示す蛍光Ｘ線情報テーブルを予め記憶する蛍光Ｘ線情報テーブル記憶領域６４ａと、結晶構造の種類と格子定数ａと結晶面の面方位（ｈ，ｋ，ｌ）とＸ線エネルギーＥとの対応関係を示す下記式（５）を予め記憶する回折Ｘ線情報テーブル記憶領域６４ｂとを有する。なお、「蛍光Ｘ線情報テーブル」は、従来のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置に用いられているものと同様のものであり、どの元素がどのＸ線エネルギーＥを持つピークとなるかを示すもので、Ｘ線エネルギーＥが分かれば、元素の種類（蛍光Ｘ線情報）が分かるようになっている。

【0025】

【数1】

【0026】

なお、上記式（５）中のｈ，ｋ，ｌは、一次Ｘ線が照射される試料Ｓ部分の結晶面の面方位である。また、ａは格子定数であり、θは一次Ｘ線の入射角である。

【0027】

ここで、回折Ｘ線によるピーク位置（Ｘ線エネルギー位置Ｅ）を特定するための上記式（５）について説明する。まず、試料Ｓに波長λの一次Ｘ線を入射角θで照射した場合、試料Ｓの面間隔ｄが下記式（１）に示すＢｒａｇｇの条件を満たすときに回折Ｘ線は発生する。
２ｄ×ｓｉｎθ＝ｎλ ・・・（１）
ただし、ｎは整数である。

【0028】

また、一次Ｘ線の波長λとＸ線エネルギーＥとの関係においては、下記式（２）が成立し、式（２）を式（１）に代入すると、下記式（３）が得られる。
Ｅ＝１２．４／λ ・・・（２）
１２．４／（２ｄ×ｓｉｎθ）＝Ｅ ・・・（３）
なお、エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置１では、図５に示すように、一次Ｘ線のエネルギー分布は特性Ｘ線が連続Ｘ線に重畳したものとなっているので、入射角θが任意の角度であっても回折Ｘ線が発生することになる。

【0029】

次に、結晶面の面間隔ｄは、下記式（４）で表され、式（４）を式（３）に代入すると、前記式（５）が得られる。

【0030】

【数2】

【0031】

このような式（５）を用いれば、一次Ｘ線の入射角θ（例えば４５°）が固定されている場合には、結晶面の面方位（ｈ，ｋ，ｌ）と格子定数ａとが分かると、回折Ｘ線のＸ線エネルギーＥが求まることになる。

【0032】

次に、ＣＰＵ６１が処理する機能をブロック化して説明すると、Ｘ線管１０から一次Ｘ線を出射させるＸ線源制御部６１ａと、検出器３０からスペクトルを取得する検出器制御部６１ｂと、識別情報を作成する識別情報作成部６１ｃと、スペクトルを表示する表示制御部６１ｄとを有する。

【0033】

識別情報作成部６１ｃは、メモリ６４に記憶された「蛍光Ｘ線情報テーブル」に基づいて、ピーク位置（Ｘ線エネルギーＥ）によって試料Ｓ中に含まれる元素の種類を特定し、さらに入力装置６２から入力された「試料Ｓの結晶構造の種類」と、メモリ６４に記憶された式（５）とに基づいて、Ｘ線エネルギーＥを持つピークが試料Ｓの「結晶面の面方位（ｈ，ｋ，ｌ）」によって生じる回折Ｘ線によるピークである可能性を特定し、識別情報を作成する制御を行う。

【0034】

表示制御部６１ｄは、識別情報に基づいて、スペクトル中に蛍光Ｘ線情報と回折Ｘ線情報とを表示装置６３に表示する制御を行う。ここで、図２は表示されたスペクトルの一例である。スペクトルは、横軸に蛍光Ｘ線エネルギーＥ、縦軸に元素の含有量（強度）となっている。６．４ｋｅＶのピークの上方には蛍光Ｘ線情報として「ＦｅＫａ」が表示されており、測定者は「ＦｅＫａ」を観察することで、６．４ｋｅＶのピークは元素「Ｆｅ」の蛍光Ｘ線の内のＫａ線であると判断することができるようになっている。また、１０．０ｋｅＶのピークの上方には回折Ｘ線情報として「３２１」が表示され、測定者は「３２１」を観察することで、１０．０ｋｅＶのピークは面方位「３２１」の回折Ｘ線であると判断することができるようになっている。

【0035】

ここで、エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置１を用いて、スペクトルを表示するスペクトル表示方法について説明する。図３は、スペクトル表示方法について説明するためのフローチャートである。
まず、ステップＳ１０１の処理において、検出器制御部６１ｂは検出器３０からスペクトルを取得する。
次に、ステップＳ１０２の処理において、測定者は入力装置６２を用いて「試料Ｓの結晶構造の種類」を入力する。例えば、測定者は「試料Ｓの結晶構造の種類」として「低合金鋼１５５−１０」と「格子定数２．８６７Ａ（オングストローム）」とを入力する。

【0036】

次に、ステップＳ１０３の処理において、識別情報作成部６１ｃは、「蛍光Ｘ線情報テーブル」に基づいて、ピーク位置（Ｘ線エネルギーＥ）によって試料Ｓ中に含まれる元素の種類を特定した識別情報を作成する。このとき、識別情報作成部６１ｃは、蛍光Ｘ線によるピークか回折Ｘ線によるピークかを判定することができないため、誤認定を含むことになるが回折Ｘ線によるピークについても元素の種類を可能な限り特定していく。例えば、６．４ｋｅＶのピークは元素「Ｆｅ」の蛍光Ｘ線の内のＫａ線であると特定し、８．０ｋｅＶのピークは元素「Ｃｕ」の蛍光Ｘ線の内のＫａ線であるというように各々特定していく。

【0037】

次に、ステップＳ１０４の処理において、識別情報作成部６１ｃは、式（５）の「格子定数ａ」に「２．８６７Ａ」を代入し、「入射角θ」に「４５°」を代入することにより、Ｘ線エネルギーＥを持つピークが、試料Ｓの「結晶面の面方位（ｈ，ｋ，ｌ）」によって生じる回折Ｘ線によるピークである可能性を特定した識別情報を作成する（識別情報作成ステップ）。このとき、スペクトル中の回折Ｘ線によるピークについても元素の種類が特定されているものが存在するが、「結晶面の面方位（ｈ，ｋ，ｌ）」のピークである可能性を特定していく。例えば、１２．０ｋｅＶのピークは「結晶面の面方位（４１１）」と「結晶面の面方位（３３０）」によるものであると特定し、１０．０ｋｅＶのピークは「結晶面の面方位（３２１）」によるものというように各々特定していく。

【0038】

次に、ステップＳ１０５の処理において、表示制御部６１ｄは、識別情報に基づいて、スペクトル中に蛍光Ｘ線情報と回折Ｘ線情報とを表示装置６３に表示する（表示ステップ）。例えば、図２に示すように、６．４ｋｅＶのピークの上方には蛍光Ｘ線情報として「ＦｅＫａ」が表示されており、１０．０ｋｅＶのピークの上方には回折Ｘ線情報として「３２１」が表示される。このとき、或るピークについては、蛍光Ｘ線情報と回折Ｘ線情報との両方が表示されることになるが、測定者は、表示された蛍光Ｘ線情報と回折Ｘ線情報とに基づいて、蛍光Ｘ線によるピークか回折Ｘ線によるピークかを区別することになる。

【0039】

以上のように、本発明のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置１によれば、装置構成を変更することなく、ソフトウエア的に回折Ｘ線が特定されて、「４１１，３３０」や「３２１」等の回折Ｘ線情報とともに、「ＦｅＫａ」や「ＣｕＫａ」等の蛍光Ｘ線情報がスペクトル中のピークに表示されるので、その結果、測定者側での誤同定を防ぎ、分析結果の信頼性が向上する。

【0040】

＜他の実施形態＞
（１）上述したエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置１では、式（５）を用いる構成を示したが、結晶系や格子定数ａや面方位（ｈ，ｋ，ｌ）等のパラメータが格納された記憶媒体を用いて回折Ｘ線情報テーブル記憶領域６４ｂに記憶させるような構成としてもよい。なお、パラメータは、独自に作成されてもよいし、市販のデータベースが利用されたものであってもよい。

【0041】

（２）上述したエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置１では、測定者は入力装置６２を用いて「試料Ｓの結晶構造の種類」を入力する構成を示したが、測定者は「試料Ｓの結晶構造の種類」を入力せずに、とりあえず識別情報作成部が、複数の結晶構造の種類に基づいて識別情報をそれぞれ作成して、測定者は入力装置を用いて複数の識別情報の内から１つの識別情報を選択するような構成としてもよい。このようなエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置によれば、測定者は、測定した「試料の結晶構造の種類」を理解していなくても、複数の識別情報の内から最適な識別情報を選択して表示させることができるので、蛍光Ｘ線と回折Ｘ線とを正確に識別することができる。

【0042】

（３）さらに、本システムの精度を高めるために、検出器の特性に基づく分解能のパラメータを用いてピークフィッティング法により実スペクトルとの一致度を求めるシステムを用いてもよい。特に蛍光Ｘ線と回折Ｘ線とが重なっている場合には、元素同定時に一致度の悪いピークに回折Ｘ線の表示有無を確認することで影響を観測することができる。

【産業上の利用可能性】

【0043】

本発明は、試料中に含まれる元素の情報を取得する蛍光Ｘ線分析装置等に利用することができる。

【符号の説明】

【0044】

１ 蛍光Ｘ線分析装置
１０ Ｘ線管
２０ 分析チャンバ
３０ 検出器
６１ｃ 識別情報作成部
６１ｄ 表示制御部
Ｓ 試料

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】