特許6497724高周波電源システムに設けられるインピーダンス整合装置

発明の名称　高周波電源システムに設けられるインピーダンス整合装置

出願人　株式会社アドテック　プラズマ　テクノロジー　（識別番号 392036326）

　　　　特許公開件数ランキング 12080 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 3198 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6497724

公報発行日　2019年4月10

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6497724

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