特許 6500170 基板への接着テープ貼り付け装置及び貼り付け方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6500170

(24)【登録日】2019年3月29日

(45)【発行日】2019年4月17日

(54)【発明の名称】基板への接着テープ貼り付け装置及び貼り付け方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20190408BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20190408BHJP

   C09J 5/00 20060101ALI20190408BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 N

   H01L21/304 622J

   C09J5/00

【請求項の数】5

【全頁数】18

(21)【出願番号】特願2015-61216(P2015-61216)

(22)【出願日】2015年3月24日

(65)【公開番号】特開2016-181613(P2016-181613A)

(43)【公開日】2016年10月13日

【審査請求日】2018年3月12日

(73)【特許権者】

【識別番号】000132954

【氏名又は名称】株式会社タカトリ

(72)【発明者】

【氏名】谷川 隆樹

(72)【発明者】

【氏名】北村 耕一

(72)【発明者】

【氏名】植田 義明

【審査官】 杢 哲次

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００１−１４８４１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−１１６７１１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００１−２６９８９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−１１９９５０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０５−１９０３８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−１８４２３１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

Ｃ０９Ｊ ５／００

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

その上部に基板が保持される保持テーブルと、前記基板とほぼ同形状の開孔が設けられた接着テープ切断テーブルと、該接着テープ切断テーブル上に前記基板より幅広の接着テープを供給する接着テープ供給手段と、該接着テープ供給手段から供給された接着テープを前記接着テープ切断テーブル上に押圧して貼り付ける押圧手段と、前記接着テープ切断テーブルの開孔の下方に設けられ該開孔に沿って前記接着テープを切断する接着テープ切断手段と、前記接着テープ切断テーブル上と前記保持テーブル上との間を移動可能に設けられ前記基板とほぼ同形状に形成された接着テープ搬送体とを備え、前記接着テープ供給手段から供給される接着テープを前記接着テープ切断テーブル上に貼り付けた後、前記接着テープを裏面側から前記接着テープ搬送体で吸着保持し、前記接着テープを前記開孔に沿って切断することで前記接着テープ搬送体に前記基板とほぼ同形状の接着テープを保持し、該接着テープを保持テーブル上に搬送して前記接着テープを基板上に押圧して貼り付けする接着テープ貼り付け装置において、
前記接着テープ切断テーブルは、前記接着テープの幅方向の第１接着テープ切断位置と第２接着テープ切断位置との間が移動可能に構成され、
前記接着テープ搬送体は、前記第１接着テープ切断位置と第２接着テープ切断位置との上方と前記保持テーブル上との間を移動可能に構成され、
前記接着テープ切断テーブルを第１接着テープ切断位置と第２接着テープ切断位置との間を交互に移動させながら前記接着テープを切断することで、前記接着テープのくり貫き穴が千鳥配置となるように形成されることを特徴とする基板への接着テープ貼り付け装置。

【請求項2】

前記保持テーブルが下部チャンバ内に設けられ、前記接着テープ搬送体が上部チャンバ内に垂下支持されて構成され、前記接着テープの貼り付け時に前記上部チャンバと下部チャンバとで真空チャンバを形成し、該真空チャンバ内で真空状態で前記接着テープを基板上に貼り付けるようにしたことを特徴とする請求項１に記載の基板への接着テープ貼り付け装置。

【請求項3】

その上部に基板が保持される貼り付けテーブルと、前記貼り付けテーブル上に前記基板より幅広の接着テープを供給する接着テープ供給手段と、該接着テープ供給手段から供給された接着テープを貼り付けテーブル上の基板に押圧して貼り付ける押圧手段と、前記基板の外形に沿って前記接着テープを切断する接着テープ切断手段とを備えた基板への接着テープ貼り付け装置において、
前記貼り付けテーブルを前記接着テープと相対的に水平動可能に設け、前記接着テープを基板の外形に沿って切断する毎に前記貼り付けテーブルを前記接着テープと相対的に水平動させて、前記接着テープのくり貫き穴が千鳥配置となるように形成されることを特徴とする基板への接着テープ貼り付け装置。

【請求項4】

基板より幅広の接着テープを基板とほぼ同形状の開孔が設けられた接着テープ切断テーブル上に貼り付けし、前記開孔上で前記接着テープの裏面側から接着テープ搬送体で吸着保持しながら前記接着テープを開孔に沿って切断することで前記接着テープ搬送体にくり貫かれた接着テープを保持し、該接着テープを前記基板上に搬送して、前記基板上に接着テープを押圧して貼り付ける基板への接着テープ貼り付け方法において、
前記接着テープ切断テーブルを接着テープの幅方向に移動可能に構成しておき、前記接着テープを切断してくり貫く毎に接着テープの供給と前記接着テープ切断テーブルの移動を行うことで、前記接着テープを千鳥配置でくり貫いていくようにしたことを特徴とする基板への接着テープの貼り付け方法。

【請求項5】

貼り付けテーブル上に基板を保持しておき、前記貼り付けテーブル上に前記基板より幅広の接着テープを供給し、供給された接着テープを貼り付けテーブル上の基板に押圧して貼り付けた後、前記基板の外形に沿って前記接着テープを切断する基板への接着テープ貼り付け方法において、
前記貼り付けテーブルと前記接着テープとを相対的に水平動可能に設け、前記接着テープを基板の外形に沿って切断してくり貫く毎に前記貼り付けテーブルと前記接着テープとを相対的に水平動させて、前記接着テープのくり貫き孔が千鳥配置となるように形成されることを特徴とする基板への接着テープ貼り付け方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体ウエハ等の基板に保護テープ、ダイアタッチフィルム（以下、ＤＡＦという）、レジストフィルム等の接着テープを貼り付ける基板への接着テープ貼り付け装置及び貼り付け方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来より、一般的に半導体の製造工程においては、半導体ウエハ（以下、ウエハという）の回路形成面に保護テープを貼り付けた後、該ウエハの裏面を研削して薄厚化し、その後、保護テープに貼り付けられた状態のウエハをダイシングテープを介してリングフレームにマウントし、前記ウエハから保護テープを剥離テープ等で剥離した後、前記ウエハをダイシングしてチップ化することが行われている。また、最近では、前記ウエハをチップ化する前に該ウエハの裏面にＤＡＦを貼り付け、上記のようにチップ化した後、ＤＡＦを介してダイに接着することも行われている。

【0003】

上記ウエハへの保護テープの貼り付け装置として、予めウエハ形状に切断された保護テープを搬送体に吸着保持してウエハ上に搬送し、該保護テープをウエハに押圧して貼り付ける保護テープの貼り付け装置が知られている（例えば特許文献１）。

【0004】

また、貼り付けテーブル上にウエハを保持しておき、該ウエハ上にウエハの外形よりも広幅の保護テープを引き延ばし、該保護テープをウエハに貼り付けローラで押圧して貼り付けた後、前記ウエハの外形に沿って保護テープをカッターで切断する保護テープの貼り付け装置も知られている（例えば特許文献２）。

【特許文献1】特開２００１−１４８４１２号公報

【特許文献2】特開２００５−１１６７１１号公報

【発明の開示】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、上記特許文献１のウエハへの保護テープの貼り付けは、円形のウエハの外形よりも広幅の保護テープをウエハとほぼ同形状または、ウエハの外径よりも小さく保護テープをくり貫いて、ウエハに該保護テープを貼り付けている。

【0006】

従って、保護テープには、円形のくり貫き孔が保護テープの供給方向（長手方向）に一列に連続して形成される。このくり貫き孔は、ほぼ円形であるので、それぞれのくり貫き孔の間の幅方向には、余剰の保護テープが多く残される。

【0007】

また上記同様に特許文献２のウエハへの保護テープの貼り付けも保護テープにはほぼ円形のくり貫き孔が保護テープ供給方向（長手方向）に一列に連続して形成される。すなわち、上記特許文献２においても、それぞれのくり貫き孔の間の幅方向には、余剰の保護テープが多く残される。

【0008】

しかしながら、上記のような産業用用途の各種の接着テープは、信頼性が要求されたり、機能面でも特殊な機能を要求されたりするため、非常にコストが高い問題がある。従って、できるだけ接着テープの余剰部分が少なくなるようにして欲しいという要請がある。また、接着テープの余剰部分が多いと、廃棄する接着テープも多くなり環境上の問題もある。

【0009】

そこで、本発明は、接着テープの消費効率を高め、生産コストを低減するとともに環境上の廃棄物の量を削減できる基板への接着テープの貼り付け装置及び貼り付け方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0010】

そこで、請求項１の発明は、その上部に基板が保持される保持テーブルと、前記基板とほぼ同形状の開孔が設けられた接着テープ切断テーブルと、該接着テープ切断テーブル上に前記基板より幅広の接着テープを供給する接着テープ供給手段と、該接着テープ供給手段から供給された接着テープを前記接着テープ切断テーブル上に押圧して貼り付ける押圧手段と、前記接着テープ切断テーブルの開孔の下方に設けられ該開孔に沿って前記接着テープを切断する接着テープ切断手段と、前記接着テープ切断テーブル上と前記保持テーブル上との間を移動可能に設けられ前記基板とほぼ同形状に形成された接着テープ搬送体とを備え、前記接着テープ供給手段から供給される接着テープを前記接着テープ切断テーブル上に貼り付けた後、前記接着テープを裏面側から前記接着テープ搬送体で吸着保持し、前記接着テープを前記開孔に沿って切断することで前記接着テープ搬送体に前記基板とほぼ同形状の接着テープを保持し、該接着テープを保持テーブル上に搬送して前記接着テープを基板上に押圧して貼り付けする接着テープ貼り付け装置において、前記接着テープ切断テーブルは、前記接着テープの幅方向の第１接着テープ切断位置と第２接着テープ切断位置との間が移動可能に構成され、前記接着テープ搬送体は、前記第１接着テープ切断位置と第２接着テープ切断位置との上方と前記保持テーブル上との間を移動可能に構成され、前記接着テープ切断テーブルを第１接着テープ切断位置と第２接着テープ切断位置との間を交互に移動させながら前記接着テープを切断することで、前記接着テープのくり貫き穴が千鳥配置となるように形成される構成を採用した基板への接着テープ貼り付け装置である。

【0011】

請求項２の発明は、前記保持テーブルが下部チャンバ内に設けられ、前記接着テープ搬送体が上部チャンバ内に垂下支持されて構成され、前記接着テープの貼り付け時に前記上部チャンバと下部チャンバとで真空チャンバを形成し、該真空チャンバ内で真空状態で前記接着テープを基板上に貼り付けるようにした構成を採用した請求項１に記載の基板への接着テープ貼り付け装置である。

【0012】

請求項３の発明は、その上部に基板が保持される貼り付けテーブルと、前記貼り付けテーブル上に前記基板より幅広の接着テープを供給する接着テープ供給手段と、該接着テープ供給手段から供給された接着テープを貼り付けテーブル上の基板に押圧して貼り付ける押圧手段と、前記基板の外形に沿って前記接着テープを切断する接着テープ切断手段とを備えた基板への接着テープ貼り付け装置において、前記貼り付けテーブルを前記接着テープと相対的に水平動可能に設け、前記接着テープを基板の外形に沿って切断する毎に前記貼り付けテーブルを前記接着テープと相対的に水平動させて、前記接着テープのくり貫き穴が千鳥配置となるように形成される構成を採用した基板への接着テープ貼り付け装置である。

【0013】

請求項４の発明は、基板より幅広の接着テープを基板とほぼ同形状の開孔が設けられた接着テープ切断テーブル上に貼り付けし、前記開孔上で前記接着テープの裏面側から接着テープ搬送体で吸着保持しながら前記接着テープを開孔に沿って切断することで前記接着テープ搬送体にくり貫かれた接着テープを保持し、該接着テープを前記基板上に搬送して、前記基板上に接着テープを押圧して貼り付ける基板への接着テープ貼り付け方法において、前記接着テープ切断テーブルを接着テープの幅方向に移動可能に構成しておき、前記接着テープを切断してくり貫く毎に接着テープの供給と前記接着テープ切断テーブルの移動を行うことで、前記接着テープを千鳥配置でくり貫いていくようにした構成を採用した基板への接着テープの貼り付け方法である。

【0014】

請求項５の発明は、貼り付けテーブル上に基板を保持しておき、前記貼り付けテーブル上に前記基板より幅広の接着テープを供給し、供給された接着テープを貼り付けテーブル上の基板に押圧して貼り付けた後、前記基板の外形に沿って前記接着テープを切断する基板への接着テープ貼り付け方法において、前記貼り付けテーブルと前記接着テープとを相対的に水平動可能に設け、前記接着テープを基板の外形に沿って切断してくり貫く毎に前記貼り付けテーブルと前記接着テープとを相対的に水平動させて、前記接着テープのくり貫き孔が千鳥配置となるように形成される構成を採用した基板への接着テープ貼り付け方法である。

【発明の効果】

【0015】

本発明によれば、接着テープの使用部分が千鳥配置となるようにくり貫かれるので、それぞれのくり貫き孔の間隔を密にすることができ、接着テープの消費効率を上げることができる。また、接着テープの消費効率を上げることができるので、半導体装置の生産コストを低減でき、廃棄物も低減できるので環境負荷を低減できる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】は本発明の基板への接着テープ貼り付け装置の一部省略全体平面図である。

【図2】は、図１のＡ−Ａ方向の縦断正面図である。

【図3】は、図１のＢ−Ｂ方向の縦断側面図である。

【図4】は、図３におけるＣ−Ｃ方向の矢視断面図である。

【図5】は、テープ切断テーブル部の概略平面図である。

【図6】は、図３のＤ−Ｄ方向の矢視断面図である。

【図7】（ａ）乃至（ｃ）は、本発明の基板への接着テープの貼り付け動作の説明図である。

【図8】（ｄ）乃至（ｇ）は、本発明の基板への接着テープの貼り付け動作の説明図である。

【図9】（ｈ）及び（ｉ）は、本発明の基板への接着テープの貼り付け動作の説明図である。

【図10】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の基板への接着テープの貼り付け動作の概略説明斜視図である。

【図11】（ｃ）及び（ｄ）は、本発明の基板への接着テープの貼り付け動作の概略説明斜視図である。

【発明を実施するための最良の形態】

【0017】

以下、この発明の実施の形態を図１乃至図６に基づいて説明する。

【0018】

図１は、基板への接着テープ貼り付け装置の全体構造を示す一部省略平面図、図２は、図１のＡ−Ａ方向の縦断正面図、図３は、図１におけるＢ−Ｂ方向の縦断側面図である。また、図４は、図３におけるＣ−Ｃ方向の矢視断面図である。図５は、テープ貼り付けテーブル部の概略平面図であり、図６は、図３のＤ−Ｄ方向の矢視断面図である。

【0019】

図１乃至図３において、基板（ウエハ）への接着テープ貼り付け装置１は、基板供給／収納部ａと、位置決め部ｂと、基板供給／収納部ａのウエハＷを一枚ずつ取り出して位置決め部ｂに搬送する基板搬送機構ｃと、上記位置決め部ｂで位置決めされたウエハＷを受け取って保持する接着テープ貼り付け部ｄと、上記位置決め部ｂ上のウエハＷを接着テープ貼り付け部ｄに移送する基板搬送機構ｅと、上記接着テープ貼り付け部ｄに隣接して位置し、接着テープＴをウエハＷの外形に見合う大きさと形状に切断する接着テープ切断部ｆと、上記接着テープ貼り付け部ｄと接着テープ切断部ｆとの間を移動し、接着テープ切断部ｆで切断された接着テープＴを吸着保持して接着テープ貼り付け部ｄに移送するとともに接着テープ貼り付け部ｄでウエハＷ上に接着テープＴを貼り付ける接着テープ搬送機構ｇとからなり、これらを機台２上に設けて構成されている。

【0020】

この発明で使用する基板の一実施形態として例えば半導体ウエハを用いた例を基に説明する。また、ウエハＷに貼着する接着テープＴは、ウエハＷの裏面に貼り付けられるＤＡＦを用い、上記ウエハＷの外形よりも広幅でロール状に形成されたものを使用した例を基に説明する。なお、ＤＡＦの幅は、これに限定されるものではないが、例えばウエハＷの外形の約２．５倍程度のものを用いる。

【0021】

図１のように上記基板供給／収納部ａは、機台２上の右側角部分に位置し、図示しない適宜の昇降機構上に収納カセット３が載置されて構成されている。前記収納カセット３には、多数枚のウエハＷが収納されている。

【0022】

前記位置決め部ｂは、基板供給／収納部ａに近接して設けられている。基板搬送機構ｃは、先端でウエハＷを吸着する吸着ハンドを有する搬送ロボット４を備え、該搬送ロボット４は、前後、上下及び旋回が可能になっている。前記搬送ロボット４は、前記基板供給／収納部ａのウエハＷを一枚ずつ取り出して位置決め部ｂに搬送するようになっている。

【0023】

前記搬送ロボット４は、ウエハＷを上面から吸着して受け渡しを行うようになっている。なお、吸着ハンドには、非接触でウエハＷを搬送する非接触ハンドを採用しても良い。

【0024】

前記位置決め部ｂと接着テープ貼り付け部ｄ及び接着テープ切断部ｆは、機台２上の中央部に一列に並べて設けられている。位置決め部ｂは、機台２上にウエハＷを水平に保持するように設けられた位置決めテーブル５と、前記ウエハＷを回転させる回転モータ６と、前記位置決めテーブル５上に保持されたウエハＷのオリフラを光学的に検出する位置決めセンサ７が設けられている。

【0025】

前記回転モータ６は、前記位置決めテーブル５に回転を付与するようになっており、該位置決めテーブル５にウエハＷが載置されると、該位置決めテーブル５とウエハＷを一体に回転させ、前記位置決めセンサ７でオリフラが検出される。該オリフラが検出されたウエハＷは、該オリフラが所定の方向に向くように位置決めされる。なお、オリフラに代えてノッチが設けられたウエハＷであっても同様に位置決めが行なわれる。

【0026】

上記位置決め部ｂ上に保持されたウエハＷを接着テープ貼り付け部ｄに搬送する基板搬送機構ｅは、ウエハＷの上面部分を吸着保持するとともに適宜な機構で昇降自在な吸着ハンド１５を備える。該吸着ハンド１５は、後端部分にスライダ１６が設けられ、該スライダ１６は、機台２上の位置決め部ｂと接着テープ貼り付け部ｄに沿って敷設されたレール１６に摺動可能に嵌合されている。また、前記吸着ハンド１５は、図示しない適宜な駆動源によりレール１６に沿って、位置決め部ｂと接着テープ貼り付け部ｄとの間を移動するようになっている。前記吸着ハンド１５に吸着されたウエハＷは、位置決め部ｂから接着テープ貼り付け部ｄの保持テーブル９上に搬送されるようになっている。なお、吸着ハンド１５に非接触でウエハＷを保持する非接触ハンドを用いても良い。

【0027】

前記接着テープ切断部ｆは、前記接着テープ貼り付け部ｄを挟んだ位置決め部ｂと反対側に位置するように配置されている。前記接着テープ切断部ｆは、機台２上に間隔を開けて対向するように立設された一対の側板１８、１８間に配置され、両側板１８、１８間の中央付近に前記下部チャンバ８の上端部と略等しい高さ位置となる接着テープ切断テーブル１９が水平に設けられている。この接着テープ切断テーブル１９の下部位置に、接着テープ切断手段としてのカッター機構５０が設けられている。該カッター機構５０は、上下動と旋回動自在に配置され、接着テープ切断テーブル１９に貼り付けられた接着テープＴを開孔２８の内周に沿って切り抜くようになっている。

【0028】

図３のように両側板１８、１８間の一端側上部に接着テープ供給手段としての接着テープ供給ロール２１が設けられている。また、両側板１８、１８の下部にはセパレータ巻取ロール２２が設けられ、同じく両側板１８、１８の他端側の上部には切り抜き後の余剰接着テープを巻き取る接着テープ巻取ロール２３が設けられている。また、両側板１８、１８間には、さらに接着テープ供給ロール２１から引き出された接着テープＴを下方に誘導するガイドローラ２４と、前記ガイドローラ２４の下方で接着テープＴからセパレータＴｓを剥がす一対のガイドローラ２５と、前記接着テープ切断テーブル１９の上面に対して接着テープＴの供給方向の後方に位置するガイドローラ２６と、接着テープＴを上方のテープ巻取ロール２３に誘導する一対のガイドローラ２７、２７とが設けられている。そして、セパレータＴｓを剥がされた接着テープＴは、一対のガイドローラ２５、２５とガイドローラ２６の間の部分が、その粘着面を下に向けた略水平状態で、貼り付けテーブル１９の上面に供給される。

【0029】

前記接着テープ切断テーブル１９は、図２乃至図５のようにウエハＷの外形よりも大きな平面矩形状に形成され、その中央部にウエハＷの外径と略等しい開孔２８を備える。また、後述するが、前記開孔２８の後端側（接着テープＴの供給側）の両側には、接着テープＴのウエハＷへの貼り付け面と対向する部分に切欠き部１９ａ、１９ｂが設けられている。

【0030】

前記接着テープ切断テーブル１９には、前方側（接着テープＴの回収側）の鉛直方向にスライダ３８が設けられ、該スライダ３８は、前方側に立設された支持枠３６に沿って敷設されたレール３７、３７に摺動可能に嵌合している。前記接着テープ切断テーブル１９は、図示しない適宜の駆動源により前記レール３７、３７に沿って昇降動可能になっている。

【0031】

また、前記支持枠３６の下端は、テーブル台３９に固定されている。前記テーブル台３９の下方で機枠２上には、接着テープＴの幅方向に２本のレール４０、４０が敷設されている。前記テーブル台３９の下面にはスライダ４１、４１が設けられ、前記スライダ４１、４１が前記レール４０、４０に摺動可能に嵌合している。また図６のように前記テーブル台３９の前方側には前記レール４０に沿って、ボールネジ４３が並設され、このボールネジ４３と螺合するナット部材４４が前記テーブル台３９に接続されている。また、前記ボールネジ４３にはモータ４２が接続され、該モータ４２を駆動することで前記テーブル台３９が前記接着テープ切断テーブル１９と一体に接着テープＴの幅方向に移動するようになっている。

【0032】

前記テーブル台３９は、図２、図３及び図６のようにその中央部に開孔３９ａが設けられている。また、前記開孔３９ａの前後側には、２枚の支持枠５８、５８が鉛直に設けられ、機枠２の開孔２ａを貫通している。前記開孔２ａは、前記テーブル台３９の移動時に干渉しない大きさに形成されている。

【0033】

また、前記接着テープ切断テーブル１９の上方位置で前記一対のガイドローラ２５、２５とガイドローラ２６との間には押圧手段としての貼り付けローラ２９と、前記接着テープＴの下流側に位置するテープチャック機構３０とが設けられている。前記貼り付けローラ２９は、接着テープＴの供給方向に沿った前後方向に図示しない適宜な駆動源により移動するようになっている。また、図４のように両側板１８、１８の内側に接着テープＴの供給方向に沿ってレール４５、４５が敷設されている。また、前記テープチャック機構３０の両側にはスライダ４７、４７が設けられ、前記スライダ４７、４７は、前記レール４５、４５に摺動可能に嵌合されている。前記テープチャック機構３０は、図示しない適宜の駆動源により、前記レール４５、４５に沿って移動自在になっている。

【0034】

図３及び図４のように前記テープチャック機構３０は、前記接着テープＴを裏面側から押える上部チャック３１と、該上部チャック３１と対向して設けられ、前記接着テープＴを上部チャック３１とで挟持する剥離ローラ３２と、前記上部チャック３１を上下動させて接着テープＴの挟持と解放を行うシリンダ３３と、前記接着テープＴを案内するガイドローラ３５などで構成されている。

【0035】

また、前記上部チャック３１は、図４のように３分割されて構成されている。また、前記上部チャック３１のそれぞれに対向して剥離ローラ３２が３分割して設けられている。前記上部チャック３１にはそれぞれシリンダ３３が接続され、前記上部チャック３１は、それぞれ独立にまたは同期して剥離ローラ３２との間で接着テープＴを挟持して引き出すようになっている。また、前記上部チャック３１と剥離ローラ３２は、図示しない適宜の機構で中央の上部チャック３１Ｍ及び剥離ローラ３２Ｍを基準に接着テープＴの幅方向に移動可能になっており、接着テープＴを挟持した際に幅方向の張力を調節可能になっている。

【0036】

前記テープチャック機構３０は、前記上部チャック３１と剥離ローラ３２とで接着テープＴを挟持して、前記接着テープ切断テーブル１９上に繰り出すようになっている。前記貼り付けローラ２９は、シリンダ２０によって上下動可能に構成され、図示しない適宜の駆動源によって往復移動することにより、接着テープＴをテープ切断テーブル１９上に押圧して接着させるようになっている。

【0037】

また、剥離ローラ３２も前記レール４５に沿って前後に移動自在となるように架設され、適宜の駆動源によって往復移動することにより、カッター刃５１による切り抜き後の接着テープ切断テーブル１９上に接着された余剰接着テープＴを接着テープ切断テーブル１９の上面から剥がすようになっている。

【0038】

図２及び図３のように前記カッター機構５０は、前記開孔２８と同軸心状に立設された回転軸５２と、該回転軸５２を回転させるモータ５３と、前記回転軸５２の上端に接続された支持板４６と、該支持板４６上に設けられたカッター刃５１と、前記モータ５３に接続された駆動プーリ５４と、前記回転軸５２の下端に軸止された従動プーリ５５と、前記モータ５３を支持するモータ枠５７と、前記駆動プーリ５４と従動プーリ５５との間に張設されたベルト５６と、前記テーブル台３９から下垂された支持枠５８と、該支持枠５８の底板５８ａ上に固定されたシリンダ５９などを備えて構成されている。

【0039】

前記モータ枠５７は、前後方向に上方突出部５７ａ、５７ａが立設され、前記上方突出部５７ａ、５７ａのそれぞれの裏面にスライダ６０、６０が設けられている。また、前記支持枠５８は、前記スライダ６０を介して前記支持枠５８上に敷設されたレール６１に摺動可能に嵌合し、前記シリンダ５９のシリンダ軸が伸縮することで前記カッター機構５０が昇降動するようになっている。

【0040】

また、前記モータ５３を駆動することで前記回転軸５２が回転し、カッター刃５１が前記回転軸５２を中心に回転するようになっている。従って、前記カッター刃５１は、シリンダ５９の駆動により上昇すると接着テープ切断テーブル１９上に接着された接着テープＴの開孔２８に位置する部分を突き破り、モータ５３の起動による旋回で接着テープＴを円形に切り抜くようになっている。前記開孔２８はウエハＷの外径と同径かそれよりも少し大径に形成され、前記カッター刃５１はウエハＷの外径とほぼ同等か、外径よりも少し小径に接着テープＴを切り抜くように上昇位置での旋回半径を適宜の手段で調整可能に構成されている。

【0041】

なお、ウエハＷにノッチやオリフラが形成されている場合は、接着テープＴが図示しない適宜のカッター機構（例えば、Ｖ形状のカッターでの打ち抜きや直線カッター）により、カッター刃５１による接着テープＴの切り抜き前にノッチやオリフラの形状に切込みを形成しておけば良い。なお、本実施形態のようにウエハＷにオリフラが形成されている場合、例えば貼り付けローラ２９の支持枠に昇降可能にカッターを設けて、貼り付けローラ２９の前進時にカッターを作用させて接着テープＴに直線状の切込みを形成するようにしても良い。

【0042】

前記接着テープ貼り付け部ｄは、前記位置決め部ｂと接着テープ切断部ｆの間に配置されている。前記接着テープ貼り付け部ｄは、後述する上部チャンバ７０と合わさって真空チャンバを形成する下部チャンバ８を備える。該下部チャンバ８は、その内部に保持テーブル９が水平に設けられている。

【0043】

前記保持テーブル９は、下方にガイド部材１２が固定され、該ガイド部材１２は、下部チャンバ８の底部を介して前記保持テーブル９と平行に設けられた支持板１４に支持されている。前記支持板１４は、下部チャンバ８の下方のチャンバ枠に固定されたシリンダ１３のシリンダ軸と接続され、該シリンダ１３を作用させることで前記保持テーブル９は昇降するようになっている。

【0044】

また、前記保持テーブル９は、その上面でウエハＷを吸着保持するようウエハＷの形状に多孔質体が設けられている。前記多孔質体の下方には、図示しない適宜のヒーターが設けられ、前記保持テーブル９を加熱するようになっている。また、該多孔質体には、前記下部チャンバ８の外側に連通した通気パイプ１１が接続されており、該通気パイプ１１には図示しない適宜の真空ポンプが接続されている（真空チャンバ内の減圧度と差圧が設けられるようになっている）。また、前記保持テーブル９のテーブル面と水平となるよう吸着パッド１０が複数設けられている。該吸着パッド１０は、前記支持板１４の下面に固定されたシリンダ６２のシリンダ軸と接続されており、前記吸着パッド１０は、前記シリンダ６２の作用で保持テーブル９の表面から突没自在になっている。なお、吸着パッド１０に代えて吸着孔などウエハＷを保持できるものであれば各種のものが使用できる。

【0045】

前記接着テープ貼り付け部ｄと接着テープ切断部ｆとの間の上方にはテープ搬送体７０が設けられている。該テープ搬送体７０の上方には前記側板１８、１８上から前記下部チャンバ８上方に至るまでの間に渡って支持板６５が設けられ、該支持板６５の下面にレール６６、６６が敷設されている。また前記レール６６に沿ってボールネジ６７が設けられている。該ボールネジ６７の一端は、前記テープ貼り付け部ｄの上方で前記支持板６５の一端に固定されたモータ枠８７に軸支されており、前記ボールネジ６７の他端は、機枠２の一端側の側板１８に軸支されている。また、モータ枠８７には、モータ６８が固定され、該モータ６８と前記ボールネジ６７の一端が接続されている。

【0046】

前記上部チャンバ７０は、その上部に間隔を開けて支持枠７１が設けられ、前記上部チャンバ７０は、前記支持枠７１に設けられたガイド部材７３を介して支持されている。また、前記支持枠７１にはシリンダ７２が設けられ、該シリンダ７２のシリンダ軸が前記上部チャンバ７０に前記支持枠７１を介して接続されている。また、前記支持枠７１上にはスライダ７４、７４が設けられ、前記スライダ７４、７４は、前記レール６６、６６に摺動可能に嵌合している。また、前記ボールネジ６７と螺合されたナット部材７５は、前記支持枠７１に固定されている。従って、前記モータ６８を駆動することで、前記上部チャンバ７０はレール６６に沿って、接着テープ貼り付け部ｄと接着テープ切断部ｆの上方を移動するようになっている。

【0047】

前記上部チャンバ７０は、外側上部に真空アダプタ７６が設けられ、図示しない適宜の真空ポンプに接続されている（なお、前記真空アダプタ７６の真空源は、前記保持テーブル９の真空源とは別のラインで接続するか、バルブ等で前記真空チャンバ内の真空圧と前記保持テーブル９の真空圧に差圧を設けるようにしてある）。前記上部チャンバ７０が下部チャンバ８と合わさって真空チャンバを形成した際に前記真空アダプタ７６から排気することで真空チャンバ内を減圧状態とすることができる。また、前記真空アダプタ７６から大気を導入することで真空チャンバ内の減圧を解除できるようになっている。なお、真空チャンバ内を減圧した後、アルゴンや窒素などの不活性ガスを導入することで、不活性ガス雰囲気下での貼り付けを行うことも可能である。

【0048】

前記接着テープ搬送機構ｇは、前記上部チャンバ７０と、その内部に形成された接着テープ搬送体７７と、該接着テープ搬送体７７を上部から支持する支持枠７８と、前記支持枠７８を上方から押圧し揺動させる押圧ローラ８１と、前記真空チャンバ内でウエハＷに接着テープＴを貼り付けた後、さらに接着テープＴをウエハＷに押圧する貼り付けローラ８３などを備えて構成されている。

【0049】

前記接着テープ搬送体７７は、ウエハＷの外形とほぼ同径またはやや小径に形成された多孔質体で形成されている。また、前記接着テープ搬送体７７には、真空パイプ８８が接続され、該真空パイプ８８は図示しない適宜の真空ポンプに接続されている。従って、前記真空ポンプにより前記接着テープ搬送体７７に吸着力を発生させるようになっている（なお、前記真空チャンバ内の減圧度とは差圧が設けられるようになっている）。前記接着テープ搬送体７７は、前記接着テープ切断テーブル１９に形成された開孔２８上で接着テープ切断テーブル１９上に貼り付けられた接着テープＴの裏面側を吸着保持するようになっている。

【0050】

前記接着テープ搬送体７７は、その上面の支持枠７８に支持されている。該支持枠７８の一端は、上チャンバ７０内に下垂して設けられた支持枠８６の下端の軸７９に軸支され、揺動可能になっている。前記支持枠７８の他端側は、上部チャンバ７０内に下垂して設けられたバネ８０及びガイド部材に接続され、前記支持枠７８は、上部チャンバ７０内に傾斜状態で吊架されている。また、上チャンバ７０の内面上部には前記支持板７８の上面に沿ってレール８２が敷設されており、該レール８２に沿って移動可能に押圧ローラ８１が設けられている。該押圧ローラ８１は、図示しない適宜の駆動源により、前記レール８２に沿って移動することで前記支持板７８をその上面から押圧し、該支持板７８を前記テープ搬送体７７と一体に水平方向に揺動させるようになっている。

【0051】

また、前記上チャンバ７０の側方には、支持板８４が突出して設けられ、該支持板８４の下方のローラ枠に貼り付けローラ８３が軸支されている。該貼り付けローラ８３は、前記支持板８４に固定されたシリンダ８５により昇降し、ウエハＷ上に貼り付けられた接着テープＴを保持テーブル９上に押圧するようになっている。

【0052】

以上が、本発明の一実施形態に係る構成であり、次に本発明の接着テープ貼り付け装置１でのウエハＷへの接着テープＴの貼り付け動作について、図７乃至図１１に基づいて以下に説明する。

【0053】

まず、接着テープＴの貼り付けに先立って、基板供給／収納部ａの収納カセット３から搬送ロボット４でウエハＷを１枚ずつ取出して、位置決め部ｂの位置決めテーブル５上に移送する。続いて、位置決めテーブル５を回転させて位置決めセンサ７でウエハＷのオリフラ位置を認識して位置決めする。なお、ウエハＷは、表面に図示しない回路パターンが形成されており、その表面に図示しない保護テープが貼り付けられている。また、理解が容易なようにウエハＷや接着テープの厚みは実際よりも誇張して描いている。また、図１０及び図１１は、接着テープＴのウエハＷへの貼り付け動作を概念的に示したもので、一部省略されている。

【0054】

また、上記位置決め動作と並行して、図１０（ａ）のように接着テープ切断テーブル１９上に接着テープＴが前記テープチャック機構３０に挟持されて引き出される。続いて、接着テープ切断テーブル１９の開孔２８上に接着テープＴの左側寄りの部分が位置するように該接着テープ切断テーブル１９を第１接着テープ切断位置Ｐ１に移動させておき、貼り付けローラ２９で接着テープＴを押圧して接着テープ切断テーブル１９に貼り付ける。また、図示しない適宜のカッター機構でオリフラ部分の接着テープＴを切断する。

【0055】

図７（ａ）のように、位置決めされたウエハＷは、吸着ハンド１５の上面に吸着され、接着テープ貼り付け部ｄの保持テーブル９上へ搬送される。前記ウエハＷは、保持テーブル９から突出した吸着パッド１０上に吸着保持される。

【0056】

また、上記保持テーブル９へのウエハＷの移送と並行して上部チャンバ７０が接着テープ切断部ｆの接着テープ切断テーブル１９上へ移動し、前記開孔２８上に下降する（図７（ａ）及び１０（ｂ）参照）。

【0057】

前記保持テーブル９上に貼り付けられた接着テープＴは、開孔２８上で前記接着テープ搬送体７７に裏面側から吸着される。その後、カッター刃５１が上昇して開孔２８に沿った一部に刃先が突き刺されて回転することで接着テープＴがウエハＷの形状にくり貫かれる。これにより、ウエハＷの外形に沿ってくり貫かれた接着テープＴは、前記テープ接着吸着体７７に吸着保持された状態となる。また、接着テープ切断テーブル１９上に貼り付けられた接着テープＴには、くり貫き孔Ｔｈが形成される。

【0058】

次に図７（ｂ）のように吸着パッド１０上に保持されたウエハＷは、吸着パッド１０の下降により保持テーブル９に吸着保持され、加熱される。また、上部チャンバ７０は、接着テープ搬送体７７にくり貫かれた接着テープＴを吸着保持した状態で接着テープ切断テーブル１９から上昇して離間する。前記上部チャンバ７０の上昇に伴い、接着テープ搬送体７７が押圧ローラ８１の移動により水平状態から傾斜状態となる。また、カッター刃５１が下降して接着テープＴから離間する。

【0059】

次に図７（ｃ）及び図１１（ｃ）のように上部チャンバ７０が、下部チャンバ８上に移動した後、下降して、真空チャンバが形成される。真空チャンバが形成されると、図示しない真空ポンプが作動して、真空チャンバ内が減圧され、真空状態となる。

【0060】

次に図８（ｄ）のように保持テーブル９の吸着パッド１０が上昇してウエハＷが接着テープ搬送体７７に吸着保持された接着テープＴの傾斜下端に接着される。

【0061】

続いて図８（ｅ）のように保持テーブル９がウエハＷの下面位置まで上昇し、ウエハＷを吸着保持しながら、保持テーブル９に内蔵された図示しない適宜のヒーターによりウエハＷを加熱する。

【0062】

次に図８（ｆ）のように上部チャンバ７０の押圧ローラ８１が図示矢印方向に移動することで、接着テープ搬送体７７が傾動状態から水平状態へと揺動し、接着テープＴが傾斜下端側からウエハＷ上に押圧貼り付けされる。

【0063】

次に図８（ｇ）のように真空アダプタ７６から大気を導入し、真空状態を解除することで接着テープＴは、ウエハＷへ押圧されさらに密着良く貼り付けられる。

【0064】

次に図９（ｈ）のように上部チャンバ７０が上昇して水平動し、貼り付けローラ８３がウエハＷ上に臨み、続いて図９（ｉ）のように貼り付けローラ８３が上部チャンバ７０の移動とともにウエハＷ上を転動することでウエハＷへの接着テープＴの貼り付けが完了する。なお、この貼付ローラ８３による押圧は、例えば接着テープ搬送体７７の外周からはみ出している場合や、真空チャンバ内での貼り付けが不十分な場合に有効であり、前記貼り付けローラ８３を使用せずに貼り付けを行なっても良い。貼り付けが完了したウエハＷは、保持テーブル９上から取り出され、搬送ロボット４により、収納カセット３に順次収納されていく。

【0065】

次に図５及び図１１（ｄ）のように接着テープ切断テーブル１９が接着テープＴの幅方向右側寄りの第２接着テープ切断位置Ｐ２に移動する。なお、接着テープ切断テーブル１９の移動に先立って、テープチャック機構３０が接着テープＴの挟持を解放した状態で供給側へ移動することで剥離ローラ２５が接着テープ切断テーブル１９上を転動し、接着テープＴが接着テープ切断テーブル１９から剥離される。

【0066】

前記接着テープ切断テーブル１９が第２接着テープ切断位置Ｐ２に移動すると、テープチャック機構３０が接着テープＴの余剰部分を挟持して、接着テープＴを所定の張力で接着テープ切断テーブル１９上に引き出す。このとき、接着テープＴの次のくり貫き部が接着テープ切断テーブル１９の開孔２８上に位置される。なお、この接着テープＴのくり貫き部は、千鳥配置となるように設定されている。従って、接着テープＴのくり貫き孔Ｔｈがほぼ円形である場合は、それぞれのくり貫き孔Ｔｈの間隔を近接することができ、接着テープＴの消費量が低減できる。使用する接着テープの幅や貼り付ける基板の大きさにもよるが、通常千鳥配置の２列取りであれば４インチウエハであれば約１０〜１５％程度消費量を低減できる。

【0067】

上記動作が繰り返されることで、接着テープＴのくり貫きが千鳥配置で行われながら、ウエハＷに接着テープＴが順次貼り付けられていく。

【0068】

以上が、本発明の基板への接着テープの貼り付け装置の一実施形態であるが、発明の範囲内で適宜の変更が行なえる。

【0069】

例えば、本発明は接着テープとして、ＤＡＦを貼り付ける例を基に説明したが、その他の各種の接着テープに適用できる。例えば、基板の表面を保護する保護テープや、基板に貼り付けるレジストフィルム、ダイシングテープなどにも適用できる。ダイシングテープに利用する場合は、基板の外周にリングフレームを有するものであっても良い。この場合は、接着テープ切断テーブルの開孔はリングフレームより内側に収まる形状に形成すれば良い。

【0070】

基板についても、半導体ウエハや各種の板状部材へ適用できる。また、基板の形状も円形だけでなく楕円などでも良く、千鳥配置で効率的に配置できる形状であれば、適宜の形状のものに適用できる。また、接着テープ搬送体の外形サイズあるいはカッターの切断位置を変えることで貼り付ける接着テープの大きさは適宜変更できる。また、本発明の実施形態においては接着テープから、２列でくり貫きを行なったが、２列以上であっても良い。また、基板への接着テープの貼り付け方法も上記に限定されず、接着テープを基板形状にくり貫き、これを搬送して貼り付けるものであれば各種の貼り付け方法を採用できる。

【0071】

また、本発明の実施形態では、先にくり貫いた接着テープを基板上に搬送して貼り付けるようにしたが、貼り付けテーブル上に載置された基板上に接着テープを供給するようにし、基板に接着テープを押圧して貼り付けた後に基板形状に接着テープをくり貫くようにしても良い。この場合、貼り付けテーブルに適宜の離型処理や、接着テープの保持力を保つ処理を施すことが好ましい。

【符号の説明】

【0072】

Ｐ１ 第１接着テープ切断位置
Ｐ２ 第２接着テープ切断位置
Ｗ 基板（ウエハ）
Ｔ 接着テープ
Ｔｈ くり貫き孔
Ｔｓ セパレータ
ａ 基板供給／収納部
ｂ 位置決め部
ｃ 基板搬送機構
ｄ 接着テープ貼り付け部
ｅ 基板搬送機構
ｆ 接着テープ切断部
ｇ 接着テープ搬送機構
１ 接着テープ貼り付け装置
２ 機台
３ 収納カセット
４ 搬送ロボット
５ 位置決めテーブル
６ 回転モータ
７ 位置決めセンサ
８ 下部チャンバ
９ 保持テーブル
１０ 吸着パッド
１１ 通気パイプ
１２ ベルト
１３ シリンダ
１４ 支持板
１５ 吸着ハンド
１６ スライダ
１７ レール
１８ 側板
１８ａ 開口部
１９ 接着テープ切断テーブル
１９ａ 切欠き部
１９ｂ 切欠き部
２０ シリンダ
２１ テープ供給ロール
２２ セパレータ巻取ロール
２３ テープ巻取ロール
２４ ガイドローラ
２５ 剥離ローラ
２６ ガイドローラ
２７ ガイドローラ
２８ 開孔
２９ 貼り付けローラ
３０ テープチャック機構
３１ 上部チャック
３２ 剥離ローラ
３３ シリンダ
３５ ガイドローラ
３６ 支持枠
３７ レール
３８ スライダ
３９ テーブル台
４０ カッター機構
４１ スライダ
４２ モータ
４３ ボールネジ
４４ ナット部材
４５ レール
４６ 支持板
４７ スライダ
５０ カッター機構（接着テープ切断手段）
５１ カッター刃
５２ 回転軸
５３ モータ
５４ 駆動プーリ
５５ 従動プーリ
５６ ベルト
５７ モータ枠
５７ａ 上方突出部
５８ 支持枠
５８ａ 底板
５９ シリンダ
６０ スライダ
６１ レール
６２ シリンダ
６５ 支持板
６６ レール
６７ ボールネジ
６８ モータ
７０ 上部チャンバ
７１ 支持枠
７２ シリンダ
７３ ガイド部材
７４ スライダ
７５ ナット部材
７６ 真空アダプタ
７７ 接着テープ搬送体
７８ 支持枠
７９ 軸
８０ バネ
８１ 押圧ローラ
８２ レール
８３ 貼り付けローラ
８４ 支持板
８５ シリンダ
８６ 支持枠
８７ モータ枠

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】