特許第6504665号(P6504665)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6504665印刷回路基板、その製造方法、及び電子部品モジュール
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】6504665
(24)【登録日】2019年4月5日
(45)【発行日】2019年4月24日
(54)【発明の名称】印刷回路基板、その製造方法、及び電子部品モジュール
(51)【国際特許分類】
   H05K 3/46 20060101AFI20190415BHJP
【FI】
   H05K3/46 Q
   H05K3/46 B
   H05K3/46 N
【請求項の数】19
【全頁数】22
(21)【出願番号】特願2015-230980(P2015-230980)
(22)【出願日】2015年11月26日
(65)【公開番号】特開2016-201529(P2016-201529A)
(43)【公開日】2016年12月1日
【審査請求日】2017年10月23日
(31)【優先権主張番号】10-2015-0048937
(32)【優先日】2015年4月7日
(33)【優先権主張国】KR
(73)【特許権者】
【識別番号】594023722
【氏名又は名称】サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド.
(74)【代理人】
【識別番号】110000877
【氏名又は名称】龍華国際特許業務法人
(72)【発明者】
【氏名】リー、ジョン ホ
(72)【発明者】
【氏名】クウェオン、ユン ド
(72)【発明者】
【氏名】キム、ヒュン ジョオン
(72)【発明者】
【氏名】クク、セウン ヨ
【審査官】 小林 大介
(56)【参考文献】
【文献】 特開2011−211194(JP,A)
【文献】 国際公開第2009/141927(WO,A1)
【文献】 特開2014−049578(JP,A)
【文献】 特開2011−159855(JP,A)
【文献】 特開2014−123725(JP,A)
【文献】 特開2003−298232(JP,A)
【文献】 特開2005−039217(JP,A)
(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
H05K 1/14
H05K 3/46
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
コア基板、前記コア基板上に形成される第1の回路パターン、及び前記コア基板及び前記第1の回路パターンを貫通する貫通部を有する回路基板と、
コア絶縁層及び前記コア絶縁層上に形成される第2の回路パターンを含む微細回路構造体を有し、前記回路基板の前記貫通部に収容される連結基板と、を含み、
前記コア絶縁層の厚さは、前記コア基板の厚さよりも厚い、印刷回路基板。
【請求項2】
前記第1の回路パターンは、複数の回路層と前記複数の回路層の間に介在された絶縁層を含む、請求項1に記載の印刷回路基板。
【請求項3】
前記第1の回路パターンは、電子部品を実装するための第1のパッドを含む、請求項1または2に記載の印刷回路基板。
【請求項4】
前記微細回路構造体は、前記連結基板の一面又は両面に形成される、請求項1から3のいずれか一項に記載の印刷回路基板。
【請求項5】
前記微細回路構造体は前記連結基板の両面に形成され、前記両面の微細回路構造体はビアを介して電気的に連結される、請求項1から4のいずれか一項に記載の印刷回路基板。
【請求項6】
前記微細回路構造体は、複数の回路層と前記複数の回路層の間に介在された絶縁層を含む、請求項1から5のいずれか一項に記載の印刷回路基板。
【請求項7】
前記絶縁層は感光性絶縁層である、請求項6に記載の印刷回路基板。
【請求項8】
前記第2の回路パターンは、電子部品を連結するための信号線を含む、請求項1から7のいずれか一項に記載の印刷回路基板。
【請求項9】
前記第2の回路パターンは、電子部品を実装するための第2のパッドを含む、請求項1から8のいずれか一項に記載の印刷回路基板。
【請求項10】
前記第2の回路パターンは、前記第1の回路パターンより小さいピッチの微細パターンを含む、請求項1から9のいずれか一項に記載の印刷回路基板。
【請求項11】
前記回路基板及び前記連結基板上に形成されたビルドアップ絶縁層とビルドアップ回路層を含むビルドアップ層をさらに含む、請求項1から10のいずれか一項に記載の印刷回路基板。
【請求項12】
前記回路基板上に形成されたソルダレジスト層をさらに含む、請求項1から11のいずれか一項に記載の印刷回路基板。
【請求項13】
前記連結基板と前記貫通部の間に形成される充填樹脂をさらに含む、請求項1から12のいずれか一項に記載の印刷回路基板。
【請求項14】
前記充填樹脂はソルダレジストである、請求項13に記載の印刷回路基板。
【請求項15】
コア基板、前記コア基板上に形成される第1の回路パターン、及び前記コア基板及び前記第1の回路パターンを貫通する貫通部を有する回路基板コア絶縁層及び前記コア絶縁層上に形成される第2の回路パターンを含む微細回路構造体を有し、前記回路基板の前記貫通部に収容される連結基板と、を含む印刷回路基板と、
前記印刷回路基板の一面又は両面に搭載される電子部品と、を含み、
前記コア絶縁層の厚さは、前記コア基板の厚さよりも厚い、電子部品モジュール。
【請求項16】
前記第2の回路パターンは、前記第1の回路パターンより小さいピッチの微細パターンを含む、請求項15に記載の電子部品モジュール。
【請求項17】
コア基板、前記コア基板上に形成される第1の回路パターン、及び前記コア基板及び前記第1の回路パターンを貫通する貫通部を有する回路基板を準備する段階と、
前記貫通部にコア絶縁層及び前記コア絶縁層上に形成される第2の回路パターンを含む微細回路構造体を有する連結基板を収容する段階と、を含み、
前記コア絶縁層の厚さは、前記コア基板の厚さよりも厚い、印刷回路基板の製造方法。
【請求項18】
前記連結基板を前記貫通部に収容する段階の前に、
前記連結基板を準備する段階をさらに含み、
前記連結基板は、前記コア絶縁層の第1の側及び前記第1の側と対向する第2の側上に配置された回路パターン及び絶縁層、及び前記コア絶縁層の第1の側と第2の側を電気的に連結するビアを含む、請求項17に記載の印刷回路基板の製造方法。
【請求項19】
前記印刷回路基板の一面又は両面に一つ以上の電子部品を実装する段階をさらに含む、請求項18に記載の印刷回路基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、印刷回路基板、その製造方法、及び電子部品モジュールに関する。
【背景技術】
【0002】
最近、モバイル機器とタブレットPCなどの高性能化、高集積化に伴いCPU、GPU、APなどの中核部品も高性能、高集積化している。このために、パッケージ基板においても線幅3μm以下の微細パターン技術を具現するための多様な技術と構造が検討されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】米国特許出願公開第2011/0103030号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本発明の一目的は、反り制御が容易な印刷回路基板及びその製造方法を提供することである。
【0005】
本発明の他の目的は、微細パターンと微細ピッチに対応することができる印刷回路基板及びその製造方法を提供することである。
【0006】
本発明の他の目的は、複数の電子部品間(die to die)の連結が可能なパターンを有する印刷回路基板及びその製造方法を提供することである。
【0007】
本発明のさらに他の目的は、設計自由度を改善し、製品のサイズと層数を減らすことができる印刷回路基板及びその製造方法を提供することである。
【0008】
本発明のさらに他の目的は、上記印刷回路基板を適用した電子部品モジュールを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0009】
本発明の一実施例による印刷回路基板は、貫通部及び第1の回路パターンを有する回路基板と、第2の回路パターンを含む微細回路構造体を有し、上記貫通部に収容される連結基板と、を含む。
【発明の効果】
【0010】
本発明によれば、反り制御が容易な印刷回路基板及びその製造方法を提供することができる。また、微細パターンと微細ピッチに対応することができる印刷回路基板及びその製造方法を提供することができる。また、複数の電子部品間(die to die)の連結が可能なパターンを有する印刷回路基板及びその製造方法を提供することができる。また、設計自由度を改善し、製品のサイズと層数を減らすことができる印刷回路基板及びその製造方法を提供することができる。また、上記印刷回路基板を適用した電子部品モジュールを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0011】
図1】本発明の一実施例による印刷回路基板を例示する断面図である。
図2】本発明の他の実施例による印刷回路基板を例示する断面図である。
図3】本発明のさらに他の実施例による印刷回路基板を例示する断面図である。
図4】本発明のさらに他の実施例による印刷回路基板を例示する断面図である。
図5】本発明のさらに他の実施例による印刷回路基板を例示する断面図である。
図6】本発明の一実施例による電子部品モジュールを例示する断面図である。
図7】本発明の他の実施例による電子部品モジュールを例示する断面図である。
図8】本発明の一実施例による電子部品モジュールの製造方法を示すフローチャートである。
図9】本発明の一実施例による電子部品モジュールの製造方法を工程順に示す工程断面図である。
図10】本発明の一実施例による電子部品モジュールの製造方法を工程順に示す工程断面図である。
図11】本発明の一実施例による電子部品モジュールの製造方法を工程順に示す工程断面図である。
図12】本発明の一実施例による電子部品モジュールの製造方法を工程順に示す工程断面図である。
図13】本発明の一実施例による電子部品モジュールの製造方法を工程順に示す工程断面図である。
図14】本発明の一実施例による電子部品モジュールの製造方法を工程順に示す工程断面図である。
図15】本発明の一実施例による電子部品モジュールの製造方法を工程順に示す工程断面図である。
図16】本発明の一実施例による電子部品モジュールの製造方法を工程順に示す工程断面図である。
図17】本発明の一実施例による電子部品モジュールの製造方法を工程順に示す工程断面図である。
図18】本発明の一実施例による電子部品モジュールの製造方法を工程順に示す工程断面図である。
図19】本発明の一実施例による電子部品モジュールの製造方法を工程順に示す工程断面図である。
図20】本発明の一実施例による電子部品モジュールの製造方法を工程順に示す工程断面図である。
図21】本発明の一実施例による電子部品モジュールの製造方法を工程順に示す工程断面図である。
図22】本発明の一実施例による電子部品モジュールの製造方法を工程順に示す工程断面図である。
図23】本発明の他の実施例による電子部品モジュールの製造方法を示すフローチャートである。
図24】本発明の他の実施例による電子部品モジュールの製造方法を工程順に示す工程断面図である。
図25】本発明の他の実施例による電子部品モジュールの製造方法を工程順に示す工程断面図である。
図26】本発明の他の実施例による電子部品モジュールの製造方法を工程順に示す工程断面図である。
図27】本発明の他の実施例による電子部品モジュールの製造方法を工程順に示す工程断面図である。
図28】本発明の他の実施例による電子部品モジュールの製造方法を工程順に示す工程断面図である。
図29】本発明の他の実施例による電子部品モジュールの製造方法を工程順に示す工程断面図である。
図30】本発明の他の実施例による電子部品モジュールの製造方法を工程順に示す工程断面図である。
図31】本発明の他の実施例による電子部品モジュールの製造方法を工程順に示す工程断面図である。
図32】本発明の他の実施例による電子部品モジュールの製造方法を工程順に示す工程断面図である。
図33】本発明の他の実施例による電子部品モジュールの製造方法を工程順に示す工程断面図である。
図34】本発明の他の実施例による電子部品モジュールの製造方法を工程順に示す工程断面図である。
図35】本発明の他の実施例による電子部品モジュールの製造方法を工程順に示す工程断面図である。
図36】本発明の他の実施例による電子部品モジュールの製造方法を工程順に示す工程断面図である。
図37】本発明の他の実施例による電子部品モジュールの製造方法を工程順に示す工程断面図である。
図38】本発明の他の実施例による電子部品モジュールの製造方法を工程順に示す工程断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0012】
以下では、添付の図面を参照して本発明の好ましい実施形態について説明する。しかし、本発明の実施形態は様々な他の形態に変形されることができ、本発明の範囲は以下で説明する実施形態に限定されない。また、本発明の実施形態は、当該技術分野で平均的な知識を有する者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面における要素の形状及び大きさなどはより明確な説明のために誇張されることがある。
【0013】
印刷回路基板
図1は、本発明の一実施例による印刷回路基板を例示する断面図である。
【0014】
図1を参照すると、上記印刷回路基板は、貫通部101を有する回路基板100と、上記貫通部101に収容される連結基板10と、を含む。
【0015】
上記回路基板100は、複数の回路層と上記複数の回路層を絶縁させるために上記複数の回路層の間に介在される複数の絶縁層を含む多層印刷回路基板である。例えば、上記回路基板100としては、通常のコア基板を含むBGA基板を用いることができる。
【0016】
上記回路基板100はまた、層間回路層を連結させるためのブラインドビア及び貫通ビアを含む。
【0017】
上記回路層は、電子部品などの外部製品との接続のための第1のパッド115、125を含む。
【0018】
上記連結基板10は、コア絶縁層11と上記コア絶縁層11の上面に微細回路構造体10Aを有し、下面に金属層12を有する。
【0019】
上記微細回路構造体10Aは、複数の回路層と、上記複数の回路層を絶縁させるために上記複数の回路層の間に介在される複数の絶縁層と、を含む。
【0020】
上記微細回路構造体10Aの回路層は、上記回路基板100の回路層に比べて小さいピッチの微細パターンを有するように形成される。
【0021】
上記微細回路構造体10Aはまた、層間回路層を連結させるためのビアを含む。
【0022】
上記微細回路構造体10Aの回路層は、印刷回路基板に実装される複数の電子部品を連結する信号線の機能をする回路パターンを含むことができる。
【0023】
上記微細回路構造体10Aの回路層は、電子部品などの外部製品との接続のための第2のパッド42を含む。
【0024】
上記第2のパッド42は、上記第1のパッド115、125より小さいピッチを有する。
【0025】
上記金属層12は、連結基板10の下面に形成されて反り(warpage)制御と放熱効果に寄与する。
【0026】
上記微細回路構造体10Aに用いられる絶縁層としては、微細回路の形成が容易となるように感光性絶縁層を用いることができる。上記微細回路構造体10Aに用いられる絶縁層としては、通常の樹脂絶縁層材料より表面粗さが低い感光性絶縁層、例えば、ガラスシートを含有しない感光性絶縁層を用いることができる。
【0027】
通常、電子部品間の連結のためにはシリコンインターポーザなどの高価な技術が必要であるが、本実施例によれば、一般の樹脂基板を用いることにより、熱膨張係数ミスマッチ(mismatch)を最小化し密着力を向上させると共に安価なインターポーザの具現が可能となる。
【0028】
また、連結基板において回路基板の絶縁層に比べて相対的に厚いコア絶縁層を用いることにより、反り制御が容易となる。
【0029】
さらに、微細回路構造体を連結基板の一部に形成して新規工法の適用面積を小さくすることにより、投資費用を節減し既存のインフラを最大限に活用することができるという長所がある。
【0030】
一方、上記回路基板100及び微細回路構造体10Aに用いられる回路層には、印刷回路基板分野で回路用伝導性物質として用いられるものであればいずれのものでも制限なく適用されることができる。例えば、上記回路層は、銅(Cu)で形成されることができる。
【0031】
また、上記連結基板10の金属層12は、通常の回路層と同一の物質で形成されることができる。
【0032】
上記回路基板100及び連結基板10のコア絶縁層11に用いられる絶縁層には、通常、印刷回路基板において絶縁素材として用いられる絶縁樹脂であれば特に限定されず、エポキシ樹脂のような熱硬化性樹脂、ポリイミドのような熱可塑性樹脂、又はこれらにガラス繊維又は無機フィラーのような補強材が含浸された樹脂を用いることができる。例えば、上記絶縁層は、プリプレグ、ABF(Ajinomoto Build−up Film)及びFR−4、BT(Bismaleimide Triazine)などの樹脂で形成されることができる。
【0033】
上記回路基板100と連結基板10の間には充填樹脂160が形成されることができる。上記充填樹脂160としては、通常、印刷回路基板の層間絶縁材として用いられる物質又はソルダレジストを用いることができる。
【0034】
さらに、上記回路基板100及び連結基板10の最外層上には、複数のパッド115、125を露出させる保護層として通常の液状又はフィルム型のソルダレジスト層140、150が形成されることができる。
【0035】
上記ソルダレジスト層は、最外層の回路パターンを保護し、電気的絶縁のために形成されるものであり、外部製品と接続される最外層のパッドを露出させるために開口部が形成される。
【0036】
上記ソルダレジスト層の開口部から露出したパッド上には表面処理層が選択的にさらに形成されることができる。
【0037】
上記表面処理層は、当業界に公知のものであれば特に限定されず、例えば、電解金メッキ(Electro Gold Plating)、無電解金メッキ(Immersion Gold Plating)、OSP(Organic Solderability Preservative)又は無電解スズメッキ(Immersion Tin Plating)、無電解銀メッキ(Immersion Silver Plating)、DIGメッキ(Direct Immersion Gold Plating)、HASL(Hot Air Solder Levelling)などによって形成されることができる。
【0038】
このような過程を経て形成されたパッドは、適用目的に応じて、ワイヤボンディング用パッド又はバンプ用パッドとして用いられるか又はハンダボールのような外部接続端子を装着するためのハンダボール用パッドとして用いられる。
【0039】
本実施例では、第1のパッド125に形成された外部接続端子としてハンダボール170を示した。
【0040】
図2は本発明の他の実施例による印刷回路基板を例示する断面図であり、重複する構成に関する説明は省略する。
【0041】
図2を参照すると、上記印刷回路基板は、回路基板100と、上記回路基板100を貫通して位置する連結基板10と、を含む。
【0042】
上記連結基板10は、コア絶縁層11と、上記コア絶縁層11の両面に形成された微細回路構造体10Aを有し、上記両面の微細回路構造体10Aは、上記コア絶縁層11を貫通するビア15を介して電気的に連結される。
【0043】
上記微細回路構造体10Aは、複数の回路層と、上記複数の回路層を絶縁させるために上記複数の回路層の間に介在される複数の絶縁層と、を含む。
【0044】
上記微細回路構造体10Aの回路層は、上記回路基板100の回路層に比べて小さいピッチの微細パターンを有するように形成される。
【0045】
上記微細回路構造体10Aはまた、層間回路層を連結させるためのビアを含む。
【0046】
上記微細回路構造体10Aの回路層は、印刷回路基板に実装される複数の電子部品を連結する信号線の機能をする回路パターンを含むことができる。
【0047】
上記微細回路構造体10Aの回路層は、電子部品などの外部製品との接続のための第2のパッド52を含む。
【0048】
上記第2のパッド52は、上記第1のパッド115、125より小さいピッチを有する。
【0049】
上記微細回路構造体10Aに用いられる絶縁層としては、微細回路の形成が容易となるように感光性絶縁層を用いることができる。上記微細回路構造体10Aに用いられる絶縁層としては、通常の樹脂絶縁層材料より表面粗さが低い感光性絶縁層、例えば、ガラスシートを含有しない感光性絶縁層を用いることができる。
【0050】
通常、電子部品間の連結のためにはシリコンインターポーザなどの高価な技術が必要であるが、本実施例によれば、一般の樹脂基板を用いることにより、熱膨張係数ミスマッチを最小化し密着力を向上させると共に安価なインターポーザの具現が可能となる。
【0051】
また、連結基板において回路基板の絶縁層に比べて相対的に厚いコア絶縁層を用いることにより、反り制御が容易となる。
【0052】
また、微細回路構造体を連結基板の両面の一部に形成して新規工法の適用面積を小さくすることにより、投資費用を節減し既存のインフラを最大限に活用することができる。さらに、両面適用が可能であるため、3D積層(stacking)と類似した効果が得られる。
【0053】
図3は本発明のさらに他の実施例による印刷回路基板を例示する断面図であり、重複する構成に関する説明は省略する。
【0054】
図3を参照すると、上記印刷回路基板は、回路基板100と、上記回路基板100を貫通して位置する連結基板10と、を含む。
【0055】
上記連結基板10は、コア絶縁層11と上記コア絶縁層11の上面に微細回路構造体10Aを有し、下面に金属層12を有する。
【0056】
上記回路基板100と連結基板10の回路層113、43上にはそれぞれビルドアップ絶縁層130とビルドアップ回路層139を含む一つ以上のビルドアップ層が形成される。
【0057】
さらに、最外層のビルドアップ回路層139上には、複数のパッド135、137を露出させる保護層として通常の液状又はフィルム型のソルダレジスト層240が形成されることができる。
【0058】
本実施例によれば、回路基板100と連結基板10上に同時にビルドアップ層が形成されることにより、実際に適用される製品によってデザイン自由度を向上させることができるという長所がある。
【0059】
図4及び図5は本発明のさらに他の実施例による印刷回路基板を例示する断面図であり、重複する構成に関する説明は省略する。
【0060】
図4を参照すると、上記印刷回路基板は、回路基板100と、上記回路基板100を貫通して位置する連結基板10と、を含む。
【0061】
上記回路基板100としては、通常のコアレス基板、即ち、薄板の基板を用いることができる。
【0062】
上記連結基板10は、コア絶縁層11と上記コア絶縁層11の上面に微細回路構造体10Aを有し、下面に金属層12を有する。
【0063】
図5を参照すると、上記印刷回路基板は、回路基板100と、上記回路基板100を貫通して位置する連結基板10と、を含む。
【0064】
上記回路基板100としては、通常のコアレス基板、即ち、薄板の基板を用いることができる。
【0065】
上記連結基板10は、コア絶縁層11と、上記コア絶縁層11の両面に形成された微細回路構造体10Aを有し、上記両面の微細回路構造体10Aは、上記コア絶縁層11を貫通するビア15を介して電気的に連結される。
【0066】
電子部品モジュール
図6は本発明の一実施例による電子部品モジュールを例示する断面図であり、重複する構成に関する説明は省略する。
【0067】
図6を参照すると、上記電子部品モジュールは、印刷回路基板に搭載された電子部品501、502を含む。
【0068】
上記印刷回路基板は、貫通部101を有する回路基板100と、上記貫通部101に収容される連結基板10と、を含む。
【0069】
上記回路基板100は、複数の回路層と、上記複数の回路層を絶縁させるために上記複数の回路層の間に介在される複数の絶縁層と、を含む多層印刷回路基板である。例えば、上記回路基板100としては、通常のコア基板を含むBGA基板を用いることができる。
【0070】
上記回路層は、電子部品などの外部製品との接続のための第1のパッド115、125を含む。
【0071】
上記第1のパッド115上にはフリップチップボンディングによって電子部品501、502が搭載され、上記第1のパッド125上には外部接続端子としてハンダボール170が実装され、上記ハンダボール170を介して、例えば、メインボード(図示せず)のような外部製品と接続される。
【0072】
上記連結基板10は、コア絶縁層11と上記コア絶縁層11の上面に微細回路構造体10Aを有し、下面に金属層12を有する。
【0073】
上記微細回路構造体10Aは、複数の回路層と、上記複数の回路層を絶縁させるために上記複数の回路層の間に介在される複数の絶縁層と、を含む。
【0074】
上記微細回路構造体10Aの回路層は、上記回路基板100の回路層に比べて小さいピッチの微細パターンを有するように形成される。
【0075】
上記微細回路構造体10Aの回路層は、印刷回路基板に実装される複数の電子部品を連結する信号線の機能をする回路パターンを含む。
【0076】
上記微細回路構造体10Aの回路層は、電子部品などの外部製品との接続のための第2のパッド42を含む。
【0077】
上記第2のパッド42は、上記第1のパッド115、125より小さいピッチを有する。
【0078】
上記金属層12は、連結基板10の下面に形成されて反り制御と放熱効果に寄与する。
【0079】
上記微細回路構造体10Aに用いられる絶縁層としては、微細回路の形成が容易となるように感光性絶縁層を用いることができる。上記微細回路構造体10Aに用いられる絶縁層としては、通常の樹脂絶縁層材料より表面粗さが低い感光性絶縁層、例えば、ガラスシートを含有しない感光性絶縁層を用いることができる。
【0080】
上記電子部品501、502は、回路基板100の第1のパッド115及び連結基板10の第2のパッド42に連結されて印刷回路基板に搭載される。
【0081】
上記電子部品501、502は受動素子と能動素子のような多様な電子素子を含み、通常、印刷回路基板上に実装されるか又は内部に内蔵されることができる電子素子であれば特に制限なく適用可能である。
【0082】
上記電子部品501、502は、上記微細回路構造体10Aに形成された信号線を介して相互に連結される。
【0083】
通常、電子部品間の連結のためにはシリコンインターポーザなどの高価な技術が必要であるが、本実施例によれば、一般の樹脂基板を用いることにより、熱膨張係数ミスマッチ(mismatch)を最小化し密着力を向上させると共に安価なインターポーザの具現が可能となる。
【0084】
また、連結基板において回路基板の絶縁層に比べて相対的に厚いコア絶縁層を用いることにより、反り制御が容易となる。
【0085】
さらに、微細回路構造体を連結基板の一部に形成して新規工法の適用面積を小さくすることにより、投資費用を節減し既存のインフラを最大限に活用することができるという長所がある。
【0086】
図7は本発明の他の実施例による電子部品モジュールを例示する断面図であり、重複する構成に関する説明は省略する。
【0087】
図7を参照すると、上記電子部品モジュールは、印刷回路基板に搭載された電子部品501、502、503を含む。
【0088】
上記印刷回路基板は、貫通部101を有する回路基板100と、上記貫通部101に収容される連結基板10と、を含む。
【0089】
上記回路基板100は、複数の回路層と、上記複数の回路層を絶縁させるために上記複数の回路層の間に介在される複数の絶縁層と、を含む多層印刷回路基板である。例えば、上記回路基板100としては、通常のコア基板を含むBGA基板を用いることができる。
【0090】
上記回路層は、電子部品などの外部製品との接続のための第1のパッド115、125を含む。
【0091】
上記第1のパッド115上にはフリップチップボンディングによって電子部品501、502が搭載され、上記第1のパッド125上には外部接続端子としてハンダボール170が実装され、上記ハンダボール170を介して、例えば、メインボード(図示せず)のような外部製品と接続される。
【0092】
上記連結基板10は、コア絶縁層11と、上記コア絶縁層11の両面に形成された微細回路構造体10Aを有し、上記両面の微細回路構造体10Aは、上記コア絶縁層11を貫通するビア15を介して電気的に連結される。
【0093】
上記微細回路構造体10Aは、複数の回路層と、上記複数の回路層を絶縁させるために上記複数の回路層の間に介在される複数の絶縁層と、を含む。
【0094】
上記微細回路構造体10Aの回路層は、上記回路基板100の回路層に比べて小さいピッチの微細パターンを有するように形成される。
【0095】
上記微細回路構造体10Aの回路層は、印刷回路基板に実装される複数の電子部品を連結する信号線の機能をする回路パターンを含む。
【0096】
上記微細回路構造体10Aの回路層は、電子部品などの外部製品との接続のための第2のパッド52を含む。
【0097】
上記第2のパッド52は、上記第1のパッド115、125より小さいピッチを有する。
【0098】
上記微細回路構造体10Aに用いられる絶縁層としては、微細回路の形成が容易となるように感光性絶縁層を用いることができる。上記微細回路構造体10Aに用いられる絶縁層としては、通常の樹脂絶縁層材料より表面粗さが低い感光性絶縁層、例えば、ガラスシートを含有しない感光性絶縁層を用いることができる。
【0099】
上記電子部品501、502は、回路基板100の第1のパッド115及び連結基板10の第2のパッド52に連結されて印刷回路基板の上面に搭載され、上記電子部品503は、上記連結基板10の第2のパッド52に連結されて印刷回路基板の下面に搭載される。
【0100】
上記電子部品501、502、503は受動素子と能動素子のような多様な電子素子を含み、通常、印刷回路基板上に実装されるか又は内部に内蔵されることができる電子素子であれば特に制限なく適用可能である。
【0101】
通常、電子部品間の連結のためにはシリコンインターポーザなどの高価な技術が必要であるが、本実施例によれば、一般の樹脂基板を用いることにより、熱膨張係数ミスマッチを最小化し密着力を向上させると共に安価なインターポーザの具現が可能となる。
【0102】
また、連結基板において回路基板の絶縁層に比べて相対的に厚いコア絶縁層を用いることにより、反り制御が容易となる。
【0103】
また、微細回路構造体を連結基板の両面の一部に形成して新規工法の適用面積を小さくすることにより、投資費用を節減し既存のインフラを最大限に活用することができる。さらに、両面適用が可能であるため、3D積層(stacking)と類似した効果が得られる。
【0104】
印刷回路基板/電子部品モジュールの製造方法
図8は、本発明の一実施例による電子部品モジュールの製造方法を示すフローチャートであり、図9図22は、本発明の一実施例による電子部品モジュールの製造方法を工程順に示す工程断面図である。
【0105】
図8を参照すると、上記製造方法は、貫通部を有する回路基板を準備する段階S101と、連結基板を準備する段階S102と、貫通部に連結基板を収容する段階S103と、ソルダレジスト層を形成する段階S104と、素子を実装する段階S105と、を含む。
【0106】
以下、図9図22に示す工程断面図を参照してそれぞれの工程を説明する。
【0107】
図9図16を参照して、一実施例により連結基板を製造する過程を説明する。
【0108】
まず、図9を参照すると、両面に金属層12を有するコア絶縁層11を準備する。
【0109】
上記コア絶縁層11には、通常、印刷回路基板において絶縁素材として用いられる絶縁樹脂であれば特に限定されず、エポキシ樹脂のような熱硬化性樹脂、ポリイミドのような熱可塑性樹脂、又はこれらにガラス繊維又は無機フィラーのような補強材が含浸された樹脂を用いることができる。例えば、上記絶縁層は、プリプレグ、ABF(Ajinomoto Build−up Film)及びFR−4、BT(Bismaleimide Triazine)などの樹脂で形成されることができる。
【0110】
上記金属層12は、通常の回路層と同一の物質で形成されることができる。例えば、上記回路層は、銅(Cu)で形成されることができる。
【0111】
上記両面に金属層12を有するコア絶縁層11として、例えば、通常の両面銅張積層板を用いることができる。
【0112】
次に、図10を参照すると、上記コア絶縁層11の上面に所定の開口部1101を有するようにパターン化されたメッキレジスト層1100を形成する。
【0113】
上記メッキレジスト層1100には、通常の液状又はフィルム型のドライフィルムを用いることができる。
【0114】
また、図示されてはいないが、メッキレジスト層1100を形成する前に、上記上面の金属層12をハーフエッチング(half−etching)した後、無電解メッキによってシード層を形成することができる。
【0115】
次に、図11を参照すると、無電解及び/又は電解金属メッキによって上記開口部1101に第1の回路層13を形成する。
【0116】
次に、図12を参照すると、メッキレジスト層1100を除去し、図13を参照すると、第1の感光性絶縁層21を適用した後、通常の露光及び現像を含むフォトリソグラフィー工程を経てビアホールを形成する。
【0117】
次に、図14を参照すると、無電解及び電解金属メッキによって第2の回路層22を形成する。
【0118】
次に、図15を参照すると、第2の感光性絶縁層31を形成した後、第3の回路層32を形成し、図16を参照すると、第3の感光性絶縁層41を形成した後、第2のパッド42を含む第4の回路層を形成する。
【0119】
本実施例では、微細回路構造体の一例として4層の回路層を示したが、実際に適用される製品によって回路層の数は多様に変更可能である。また、当業界に公知の回路形成方法であれば特に限定されず、SAP(semi additive process)、MSAP(modified semi additive process)、アディティブ工法(additive process)、サブトラクティブ工法(subtractive process)などによって形成可能である。
【0120】
上記のような過程を経て、コア絶縁層11の上面に微細回路構造体10Aが形成され、上記コア絶縁層11の下面に金属層12が形成された連結基板10を準備する。
【0121】
ここで、上記下面の金属層12は、放熱機能などの目的に応じて厚さが調節されることができる。
【0122】
次に、図17を参照すると、回路基板100として、貫通部101を有する印刷回路基板を準備する。
【0123】
上記回路基板100は、複数の回路層と、上記複数の回路層を絶縁させるために上記複数の回路層の間に介在される複数の絶縁層と、を含む多層印刷回路基板である。上記回路基板100としては、例えば、BGA(ball grid array)用基板を用いることができる。
【0124】
上記回路基板100はまた、層間回路層を連結させるためのブラインドビア及び貫通ビアを含む。
【0125】
上記回路層は、電子部品などの外部製品との接続のための第1のパッド115、125を有する。
【0126】
上記回路基板100の貫通部101は、回路基板100に連結基板10を収容するために穿孔される領域であり、連結基板10が容易に挿入されることができるようにそのサイズ及び形状が決定される。
【0127】
上記貫通部101の穿孔は、特に限定されず、一例として機械的ドリル加工などによって行われることができる。
【0128】
上記回路基板100の上面には、最外層の第1のパッド115を露出させる第1のソルダレジスト層140が形成される。
【0129】
一方、本実施例では、本段階で第1のソルダレジスト層140が形成されることを説明したが、特にこれに限定されない。
【0130】
例えば、あとでキャリアフィルムを除去してから、上記回路基板と上記回路基板に収容される連結基板の上面に同時にビルドアップ層を形成した後、その上面に第1のソルダレジスト層140を形成してもよい。
【0131】
次に、図18を参照すると、上記回路基板100の上面にキャリアフィルム1000を付着する。
【0132】
上記キャリアフィルム1000は、回路基板100と、あとで挿入される連結基板10を安定して載置することができる支持台の役割をする部材であり、支持台の役割をすると共に着脱が容易な材料であれば特に制限なく適用可能である。
【0133】
例えば、上記キャリアフィルム1000としては、熱を加える場合に接着力がなくなり非接着性を示す接着部材を用いることができる。この場合、基板の固定が容易であり、除去も熱処理によって容易に行うことができるという長所がある。例えば、上記熱処理の際に非接着性を示す接着剤としてはウレタン発泡テープなどがあるが、特にこれに限定されない。
【0134】
次に、図19を参照すると、連結基板10を上記回路基板100の貫通部101に収容する。
【0135】
次に、図20を参照すると、キャリアフィルム1000が付着されていない回路基板100及び連結基板10の下面に第2のソルダレジスト層150を形成し、複数の第1のパッド125を露出させる開口部を形成する。
【0136】
また、図示されてはいないが、上記ソルダレジスト層を形成する前に、必要に応じて、ビルドアップ回路層及び/又はビルドアップ絶縁層を含むビルドアップ層をさらに形成することができる。
【0137】
また、上記ソルダレジスト層の開口部から露出した第1のパッド125上には、選択的に表面処理層を形成することができる。
【0138】
ここで、上記回路基板100の貫通部101と連結基板10の間には充填樹脂160が形成される。
【0139】
上記充填樹脂160は、別途の樹脂充填過程を経て形成されるか、又は上記最外層上にソルダレジスト層を形成する過程で空いた空間にソルダレジストを充填することにより形成されることができる。
【0140】
次に、図21を参照すると、露出した第1のパッド125上に外部接続端子としてハンダボール170を実装する。
【0141】
上記のようなハンダボール170を介して、あとで他の電子部品、上下部パッケージ又はマザーボードのような外部製品との接続が可能である。
【0142】
次に、図22を参照すると、キャリアフィルム1000を除去し、印刷回路基板の上面に電子部品501、502を搭載する。
【0143】
上記電子部品501、502は、第1のパッド115と第2のパッド42に接続されて搭載される。
【0144】
上記電子部品501、502は、上記連結基板10の微細回路構造体10Aに具現された信号線によって相互に連結される。
【0145】
図23は、本発明の他の実施例による電子部品モジュールの製造方法を示すフローチャートであり、図24図38は、本発明の他の実施例による電子部品モジュールの製造方法を工程順に示す工程断面図である。
【0146】
図23を参照すると、上記製造方法は、貫通部を有する回路基板を準備する段階S201と、連結基板を準備する段階S202と、貫通部に連結基板を収容する段階S203と、ソルダレジスト層を形成する段階S204と、素子を実装する段階S205と、を含む。
【0147】
以下、図24図38に示す工程断面図を参照してそれぞれの工程を説明する。
【0148】
図24図32を参照して、他の実施例により連結基板を製造する過程を説明する。
【0149】
まず、図24を参照すると、コア絶縁層11を準備する。
【0150】
次に、図25を参照すると、上記コア絶縁層11を貫通する貫通孔11Aを形成する。
【0151】
上記貫通孔11Aは、例えば、コア絶縁層11の両面をレーザードリル加工することにより形成されることができる。
【0152】
本実施例では、砂時計状の貫通孔を例示したが、特にこれに限定されない。
【0153】
次に、図26を参照すると、無電解及び電解金属メッキによって、上記貫通孔11Aを含めてコア絶縁層11の両面に第1の回路層13を形成する。
【0154】
上記第1の回路層13は、コア絶縁層11を貫通するビア15を含む。
【0155】
次に、図27を参照すると、第1の感光性絶縁層21を適用した後、通常の露光及び現像を含むフォトリソグラフィー工程を経てビアホールを形成する。
【0156】
次に、図28を参照すると、無電解及び電解金属メッキによって第2の回路層22を形成する。
【0157】
次に、図29及び図30を参照すると、第2の感光性絶縁層31を形成した後、第3の回路層32を形成し、図31を参照すると、第3の感光性絶縁層41を形成した後、第4の回路層43を形成する。
【0158】
最後に、図32を参照すると、第4の感光性絶縁層51を形成した後、第2のパッド52を含む第5の回路層を形成する。
【0159】
上記のような過程を経て、コア絶縁層11の両面に微細回路構造体10Aが形成された連結基板10を準備する。
【0160】
次に、図33を参照すると、回路基板100として、貫通部101を有する印刷回路基板を準備する。
【0161】
一方、本実施例では、本段階で回路基板100に第1のソルダレジスト層140が形成されることを図示したが、特にこれに限定されない。
【0162】
例えば、あとでキャリアフィルムを除去してから、上記回路基板と上記回路基板に収容される連結基板の上面に同時にビルドアップ層を形成した後、その上面に第1のソルダレジスト層140を形成してもよい。
【0163】
次に、図34を参照すると、上記回路基板100の上面にキャリアフィルム1000を付着する。
【0164】
次に、図35を参照すると、連結基板10を上記回路基板100の貫通部101に収容する。
【0165】
次に、図36を参照すると、キャリアフィルム1000が付着されていない回路基板100及び連結基板10の下面に第2のソルダレジスト層150を形成し、複数の第1のパッド125を露出させる開口部を形成する。
【0166】
次に、図37を参照すると、露出した第1のパッド125上に外部接続端子としてハンダボール170を実装する。
【0167】
上記のようなハンダボール170を介して、あとで他の電子部品、上下部パッケージ又はマザーボードのような外部製品との接続が可能である。
【0168】
一方、本実施例では、キャリアフィルム1000を除去する前に第2のソルダレジスト層150を形成しハンダボール170を実装する場合を一例として説明したが、特にこれに限定されない。
【0169】
例えば、キャリアフィルム1000を除去した後、第2のソルダレジスト層150を形成しハンダボール170を実装してもよい。
【0170】
次に、図38を参照すると、キャリアフィルム1000を除去し、印刷回路基板の両面に電子部品501、502、503を搭載する。
【0171】
上記電子部品501、502は、第1のパッド115と第2のパッド52に接続されて印刷回路基板の上面に搭載される。
【0172】
上記電子部品501、502は、上記連結基板10の微細回路構造体10Aに具現された信号線によって相互に連結される。
【0173】
また、上記電子部品503は、第2のパッド52に接続されて印刷回路基板の下面に搭載される。
【0174】
上記複数の電子部品501、502、503はまた、微細回路構造体10Aに具現された回路パターンによって相互に連結されることができる。
【0175】
以上、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の権利範囲はこれに限定されず、特許請求の範囲に記載された本発明の技術的思想から外れない範囲内で多様な修正及び変形が可能であるということは、当技術分野の通常の知識を有する者には明らかである。
【符号の説明】
【0176】
100 回路基板
101 貫通部
115、125 第1のパッド
130 ビルドアップ絶縁層
139 ビルドアップ回路層
140、150、240 ソルダレジスト層
160 充填樹脂
170 ハンダボール
501、502、503 電子部品
10 連結基板
10A 微細回路構造体
11 コア絶縁層
12 金属層
15 ビア
42、52 第2のパッド
図1
図2
図3
図4
図5
図6
図7
図8
図9
図10
図11
図12
図13
図14
図15
図16
図17
図18
図19
図20
図21
図22
図23
図24
図25
図26
図27
図28
図29
図30
図31
図32
図33
図34
図35
図36
図37
図38