特許6505243レジスト用途の光酸発生剤としてのスルホン酸誘導体化合物

発明の名称　レジスト用途の光酸発生剤としてのスルホン酸誘導体化合物

出願人　ヘレウス　プレシャス　メタルズ　ノース　アメリカ　デイケム　エルエルシー　（識別番号 517095467）

　　　　特許公開件数ランキング 9753 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 8204 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6505243

公報発行日　2019年4月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6505243

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