特許6509089イオン注入装置

発明の名称　イオン注入装置

出願人　株式会社ＳＥＮ　（識別番号 183196）

　　　　特許公開件数ランキング 2624 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 6699 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6509089

公報発行日　2019年5月8

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6509089

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