特許 6510768 露光装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6510768

(24)【登録日】2019年4月12日

(45)【発行日】2019年5月8日

(54)【発明の名称】露光装置

(51)【国際特許分類】

   G03F 9/00 20060101AFI20190422BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20190422BHJP

   H01L 21/683 20060101ALI20190422BHJP

   B65H 20/02 20060101ALI20190422BHJP

【ＦＩ】

   G03F9/00 G

   H01L21/68 A

   H01L21/68 N

   B65H20/02 Z

【請求項の数】3

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2014-107235(P2014-107235)

(22)【出願日】2014年5月23日

(65)【公開番号】特開2015-222370(P2015-222370A)

(43)【公開日】2015年12月10日

【審査請求日】2017年5月18日

(73)【特許権者】

【識別番号】000128496

【氏名又は名称】株式会社オーク製作所

(72)【発明者】

【氏名】森田 亮

(72)【発明者】

【氏名】松田 政昭

(72)【発明者】

【氏名】緑川 悟

【審査官】 右▲高▼ 孝幸

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０００−２２７６６１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−３４７４２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−０９１０６９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−３４７９６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−１０２９９１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−１０６０９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−１７０６０５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−２２１２２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−２５４８４２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−２１８１５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１３／０３５６９６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 米国特許出願公開第２００８／００３１６４０（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０３Ｆ ７／２０− ７／２４

９／００− ９／０２

Ｈ０１Ｌ ２１／０２７

２１／３０

２１／４６

２１／６７−２１／６８３

Ｂ６５Ｈ ２０／００−２０／４０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

供給リールから巻取りリールまで、長尺で可塑性のある被露光体を搬送する搬送手段と、
前記供給リールから前記巻取りリールにいたる間に設けられた露光手段と、
前記被露光体の一部分を保持する露光ステージと、
前記露光ステージを前記搬送手段の前記被露光体の搬送方向に沿って往復移動させる移動手段とを備え、
前記露光手段と前記露光ステージとの相対移動により前記被露光体にパターンを露光する露光装置であって、
前記搬送手段が、
前記供給リールの下流側かつ前記露光手段の上流側に設けられ、前記被露光体を制動する供給側制動ローラと、
前記露光手段の下流側かつ前記巻取りリールの上流側に設けられ、前記被露光体を制動する巻取り側制動ローラとを備え、
前記供給側制動ローラに前記供給側制動ローラを回転駆動するローラ駆動手段を設け、
前記供給側制動ローラと前記巻取り側制動ローラとに前記被露光体を制動させずに前記露光ステージが搬送開始位置から搬送終了位置まで前記被露光体を保持した状態で移動する間に前記露光手段が前記被露光体にパターンを露光し、
前記露光手段の露光終了後、前記供給側制動ローラと前記巻取り側制動ローラが前記被露光体を制動し、
前記露光ステージが前記搬送終了位置から前記搬送開始位置まで前記被露光体を保持せずに移動する際に、前記ローラ駆動手段が前記供給側制動ローラを回転駆動して前記被露光体を供給側に移動させることを特徴とする露光装置。

【請求項2】

前記露光ステージは、前記被露光体の搬送方向に沿った端面を前記露光ステージに押圧するクランプ機構を備えることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。

【請求項3】

前記供給側制動ローラと前記露光手段の間の前記被露光体上方に設けられた撮像手段を備える露光位置補正手段と、
前記撮像手段が撮像した画像を表示可能な表示手段とを備え、
前記撮像手段が前記被露光体に設けられた位置決めマークを撮像する撮像ステップと、
前記露光手段が、前記撮像手段が撮像した画像に基づいて露光データを補正する露光位置補正ステップと、
前記露光手段が補正された前記露光データに従って、前記被露光体にパターンを露光する露光ステップと、
前記露光ステップの終了後に、前記撮像手段を用いて前記被露光体に露光されたパターンを確認する確認ステップとを備えることを特徴とする請求項１または２に記載の露光装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、供給側から長尺ワーク（フレキシブル基板）を露光部に搬送し、当該露光部で長尺ワークにパターンを露光し、長尺ワークを巻取側に搬送する、いわゆるロールトゥロール方式の露光装置に関する。

【背景技術】

【0002】

一般に、携帯電話、モバイル機器等の各種の小型電気機器に用いられる電子回路基板（プリント回路基板）の電気回路ベース素材は、機体が軽薄短小であるので薄く高精度の長尺ワークが使用される。

【0003】

このような長尺ワークの素材は、その厚みが０．１ｍｍ程度から０．０６ｍｍと薄型化の傾向になっている。さらに、最近では、厚みが０．０５ｍｍ以下で幅が５５０ｍｍ、そして長さが１００ｍと薄く幅広な長尺ワーク状で非常に長い長尺ワークが用いられている。長尺ワークは通常はロール状に巻き取られて扱われている。

【0004】

このような長尺ワークに電子回路を形成する装置として、供給リールと、巻取リールと、この供給リールと巻取リールの間に位置する露光部とを備え、供給リールと巻取リールの間に架け渡された長尺ワークをその長手方向に搬送しながら、露光部によって長尺ワークの表面にパターンを露光する、いわゆるロールトゥロール方式のものが知られている。

【0005】

また、露光部にＤＭＤ（Digital Micro-mirror Device）などの光変調素子アレイを備えた、ロールトゥロール方式のマスクレス露光装置も知られている。マスクレス露光によって、長尺ワークの搬送に同期して光変調素子アレイの駆動データを逐次切り替えることで、例えば１ｍを超えるような長尺パターンを露光形成することができる。

【0006】

マスクレス露光装置の場合、一般的に露光光学系の焦点深度の関係で、露光ステージを用いてワークの平面を保った状態で露光する必要がある。特許文献１のロールトゥロール方式のマスクレス露光装置では、長尺ワークを露光ステージに吸着固定し露光部と長尺ワーク表面との光軸方向の距離を一定に保った状態で、光変調素子と長尺ワークとを相対移動させながら長尺ワーク表面に固着した感光剤層にパターン光を投影する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】特開２００６−１０２９９１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

特許文献１のようなロールトゥロール方式のマスクレス露光装置では、長尺ワークの搬送方向に対する１回の露光距離は露光ステージのストロークによって制限される。制限を超えた長さのパターンを形成するためには、１回の露光工程を終えた後に、長尺ワークと露光ステージを、それぞれの露光開始位置に個別に移動させる必要がある。

【0009】

しかしながら、特許文献１のロールトゥロール方式のマスクレス露光装置では、長尺ワークの移動を露光ステージにて行うため、露光ステージを高速に露光の開始位置へ戻そうとすると、巻出し部及び巻取り部に設けられているダンサーローラが基板の戻り速度に追従できず滑りが生じ、長尺ワークに擦過疵が生じる。

【0010】

かといって、長尺ワークの戻り速度にダンサーローラが追従できるように露光ステージの加速度を下げる場合は、タクトタイムに大きな影響を与えることになり、生産性に悪影響を生じる。

【0011】

また、長尺ワークの戻り量と露光ステージの戻り量が異なる（露光ステージが、およそ露光ステージの搬送方向長さ分程度、多く戻る）ため、露光ステージが長尺ワークの吸着固定を解除し、露光ステージのみが移動する工程が存在するが、その際にダンサーローラの重みや、長尺ワークの自重が釣り合わず、長尺ワークが搬送方向に移動してしまう。このために、形成されたパターンの１回目の終了位置と、次回の開始位置とが合致しないという問題があった。

【課題を解決するための手段】

【0012】

本発明の露光装置は、供給リールから巻取りリールまで長尺で可塑性のある被露光体を搬送する搬送手段と、供給リールより下流側の被露光体上方に設けられ、複数の空間光変調手段を備える露光手段と、被露光体の一部分を保持する露光ステージと、露光ステージを搬送手段の被露光体の搬送方向に沿って往復移動させる移動手段とを備える。

【0013】

また、本発明の露光装置は、供給リールの下流側かつ露光手段の上流側に設けられ、被露光体を制動する供給側制動ローラと、露光手段の下流側かつ巻取りリールの上流側に設けられ、被露光体を制動する巻取り側制動ローラとを備え、供給側制動ローラがローラ駆動手段を備える。

【0014】

供給側制動ローラと巻取り側制動ローラは、露光ステージが被露光体を保持している際には、被露光体の制動を解除し、被露光体が露光ステージの移動にともなって自由に移動することを妨げない。

【0015】

また、本発明の露光装置は、露光ステージが搬送開始位置から搬送終了位置まで被露光体を保持した状態で移動する間に露光手段が被露光体にパターンを露光し、露光手段の露光終了後、露光ステージが搬送終了位置から搬送開始位置まで被露光体を保持せずに移動する。同時に、供給側制動ローラが被露光体を供給側に移動させる。

【0016】

露光ステージは、被露光体の幅方向の端面（搬送方向に沿う端面）を露光ステージに押圧するクランプ機構を備える。クランプ機構と露光ステージとの間に被露光体の幅方向の両端面が挟持されることで、被露光体の露光面が平面となるように保持される。

【0017】

また、本発明の露光装置は、撮像手段と、撮像手段が撮像した画像を表示可能な表示手段とを備え、撮像手段は、位置決めステップにて被露光体に設けられた位置決めマークの撮像に用いられるとともに、露光されたパターンを確認するステップにおけるパターンの観察にも用いられる。

【発明の効果】

【0018】

本発明によれば、長尺ワークに疵をつけることなくタクトタイムを短縮することができ、また形成されたパターンの繋ぎ精度が良好なロールトゥロール方式の露光装置を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】本発明の一実施形態に係る露光装置の概略構成を示す側面透視図である。

【図2】露光ステージのワーククランプ部を示す平面図である。

【図3a】露光装置の動作を示す第１工程図である。

【図3b】露光装置の動作を示す第２工程図である。

【図3c】露光装置の動作を示す第３工程図である。

【図3d】露光装置の動作を示す第４工程図である。

【図3e】露光装置の動作を示す第５工程図である。

【図3f】露光装置の動作を示す第６工程図である。

【図3g】露光装置の動作を示す第７工程図である。

【図3h】露光装置の動作を示す第８工程図である。

【図3i】露光装置の動作を示す第９工程図である。

【図3j】露光装置の動作を示す第１０工程図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

≪第１実施形態≫
図１〜図２を参照して、本発明の第１実施形態に係る露光装置１について説明する。露光装置１は、いわゆるロールトゥロール方式の露光装置であり、長尺ワークＷの搬送方向の上流側から下流側に向かって順に、長尺ワークＷを供給する供給部１０と、長尺ワークＷの表面にパターンを露光して電子回路を形成する露光部３０と、露光済みの長尺ワークＷを回収する巻取り部２０とを備えている。

【0021】

＜長尺ワークＷの構成＞
長尺ワークＷは、例えば、携帯電話やモバイル機器等に用いられる電子回路基板（プリント回路基板）のベース素材となる感光性長尺フィルム（表面に感光体を塗布した合成樹脂製柔軟フィルム）をロール状にしたものである。フォトレジストなどの感光材料が塗布された長尺ワークＷは、銅張積層板などによるシート状に形成され、数十〜数百メートルの長さを有する。以下では、長尺ワークＷの表裏面のうち、図中の上方を向く面を「表面」と呼び、図中の下方を向く面を「裏面」と呼ぶ。

【0022】

以下では、搬送方向Ｍに沿った方向を“Ｘ”、搬送方向Ｍに垂直な長尺ワークＷの幅方向を“Ｙ”、ＸとＹの双方と垂直な方向（鉛直方向）を“Ｚ”で表す。また、露光装置１における要素の位置関係を表す際に、供給リールに近い側を上流側、巻取りリールに近い側を下流側と呼称する。

【0023】

＜供給部１０および巻取り部２０の構成＞
供給部１０は、長尺ワークＷの搬送方向の上流側から下流側に向かって順に、供給リール１１、ガイドローラ１２、供給側ダンサーローラ１３、ガイドローラ１４、供給側制動ローラ１５、及び端面位置センサ１６を備え、長尺ワークＷを露光部３０に供給するためのワーク供給系を構成する。巻取り部２０は、長尺ワークＷの搬送方向の上流側から下流側に向かって順に、巻取り側制動ローラ２５、ガイドローラ２４、巻取り側ダンサーローラ２３、ガイドローラ２２、及び巻取リール２１を備え、露光部３０で露光された長尺ワークＷを巻き取るためのワーク巻取系を構成する。

【0024】

供給リール１１は、ロール状に巻回された長尺ワークＷを保持しており、自身の回転軸を中心にして回転することで、長尺ワークＷを下流側に向けて供給する（繰り出す）ものである。巻取リール２１は、自身の回転軸を中心にして回転することで、上流側から供給されてきた長尺ワークＷをロール状に巻き取ってこれを保持するものである。供給リール１１と巻取リール２１は、該供給リール１１と巻取リール２１を間欠的に回転駆動する回転駆動手段（図示せず）を備えている。供給リール１１と巻取リール２１は、長尺ワークＷの搬送に伴って該長尺ワークＷの供給量と巻取量が変化することにより、その外径が変化する。

【0025】

ガイドローラ１２、１４、２２，２４、供給側制動ローラ１５及び巻取り側制動ローラ２５は、供給リール１１と巻取リール２１の間に長尺ワークＷを架け渡しており、自身の回転軸を中心にして回転することで、供給リール１１からの長尺ワークＷを巻取リール２１に向けて搬送するものである。

【0026】

供給側制動ローラ１５及び巻取り側制動ローラ２５は、それぞれの回転軸が水平方向に略一直線に並ぶように配置されている。供給側制動ローラ１５及び巻取り側制動ローラ２５は、長尺ワークＷを挟み対向して配置された２つのローラからなるニップローラにて構成される。この２つのローラは長尺ワークＷを挟持、又は解放する様に、不図示の機構にて上下方向（Ｚ方向）にそれぞれ移動可能となっている。

【0027】

供給側制動ローラ１５及び巻取り側制動ローラ２５は、ニップローラが長尺ワークＷを挟持し、かつニップローラが回転しないようにブレーキを掛けることで、長尺ワークＷに制動を掛けることができる。一方、長尺ワークＷを開放した状態では、長尺ワークＷの移動を阻害しないようにニップローラを長尺ワークＷの表裏面から離間させる。

【0028】

また、供給側制動ローラ１５及び巻取り側制動ローラ２５は、ローラを回転駆動する回転駆動手段（図示せず）をそれぞれ備えている。長尺ワークＷを挟持した状態で、回転駆動手段が供給側制動ローラ１５及び巻取り側制動ローラ２５を間欠的に且つ略同一の回転駆動量で回転駆動することにより、供給リール１１と巻取リール２１の間に架け渡された長尺ワークＷを所定長ずつ搬送（コマ送り）することができる。回転駆動手段は例えばステッピングモータが用いられ、長尺ワークＷの送り量や加速度等が精度よくコントロールされるものとする。

【0029】

なお、供給側制動ローラ１５及び巻取り側制動ローラ２５は、長尺ワークＷを挟持するニップローラに代わって長尺ワークＷの裏面を吸着する吸着手段を備えた吸着ローラを用いてもよい。供給側制動ローラ１５及び巻取り側制動ローラ２５が長尺ワークＷの裏面を吸着した状態で回転駆動手段が回転駆動することにより、長尺ワークＷを搬送することができる。

【0030】

また、供給側制動ローラ１５及び巻取り側制動ローラ２５の双方に回転駆動手段がある場合を例示したが、制動ローラが一方向にのみ長尺ワークＷを搬送する場合は、引込み側（供給側）の制動ローラのみに回転駆動手段を持たせ、他方の制動ローラにはブレーキだけを持たせるようにしてもよい。その場合、引込み側の制動ローラが回転駆動する時には、他方の制動ローラは長尺ワークＷを挟持したままブレーキを解除し、長尺ワークＷの移動に合わせてニップローラが連れ回るようにするとよい。

【0031】

ガイドローラ１２、１４、２２、２４は、供給リール１１から供給された（繰り出された）長尺ワークＷを下流側に案内する補助ローラである。ガイドローラの内、少なくともガイドローラ１４及び２４は、それぞれの回転軸が水平方向に略一直線に並ぶように配置されている。供給ガイドローラ１２、１４、２２，２４は、長尺ワークＷが幅方向（図１、図３中の紙面垂直方向、図２中の左右方向）にずれるのを防止するフランジ（図示せず）を有していてもよい。

【0032】

供給側ダンサーローラ１３及び巻取り側ダンサーローラ２３は、長尺ワークＷの搬送に従って昇降し、長尺ワークＷに対して張力を掛けることで長尺ワークＷに弛みやしわが生じるのを防止しするとともに、後述する露光部での走査露光のために、長尺ワークＷを露光部３０にて移動させるためのバッファとしての機能を有している。

【0033】

供給部１０は、長尺ワークＷの端面位置を検知するための端面位置センサ１６を備えている。端面位置センサ１６の出力に従って、供給部１０は不図示の機構により、長尺ワークＷの蛇行を補正する端面位置制御を行う。端面位置制御は例えば供給リール１１から供給側制動ローラ１５までを一体として支持するフレーム（不図示）を設け、そのフレームを長尺ワークＷの幅方向（Ｙ方向）に移動させることによって行う。端面位置制御は既知の技術であり、一般に公知のコントローラを用いて実現可能である。

【0034】

＜露光部３０の構成＞
露光部３０は、供給側制動ローラ１５及び巻取り側制動ローラ２５の間に配置されている。露光部３０は、露光ステージ３１、アライメントカメラ４１及び露光ユニット５１を備えている。

【0035】

露光ユニット５１は、複数の露光ヘッド（不図示）を備え、長尺ワークＷから所定距離だけ鉛直上方に離れた場所に規則的に配置されている。各露光ヘッドに対し、光源および照明光学系（図示せず）が配置されており、光源から放射された光は、それぞれ対応する照明光学系を介して対応する露光ヘッドに導かれる。各露光ヘッドは、複数のマイクロミラーを２次元配列させたＤＭＤ（Digital Micro-mirror Device）と、ＤＭＤの像を長尺ワーク上に結像する結像光学系をと備える。

【0036】

ＤＭＤのマイクロミラーは、光を長尺ワークＷ上へ導く第１の姿勢と長尺ワークＷ外へ導く第２の姿勢のいずれかに選択的に位置決めされ、各マイクロミラーは独立して制御される。

【0037】

各露光ヘッドには、長尺ワークＷを搬送方向Ｍに沿って分割することにより規定される露光領域がそれぞれ割り当てられ、各露光ヘッドに対して走査バンドが規定される。各露光ヘッドからの光の照射領域である露光エリアは、それぞれ走査バンドの幅に従って形成され、露光エリアによって長尺ワークＷへ光が照射される。

【0038】

露光ステージ３１は、長尺ワークＷの裏面を吸着しつつこれを平坦に保持する。露光ステージ３１は、昇降駆動手段３４によって、露光ステージ３１が長尺ワークＷの裏面に接触する上端位置と、露光ステージ３１が長尺ワークＷの裏面と離間する下端位置との間で昇降可能になっている。また、露光ステージ３１が走査またはステップ・アンド・リピートするためのステージ移動部３２を備える。

【0039】

図２にあるように、露光ステージ３１は、長尺ワークＷの搬送方向（Ｘ方向）に沿った端面を挟持するワーククランプ機構３５を備える。ワーククランプ機構３５は長尺ワークＷの搬送方向（Ｘ方向）の端面をステージとの間で挟持するクランプ３５aとクランプ３５ｂとから構成される。クランプ３５aとクランプ３５ｂは、図示しないＹ方向移動機構に取り付けられており、長尺ワークＷの幅に応じて挟持位置を調整することが可能となっている。

【0040】

長尺ワークＷは薄いフィルム状であるため、幅方向（Ｙ方向）に反りが発生する。ワーククランプ機構３５が、露光ステージに長尺ワークＷを押しつけるように挟持することによって、長尺ワークＷの露光される領域を平坦に矯正して保持することができる。

【0041】

アライメントカメラ４１は、露光ユニット５１より上流側に設置され、長尺ワークＷに設けられたアライメントマークを撮像することにより、長尺ワークＷの位置情報を取得する。アライメントマークの撮像は、長尺ワークＷをＸ方向に移動させながら行う。

【0042】

＜露光装置１による露光搬送動作＞
図３ａ〜図３ｊの工程図を参照して、露光装置１による露光搬送動作について詳細に説明する。なお、図中における長尺ワークＷ近傍の矢印は長尺ワークＷの移動を表す。また、長尺ワークＷ上の点Ａは第１回目の露光の際の先頭位置を示し、点Ｂは第１回目の露光の際の終端位置かつ、第２回目の露光の際の先頭位置を示すものである。

【0043】

ステップＳ１：加工前の新しい素材であるロール状の長尺ワークＷを供給リール１１にセットし、長尺ワークＷの先端部を繰り出してガイドローラ１２、供給側ダンサーローラ１３、ガイドローラ１３、供給側制動ローラ１５、巻取り側制動ローラ２５、ガイドローラ２４、巻取り側ダンサーローラ２３、ガイドローラ２２、に架け渡していき、巻取リール２１に固定する。この初期セット状態において、供給側ダンサーローラ１３及び巻取り側ダンサーローラ２３では、長尺ワークＷはバッファされていない。（図３ａ）

【0044】

ステップＳ２：露光装置の自動運転モードを開始する。アライメント開始位置にて待機していた露光ステージ３１が上端位置まで上昇し、１コマ分の長尺ワークＷの裏面を吸着しつつこれを平坦に保持する。また、露光ステージ３１のワーククランプ機構３５が長尺ワークＷをステージとの間で挟持する。（図３ｂ）

【0045】

ステップＳ３：供給リール１１の回転駆動手段（図示せず）が所定の回転駆動量だけ回転することにより、供給リール１１が長尺ワークＷを露光ステージ１ストローク分（約2コマ）だけ繰り出す。繰り出された長尺ワークＷは、供給ガイドローラ１２を経由して供給側ダンサーローラ１３に入る。ここで、長尺ワークＷは下流側において露光ステージ３１で吸着されているため、長尺ワークＷは適度な張力を保ちながらダンサーローラ１３にバッファされる。（図３ｃ）

【0046】

ステップＳ４：露光ステージ３１がＸ方向に駆動され、長尺ワークＷを吸着保持したままアライメントカメラ４１の下方を通過する。その際に、露光ステージ３１の移動につれ、供給側ダンサーローラ１３にバッファされていた長尺ワークＷが引き出され、同時に巻取り側ダンサーローラ２３部で長尺ワークＷのＵ字形状が深くなっていき、長尺ワークＷがバッファされる。（図３ｃ→図３ｄ）

【0047】

長尺ワークＷに内層パターンが存在する場合（ビルドアップ基板のセカンドレイヤー以降等）露光するパターンと内層パターンとの位置合わせのためのアライメントマークが長尺ワークＷに設けられている。露光ステージ３１の移動に合わせて、長尺ワークＷに形成されたアライメントマークをアライメントカメラ４１で撮像する。なお、長尺ワークＷに内層パターンが無い場合（ビルドアップ基板のファーストレイヤー等）はアライメントマークが設けられていない場合があるが、その場合は露光装置１がアライメント（露光データによる露光位置補正）を行わないのでアライメントマークの撮像は行われない。

【0048】

ステップＳ５：アライメントマークの撮像により得た長尺ワークＷの位置情報に基づいて、長尺ワークと露光されるパターンとのアライメントが行われる。具体的には、長尺ワークＷの位置情報が露光ユニット５１の露光制御部（不図示）に送信され、露光ユニット５１が長尺ワークＷにパターンを露光するための露光データの座標に対し補正処理が行われる。露光データの補正処理が行われている間、露光ステージ３１は長尺ワークＷを保持したまま、露光開始位置で一時停止する。（図３ｄ）

【0049】

ステップＳ６：露光ステージ３１が下流方向に移動を開始し、露光部３０では、既知の多重露光技術によって露光ユニット７５が、露光ステージ３１が吸着保持する長尺ワークＷの表面の感光材料層に電子回路パターンを走査露光する（図３ｄ→図３ｅ）。点Ａから点Ｂまでの１コマ分の長尺ワークＷの露光が完了すると、露光ステージ３１は下流方向への移動を終了し、露光終了位置で停止する。（図３ｅ）

【0050】

ステップＳ７：供給側制動ローラ１５及び巻取り側制動ローラ２５が長尺ワークＷを挟持し、長尺ワークＷを固定する（図３ｆ）。その後、露光ステージ３１による長尺ワークＷの吸着を解除するとともに、ワーククランプ機構３５が長尺ワークＷの固定を解除し、昇降駆動手段３４が露光ステージ３１を下端位置に下降させる（図３ｇ）。長尺ワークＷはローラ１５および２５により挟持されるので、ステージ３１が長尺ワークＷから離間する時に長尺ワークＷがＸ方向やＹ方向に移動することなく制動され、所定の位置を保つことができる。

【0051】

ステップＳ８：供給側制動ローラ１５及び巻取り側制動ローラ２５の回転駆動手段（図示せず）が所定の回転駆動量だけ回転することにより、給側制動ローラ１５及び巻取り側制動ローラ２５が長尺ワークＷを所定量巻き戻し、長尺ワークＷの露光完了した1コマの次の１コマ分がアライメント開始位置に来るように（すなわち点ＢがステップＳ２での点Ａの位置に来るように）、長尺ワークＷを移動させる。その際には、端面位置センサ１６の出力を用いて長尺ワークＷの蛇行を補正しつつ長尺ワークＷの移動を行う（図３ｇ→図３ｈ）。

【0052】

供給側制動ローラ１５及び巻取り側制動ローラ２５が長尺ワークＷを戻り方向に移動させると、長尺ワークＷは供給側ダンサーローラ１３においてＵ字形状が深くなっていく同時に、巻取り側ダンサーローラ２３においてＵ字形状が浅くなっていく。その際に、長尺ワークＷを駆動する加速度が急峻である場合、ダンサーローラが長尺ワーク上でスリップし、長尺ワークＷに疵を付け不良品となる恐れがあるので、供給側制動ローラ１５及び巻取り側制動ローラ２５は適切な加減速を行うように回転駆動される。

【0053】

また、供給側制動ローラ１５及び巻取り側制動ローラ２５による長尺ワークＷの巻き戻しと同時に、露光ステージ３１が露光終了位置からアライメント開始位置まで移動する。（図３ｇ→図３ｈ）なお長尺ワークＷの露光完了した1コマ分の戻量とステージ３１の戻量は異なり、後者のほうがその量が大であることに注意されたい。長尺ワークＷの移動が緩やかな加減速にて行われるのに対し、戻量が大である露光ステージ３１の移動は高加速かつ高速に行う。このため、両者はほぼ同時に戻移動を終了する。

【0054】

ステップＳ９：供給側制動ローラ１５及び巻取り側制動ローラ２５による長尺ワークＷの移動と、露光ステージ３１の移動とが終了した後、露光ステージ３１が上端位置まで上昇し、先ほど露光した1コマの次に位置する１コマ分の長尺ワークＷの裏面を吸着しつつこれを平坦に保持する（図３ｉ）。また、露光ステージ３１のワーククランプ機構３５が長尺ワークＷをステージとの間で挟持する。この時、図３ｉに示されるように、点ＢがステップＳ２での点Ａの位置に来ていることが分かる。

【0055】

ステップＳ１０：供給側制動ローラ１５及び巻取り側制動ローラ２５が長尺ワークＷの挟持を解除する。供給リール１１及び巻取リール２１の回転駆動手段（図示せず）が所定の回転駆動量だけ回転することにより、供給リール１１がダンサーローラ１３に長尺ワークＷを１コマ分だけ繰り出すとともに、巻取リール２１がダンサーローラ２３から１コマ分の長尺ワークＷを巻き取る。（図３ｉ→図３ｊ）

【0056】

以降は、生産終了までステップＳ４〜ステップＳ１０を順次繰り返し実行する。長尺ワークＷの最終コマの露光が終了したら、巻取リール２１にロール状に巻き取られた長尺ワークＷが回収される。

【0057】

このように本実施形態の露光装置１は、常に供給側制動ローラ１５及び巻取り側制動ローラ２５による挟持、あるいは露光ステージ３１による保持にて、長尺ワークＷを制動した状態を維持したまま複数のコマ数の露光を行う。これにより、前後のコマを精度よく繋いで露光することが可能となり、特にアライメントマークがない長尺ワークＷにおいて好適な効果を発揮する。

【0058】

また、１コマ露光した後の露光ステージ３１と長尺ワークＷの戻し移動の際に、露光ステージ３１と長尺ワークＷを分離し別々に移動させるので、移動距離の長い露光ステージ３１を高加速度にて高速で移動させることが可能となり、一方で移動距離の短い長尺ワークＷはダンサーローラによる擦過が発生しないように、加速度を抑えて移動させることが可能となる。これにより、露光装置１の生産性が向上する。

【0059】

≪第２実施形態≫
第２実施形態は、露光装置１の構成については第１実施形態と同じである。本実施形態では、露光装置１による動作のステップＳ６終了後に、以下のステップに分岐する。

【0060】

ステップＳ１１：露光ステージ３１が長尺ワークＷを吸着保持したままアライメントカメラ４１の下方まで移動する。この際、露光ステージ３１の移動は、予め定められた位置まで自動で移動してもよいし、オペレーターが手動で任意の位置に移動しても良い。

【0061】

ステップＳ１２：露光装置１のオペレーターが、ステップＳ６の露光によって長尺ワークＷの感光材料に形成された潜像を、アライメントカメラ４１と、アライメントカメラ４１に接続されたモニター４２とを用いて観察する。観察の結果、露光位置や露光量等の補正の必要が認められた場合は、露光装置１のオペレーターが、観察結果に従ってそれらのパラメータを補正する。

【0062】

ステップＳ１３：供給側制動ローラ１５及び巻取り側制動ローラ２５が長尺ワークＷを挟持し、長尺ワークＷを固定する。その後、露光ステージ３１による長尺ワークＷの吸着を解除するとともに、ワーククランプ機構３５が長尺ワークＷの固定を解除し、昇降駆動手段３４が露光ステージ３１を下端位置に下降させる。

【0063】

ステップＳ１４：ステップ１１での露光ステージの移動量から求まる長尺ワークＷの現在位置に基づき、給側制動ローラ１５及び巻取り側制動ローラ２５が、長尺ワークＷの露光完了した1コマの次の１コマ分がアライメント開始位置に来るように（すなわち点ＢがステップＳ２での点Ａの位置に来るように）、長尺ワークＷを下流側に移動させる。

【0064】

また、供給側制動ローラ１５及び巻取り側制動ローラ２５による長尺ワークＷの移動と同時に、露光ステージ３１が上流方向に駆動され、アライメント開始位置に移動する。このように、長尺ワークＷを供給側制動ローラ１５及び巻取り側制動ローラ２５にて移動させると、長尺ワークＷと露光ステージ３１が別方向に移動させることが容易となる。

【0065】

ステップＳ１５：供給側制動ローラ１５及び巻取り側制動ローラ２５による長尺ワークＷの移動と、ステージ移動部３２による露光ステージ３１の移動とが終了した後、露光ステージ３１が上端位置まで上昇し、先ほど露光した1コマの次に位置する１コマ分の長尺ワークＷの裏面を吸着しつつこれを平坦に保持する。また、露光ステージ３１のワーククランプ機構３５が長尺ワークＷの搬送方向（Ｘ方向）の端面をステージとの間で挟持する。

【0066】

ステップＳ１６：供給側制動ローラ１５及び巻取り側制動ローラ２５が長尺ワークＷの挟持を解除する。供給リール１１及び巻取リール２１の回転駆動手段（図示せず）が所定の回転駆動量だけ回転することにより、供給リール１１がダンサーローラ１３に長尺ワークＷを１コマ分だけ繰り出すとともに、巻取リール２１がダンサーローラ２３から１コマ分の長尺ワークＷを巻き取る。

【0067】

以降は、実施形態１と同様にステップＳ４以降を順次繰り返し実行する。なお、ステップＳ１１への動作の分岐は、長尺ワークＷの最初の１コマの露光後だけでなく、任意のタイミングで実行してもよい。

【0068】

このように本実施形態の露光装置１は、連続運転を実行する際に露光結果を観察する工程（ステップＳ１２）を備える。長尺ワークＷの最初の露光結果を観察し、露光パラメータを調整することで長尺ワークＷの多数のコマのパターンの形成不良を防止できるので、露光装置１の生産性が向上する。なお、露光結果の観察工程は長尺ワークＷの最初の露光時だけでなく、任意のタイミングで（例えば所定時間が経過する毎に）実行してよい。

【0069】

また、露光結果を観察する工程が連続運転中に実施される際においても、長尺ワークＷは、供給側制動ローラ１５及び巻取り側制動ローラ２５による挟持、あるいは露光ステージ３１による保持により制動される。これにより、前後のコマを精度よく繋いで露光することが可能となり、特にアライメントマークがない長尺ワークＷにおいて好適な効果を発揮する。

【0070】

なお、露光結果の観察と露光パラメータの設定は、アライメントカメラ４１に接続されたモニター４２によってオペレーターが手動で行うと説明したが、アライメントカメラ４１に図示しない画像処理装置を接続することで、露光装置１が自動的に実施することにしてもよい。

【符号の説明】

【0071】

１ 露光装置
２ 架台
１０ 投入部
１１ 供給リール
１２，１４ ガイドローラ
１３ 供給側ダンサーローラ
１５ 供給側制動ローラ
１６ 端面位置センサ
２１ 巻取リール
２２，２４ ガイドローラ
２３ 巻取り側ダンサーローラ
２５ 巻取り側制動ローラ
３０ 露光部
３１ 露光ステージ
３２ ステージ移動部
３３ ガイドレール
３４ 昇降駆動手段
３５ ワーククランプ機構
４０ アライメント部
４１ アライメントカメラ
４２ モニター
５０ 露光処理部
５１ 露光ユニット
Ｗ 長尺ワーク（感光性基板）
Ａ 長尺ワークＷ上の第1回目の露光開始位置（点Ａ）
Ｂ 長尺ワークＷ上の第２回目の露光開始位置（点Ｂ）

【図1】

【図2】

【図3a】

【図3b】

【図3c】

【図3d】

【図3e】

【図3f】

【図3g】

【図3h】

【図3i】

【図3j】