特許 6514580 保持装置および離間方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6514580

(24)【登録日】2019年4月19日

(45)【発行日】2019年5月15日

(54)【発明の名称】保持装置および離間方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20190425BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20190425BHJP

   B25J 15/06 20060101ALI20190425BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 P

   H01L21/68 B

   B25J15/06 F

【請求項の数】4

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2015-124134(P2015-124134)

(22)【出願日】2015年6月19日

(65)【公開番号】特開2017-11076(P2017-11076A)

(43)【公開日】2017年1月12日

【審査請求日】2018年3月22日

(73)【特許権者】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100082762

【弁理士】

【氏名又は名称】杉浦 正知

(74)【代理人】

【識別番号】100123973

【弁理士】

【氏名又は名称】杉浦 拓真

(72)【発明者】

【氏名】杉下 芳昭

【審査官】 中田 剛史

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１４−２４１３３１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−１１４２３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０８−１４８５４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−１１６４８０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−１９１０５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１５−０７９８５３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

Ｂ２５Ｊ １５／０６

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

被保持体の一方の面側に面接触して当該被保持体を保持する保持面を有する保持手段と、
前記保持面に保持力を付与する保持力付与手段と、
前記保持面と被保持体との間に流体を供給し、前記保持面と被保持体との間に離間空間を形成して前記保持面から前記被保持体を離間させる流体供給手段とを備えた保持装置において、
前記被保持体の外縁部を押圧して当該被保持体の外縁部から前記流体が流出することを防止する押圧手段と、
前記流体供給手段が供給した流体によって、前記被保持体が前記保持面から離間する離間量を制限する離間補助手段とを有し、
前記離間補助手段は、前記被保持体における他方の面に弾性変形して面接触可能な当接面を有する押え部材を備え、当該押え部材は、前記流体供給手段によって供給された流体によって、前記当接面の形状を変形させてその中央部から外縁に向けて前記離間空間を順次拡大し、前記保持面から前記被保持体を離間させる補助を行うことを特徴とする保持装置。

【請求項2】

被保持体の一方の面側に面接触して当該被保持体を保持する保持面を有する保持手段と、
前記保持面に保持力を付与する保持力付与手段と、
前記保持面と被保持体との間に流体を供給し、前記保持面と被保持体との間に離間空間を形成して前記保持面から前記被保持体を離間させる流体供給手段とを備えた保持装置において、
前記被保持体の外縁部を押圧して当該被保持体の外縁部から前記流体が流出することを防止する押圧手段と、
前記流体供給手段が供給した流体によって、前記被保持体が前記保持面から離間する離間量を制限する離間補助手段とを有し、
前記離間補助手段は、前記被保持体における他方の面に弾性変形せずに面接触可能な当接面を有する押え部材を備え、当該押え部材は、前記流体供給手段によって供給された流体によって、前記当接面の形状を維持して前記離間空間を拡大し、前記保持面から前記被保持体を離間させる補助を行うことを特徴とする保持装置。

【請求項3】

被保持体の一方の面側に面接触させた保持面に保持力を付与して当該被保持体を保持した後、前記保持面と被保持体との間に流体を供給し、前記保持面と被保持体との間に離間空間を形成して前記保持面から前記被保持体を離間させる流体供給工程を実施する離間方法において、
前記被保持体の外縁部を押圧して当該被保持体の外縁部から前記流体が流出することを防止する押圧工程と、
供給された前記流体によって、前記被保持体が前記保持面から離間する離間量を制限する離間補助工程とを実施し、
前記離間補助工程では、前記被保持体における他方の面に弾性変形して面接触可能な当接面を有する押え部材を用い、前記流体供給工程によって供給された前記流体によって、前記当接面の形状を変形させてその中央部から外縁に向けて前記離間空間を順次拡大し、前記保持面から前記被保持体を離間させる補助を行うことを特徴とする離間方法。

【請求項4】

被保持体の一方の面側に面接触させた保持面に保持力を付与して当該被保持体を保持した後、前記保持面と被保持体との間に流体を供給し、前記保持面と被保持体との間に離間空間を形成して前記保持面から前記被保持体を離間させる流体供給工程を実施する離間方法において、
前記被保持体の外縁部を押圧して当該被保持体の外縁部から前記流体が流出することを防止する押圧工程と、
供給された前記流体によって、前記被保持体が前記保持面から離間する離間量を制限する離間補助工程とを実施し、
前記離間補助工程では、前記被保持体における他方の面に弾性変形せずに面接触可能な当接面を有する押え部材を用い、前記流体供給工程によって供給された前記流体によって、前記当接面の形状を維持して前記離間空間を拡大し、前記保持面から前記被保持体を離間させる補助を行うことを特徴とする離間方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、保持装置および離間方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来から、吸引口に被保持体が噛み込んでいたり、被保持体と保持面とが密着していたりしていても、被保持体と保持面との間に気体を供給してそれらを縁切りすることで、被保持体にストレスを与えることなく当該被保持体を保持面から取り去ることができる保持装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００３−１７４０７７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に記載の吸着保持装置１０では、ウエハ保持体Ｈ（被保持体）と吸着面２８（保持面）との間における一部のみから気体が抜けてしまう場合があり、ウエハ保持体Ｈと吸着面２８との全体的な縁切りが行えないという不都合を発生する。ここで、特許文献１の場合、ウエハ保持体Ｈの外縁部を吸着面２８から強制的に離間させる距離を大きくすればよいが、この場合、ウエハ保持体Ｈの湾曲が必要以上に大きくなり、当該ウエハ保持体Ｈを構成する脆弱な半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する場合がある）を損傷させてしまうという別の不都合を発生する。

【0005】

本発明の目的は、被保持体を損傷させることなく、確実に被保持体と保持面との縁切りを行うことができる保持装置および離間方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上述した課題を解決するために、本発明は、被保持体の一方の面側に面接触して当該被保持体を保持する保持面を有する保持手段と、前記保持面に保持力を付与する保持力付与手段と、前記保持面と被保持体との間に流体を供給し、前記保持面と被保持体との間に離間空間を形成して前記保持面から前記被保持体を離間させる流体供給手段とを備えた保持装置において、前記被保持体の外縁部を押圧して当該被保持体の外縁部から前記流体が流出することを防止する押圧手段と、前記流体供給手段が供給した流体によって、前記被保持体が前記保持面から離間する離間量を制限する離間補助手段とを有し、前記離間補助手段は、前記被保持体における他方の面に弾性変形して面接触可能な当接面を有する押え部材を備え、当該押え部材は、前記流体供給手段によって供給された流体によって、前記当接面の形状を変形させてその中央部から外縁に向けて前記離間空間を順次拡大し、前記保持面から前記被保持体を離間させる補助を行うことを特徴とする保持装置である。

【0007】

本発明の他の態様は、被保持体の一方の面側に面接触して当該被保持体を保持する保持面を有する保持手段と、前記保持面に保持力を付与する保持力付与手段と、前記保持面と被保持体との間に流体を供給し、前記保持面と被保持体との間に離間空間を形成して前記保持面から前記被保持体を離間させる流体供給手段とを備えた保持装置において、前記被保持体の外縁部を押圧して当該被保持体の外縁部から前記流体が流出することを防止する押圧手段と、前記流体供給手段が供給した流体によって、前記被保持体が前記保持面から離間する離間量を制限する離間補助手段とを有し、前記離間補助手段は、前記被保持体における他方の面に弾性変形せずに面接触可能な当接面を有する押え部材を備え、当該押え部材は、前記流体供給手段によって供給された流体によって、前記当接面の形状を維持して前記離間空間を拡大し、前記保持面から前記被保持体を離間させる補助を行うことを特徴とする保持装置である。

【0008】

本発明の他の態様は、被保持体の一方の面側に面接触させた保持面に保持力を付与して当該被保持体を保持した後、前記保持面と被保持体との間に流体を供給し、前記保持面と被保持体との間に離間空間を形成して前記保持面から前記被保持体を離間させる流体供給工程を実施する離間方法において、前記被保持体の外縁部を押圧して当該被保持体の外縁部から前記流体が流出することを防止する押圧工程と、供給された前記流体によって、前記被保持体が前記保持面から離間する離間量を制限する離間補助工程とを実施し、前記離間補助工程では、前記被保持体における他方の面に弾性変形して面接触可能な当接面を有する押え部材を用い、前記流体供給工程によって供給された前記流体によって、前記当接面の形状を変形させてその中央部から外縁に向けて前記離間空間を順次拡大し、前記保持面から前記被保持体を離間させる補助を行うことを特徴とする離間方法である。

【0009】

本発明の他の態様は、被保持体の一方の面側に面接触させた保持面に保持力を付与して当該被保持体を保持した後、前記保持面と被保持体との間に流体を供給し、前記保持面と被保持体との間に離間空間を形成して前記保持面から前記被保持体を離間させる流体供給工程を実施する離間方法において、前記被保持体の外縁部を押圧して当該被保持体の外縁部から前記流体が流出することを防止する押圧工程と、供給された前記流体によって、前記被保持体が前記保持面から離間する離間量を制限する離間補助工程とを実施し、前記離間補助工程では、前記被保持体における他方の面に弾性変形せずに面接触可能な当接面を有する押え部材を用い、前記流体供給工程によって供給された前記流体によって、前記当接面の形状を維持して前記離間空間を拡大し、前記保持面から前記被保持体を離間させる補助を行うことを特徴とする離間方法である。

【発明の効果】

【0010】

以上説明したように、本発明によれば、被保持体の外縁部を押圧して保持面と被保持体との間に供給された流体が被保持体の外縁部から流出することを防止するので、被保持体を損傷させることなく、確実に被保持体と保持面との縁切りを行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】第１実施形態に係る保持装置を示す断面図。

【図2】第１実施形態に係る保持装置の動作説明図。

【図3】第２実施形態に係る搬送装置の動作説明図。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、本発明の各実施形態に係る保持装置を図面に基づいて説明する。
なお、各実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、当該所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」が紙面に直交する手前方向であってＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
なお、第２実施形態以降の説明において、第１実施形態で説明した同様の構成および同様の動作は、適宜省略または簡略化する。

【0013】

［第１実施形態］
図１において、保持装置１０は、被保持体ＷＫの一方の面（下面）側に面接触して当該被保持体ＷＫを保持する保持面２１Ｃを有する保持手段２０と、保持面２１Ｃに保持力としての吸引力を付与する減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段からなる保持力付与手段３０と、保持面２１Ｃと被保持体ＷＫとの間に流体としての気体を供給し、保持面２１Ｃと被保持体ＷＫとの間に離間空間ＳＰ（図２（Ｃ）参照）を形成して保持面２１Ｃから被保持体ＷＫを離間させる加圧ポンプやタービン等の加圧手段からなる流体供給手段４０と、被保持体ＷＫの外縁部を押圧して当該被保持体ＷＫの外縁部から気体が流出することを防止する押圧手段５０と、流体供給手段４０が供給した気体によって、被保持体ＷＫが保持面２１Ｃから離間する離間量を制限する離間補助手段６０とを備えている。

【0014】

保持手段２０は、保持力付与手段３０および流体供給手段４０に連通するチャンバ２１Ａがその内部に形成され、吸引口２１Ｂを介してチャンバ２１Ａに連通する保持面２１Ｃが形成された保持テーブル２１を備えている。

【0015】

押圧手段５０は、図示しない直動モータや多関節ロボット等の駆動機器によって移動可能とされ、貫通孔５１Ａを有する基板５１と、基板５１の外縁側下方に設けられ、弾性変形可能な閉ループ状の当接体５２とを備えている。

【0016】

離間補助手段６０は、基板５１の上面に保持された駆動機器としての直動モータ６１と、基板５１に形成された貫通孔５１Ｂを貫通する直動モータ６１の出力軸６１Ａに保持された保持プレート６２と、保持プレート６２に保持され、被保持体ＷＫにおける他方の面（上面）に弾性変形して面接触可能な当接面６３Ａを有する押え部材６３とを備えている。当接面６３Ａは、外縁部に対して中央部が球面形状に窪むとともに、その中央部に保持プレート６２および押え部材６３を貫通する貫通孔６３Ｂが形成されている。本実施形態の場合、当接面６３Ａの外縁部に対する中央部の窪みの量は、１ｍｍに設定される。

【0017】

次に、第１実施形態における保持装置１０の動作について説明する。
先ず、図１中実線で示す各部材が初期位置で待機する保持装置１０に対し、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段によって、被保持体ＷＫの一方の面を保持面２１Ｃ上に載置する。すると、保持力付与手段３０が減圧手段を駆動し、チャンバ２１Ａ内を減圧して保持面２１Ｃで被保持体ＷＫを吸着保持し、当該チャンバ２１Ａ内が所定の減圧状態となったことが圧力センサやロードセル等の図示しない圧力検知手段によって検知されると、減圧手段の駆動を停止する。その後、被保持体ＷＫに対して所定の処理を施す工程が実施される。

【0018】

被保持体ＷＫに対する所定の処理が完了すると、押圧手段５０が図示しない駆動機器を駆動し、図２（Ａ）に示すように、被保持体ＷＫの外縁部を当接体５２で押圧した後、駆動機器の駆動を停止する。そして、離間補助手段６０が直動モータ６１を駆動し、図２（Ｂ）に示すように、当接面６３Ａを被保持体ＷＫの他方の面に対して押し付けて密着させた後、直動モータ６１の駆動を停止する。このとき、被保持体ＷＫと当接面６３Ａとの間に存在する気体（大気）は、貫通孔６３Ｂ、５１Ａから抜ける。その後、流体供給手段４０が加圧手段を駆動し、チャンバ２１Ａ内に気体を供給して当該チャンバ２１Ａ内が大気圧よりも高い所定の圧力状態となったことが図示しない圧力検知手段によって検知されると、加圧手段の駆動を停止する。

【0019】

次いで、離間補助手段６０が直動モータ６１を駆動し、図２（Ｃ）に示すように、押え部材６３を上昇させると、押え部材６３は、流体供給手段４０によって供給された気体によって、当接面６３Ａの形状を変形させてその中央部から外縁に向けて離間空間ＳＰを順次拡大し、保持面２１Ｃから被保持体ＷＫを離間する補助を行う。その後も押え部材６３を上昇させ続けると、図２（Ｄ）に示すように、当接体５２で押圧された被保持体ＷＫの外縁部の位置まで離間空間ＳＰが拡大する。これにより、被保持体ＷＫと保持面２１Ｃとが密着していたとしても、当該被保持体ＷＫにストレスを与えることなく当該被保持体ＷＫを保持面２１Ｃから離間させることができる。このとき、被保持体ＷＫの外縁部が当接体５２によって押圧されているので、被保持体ＷＫの外縁部から気体が流出することはなく、従来のように、被保持体ＷＫと保持面２１Ｃとの間における一部のみから気体が抜けてしまい、被保持体ＷＫと保持面２１Ｃとの全体的な縁切りが行えなくなるという不都合は発生しない。さらに、押え部材６３で被保持体ＷＫの変位が規制されるので、従来のように、被保持体ＷＫの湾曲が必要以上に大きくなることがなく、被保持体ＷＫが脆弱なものであったり、保持シート上に脆弱なウエハが貼付されたもの等であったりしても、それらが破損することはない。

【0020】

その後、離間空間ＳＰが当接体５２で押圧された外縁部まで拡大すると、保持手段２０が図示しないバルブを開いてチャンバ２１Ａを大気圧にし、図２（Ｅ）に示すように、被保持体ＷＫを、再び保持面２１Ｃで保持する。このとき、加圧ポンプやタービン等の図示しない加圧手段や流体供給手段４０等の上部加圧手段で、被保持体ＷＫと当接体５２と基板５１とで形成される空間に流体としての気体を供給し、当接面６３Ａの外縁部と被保持体ＷＫとの縁切りを行ってもよい。この場合、押圧手段５０は、貫通孔５１Ａを開閉可能な電磁弁やシャッタ等の遮蔽手段を備えるとよい。その後、押圧手段５０および離間補助手段６０が図示しない駆動機器および直動モータ６１を駆動し、各部材を初期位置に復帰させる。そして、被保持体ＷＫは、人手または図示しない搬送手段によって次工程に搬送され、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0021】

以上のような第１実施形態によれば、被保持体ＷＫの外縁部を押圧して保持面２１Ｃと被保持体ＷＫとの間に供給された流体が被保持体ＷＫの外縁部から流出することを防止するので、被保持体ＷＫを損傷させることなく、確実に被保持体ＷＫと保持面２１Ｃとの縁切りを行うことができる。

【0022】

［第２実施形態］
次に、第２実施形態について説明する。第２実施形態の保持装置１０Ａは、被保持体ＷＫを保持して搬送する搬送装置に適用され、当該搬送装置は、被保持体ＷＫを保持する保持装置１０Ａが図示しない直動モータや多関節ロボット等の駆動機器によって移動可能とされている。

【0023】

保持装置１０と保持装置１０Ａとの相違点は、保持面２１Ｃに代えて、外縁部に対して中央部が球面形状に窪んだ保持面２１Ｄを有する点と、押圧手段５０に代えて、被保持体ＷＫに所定の処理を施す載置面７０Ａ、７０Ｂ上で被保持体ＷＫの外縁部を押圧する押圧手段５０Ａが保持面２１Ｄに設けられている点である。本実施形態の場合、保持面２１Ｄの外縁部に対する中央部の窪みの量は、１ｍｍに設定される。

【0024】

押圧手段５０Ａは、弾性変形可能な閉ループ状の当接体５２Ａにより構成されている。

【0025】

次に、第２実施形態における搬送装置の動作について説明する。
先ず、図示しない駆動機器を駆動し、図３（Ａ）に示すように、載置面７０Ａ上に位置する被保持体ＷＫの外縁部に当接体５２Ａを押圧し、駆動機器の駆動を停止する。次いで、保持力付与手段３０が減圧手段を駆動し、図３（Ｂ）に示すように、被保持体ＷＫを保持面２１Ｄで吸着保持する。その後、図示しない駆動機器を駆動し、図３（Ｃ）、（Ｄ）に示すように、被保持体ＷＫを載置面７０Ｂ上に載置した後、当該載置面７０Ｂ上で被保持体ＷＫの外縁部を当接体５２Ａで押圧し、駆動機器の駆動を停止する。

【0026】

次いで、保持力付与手段３０が減圧手段の駆動を停止すると、被保持体ＷＫは、その自重で載置面７０Ｂ上に落下するが、被保持体ＷＫが吸引口２１Ｂに噛み込んでいたり、保持面２１Ｃと密着していたりする場合があるので、流体供給手段４０が加圧手段を駆動し、チャンバ２１Ａ内に気体を供給する。これにより、図３（Ｅ）に示すように、保持面２１Ｄと被保持体ＷＫとの間に離間空間ＳＰが形成され、被保持体ＷＫが保持面２１Ｄから確実に縁切りされ、載置面７０Ｂ上に載置される。なお、被保持体ＷＫと載置面７０Ｂとの間に存在する気体（大気）は、載置面７０Ｂの図示しない孔等から抜ける。次いで、流体供給手段４０が加圧手段の駆動を停止した後、図示しない駆動機器を駆動し、保持装置１０Ａを被保持体ＷＫから離間させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0027】

以上のような第２実施形態においても第１実施形態と同様の効果を得ることができる。

【0028】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、保持力付与手段は、保持面に保持力を付与することが可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせてその範囲内であればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。

【0029】

保持手段２０、２０Ａは、それらの内部に複数の隔室に分割されたチャンバを備えてもよい。このような場合、保持面２１Ｃ、２１Ｄから被保持体ＷＫを離間させる際に、保持面２１Ｃ、２１Ｄの中央側から外縁側の隔室に向かって、または、外縁側から中央側の隔室に向かって順番に流体を供給し、離間空間ＳＰを順次拡大して保持面２１Ｃ、２１Ｄから被保持体ＷＫを離間させることができる。
保持手段２０、２０Ａは、内部にチャンバ２１Ａが形成されていなくてもよく、吸引口２１Ｂそれぞれが直接保持力付与手段３０および流体供給手段４０に連通する構成でもよい。
保持手段２０、２０Ａは、ポーラス体により吸引口２１Ｂが形成された保持面２１Ｃ、２１Ｄを有していてもよい。
保持面２１Ｃ、２１Ｄは、球面形状、ドーム形状、楕円体面形状、放物面形状、トロイダル形状、ハーフパイプ形状、自由曲面形状等の曲面形状、多角形面形状、プリズム形形状等の多角柱面形状、階段面形状等に窪んでいてもよい。
保持面２１Ｄの外縁部に対する中央部の窪みの量は、１ｍｍ以上でもよいし、１ｍｍ以下でもよい。

【0030】

保持力付与手段３０は、保持手段２０、２０Ａ内に複数の隔室に分割されたチャンバを備えている場合、これら複数のチャンバを独立して減圧する構成でもよい。
保持力付与手段３０は、被保持体ＷＫの吸着保持中に、図示しない圧力検知手段の検出結果によりチャンバ２１Ａ内の圧力が所定の減圧状態となるように減圧手段を駆動してもよい。
保持力付与手段は、保持力としてのクーロン力、磁力、接着力等を付与して被保持体ＷＫを保持する静電チャック、磁石、接着剤等であってもよい。

【0031】

流体供給手段４０や図示しない上部加圧手段は、窒素ガス、酸素ガス、希ガス等の単体ガス、混合ガス、大気等の気体を供給するもの、水やオイル等の液体を供給するもの、ジェルを供給するもの、粉体を供給するもの、スチームを供給するもの等を採用することができる。このような場合、保持手段２０、２０Ａは、保持面２１Ｃ、２１Ｄや被保持体ＷＫ上に残留した液体や粉体等の流体を除去する吸引装置、送風装置、乾燥装置等の除去手段を備えていてもよい。
流体供給手段４０は、保持手段２０、２０Ａ内に複数の隔室に分割されたチャンバを備えている場合、これら複数のチャンバに対して独立して流体を供給する構成でもよい。
流体供給手段４０は、離間空間ＳＰを形成中に、図示しない圧力検知手段の検出結果によりチャンバ２１Ａ内の圧力が所定の圧力状態となるように加圧手段を駆動してもよい。

【0032】

当接体５２、５２Ａは、ゴムや樹脂等の弾性変形可能な部材で構成されていてもよいし、樹脂、金属、ガラス等の弾性変形不能な部材で構成されていてもよいし、被保持体ＷＫに当接する面のみがゴムや樹脂等の弾性変形可能な部材を備えるようにしてもよい。
当接体５２、５２Ａは、シボ加工等で保持面に凹凸を形成していてもよいし、フッ素やシリコン等を含むコーティング層を積層していてもよし、当接体５２、５２Ａ自体をフッ素樹脂やシリコン樹脂等で形成してもよい。これにより、当接体５２、５２Ａに被保持体ＷＫが貼り付くことを防止することができる。
当接体５２、５２Ａは、被保持体ＷＫの外縁部を押圧できる形状であればどんな形状でもよく、例えば円形リング状、楕円形リング状、四角形等の多角形リング状、不定形リング状等のリング状、直線と曲線とが組み合わされた枠状等でもよい。
当接体５２、５２Ａで押圧する被保持体ＷＫの外縁（端部）まで離間空間ＳＰを拡大することはできないので、当接体５２はできるだけ被保持体ＷＫの外縁を押圧する構成とすることが好ましい。
当接体５２、５２Ａで押圧する被保持体ＷＫの外縁部の位置まで離間空間ＳＰが拡大した後（図２（Ｄ）、図３（Ｄ）の状態の後）、流体供給手段４０が加圧手段を駆動し、チャンバ２１Ａ内を一瞬でさらに加圧し、当接体５２、５２Ａで押圧された被保持体ＷＫの外縁部から気体を放出するようにして被保持体ＷＫの外縁部の縁切りを行ってもよい。この場合、チャンバ２１Ａ内を一瞬でさらに加圧することで、当接体５２、５２Ａが上方に押し上げるように変形するようにしてもよいし、図示しない移送手段が駆動機器を駆動し、当接体５２、５２Ａによる被保持体ＷＫへの押圧力を減じるようにしたり、当接体５２、５２Ａを被保持体ＷＫから若干浮き上がるようにしたりしてもよい。
当接体５２、５２Ａで押圧する被保持体ＷＫの外縁部の位置まで離間空間ＳＰが拡大した後（図２（Ｄ）、図３（Ｄ）の状態の後）、図示しない移送手段が駆動機器を駆動し、押圧手段５０、５０Ａを保持面２１Ｃ、載置面７０Ｂの面内で回転させることで、被保持体ＷＫの外縁部の縁切りを行ってもよい。
当接体５２Ａは、保持面２１Ｄから突出していてもよいし、突出していなくてもよく、その突出量は、駆動機器やねじ回し機構等の図示しない突出量調整手段で任意に決定することができる。

【0033】

離間補助手段６０は、流体供給手段４０によるチャンバ２１Ａへの流体の供給に伴って直動モータ６１を駆動し、当接面６３Ａを上昇させる構成でもよいし、直動モータ６１を駆動させることなく、または、直動モータ６１を用いることなく、流体供給手段４０が供給した流体によって当接面６３Ａを変形させ、離間空間ＳＰを拡大してもよい。
離間補助手段は、被保持体ＷＫにおける他方の面に弾性変形せずに面接触可能な当接面を有する押え部材を採用してもよく、この場合、当該押え部材は、流体供給手段４０によって供給された流体によって、当接面の形状を維持して離間空間ＳＰを拡大し、保持面２１Ｃから被保持体ＷＫを離間する補助を行う。このような押え部材を用いた場合、保持面２１Ｃから被保持体ＷＫを離間させる際、弾性変形可能な当接面を有する押え部材を用いた場合と違い、被保持体ＷＫの面形状を保って保持面２１Ｃから被保持体ＷＫを離間することができる。
保持プレート６２は、金属、ガラス、セラミックス、高分子樹脂等の弾性変形不能な部材で構成してもよいし、ゴムや樹脂等の弾性変形可能な部材で構成してもよいしなくてもよい。
当接面６３Ａは、球面形状、ドーム形状、楕円体面形状、放物面形状、トロイダル形状、ハーフパイプ形状、自由曲面形状等の曲面形状、多角形面形状、プリズム形形状等の多角柱面形状、階段面形状等に窪んでいてもよい。
当接面６３Ａの外縁部に対する中央部の窪みの量は、１ｍｍ以上でもよいし、１ｍｍ以下でもよい。
当接面６３Ａは、シボ加工等で凹凸を形成していてもよいし、フッ素やシリコン等を含むコーティング層を積層していてもよいし、当接面６３Ａ自体をフッ素樹脂やシリコン樹脂で形成してもよい。これにより、当接面６３Ａに被保持体ＷＫが貼り付くことを防止することができる。
離間補助手段６０は、あってもよいしなくてもよい。

【0034】

保持装置１０、１０Ａ、搬送装置は、天地反転して配置したり横置きにしたりして、被保持体ＷＫを保持するように構成してもよい。
保持面２１Ｃ、載置面７０Ａ、７０Ｂ上で被保持体ＷＫに対して施す所定の処理は、例えば、被保持体ＷＫが上面に保護シートが貼付され、下面に保持シートが貼付されたウエハである場合、保持面２１Ｃ、載置面７０Ａ、７０Ｂで保持シートを吸着保持した後、図示しない剥離手段で保護シートを剥離してもよいし、被保持体ＷＫが１枚又は複数枚積層されたウエハ、紙、樹脂等のシート状部材である場合、当該被保持体ＷＫに文字、写真、電極や配線等の導電パターン等を印刷してもよいし、被保持体ＷＫに紫外線硬化型樹脂や電子線硬化型樹脂等のエネルー線硬化型樹脂が塗布されたものである場合、当該エネルー線硬化型樹を硬化されるようにしてもよいし、被保持体ＷＫに導電性塗料、耐電防止塗料、防汚性塗料、防錆塗料、ＵＶカット塗料等の機能性塗料等が塗布されたものである場合、当該機能性塗料を乾燥または安定化されるようにしたりしてもよく、被保持体ＷＫに対してどんな処理を行ってもよいし、所定の処理を行わなくてもよい。
保持装置１０Ａは、図３（Ａ）の状態で、被保持体ＷＫの上面に面接触し、保持力付与手段３０や流体供給手段４０の減圧力や加圧力を当該被保持体ＷＫに付与可能な貫通孔を有するスポンジや樹脂等の弾性変形が可能な緩衝手段を設けてもよい。これにより、被保持体ＷＫが保持面２１Ｄ側や載置面７０Ｂ側に移動するときに当該被保持体ＷＫに加わる衝撃を緩和することができる。
被保持体ＷＫは、図１中二点鎖線で示すように、接着シートＡＳの上面（または下面）にウエハＷＦが貼付されているものや、接着シートＡＳの上面（または下面）にウエハＷＦとフレーム部材ＲＦが貼付されているものでもよい。
図１中二点鎖線で示すように、接着シートＡＳの上面にフレーム部材ＲＦが貼付されている場合、押圧手段５０は、フレーム部材ＲＦを介して被保持体ＷＫの外縁部を押圧すればよいし、フレーム部材ＲＦがない場合、押圧手段５０は、接着シートＡＳの外縁部を押圧すればよい。
本発明における被保持体ＷＫ、接着シートＡＳ、フレーム部材ＲＦ等の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよい。さらに、被保持体ＷＫとしては、例えば、接着シート、樹脂シート、ゴムシート、紙、樹脂板、木板、鉄板、ステンレス鋼板、アルミニウム板、銅板等の金属板、ガラス板等の単体、またはそれらを２以上積層した複合体であってもよい。また、被保持体ＷＫとしては、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、電極基板、光ディスク等の情報記録基板または陶器等、任意の形態の部材や物品等も対象とすることができる。なお、接着シートは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

【0035】

また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

【符号の説明】

【0036】

１０・・・保持装置
２０・・・保持手段
２１Ｂ・・・吸引口
２１Ｃ・・・保持面
３０・・・保持力付与手段
４０・・・流体供給手段
５０・・・押圧手段
６０・・・離間補助手段
６３・・・押え部材
６３Ａ・・・当接面
ＳＰ・・・離間空間
ＷＫ・・・被保持体

【図1】

【図2】

【図3】