特許 6515518 ホルダ、ホルダユニット及びスクライブ装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6515518

(24)【登録日】2019年4月26日

(45)【発行日】2019年5月22日

(54)【発明の名称】ホルダ、ホルダユニット及びスクライブ装置

(51)【国際特許分類】

   B28D 5/00 20060101AFI20190513BHJP

   C03B 33/10 20060101ALI20190513BHJP

【ＦＩ】

   B28D5/00 Z

   C03B33/10

【請求項の数】9

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2014-252233(P2014-252233)

(22)【出願日】2014年12月12日

(65)【公開番号】特開2016-112745(P2016-112745A)

(43)【公開日】2016年6月23日

【審査請求日】2017年11月30日

(73)【特許権者】

【識別番号】390000608

【氏名又は名称】三星ダイヤモンド工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100111383

【弁理士】

【氏名又は名称】芝野 正雅

(74)【代理人】

【識別番号】100118393

【弁理士】

【氏名又は名称】中西 康裕

(74)【代理人】

【識別番号】100170922

【弁理士】

【氏名又は名称】大橋 誠

(72)【発明者】

【氏名】地主 貴裕

(72)【発明者】

【氏名】佐々木 吉也

【審査官】 金丸 治之

(56)【参考文献】

【文献】 実開昭５５−１２７７３２（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開２０００−０７２３３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−０８２４１３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０８−１７４５３９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許第０４５７１８２８（ＵＳ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２８Ｄ ５／００

Ｃ０３Ｂ ３３／１０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

本体部と、
前記本体部の下方に形成された一対の保持部と、
同軸上に位置し前記保持部にそれぞれ形成されたピン孔と、を備え、
スクライビングホイールの貫通孔に貫通されるとともに前記ピン孔に挿通されるピン軸により、前記保持部間に前記スクライビングホイールを回転自在に保持するためのホルダであって、
前記保持部には、前記スクライビングホイールを保持した際に、前記スクライビングホイールの側面と対向する位置に空気を排出又は吸引するための通気孔が形成されており、
前記通気孔は、一対の前記保持部の一方にのみ形成されていることを特徴とするホルダ。

【請求項2】

前記通気孔は、前記保持部の外側側面に形成された側面通気路とつながっており、
前記側面通気路は、前記本体部の内部に形成された本体通気路とつながっていることを特徴とする請求項１に記載のホルダ。

【請求項3】

前記通気孔は、前記ピン孔が兼ねていることを特徴とする請求項１または２に記載のホルダ。

【請求項4】

スクライビングホイールと、
前記スクライビングホイールの貫通孔に貫通されたピン軸と、
本体部と、前記本体部の下方に形成され前記スクライビングホイールを保持する一対の保持部と、同軸上に位置し前記保持部にそれぞれ形成されるとともに前記ピン軸が挿通されたピン孔と、を有するホルダと、
を備えたホルダユニットであって、
前記保持部には、前記スクライビングホイールの側面と対向する位置に空気を排出又は吸引するための通気孔が形成されており、
前記通気孔は、一対の前記保持部の一方にのみ形成されていることを特徴とするホルダユニット。

【請求項5】

前記通気孔は、前記保持部の外側側面に形成された側面通気路とつながっており、
前記側面通気路は、前記本体部の内部に形成された本体通気路とつながっていることを特徴とする請求項４に記載のホルダユニット。

【請求項6】

前記側面通気路は、前記保持部の外側側面に固定された止め金によって表面が塞がれていることを特徴とする請求項５に記載のホルダユニット。

【請求項7】

前記通気孔は、前記ピン孔が兼ねていることを特徴とする請求項４から６の何れか一項に記載のホルダユニット。

【請求項8】

請求項１から３の何れか一項に記載のホルダを備え、
前記通気孔を介して空気の排出又は吸引を行う吸排気部を有することを特徴とするスクライブ装置。

【請求項9】

請求項４から７の何れか一項に記載のホルダユニットを備え、
前記通気孔を介して空気の排出又は吸引を行う吸排気部を有することを特徴とするスクライブ装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ガラス基板等の脆性材料基板の分断において、脆性材料基板の表面にスクライブラインを形成する際に用いるホルダ、ホルダユニット及びスクライブ装置に関する。

【背景技術】

【0002】

ガラス基板等の脆性材料基板を所望の寸法に分断する際、一般的にスクライブ装置が用いられる。このスクライブ装置は、スクライビングホイールを保持するためのホルダにスクライビングホイールを取り付けて使用される。また、このスクライビングホイールは、ホルダの保持部に形成されたピン孔と、スクライビングホイールの側面に形成された貫通孔とに、円柱状のピン軸を挿入することで、保持部間（保持溝）に保持される。

【0003】

そして、ホルダに取り付けられたスクライビングホイールは、回転自在に保持されており、脆性材料基板の表面を回転しながら進むことで、脆性材料基板にスクライブラインを形成する。なお、このようなスクライブ装置として、例えば、特許文献１に記載されているようなスクライブ装置がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】国際特許公開 ＷＯ２００７／０６３９７９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ホルダに取り付けられたスクライビングホイールは、上述のようにスクライブラインを形成するために保持溝で回転する必要がある。したがって、保持溝の幅はスクライビングホイールの厚みより若干広くなっており、スクライビングホイールと保持部との間にはクリアランスが確保されている。具体的には、スクライビングホイールの厚みが０．６５ｍｍの場合には、保持溝の幅は０．０２ｍｍ程度広くなっている。このように、スクライビングホイールと保持部との間にクリアランスが存在することによって、スクライビングホイールは、回転自在に保持される。

【0006】

一方で、このクリアランスによって、スクライビングホイールは、ホルダ溝内でピン軸に沿って０．０２ｍｍ程度移動できることになってしまう。したがって、スクライブラインを形成する際に、スクライビングホイールがピン軸方向に移動してしまうことで、スクライブラインの形成位置が安定しなくなり、従来のスクライブ装置では、スクライブラインが所望の位置からずれるということが問題となっていた。

【0007】

本発明は、上述したスクライビングホイールがピン軸方向に移動することによりスクライブラインの形成位置がずれるという問題点に鑑みてなされたものであって、スクライブイラインの形成位置を安定させ、所望の位置からのずれが生じないようにするホルダ、ホルダユニット及びスクライブ装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記目的を達成するため、本発明のホルダは、本体部と、前記本体部の下方に形成された一対の保持部と、同軸上に位置し前記保持部にそれぞれ形成されたピン孔と、を備え、スクライビングホイールの貫通孔に貫通されるとともに前記ピン孔に挿通されるピン軸により、前記保持部間に前記スクライビングホイールを回転自在に保持するためのホルダであって、前記保持部には、前記スクライビングホイールを保持した際に、前記スクライビングホイールの側面と対向する位置に空気を排出又は吸引するための通気孔が形成されており、前記通気孔が、一対の前記保持部の一方にのみ形成されていることを特徴とする。

【0009】

本発明のホルダによれば、スクライビングホイールが保持部に保持された状態で通気孔を介して空気を排出又は吸引することによって、スクライビングホイールが一方の保持部へ引き寄せられる。これにより、スクライビングホイールと保持部とのクリアランスによるスクライビングホイールのピン軸方向への移動が規制されることになる。したがって、ホルダは、スクライブラインの形成位置を安定させることができる。

【0012】

また、本発明のホルダは、前記通気孔が、前記保持部の外側側面に形成された側面通気路とつながっており、前記側面通気路は、前記本体部の内部に形成された本体通気路とつながっていることを特徴とする。

【0013】

本発明のホルダによれば、通気孔へとつながる通気路をホルダの加工によって簡単に形成することができる。

【0014】

また、本発明のホルダは、前記通気孔を前記ピン孔が兼ねていることを特徴とする。

【0015】

本発明のホルダによれば、ピン孔内に空気の流れが生じるため、スクライブラインを形成した際に生じたカレットがピン軸へ付着することを防止することができる。また、スクライビングホイールの中央部において空気の流れが生じることにより、スクライブ中のスクライビングホイールの傾きが抑制される。

【0016】

また、本発明のホルダユニットは、スクライビングホイールと、前記スクライビングホイールの貫通孔に貫通されたピン軸と、本体部と、前記本体部の下方に形成され前記スクライビングホイールを保持する一対の保持部と、同軸上に位置し前記保持部にそれぞれ形成されるとともに前記ピン軸が挿通されたピン孔と、を有するホルダと、を備えたホルダユニットであって、前記保持部には、前記スクライビングホイールの側面と対向する位置に空気を排出又は吸引するための通気孔が形成されており、前記通気孔が、一対の前記保持部の一方にのみ形成されていることを特徴とする。

【0017】

本発明のホルダユニットによれば、通気孔を介して空気を排出又は吸引することによって、スクライビングホイールが一方の保持部へ引き寄せられる。これにより、スクライビングホイールと保持部とのクリアランスによるスクライビングホイールのピン軸方向への移動が規制されることになる。したがって、ホルダユニットは、スクライブラインの形成位置を安定させることができる。

【0020】

また、本発明のホルダユニットは、前記通気孔が、前記保持部の外側側面に形成された側面通気路とつながっており、前記側面通気路は、前記本体部の内部に形成された本体通気路とつながっていることを特徴とする。

【0021】

本発明のホルダユニットによれば、通気孔へとつながる通気路をホルダの加工によって簡単に形成することができる。

【0022】

また、本発明のホルダユニットは、前記側面通気路が、前記保持部の外側側面に固定された止め金によって表面が塞がれていることを特徴とする。

【0023】

本発明のホルダユニットによれば、側面通気路の表面を樹脂や溶接等で塞ぐ場合に比べ簡単に塞ぐことができる。また、この止め金はピン軸の抜け防止としても利用することができる。

【0024】

また、本発明のホルダユニットは、前記通気孔を前記ピン孔が兼ねていることを特徴とする。

【0025】

本発明のホルダユニットによれば、ピン孔内に空気の流れが生じるため、スクライブラインを形成した際に生じたカレットがピン軸へ付着することを防止することができる。また、スクライビングホイールの中央部において空気の流れが生じることにより、スクライブ中のスクライビングホイールの傾きが抑制される。

【0026】

また、本発明のスクライブ装置は、上記のホルダを備え、前記通気孔を介して空気の排出又は吸引を行う吸排気部を有することを特徴とする。また、本発明のスクライブ装置は、上記のホルダユニットを備え、前記通気孔を介して空気の排出又は吸引を行う吸排気部を有することを特徴とする。

【0027】

本発明のスクライブ装置によれば、吸排気部によって空気の排出又は吸引を行うことにより、スクライビングホイールと保持部とのクリアランスによるスクライビングホイールのピン軸方向への移動が規制されることになる。したがって、スクライブ装置は、スクライブラインの形成位置を安定させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0028】

【図1】実施形態１のスクライブ装置の概略図である。

【図2】図２（Ａ）は実施形態１のホルダユニットの正面図であり、図２（Ｂ）はホルダユニットの側面図である。

【図3】図３（Ａ）は実施形態１のホルダユニットを構成するホルダの正面図であり、図３（Ｂ）はホルダの側面図であり、図３（Ｃ）は図３（Ｂ）のIIIＣ−IIIＣ線の断面図である。

【図4】図４（Ａ）は図３（Ｂ）の領域Ｐの拡大図であり、図４（Ｂ）は図４（Ａ）で示した場所の下方側からの斜視図であり、図４（Ｃ）は図４（Ａ）のIVＣ−IVＣ線の断面図である。

【図5】実施形態２のホルダの要部拡大側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0029】

以下、本発明の実施形態を図面を用いて説明する。ただし、以下に示す実施形態は、本発明の技術思想を具体化するための一例を示すものであり、本発明をこの実施形態に特定することを意図するものではない。本発明は、特許請求の範囲に含まれるその他の実施形態にも適応できるものである。

【0030】

［実施形態１］
図１は、本発明の実施形態に係るスクライブ装置１の概略図である。スクライブ装置１は、移動台１０を備えている。移動台１０は、ボールネジ１１と螺合されており、モータの駆動によりこのボールネジ１１が回転することで、一対の案内レール１２に沿ってｙ軸方向に移動可能となっている。

【0031】

移動台１０の上面には、モータ１３が設置されている。モータ１３は、上部に位置するテーブル１４をｘｙ平面で回転させて所定角度に位置決めする。モータ１３により水平回転可能なテーブル１４は、図示しない真空吸着手段を備えており、テーブル１４上に載置された脆性材料基板１５をこの真空吸着手段によって保持する。

【0032】

この脆性材料基板１５は、ガラス基板、低温焼成セラミックスや高温焼成セラミックスからなるセラミック基板、シリコン基板、化合物半導体基板、サファイア基板、石英基板等である。また、脆性材料基板１５は、基板の表面又は内部に薄膜或いは半導体材料を付着させたり、含ませたりしたものであってもよい。また、脆性材料基板１５は、その表面に脆性材料に該当しない薄膜等が付着されていても構わない。

【0033】

スクライブ装置１は、テーブル１４に載置された脆性材料基板１５の上方に、この脆性材料基板１５の表面に形成されたアライメントマークを撮像する二台のＣＣＤカメラ１６を備えている。移動台１０とその上部のテーブル１４とを跨ぐように、ブリッジ１７が支柱１８ａ、１８ｂに架設されている。

【0034】

ブリッジ１７にはガイド１９が取り付けられており、スクライブヘッド２０はこのガイド１９に案内されてｘ軸方向に移動するように設置されている。スクライブヘッド２０の下端には、ホルダ６０にスクライビングホイール４０が保持されているホルダユニット３０が取り付けられている。

【0035】

ここで、スクライブ装置１を用いて脆性材料基板１５へスクライブラインを形成する工程の概略を説明する。まず、スクライブヘッド２０に取り付けられたホルダ６０にスクライビングホイール４０を取り付ける。そして、スクライブ装置１は、一対のＣＣＤカメラ１６によって脆性材料基板１５の位置決めを行う。次いで、スクライブ装置１は、スクライブヘッド２０を所定の位置に移動させ、スクライビングホイール４０に対して所定の荷重を印加して、脆性材料基板１５へ接触させる。そして、スクライブ装置１は、スクライブヘッド２０をＸ軸方向に移動させることにより、脆性材料基板１５の表面に所定のスクライブラインを形成する。なお、スクライブ装置１は、必要に応じてテーブル１４を回動ないしＹ軸方向に移動し、上記の場合と同様にしてスクライブラインを形成する。

【0036】

次に、ホルダユニット３０の詳細について図を用いて説明する。図２（Ａ）はホルダユニット３０の正面図であり、図２（Ｂ）はホルダユニット３０の側面図である。また、図３（Ａ）はホルダユニット３０を構成するホルダ６０の正面図であり、図３（Ｂ）はホルダ６０の側面図であり、図３（Ｃ）は図３（Ｂ）のIIIＣ−IIIＣ線に沿った断面図である。また、図４（Ａ）は、図３（Ｂ）の一点鎖線で囲った領域Ｐの拡大図であり、図４（Ｂ）は図４（Ａ）で示した場所の下方側からの斜視図であり、図４（Ｃ）は図４（Ａ）のIVＣ−IVＣ線に沿った断面図である。なお、図４（Ｃ）は、ホルダ３０の断面図とともにホルダユニット３０を構成する他の部品についても一部示している。また、スクライブラインを形成する際のホルダユニット３０の進行方向は、図２（Ｂ）の矢印Ｄで示した方向となる。

【0037】

ホルダユニット３０は、スクライビングホイール４０と、図４（Ｃ）に示されているピン軸５０と、ホルダ６０と、が一体となったものである。なお、図２にはスクライブヘッド２０に内蔵され、ホルダユニット３０をスクライブヘッド２０に取り付けるためのホルダジョイント（図示せず）を構成する二つのベアリング２１ａ、２１ｂと、円筒形のスペーサ２２が示されている。

【0038】

スクライビングホイール４０は、例えば焼結ダイヤモンドや超硬合金等で形成された、円板状の部材である。また、スクライビングホイール４０にはピン軸５０が貫通するための貫通孔が円板の両側面４１ａ、４１ｂの中心に形成されている。また、スクライビングホイール４０には稜線を形成するＶ字状の刃が外周部に形成されている。また、本実施形態のスクライビングホイール４０は、厚さが約０．６５ｍｍであり、外径が約２．０ｍｍ、貫通孔４１の径が約０．８ｍｍ、刃４３の刃先角が約１３０°である。

【0039】

なお、スクライビングホイール４０は、焼結ダイヤモンドや超硬合金で形成されたものの他に、単結晶ダイヤモンドや多結晶ダイヤモンドからなるものもある。

【0040】

ピン軸５０は、例えば焼結ダイヤモンドや超硬合金等で形成された、円柱状の部材であり、図４（Ｃ）に示すように一端が尖頭形状の尖頭部５１になっている。また、本実施形態のピン軸５０の径は約０．８ｍｍとなっている。

【0041】

ホルダ６０は、例えばＳＵＳ３０３等の金属で形成されたものである。ホルダ６０は、本体部を形成する上方側のホルダ上部６１と、下方側のホルダ下部６２で構成されている。ホルダ上部６１は、上記したホルダジョイントを構成する二つのべアリング２１ａ、２１ｂと、スペーサ２２に挿入される。

【0042】

ホルダ下部６２は、例えば図３（Ｂ）に示すように側面視において下方側では徐々に幅が狭くなる台形状となっている。ホルダ下部６２の台形状部分は、図３（Ａ）に示すように正面視において下方が開放されており、一対の保持部６３ａ、６３ｂと、保持部６３ａ、６３ｂの間に位置する保持溝６４が形成されている。

【0043】

また、保持部６３ａ、６３ｂには、円柱体６５ａ、６５ｂがロウ付けによってそれぞれ同軸位置で固定されている。そして、円柱体６５ａ、６５ｂには、ピン軸５０が挿通されるピン孔６６ａ、６６ｂが同軸位置に形成されている。したがって、スクライビングホイール４０の側面４１ａとは保持部６３ａの円柱体６５ａと対向し、側面４１ｂとは保持部６３ｂの円柱体６５ｂと対向することになり、側面４１ａと対向する円柱体６５ａの対向面が保持壁６７ａとなり、側面４１ｂと対向する円柱体６５ｂの対向面が保持壁６７ｂとなる。なお、各図において円柱体６５ａ、６５ｂは、左右の斜め線によるハッチングで示している。

【0044】

また、この円柱体６５ａ、６５ｂは、スクライビングホイール４０の側面４１との摩擦を抑え回転精度の維持を図るために取り付けられており、焼結ダイヤモンドや超硬合金からなるものである。したがって、この円柱体６５ａ、６５ｂは必須なものではなく、スクライビングホイール４０の材質等との関係で保持部６３ａ、６３ｂに設けられる。なお、この円柱体６５ａ、６５ｂの取付方法等は、具体的には特開２０１１−２４０５４０号公報に記載されている方法を採用することができる。また、円柱体６５ａ、６５ｂは、取付工程において下端側が切断されることになる。したがって、円柱体６５ａ、６５ｂは、各図において下端が切断された状態で示している。

【0045】

以上のような構成のホルダ６０は、スクライビングホイール４０がピン軸５０方向に移動することによるスクライブラインの形成位置のずれを防止するため、スクライビングホイール４０の側面４１ａを保持壁６７ａから常に引き離すために空気を排出することのできる通気孔７０或いは側面４１ａを保持壁６７ａへ引き付けるために空気を吸引することのできる通気孔７０を更に備えている。以下に通気孔７０に関して説明する。

【0046】

まず、ホルダ上部６１とホルダ下部６２の内部には本体通気路７１が形成されている。この本体通気路７１は、図３（Ｃ）に示すように、ホルダ上部６１の内部中央を上下に伸びるとともに、ホルダ下部６２の保持溝６４の少し上まで達している。またホルダジョイントを構成するスペーサ２２の位置と対応する位置に、本体通気路７１へつながる分岐通気路７１ａが等間隔に４つ形成されている。

【0047】

また、ホルダ下部６２には、右側面と左側面との間を貫通するネジ取付孔６８が形成されている。また、図３（Ｂ）に示すように、保持部６３ａの外側側面Ｓにはピン孔６６ａとネジ取付孔６８との間を結ぶ側面通気路７２が形彫り放電加工により形成されている。

【0048】

そして、この側面通気路７２の途中には本体通気路７１へとつながる連結孔７３が形成されている。

【0049】

このように、ホルダ６０には、ホルダ上部６１の分岐通気路７１ａから始まり、分岐通気路７１ａから本体通気路７１へ、本体通気路７１から連結孔７３へ、連結孔７３から側面通気路７２へと達する通気経路が形成されている。そして、側面通気路７２とピン孔６６ａとが重なることで、ホルダ６０は、通気経路とピン孔６６ａとがつながる構成となっている。そして、本実施形態において通気孔７０は、ピン孔６６ａが兼ねる構成となっている。

【0050】

このようなホルダ６０を用いて、スクライビングホイール４０の貫通孔にピン軸５０を通したものを一対の保持部６３ａ、６３ｂのピン孔６６ａ、６６ｂに挿通し、図２に示すように、ネジ取付孔６８と固定ネジ８０ａ、８０ｂを用いて止め金８１ａ、８１ｂをそれぞれ取り付けることで、ホルダユニット３０は構成されている。

【0051】

なお、この止め金８１ａ、８１ｂは、図４（Ｃ）に示すように、ピン軸５０が落ちないようピン孔６６ａ、６６ｂをそれぞれ閉塞するためのものである。

【0052】

そして、更に、止め金８１ａは、ピン孔６６ａを閉塞した際に、保持部６３ａの外側側面に露出した側面通気路７２の表面を塞ぐことになる。なお、側面通気路７２の表面は、止め金８１ａではなく、樹脂や溶接等他の方法によって塞いでも構わないが、ピン孔６６ａを閉塞する止め金８１ａを利用することにより簡単に塞ぐことができる。

【0053】

ホルダユニット３０は、止め金８１ａを取り付けることで通気経路が気密状態となり、ピン孔６６ａを兼ねる通気孔７０から通気経路を介して空気の排出或いは吸引を行うことができるようになっている。

【0054】

そして、ホルダユニット３０は、外部から分岐通気路７１ａへ空気を送り込むことでホルダ６０の通気経路を介して通気孔７０であるピン孔６６ａから空気を排出することができる。このピン孔６６ａから排出された空気は、スクライビングホイール４０の側面４１ａをピン軸５０に沿って押すことになるため、側面４１ａは保持壁６７ａから引き離され、側面４１ｂは保持壁６７ｂ側へと押し付けられることになる。

【0055】

したがって、スクライビングホイール４０の側面４１ｂと保持壁６７ｂとのクリアランスがゼロになり、スクライブラインを形成する際、ピン軸５０に沿ったスクライビングホイール４０の移動が規制されるため、スクライブ装置１はスクライブラインの形成位置が安定することになり、所望の位置へスクライブラインを形成することができる。なお、図４（Ｃ）の破線矢印Ｅは、通気経路を利用して通気孔７０から空気を排出した時の空気の流れを概念的に示したものである。

【0056】

また反対に、ホルダユニット３０は、分岐通気路７１ａから空気を引き出すことで、ホルダ６０の通気経路を介して通気孔７０であるピン孔６６ａから空気を吸引することができる。このピン孔６６ａから空気を吸引することで、スクライビングホイール４０の側面４１ａをピン軸５０に沿って引き付けることになるため、側面４１ａは保持壁６７ａへと引き付けられることになる。

【0057】

したがって、スクライビングホイール４０の側面４１ａと保持壁６７ａとのクリアランスがゼロになり、スクライブラインを形成する際、ピン軸５０に沿ったスクライビングホイール４０の移動が規制されるため、スクライブ装置１はスクライブラインの形成位置が安定することになり、所望の位置へスクライブラインを形成することができる。

【0058】

以上のように、通気孔７０となるピン孔６６ａから空気を排出又は吸引するために、スクライブ装置１は、図３（Ｃ）に示すように本体通気路７１、側面通気路７２等からなる通気経路を利用している。そのため、スクライブ装置１は、通気孔７０へ空気を送ったり通気孔７０から空気を吸い上げたりするための吸排気部２３と、吸排気部２３からスクライブヘッド２０内へとつながる導管２４と、を備えている。また、図２に示すようにスペーサ２２には連通孔２５が設けられている。スクライブヘッド２０内においてホルダ上部６１は比較的気密性がよくスクライブヘッド２０内に収まっている。したがって、ホルダ６０の通気経路とスクライブヘッド２０内とは、吸排気部２３からスクライブヘッド２０内へ空気を送る或いは吸排気部２３から空気を吸うことにより連通孔２５と分岐通気路７１ａとを介して空気が流れるようになっている。

【0059】

なお、通気孔７０から排出された時の風圧があまり強過ぎると、かえってスクライビングホイール４０の回転を妨げてしまう可能性もある。したがって、空気を排出或いは吸引する際、このような点等も考慮して吸排気部からの風量は決定される。本実施形態において、０．０５ＭＰａ程度の風圧で空気を送ってみたところ、スクライブ装置１は良好なスクライブラインを形成することができた。

【0060】

また、吸排気部２３には例えば圧縮空気を供給するコンプレッサーが用いられる。そのほか、真空ポンプ、吸気ファンや排気ファン等を用いることができる。なお、吸排気部２２３とスクライブヘッド２０との間に圧力センサーや圧力調整用のレギュレーターを設けてもよい。また、本実施形態のような通気孔７０を介してスクライビングホイール４０の側面４１ａに空気を排出又は吸引するスクライブ装置１とは全く異なるが、ホルダやホルダ周りから空気を排出又は吸引するスクライブ装置として、例えば特開２０００−２４７６６７号公報や特開２００８−９４６３５号公報に記載されているものが知られている。したがって、スクライブ装置１が備える吸排気部２３や導管２４の具体的構成としては、このような文献に記載されている構成を採用することができる。

【0061】

このように、本実施形態のホルダ６０は、本体部を形成するホルダ下部６２に形成された一対の保持部６３ａ、６３ｂを有しており、この保持部６３ａには、スクライビングホイール４０を保持した際にスクライビングホイール４０の側面４１ａと対向する位置に空気を排出又は吸引するための通気孔７０が形成されている。したがって、ホルダユニット３０は、スクライビングホイール４０を保持した状態で通気孔７０からスクライビングホイール４０の側面４１ａへ空気を排出することによって、スクライビングホイール４０の側面４１ｂと保持壁６７ｂとのクリアランスがゼロになり、スクライブラインを形成する際、ピン軸５０に沿ったスクライビングホイール４０の移動が規制されることになる。したがって、スクライブ装置１は、スクライブラインの形成位置が安定し、所望の位置へスクライブラインを形成することができる。

【0062】

また、反対にスクライビングホイール４０を保持した状態で通気孔７０からスクライビングホイール４０の側面４１ａから空気を吸引することによって、ホルダユニット３０は、スクライビングホイール４０の側面４１ａと保持壁６７ａとのクリアランスがゼロになり、スクライブラインを形成する際、ピン軸５０に沿ったスクライビングホイール４０の移動が規制されることになる。したがって、スクライブ装置１は、スクライブラインの形成位置が安定し、所望の位置へスクライブラインを形成することができる。

【0063】

また、本実施形態では、ピン孔６６ａを通気孔７０として利用する構成となっている。したがって、スクライブ装置１は、ピン孔６６ａ内に空気の流れが生じ、スクライブラインを形成した際に生じたカレットがピン軸５０に付着することを防ぐことができる。また、スクライブ装置１は、ピン孔６６ａから空気の排出或いは吸引を行うことにより、スクライビングホイール４０の側面４１ａに対して均等に力を加えることができる。

【0064】

また、スクライビングホイール４０が斜めになった状態でスクライブラインを形成すると、クラックが基板の厚さ方向に対し斜め方向に形成される、所謂ソゲと呼ばれる現象が発生してしまう。そしてソゲが発生すると、脆性材料基板１５の切断面も斜めになってしまうため、所望の位置で分断することができなくなってしまう。しかしながら、本実施形態のホルダユニット３０は、ピン孔６６ａを通気孔７０として利用する構成となっている。したがって、ホルダユニット３０は、ピン孔６６ａから空気の排出或いは吸引を行うことにより、スクライビングホイール４０の側面４１ａに対して均等に力を加えることができ、スクライビングホイール４０を直立させることができる。そのため、スクライブ装置１は、ソゲが発生し難いスクライブラインを形成することができる。

【0065】

［実施形態２］
次に他の実施形態のホルダユニットについて図を用いて説明する。図５は実施形態２のホルダユニットを構成するホルダ１６０のホルダ下部１６２の要部拡大側面図である。

【0066】

このホルダユニットは、実施形態１のホルダユニット３０と略同様の構成となっている。したがって、ホルダユニット３０と異なる点について説明する。また、実施形態１と同様の構成については一部同じ符号を用いて説明する。

【0067】

実施形態１のホルダユニット３０は、ホルダ６０に形成された通気孔７０をピン孔６６ａが兼ねる構成となっている。一方、本実施形態のホルダユニットは、ホルダ１６０のホルダ下部１６２に形成されたピン孔１６６ａと通気孔１７０は別々に設けられている。

【0068】

ピン孔１６６ａは実施形態１のピン孔６６ａと同様に保持部１６３ａにロウ付けされた円柱体１６５ａに形成されている。一方、通気孔１７０は、ピン孔１６６ａの周りに等間隔で三つ形成されている。

【0069】

そして、実施形態１の側面通気路７２は、保持部６３ａの外側側面にピン孔６６ａとネジ取付孔６８との間を結ぶように形成されているが、本実施形態の側面通気路１７２は、図５に示すように保持部１６３ａの外側側面にネジ取付孔１６８と三つの通気孔１７０とを結ぶように形彫り放電加工により形成されている。また、この側面通気路１７２の途中には本体通気路へとつながる連結孔１７３が形成されている。

【0070】

ホルダユニットは、ホルダ１６０のネジ取付孔１６８を利用して図示していない止め金を取り付ける。ホルダユニットは、止め金によりピン孔１６６ａを閉塞するとともに、側面通気路１７２の表面を塞ぎ、側面通気路１７２で構成される通気路を介して三つの通気孔１７０から空気の排出或いは吸引を行うことができるようになる。

【0071】

したがって、ホルダユニットは、ホルダ１６０に形成された通気孔１７０から空気を排出することによって、スクライビングホイール４０の側面４１ｂと、保持部１６３ａとは反対側の保持部の保持壁（図示せず）とのクリアランスがゼロになり、スクライブラインを形成する際、ピン軸５０に沿ったスクライビングホイール４０の移動が規制されることになる。そして、このホルダユニットを備えるスクライブ装置は、スクライブラインの形成位置が安定し、所望の位置へスクライブラインを形成することができる。

【0072】

また、反対にホルダユニットは、通気孔１７０から空気を吸引することによって、スクライビングホイール４０の側面４１ａと、保持部１６３ａ側の保持壁とのクリアランスがゼロになり、スクライブラインを形成する際、ピン軸５０に沿ったスクライビングホイール４０の移動が規制されることになる。そして、このホルダユニットを備えるスクライブ装置は、スクライブラインの形成位置が安定し、所望の位置へスクライブラインを形成することができる。

【0073】

また、本実施形態のホルダユニットは、実施形態１の通気孔７０とは異なり、ピン孔１６６ａとは別に通気孔１７０をホルダ１６０に有する構成になっている。したがって、通気孔１７０を通過する空気の流れがピン軸５０に影響を与え難くなる。また、ピン孔１６６ａとは別の設計となるため、本実施形態のホルダユニットは、通気孔１７０の数や位置、形状を自由に形成することができる。したがって、このホルダユニットは、空気の排出或いは吸引により適した通気孔１７０を採用することができる。

【0074】

なお、上記の実施形態において、例えば、実施形態１の通気孔７０は、一対の保持部６３ａ、６３ｂの内、保持部６３ａに形成されている。つまり、通気孔７０は保持部６３ａ側にだけ形成されているが、本発明は、通気孔７０が保持部６３ａ、６３ｂの両方に形成される構成でも構わない。この場合、保持部６３ｂ側に側面通気路７２と、この側面通気路７２と本体通気路７１とを連結孔７３を介してつなぐことになる。

【0075】

このように保持部６３ａ、６３ｂの両側からスクライビングホイール４０の側面４１ａ、４１ｂのそれぞれに保持部６３ａ、６３ｂの通気孔７０から空気を排出或いは吸引することで、スクライビングホイール４０の位置は、保持溝６４の略中央に安定して位置することになる。また、スクライビングホイール４０の側面４１ａ、４１ｂの両側で空気の流れが生じているので、スクライビングホイール４０の表面やピン軸５０の表面にカレットが付着し難くなる。

【0076】

また、例えば、実施形態１のホルダ６０は、本体通気路７１や側面通気路７２等を形成し、通気孔７０へつながる通気経路を備える構成となっている。しかしながら、本発明は、例えば、ホルダに形成された通気孔とスクライブ装置１の吸排気部２３とを直接チューブ等の導管２４でつなぐ等して、ホルダに通気経路を設けない構成としても構わない。

【符号の説明】

【0077】

１…スクライブ装置
１０…移動台
１１…ボールネジ
１２…案内レール
１３…モータ
１４…テーブル
１５…脆性材料基板
１６…ＣＣＤカメラ
１７…ブリッジ
１８ａ、１８ｂ…支柱
１９…ガイド
２０…スクライブヘッド
２１ａ、２１ｂ…ベアリング
２２…スペーサ
２３…吸排気部
２４…導管
２５…連通孔
３０…ホルダユニット
４０…スクライビングホイール
４１ａ、４１ｂ…側面
５０…ピン軸
５１…尖頭部
６０、１６０…ホルダ
６１…ホルダ上部
６２、１６２…ホルダ下部
６３ａ、６３ｂ、１６３ａ…保持部
６４…保持溝
６５ａ、６５ｂ、１６５ａ…円柱体
６６ａ、６６ｂ、１６６ａ…ピン孔
６７ａ、６７ｂ…保持壁
６８、１６８…ネジ取付孔
７０、１７０…通気孔
７１…本体通気路
７１ａ…分岐通気路
７２、１７２…側面通気路
７３、１７３…連結孔
８０ａ、８０ｂ…固定ネジ
８１ａ、８１ｂ…止め金

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】