特許6516871非晶質薄膜の形成方法

発明の名称　非晶質薄膜の形成方法

出願人　ユ−ジーン　テクノロジー　カンパニー．リミテッド　（識別番号 509123895）

　　　　特許公開件数ランキング 1788 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1520 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6516871

公報発行日　2019年5月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6516871

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