特許 6519951 ガラスフィルムの製造方法、及びガラスフィルムを含む電子デバイスの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6519951

(24)【登録日】2019年5月10日

(45)【発行日】2019年5月29日

(54)【発明の名称】ガラスフィルムの製造方法、及びガラスフィルムを含む電子デバイスの製造方法

(51)【国際特許分類】

   C03C 27/06 20060101AFI20190520BHJP

   H01L 51/50 20060101ALI20190520BHJP

   H05B 33/02 20060101ALI20190520BHJP

   B32B 17/00 20060101ALI20190520BHJP

   C03C 17/02 20060101ALI20190520BHJP

【ＦＩ】

   C03C27/06

   H05B33/14 A

   H05B33/02

   B32B17/00

   C03C17/02

【請求項の数】11

【全頁数】23

(21)【出願番号】特願2015-146954(P2015-146954)

(22)【出願日】2015年7月24日

(65)【公開番号】特開2017-24950(P2017-24950A)

(43)【公開日】2017年2月2日

【審査請求日】2018年1月16日

(73)【特許権者】

【識別番号】000232243

【氏名又は名称】日本電気硝子株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100107423

【弁理士】

【氏名又は名称】城村 邦彦

(74)【代理人】

【識別番号】100120949

【弁理士】

【氏名又は名称】熊野 剛

(74)【代理人】

【識別番号】100196346

【弁理士】

【氏名又は名称】吉川 貴士

(72)【発明者】

【氏名】山崎 康夫

(72)【発明者】

【氏名】南 貴博

(72)【発明者】

【氏名】饗場 久敏

(72)【発明者】

【氏名】岡 隆雄

(72)【発明者】

【氏名】藤田 崇

【審査官】 岡田 隆介

(56)【参考文献】

【文献】 国際公開第２０１５／０４１１６５（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 国際公開第２０１０／０９０１４７（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２０１３−１４７３２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−１３１６６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１５／０１２２６１（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｃ０３Ｃ ２７／００−２９／００

Ｃ０３Ｃ １７／０２

Ｂ３２Ｂ １／００−４３／００

Ｂ６５Ｈ ４１／００

Ｈ０１Ｌ ２７／３２

Ｈ０５Ｂ ３３／００−３３／２８

ＪＳＴＰｌｕｓ（ＪＤｒｅａｍＩＩＩ）

ＪＳＴ７５８０（ＪＤｒｅａｍＩＩＩ）

ＪＳＴＣｈｉｎａ（ＪＤｒｅａｍＩＩＩ）

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ガラスフィルムと、前記ガラスフィルムを支持する支持体とを前記支持体が前記ガラスフィルムから食み出すように積層して、ガラスフィルムを含む積層体を形成する積層体形成工程と、
前記積層体に製造関連処理を施す製造関連処理工程と、
前記製造関連処理工程の後、前記支持体から前記ガラスフィルムを剥離する剥離工程とを備えたガラスフィルムの製造方法において、
前記剥離工程は、前記支持体から前記ガラスフィルムの一部を剥離させて、前記ガラスフィルムをその全面にわたって剥離する際の起点となる剥離起点部を作製する剥離起点部作製工程と、前記剥離起点部を起点として前記支持体からの前記ガラスフィルムの剥離を進行させる剥離進行工程とを有し、
前記剥離起点部作製工程は、
前記ガラスフィルムから食み出した前記支持体のコーナー部に前記支持体を支持する第一支点を設けると共に、前記第一支点から離れた位置に前記積層体を支持する第二支点を設ける支点形成工程と、
前記第一支点と前記第二支点との間に外力付与部材で外力の作用点を設け、これにより前記支持体の側に凹部が生じるように前記積層体の一部を凹状に変形させる凹状変形工程、及び
前記積層体の一部が凹状に変形している間に、前記ガラスフィルムと前記支持体との間に挿入部材を挿入することで、前記ガラスフィルムの一部を剥離させる挿入工程とを有することを特徴とするガラスフィルムの製造方法。

【請求項2】

前記支持体が上側で前記ガラスフィルムが下側となるように、前記積層体を載置台に載置し、かつ前記支持体の少なくともコーナー部を前記載置台の載置面から食み出させて、前記載置面の端部で前記第二支点を設ける請求項１に記載のガラスフィルムの製造方法。

【請求項3】

前記挿入部材で前記第一支点を設ける請求項１又は２に記載のガラスフィルムの製造方法。

【請求項4】

前記外力付与部材として吸着部材を使用し、前記第一支点と前記第二支点との間を前記吸着部材で前記ガラスフィルムの側から吸着し、前記吸着部材を前記支持体から遠ざかる向きに移動させる請求項１〜３の何れかに記載のガラスフィルムの製造方法。

【請求項5】

前記外力付与部材として押圧部材を使用し、前記第一支点と前記第二支点との間を前記押圧部材で前記支持体の側から前記ガラスフィルムの側に向けて押圧する請求項１〜３の何れかに記載のガラスフィルムの製造方法。

【請求項6】

前記挿入部材として楔状部材を使用し、
前記楔状部材の挿入方向と前記楔状部材の刃先方向とが成す角を２０°以上でかつ４５°以下に設定して、前記楔状部材を前記ガラスフィルムと前記支持体との間に挿入する請求項１〜５の何れかに記載のガラスフィルムの製造方法。

【請求項7】

前記第一支点から前記第二支点までの最短距離を、３０ｍｍ以上でかつ２００ｍｍ以下に設定した請求項１〜６の何れかに記載のガラスフィルムの製造方法。

【請求項8】

前記積層体の一部が前記凹状に変形している間に、前記支持体の側に生じる前記凹部の最大深さ寸法を１ｍｍ以上でかつ５ｍｍ以下に設定した請求項１〜７の何れかに記載のガラスフィルムの製造方法。

【請求項9】

前記ガラスフィルムと前記支持体との間に挿入を開始してからの前記挿入部材の移動距離を５ｍｍ以上でかつ５０ｍｍ以下に設定した請求項１〜８の何れかに記載のガラスフィルムの製造方法。

【請求項10】

前記支持体は板状ガラスであって、前記板状ガラスと前記ガラスフィルムとを直接密着させることにより前記積層体を形成する請求項１〜９の何れかに記載のガラスフィルムの製造方法。

【請求項11】

ガラスフィルムと、前記ガラスフィルムを支持する支持体とを前記支持体が前記ガラスフィルムから食み出すように積層して、前記ガラスフィルムを含む積層体を形成する積層体形成工程と、
前記積層体の前記ガラスフィルムに電子デバイス要素を取付けて支持体付き電子デバイスを形成する取付け工程と、
前記取付け工程の後、前記支持体付き電子デバイスの前記支持体から前記ガラスフィルムを含む電子デバイスを剥離する剥離工程とを備えたガラスフィルムを含む電子デバイスの製造方法において、
前記剥離工程は、前記支持体から前記ガラスフィルムの一部を剥離させて、前記ガラスフィルムをその全面にわたって剥離する際の起点となる剥離起点部を作製する剥離起点部作製工程と、前記剥離起点部を起点として前記支持体からの前記電子デバイスの剥離を進行させる剥離進行工程とを有し、
前記剥離起点部作製工程は、
前記ガラスフィルムから食み出した前記支持体のコーナー部に前記支持体を支持する第一支点を設けると共に、前記第一支点から離れた位置に前記電子デバイスを支持する第二支点を設ける支点形成工程と、
前記第一支点と前記第二支点との間に外力付与部材で外力の作用点を設け、これにより前記支持体の側に凹部が生じるように前記積層体の一部を凹状に変形させる凹状変形工程、及び
前記積層体の一部が凹状に変形している間に、前記ガラスフィルムと前記支持体との間に挿入部材を挿入することで、前記ガラスフィルムの一部を剥離させる挿入工程とを有することを特徴とするガラスフィルムを含む電子デバイスの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ガラスフィルムの製造方法、及びガラスフィルムを含む電子デバイスの製造方法に関し、特にガラスフィルムを支持体から剥離するための技術に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、省スペース化の観点から、従来普及していたＣＲＴ型ディスプレイに替わり、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ等のフラットパネルディスプレイが普及している。そして、これらのフラットパネルディスプレイにおいては、更なる薄型化が求められている。

【0003】

特に、有機ＥＬディスプレイや有機ＥＬ照明には、その厚み寸法が非常に小さい（薄い）ことを利用して、折り畳んだり、巻き取ったりできるといった機能を持たせ得る。これにより、持ち運びが容易になるだけでなく、従来の平面状態に加えて曲面状態での使用が可能になるため、様々な用途への活用が期待されている。従って、これらの電子デバイスに使用されるガラス基板やカバーガラスには、更なる可撓性の向上が要求されている。

【0004】

ガラス基板に可撓性を付与するには、ガラス基板を薄肉化するのが有効である。ここで、例えば特許文献１には、厚み寸法２００μｍ以下のガラスフィルムが提案されており、これにより、曲面状態での使用が可能な程度の高い可撓性をガラス基板に付与可能としている。

【0005】

一方、フラットパネルディスプレイや太陽電池等の電子デバイスに使用されるガラス基板には、二次加工や洗浄など、様々な電子デバイス製造関連の処理が施される。ところが、これら電子デバイスに使用されるガラス基板を薄肉化すると、ガラスが脆性材料であるため、多少の応力変化によっても破損に至る場合が生じ、電子デバイス製造関連処理を行う際に、取扱いが非常に困難になるといった問題がある。加えて、厚み寸法２００μｍ以下のガラスフィルムは可撓性に富むため、各種製造関連処理を施す際に位置決めを行うことが難しい（例えばパターニング時にずれが生じる）といった問題もある。

【0006】

上記問題に関し、例えば特許文献２に示すように、ガラスフィルムと、このガラスフィルムを支持する支持ガラスとを積層して互いに固定してなる積層体が提案されている。この積層体に対して各種製造関連処理を施すようにすれば、単体では強度や剛性に乏しいガラスフィルムを用いた場合であっても、支持ガラスが補強材として作用するため、各処理の際に積層体として位置決めを容易に行うことができる。また、処理終了後に、支持ガラスをガラスフィルムから剥離させることにより、所要の処理が施されたガラスフィルムのみを最終的に取得することが可能となる。さらにいえば、ガラスフィルムを含む積層体の厚み寸法を、従来（既存）のガラス基板の厚み寸法と同一にすることで、従来のガラス基板用の製造ラインを電子デバイス用製造ラインとして使用（共用）できるメリットが期待できる。

【0007】

一方、各種製造関連処理の中には、透明な導電膜の成膜処理や、封止処理など、加熱を伴うものもある。上述した構造の積層体に加熱を伴う処理を施した場合、直接的に又は樹脂層や無機薄膜層等を介して間接的に密着した状態にある支持ガラスとガラスフィルムとの固定力が増すため、支持ガラスからガラスフィルムを剥離することが困難になる、といった問題が生じる。

【0008】

上記問題を解決するため、例えば特許文献３には、ガラス基板に、支持ガラス基板に固定された易剥離性を有する樹脂層が密着している支持体付き電子デバイスから、支持ガラス基板及び樹脂層からなる支持体を剥離するに際し、支持体の樹脂層とガラス基板との界面にナイフを挿入して、ガラス基板を含む電子デバイスから支持体を剥離する方法が提案されている。

【0009】

また、上記問題を解決するために、例えば特許文献４には、支持ガラスがガラスフィルムから食み出して積層され、支持ガラスの端辺に薄肉部が設けられ、ガラスフィルムの端辺の少なくとも一部が、薄肉部上で支持ガラスから離れているガラスフィルム積層体が提案されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0010】

【特許文献1】特開２０１０−１３２５３１号公報

【特許文献2】国際公開２０１１／０４８９７９号

【特許文献3】特開２０１３−１４７３２５号公報

【特許文献4】特開２０１２−１３１６６４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0011】

しかしながら、特許文献３に記載の如く、ガラスフィルムと支持体との間にナイフを差し込むことで剥離を開始させようとする場合には、ナイフを差し込む位置をその都度検出し、検出結果に基づいてナイフを移動させる必要がある。そのため、必要な機構が複雑化する。また、ガラスフィルムと支持体とがその端部に至るまで相互に密着している場合には、ガラスフィルムと支持体との界面にナイフを差し込む隙間がなく、界面にナイフを強い力で押し込む必要が生じる。このようにナイフを界面に押し込んだ場合、ガラスフィルムに作用した押し込み力により、ガラスフィルムの端部が破損するおそれがある。

【0012】

一方、特許文献４では、支持ガラスの端部に薄肉部を設けて、この薄肉部上でガラスフィルムの端辺の一部が支持ガラスから離れるように構成しているため、ガラスフィルムを容易に把持することができ、ガラスフィルムを破損させることなく比較的容易に剥離させることが可能と思われる。しかしながら、この方法だと、予め支持ガラスの一部に特殊な加工を施す必要が生じ、加工コストが嵩む。また、電子デバイスの製造関連処理の中には薬液などの溶媒を用いるものもあり、積層体の状態でガラスフィルムと支持ガラスとの間に隙間が存在すると、溶媒が当該隙間に浸入して固着することにより、支持ガラスからガラスフィルムを剥離する際にガラスフィルムが破損する、などの問題があるため、適用できる範囲が限られる、といった問題がある。

【0013】

以上の事情に鑑み、本明細書では、製造関連処理の種類によらず、簡易にかつ低コストに支持体からガラスフィルムを剥離することを、本発明により解決すべき第一の技術的課題とする。

【0014】

また、以上の事情に鑑み、本明細書では、製造関連処理の種類によらず、簡易にかつ低コストに支持体からガラスフィルムを含む電子デバイスを剥離することを、本発明により解決すべき第二の技術的課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0015】

前記第一の技術的課題の解決は、本発明に係るガラスフィルムの製造方法により達成される。すなわち、この製造方法は、ガラスフィルムと、ガラスフィルムを支持する支持体とを支持体がガラスフィルムから食み出すように積層して、ガラスフィルムを含む積層体を形成する積層体形成工程と、積層体に対して製造関連処理を施す製造関連処理工程と、製造関連処理工程の後、支持体からガラスフィルムを剥離する剥離工程とを備えたガラスフィルムの製造方法において、剥離工程は、支持体からガラスフィルムの一部を剥離させて、ガラスフィルムをその全面にわたって剥離する際の起点となる剥離起点部を作製する剥離起点部作製工程と、剥離起点部を起点として支持体からのガラスフィルムの剥離を進行させる剥離進行工程とを有し、剥離起点部作製工程は、ガラスフィルムから食み出した支持体のコーナー部に支持体を支持する第一支点を設けると共に、第一支点から離れた位置に積層体を支持する第二支点を設ける支点形成工程と、第一支点と第二支点との間に外力付与部材で外力の作用点を設け、これにより支持体の側に凹部が生じるように積層体の一部を凹状に変形させる凹状変形工程、及び積層体の一部が凹状に変形している間に、ガラスフィルムと支持体との間に挿入部材を挿入することで、ガラスフィルムの一部を剥離する挿入工程とを有する点をもって特徴付けられる。なお、ここでいう「製造関連処理」には、ガラスフィルムに直接何らかの加工を施す処理はもちろん、他部材の取付けや、ガラスフィルム表面の洗浄など、間接的にガラスフィルム又はガラスフィルムを含むデバイスを最終製品（出荷状態）に近づけるための処理を広く含むものとする。

【0016】

本発明では、ガラスフィルムから食み出した支持体のコーナー部に第一支点を設けると共に、第一支点から離れた位置に第二支点を設け、かつこれら双方の支点間に外力の作用点を設けることで、積層体の一部を凹状に変形させるようにしたので、上記積層体の一部を従来に比べて大きな曲率で変形させることができる。よって、支持体とガラスフィルムとの間の曲率の違いに起因して生じるせん断力を高めることができ、その後の挿入工程で、容易に支持体からガラスフィルムの一部を剥離させることが可能となる。また、支持体の側に凹部が生じるように積層体の一部を凹状に変形させることで、積層体の凹状変形時、ガラスフィルムよりも肉厚に形成し易い（厚み寸法の制約が少ない）支持体の側に大きな曲げ応力（圧縮応力）が作用する。よって、ガラスフィルムと支持体に過度な負荷が作用する事態を回避して、ガラスフィルム及び支持体の破損を防止することが可能となる。また、積層体の一部を凹状に変形させた後に挿入部材を支持体とガラスフィルムとの間に挿入するようにしたので、挿入部材を挿入している間に積層体の変形量を増大させずに済む。従って、これによってもガラスフィルムと支持体に過度な負荷が作用する事態を回避して、剥離起点部の作製の際にガラスフィルムと支持体が破損することを防止することが可能となる。

【0017】

また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法は、支持体が上側でガラスフィルムが下側となるように、積層体を載置台に載置し、かつ支持体の少なくともコーナー部を載置台の載置面から食み出させて、載置面の端部で第二支点を設けるものであってもよい。

【0018】

このように第二支点を設けるようにすれば、積層体を載置台に載置するだけで、容易に第二支点を設けることができる。また、載置面の端部形状を変更するだけで、第二支点の形態を調整することができる。従って、上述した積層体の一部の凹状変形を比較的容易に制御することが可能となる。

【0019】

また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法は、挿入部材で第一支点を設けるものであってもよい。

【0020】

このように第一支点を設けるようにすれば、載置面の端部で第二支点を設ける場合と同様、容易に第一支点を設けることができる。また、挿入工程において、挿入部材それ自体が第一支点の形成部材として機能するので、挿入開始後の挿入部材の移動に伴い、第一支点の位置も剥離の進行方向に移行する。よって、挿入部材の挿入態様を一定の状態に保って、剥離起点部の形成動作を円滑に行うことが可能となる。もちろん、挿入部材を第一支点の形成部材と兼用することで、部品点数の削減にもつながるため、設備コストの面においても好適である。

【0021】

また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法は、外力付与部材として吸着部材を使用し、第一支点と第二支点との間を吸着部材でガラスフィルムの側から吸着し、吸着部材を支持体から遠ざかる向きに移動させるものであってもよい。

【0022】

あるいは、本発明に係るガラスフィルムの製造方法は、外力付与部材として押圧部材を使用し、第一支点と第二支点との間を押圧部材で支持体の側からガラスフィルムの側に向けて押圧するものであってもよい。

【0023】

上述のように第一支点と第二支点との間を吸着した後に支持体から遠ざかる向きに吸着部材を移動することで、あるいは、第一支点と第二支点との間を押圧部材で支持体の側からガラスフィルムの側に向けて押圧することで、ガラスフィルムや支持体に過度な負荷を与えることなく、積層体の一部を凹状に変形させるのに適した位置（例えば、第一支点と第二支点との中間地点）に、ガラスフィルムの厚み方向で支持体から遠ざかる向きの外力の作用点を設けることができる。従って、積層体の凹状変形を安定的に発生させることが可能となる。特に、積層体の一部を吸着部材で吸着した後に、この吸着部材を支持体から遠ざかる向きに移動させる（吸着部材で積層体を引張る）ことで凹状に変形させるのであれば、支持体の側に生じる凹部に外力付与部材が居続ける事態を回避できる。そのため、挿入部材の挿入開始後、ガラスフィルムが凹状に変形した状態を保ちつつも、挿入部材と外力付与部材とが干渉する事態を回避して、剥離起点部が形成されるまでの間、挿入部材をスムーズに挿入することが可能となる。また、支持体の側に凹部が生じるように積層体の一部を凹状に変形させることで、支持体及びガラスフィルムには凹状に変形する前の平坦な状態に戻ろうとする向きの反力（復元力）が作用する。そのため、吸着部材でガラスフィルムの側を吸着している場合には、ガラスフィルムに生じた復元力が吸着部材による下方への引張り力で相殺され、結果的には支持体の側にのみ上述した復元力が作用する状態となる。よって、例えば載置面で積層体を平坦に支持すると共に、積層体の一部を凹状に変形させた状態で、ガラスフィルムと支持体との間への挿入部材の挿入を開始した後、挿入部材を載置面の平面方向に沿って移動させる場合には、挿入部材を積層体の平坦に支持された部位と平行な方向にスライドさせることができ、剥離起点部の作製動作を円滑に行うことが可能となる。

【0024】

また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法は、挿入部材として楔状部材を使用し、楔状部材の挿入方向と楔状部材の刃先方向とが成す角を２０°以上でかつ４５°以下に設定して、好ましくは２０°以上でかつ３０°以下に設定して、楔状部材をガラスフィルムと支持体との間に挿入するものであってもよい。

【0025】

上述のように挿入部材として楔状部材を使用する場合、楔状部材の刃先形状と挿入方向との関係を定めることで、ガラスフィルムと支持体とに過度な負荷を掛けることなく楔状部材を挿入して、剥離起点部の作製動作を円滑に行うことが可能となる。

【0026】

また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法は、第一支点から第二支点までの最短距離を、３０ｍｍ以上でかつ２００ｍｍ以下に設定したものであってもよく、好ましくは３０ｍｍ以上でかつ１５０ｍｍ以下に設定したものであってもよく、より好ましくは５０ｍｍ以上でかつ１００ｍｍ以下に設定したものであってもよい。なお、上述の如く載置面の端部で第二支点を設ける場合など、第二支点が複数存在する場合には、複数ある第二支点のうち、第一支点との距離が最短となる第二支点と第一支点との直線距離を「第一支点から第二支点までの最短距離」として取り扱うものとする。

【0027】

このように、凹状変形の対象となる積層体のいわば支点間距離を設定した状態で、積層体の一部を凹状に変形させることで、挿入部材によるガラスフィルムの剥離をそのコーナー部から効果的かつ安定的に開始することが可能となる。すなわち、あまりに支点間距離が長いと、凹状変形による剥離開始力（復元力）をコーナー部に十分に付与することができず、またあまりに支点間距離が短いと、凹状変形により過度な力が作用してガラスフィルムの破損を招くおそれが高まるためである。

【0028】

また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法は、積層体の一部が凹状に変形している間に、支持体の側に生じる凹部の最大深さ寸法を１ｍｍ以上でかつ５ｍｍ以下に設定したものであってもよく、好ましくは２ｍｍ以上でかつ４ｍｍ以下に設定したものであってもよい。

【0029】

このように、積層体の一部に対する凹状変形の度合いを設定することによっても、挿入部材の挿入動作によるガラスフィルムの剥離をそのコーナー部から効果的かつ安定的に開始することが可能となる。すなわち、あまりに凹状変形の度合いが小さいと（凹部の最大深さ寸法が小さいと）、凹状変形による剥離開始力（復元力）をコーナー部に十分に付与することができずに挿入部材を円滑に挿入することが難しいためである。あるいは、あまりに凹状変形の度合いが大きいと（最大深さ寸法が大きいと）、ガラスフィルムの破損を招くおそれがあるためである。

【0030】

また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法は、ガラスフィルムと支持体との間に挿入を開始してからの挿入部材の移動距離を５ｍｍ以上でかつ５０ｍｍ以下としたものであってもよく、好ましくは１０ｍｍ以上でかつ３０ｍｍ以下としたものであってもよい。

【0031】

このように、挿入部材が挿入動作を開始してからの移動距離を設定することによっても、ガラスフィルムと支持体に過度な負荷を掛けることなく挿入部材を挿入して、剥離起点部の作製動作を円滑に行うことが可能となる。

【0032】

また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法は、支持体が、板状ガラスであってもよい。また、この場合、板状ガラスとガラスフィルムとを直接密着させることで積層体を形成するものであってもよい。

【0033】

このように支持体を板状ガラスとすることで、面精度に優れた支持体を低コストに製造できる。また、このように面精度に優れた板状ガラスとガラスフィルムとを直接密着させることで、ガラスフィルムを位置ずれなく支持体に固定できつつも、本発明により確実かつ安全にガラスフィルムを支持体としての板状ガラスから剥離させることが可能となる。

【0034】

また、前記第二の技術的課題の解決は、本発明に係るガラスフィルムを含む電子デバイスの製造方法によって達成される。すなわち、この製造方法は、ガラスフィルムと、ガラスフィルムを支持する支持体とを支持体がガラスフィルムから食み出すように積層して、ガラスフィルムを含む積層体を形成する積層体形成工程と、積層体のガラスフィルムに電子デバイス要素を取付けて支持体付き電子デバイスを形成する取付け工程と、取付け工程の後、支持体付き電子デバイスの支持体からガラスフィルムを含む電子デバイスを剥離する剥離工程とを備えた電子デバイスの製造方法において、剥離工程は、支持体からガラスフィルムの一部を剥離させて、ガラスフィルムをその全面にわたって剥離する際の起点となる剥離起点部を作製する剥離起点部作製工程と、剥離起点部を起点として支持体からの電子デバイスの剥離を進行させる剥離進行工程とを有し、剥離起点部作製工程は、ガラスフィルムから食み出した支持体のコーナー部に支持体を支持する第一支点を設けると共に、第一支点から離れた位置に電子デバイスを支持する第二支点を設ける支点形成工程と、第一支点と第二支点との間に外力付与部材で外力の作用点を設け、これにより支持体の側に凹部が生じるように積層体の一部を凹状に変形させる凹状変形工程、及び積層体の一部が凹状に変形している間に、ガラスフィルムと支持体との間に挿入部材を挿入することで、ガラスフィルムの一部を剥離させる挿入工程とを有する点をもって特徴付けられる。

【0035】

このように、支持体付き電子デバイスの支持体からガラスフィルムを含む電子デバイスを剥離するに際しても、本発明では、ガラスフィルムから食み出した支持体のコーナー部に第一支点を設けると共に、第一支点から離れた位置に第二支点を設け、かつこれら双方の支点間に外力の作用点を設けることで、積層体の一部を凹状に変形させるようにしたので、上記積層体の一部を従来に比べて大きな曲率で変形させることができる。よって、支持体とガラスフィルムとの間の曲率の違いに起因して生じるせん断力を高めることができ、その後の挿入工程で、容易に支持体からガラスフィルムの一部を剥離させることが可能となる。また、支持体の側に凹部が生じるように積層体の一部を凹状に変形させることで、積層体の凹状変形時、ガラスフィルムよりも肉厚に形成し易い（厚み寸法の制約が少ない）支持体の側に大きな曲げ応力（圧縮応力）が作用する。よって、ガラスフィルムと支持体に過度な負荷が作用する事態を回避して、ガラスフィルム及び支持体の破損を防止することが可能となる。また、積層体の一部を凹状に変形させた後に挿入部材を支持体とガラスフィルムとの間に挿入するようにしたので、挿入部材を挿入している間に積層体の変形量を増大させずに済む。よって、これによってもガラスフィルムと支持体に過度な負荷が作用する事態を回避して、剥離起点部の作製の際にガラスフィルムと支持体が破損することを防止することが可能となる。以上より、本発明によれば、ガラスフィルム等に過度な負荷を掛けることなく、ガラスフィルムを含む電子デバイスと支持体とを安全に分離することが可能となる。

【発明の効果】

【0036】

以上に述べたように、本発明によれば、製造関連処理の種類によらず、簡易にかつ低コストに支持体からガラスフィルムを剥離することが可能となる。

【0037】

また、以上に述べたように、本発明によれば、製造関連処理の種類によらず、簡易にかつ低コストに支持体からガラスフィルムを含む電子デバイスを剥離することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0038】

【図1】本発明の第一実施形態に係るガラスフィルムを含む電子デバイスの製造方法の手順を示すフローチャートである。

【図2】図１に示す剥離工程の詳細を示すフローチャートである。

【図3】図２に示す剥離起点部作製工程の詳細を示すフローチャートである。

【図4】ガラスフィルムを含む積層体の断面図である。

【図5】図４に示す積層体の平面図である。

【図6】図４に示す積層体に電子デバイス要素としての有機ＥＬ素子を取付けてなる支持体付き有機ＥＬパネルの断面図である。

【図7】本発明の第一実施形態に係るガラスフィルムの剥離装置の平面図である。

【図8】図７に示す剥離起点部作製装置のＡ−Ａ要部断面図である。

【図9】図７に示す剥離起点部作製装置を用いた剥離起点部の作製動作の一例を説明するための要部断面図であって、吸着部材でガラスフィルムを吸着した状態を示す図である。

【図10】図７に示す剥離起点部作製装置を用いた剥離起点部の作製動作の一例を説明するための要部断面図であって、吸着部材を下降させて積層体の一部を支持体から遠ざかる向きに引張った状態を示す図である。

【図11】図７に示す剥離起点部作製装置を用いた剥離起点部の作製動作の一例を説明するための要部断面図であって、挿入部材の挿入動作を開始した状態を示す図である。

【図12】図７に示す剥離起点部作製装置を用いた剥離起点部の作製動作の一例を説明するための要部断面図であって、挿入部材の挿入動作を開始した後、当該挿入部材を所定の方向に移動させた状態を示す図である。

【図13】図７に示す剥離起点部作製装置を用いた剥離起点部の作製動作の一例を説明するための要部断面図であって、挿入部材の挿入動作により剥離起点部が作製された状態を示す図である。

【図14】図７に示す剥離進行装置を用いた剥離進行動作の一例を説明するための要部断面図であって、支持体を複数の吸着パッドで吸着した状態を示す図である。

【図15】図７に示す剥離進行装置を用いた剥離進行動作の一例を説明するための要部断面図であって、剥離起点部の側から吸着パッドを順に上昇させている状態を示す図である。

【図16】図７に示す剥離進行装置を用いた剥離進行動作の一例を説明するための要部断面図であって、ガラスフィルムがその全面にわたって支持体から剥離した状態を示す図である。

【図17】本発明の第二実施形態に係る剥離起点部作製装置の要部断面図である。

【図18】図１７に示す剥離起点部作製装置を用いた剥離起点部の作製動作の一例を説明するための要部断面図であって、押圧部材を下降させて支持体に当接させた状態を示す図である。

【図19】図１７に示す剥離起点部作製装置を用いた剥離起点部の作製動作の一例を説明するための要部断面図であって、押圧部材を支持体に当接させた状態から更に下降させた状態を示す図である。

【図20】図１７に示す剥離起点部作製装置を用いた剥離起点部の作製動作の一例を説明するための要部断面図であって、挿入部材の挿入動作を開始した状態を示す図である。

【図21】本発明の第三実施形態に係る剥離起点部作製装置の平面図である。

【図22】本発明の適用対象である電子デバイスとして液晶パネルを製造する際の支持体付き液晶パネルの断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0039】

以下、本発明に係るガラスフィルムを含む電子デバイスの製造方法の第一実施形態を、図１〜図１６を参照して説明する。なお、本実施形態では、電子デバイスとしての有機ＥＬパネルを製造する際に、支持体が付いた状態の有機ＥＬパネルを、ガラスフィルムと支持体との剥離により、有機ＥＬパネルと支持体とに分離する場合を例にとって以下説明する。

【0040】

本発明の一実施形態に係る電子デバイスの製造方法は、図１に示すように、ガラスフィルムを含む積層体を形成する積層体形成工程Ｓ１と、ガラスフィルムへの加熱を伴ってガラスフィルムに電子デバイス要素を取付けて支持体付き電子デバイスを形成する取付け工程Ｓ２と、支持体付き電子デバイスの支持体からガラスフィルムを含む電子デバイスを剥離する剥離工程Ｓ３とを備える。

【0041】

また、剥離工程Ｓ３は、図２に示すように、支持体からガラスフィルムの一部を剥離させて、ガラスフィルムをその全面にわたって剥離する際の起点となる剥離起点部を作製する剥離起点部作製工程Ｓ３１と、剥離起点部を起点として支持体からの電子デバイスの剥離を進行させる剥離進行工程Ｓ３２とを有し、このうち剥離起点部作製工程Ｓ３１は、図３に示すように、ガラスフィルムから食み出した支持体のコーナー部に支持体を支持する第一支点を設けると共に、第一支点から離れた位置に電子デバイスを支持する第二支点を設ける支点形成工程Ｓ３１１と、支持体の側に凹部が生じるように積層体の一部を凹状に変形させる凹状変形工程Ｓ３１２、及びガラスフィルムと支持体との間に挿入部材を挿入することで、ガラスフィルムの一部を剥離させる挿入工程Ｓ３１３とを有する。以下、各工程を詳細に説明する。

【0042】

（Ｓ１）積層体形成工程
まず、図４に示すように、支持体１上にガラスフィルム２を積層して積層体３を形成する。

【0043】

ここで、ガラスフィルム２は、例えばケイ酸塩ガラス、シリカガラスなどで形成され、好ましくはホウ珪酸ガラスで形成され、より好ましくは無アルカリガラスで形成される。ガラスフィルム２にアルカリ成分が含まれていると、表面において陽イオンの脱落が発生し、いわゆるソーダ吹きの現象が起こり得る。その場合、ガラスフィルム２に構造的に粗となる部分が生じるため、このガラスフィルム２を湾曲（凹状変形を含む）させた状態で使用していると、経年劣化により粗となった部分を起点として破損を招くおそれがある。以上の理由より、非平坦状態でガラスフィルム２を使用する可能性がある場合、無アルカリガラスでガラスフィルム２を形成するのが好適である。

【0044】

なお、ここでいう無アルカリガラスとは、アルカリ成分（アルカリ金属酸化物）が実質的に含まれていないガラスを指し、具体的には、アルカリ成分が３０００ｐｐｍ以下のガラスを指す。もちろん、上述した理由による経年劣化を少しでも防止又は軽減する観点からは、１０００ｐｐｍ以下のガラスが好ましく、５００ｐｐｍ以下のガラスがより好ましく、３００ｐｐｍ以下のガラスがさらに好ましい。

【0045】

ガラスフィルム２の厚み寸法は、３００μｍ以下に設定され、好ましくは２００μｍ以下に設定され、より好ましくは１００μｍ以下に設定される。厚み寸法の下限値については特段の制約なく設定可能であるが、成形後の取り扱い性（支持体１との積層時、あるいは剥離時など）などを考慮すると、１μｍ以上、好ましくは５μｍ以上に設定されるのがよい。

【0046】

支持体１は、本実施形態では板状ガラスであって、ガラスフィルム２と同様、ケイ酸塩ガラス、シリカガラス、ホウ珪酸ガラス、無アルカリガラス等、公知のガラスで形成される。ただし、加熱を伴う電子デバイスの製造関連処理（本実施形態では取付け工程Ｓ２）において、熱膨張の差に起因するガラスフィルム２の不要な変形や破損を可及的に防止する観点から、３０℃〜３８０℃の間における支持体１とガラスフィルム２との線膨張係数の差が、５×１０^-7／℃以内となるよう、ガラスの種類を選択するのがよい。この場合、同一種類のガラスで支持体１とガラスフィルム２を形成することが好ましい。

【0047】

支持体１の厚み寸法は、ガラスフィルム２の取り扱い性を向上させ得る限りにおいて特に制限はなく、ガラスフィルム２の厚み寸法と同一レベル又はそれ以上に設定される。具体的には、支持体１の厚み寸法は、３００μｍ以上に設定され、好ましくは４００μｍ以上に設定される。厚み寸法の上限値については特段の制約なく設定可能であるが、後述する支持体１の曲げ（凹状変形）に耐え得る程度の厚み寸法に留めておくのが好ましい。具体的には１０００μｍ以下に設定されるのがよく、好ましくは７００μｍ以下に設定されるのがよい。あるいは５００μｍ以下に設定されるものでもよい。

【0048】

また、これら支持体１とガラスフィルム２は、ダウンドロー法など公知の成形方法で成形され、好ましくはオーバーフローダウンドロー法で成形される。また、フロート法やスロットダウンドロー法、ロールアウト法、アップドロー法などによって成形することも可能である。なお、必要に応じて二次加工を施して（リドローによりガラス一次成形体を引き伸ばして）、１００μｍ未満の厚み寸法に設定することも可能である。

【0049】

積層体３を構成した状態において、支持体１とガラスフィルム２とは相互に、剥離可能な程度に固定されている。固定手段としては任意の手段が採用可能であり、本実施形態では、支持体１としての板状ガラスとガラスフィルム２とを、接着剤などを介在させることなく直接密着させることにより、相互固定を実現している。

【0050】

この際、ガラスフィルム２の支持体１の側の表面２ａ（図４でいえば下側の表面）の表面粗さＲａと、支持体１のガラスフィルム２の側の表面１ａ（図４でいえば上側の表面）の表面粗さＲａは共に２．０ｎｍ以下に設定される。各表面１ａ，２ａの表面粗さＲａを上述した範囲に設定することで、支持体１とガラスフィルム２とを位置ずれなく相互に固定した状態で積層する（積層体３を形成する）ことが可能となる。もちろん、密着性向上の観点からは、１．０ｎｍ以下とするのが好ましく、０．２ｎｍ以下とするのがより好ましい。

【0051】

一方、ガラスフィルム２の支持体１とは反対側の表面２ｂの表面粗さＲａの大きさは特に限定されないが、後述する取付け工程Ｓ２において、成膜等の電子デバイス関連処理を施す対象面となることから、その表面粗さＲａは２．０ｎｍ以下であることが好ましく、１．０ｎｍ以下であることがより好ましく、０．２ｎｍ以下であることがさらに好ましい。

【0052】

また、ガラスフィルム２の端部を保護する観点から、ガラスフィルム２と支持体１とを積層した状態において、支持体１がガラスフィルム２から食み出している（図４）。この場合、支持体１のガラスフィルム２からの食み出し量は、例えば０．５ｍｍ以上でかつ１０ｍｍ以下に設定され、好ましくは３ｍｍ以上でかつ５ｍｍ以下に設定される。上述のように支持体１の食み出し量を小さく（最大でも１０ｍｍ程度に）することで、相対的に大面積のガラスフィルム２を全面で効率よく支持することができる。

【0053】

本実施形態では、図５に示すように、支持体１とガラスフィルム２が共に矩形状をなしている。また、この支持体１上にガラスフィルム２を積層してなる積層体３の全周縁において、支持体１がガラスフィルム２から食み出ており、これにより支持体１のコーナー部４において支持体１がガラスフィルム２から食み出ている。なお、本実施形態では積層体３の４辺縁全てにおいて、支持体１がガラスフィルム２から食み出ている形態を例示したが、もちろん、３辺縁ないし１辺縁で支持体１がガラスフィルム２から食み出ている形態を採ることも可能である。この場合、食み出ていない側の辺縁では、ガラスフィルム２の端面と支持体１の端面とが一致していることが望ましい。

【0054】

なお、上記した積層体３の形成に際して、減圧下で積層作業を行うようにしてもよい。これにより、ガラスフィルム２を支持体１上に積層した際にガラスフィルム２と支持体１との間に生じる（残存する）気泡を低減もしくは消失させることが可能となる。

【0055】

（Ｓ２）取付け工程
上述のようにガラスフィルム２を含む積層体３を形成した後、この積層体３に対して加熱を伴う電子デバイスの製造関連処理、具体的には、電子デバイス要素としての有機ＥＬ素子５の取付けを行う。これにより、図６に示すように、積層体３の一部をなすガラスフィルム２の支持体１とは反対側の表面２ｂ上に有機ＥＬ素子５が形成される。そして、カバーガラス６を有機ＥＬ素子５上に載置して、カバーガラス６の周縁をガラスフィルム２に固定することで、有機ＥＬ素子５を封止する。これにより、電子デバイスとしての有機ＥＬパネル７に支持体１が固定された状態の支持体付き有機ＥＬパネル８が形成される。

【0056】

ここで、カバーガラス６の厚み寸法は、例えば３００μｍ以下に設定され、好ましくは２００μｍ以下に設定され、より好ましくは１００μｍ以下に設定される。このように、カバーガラス６の厚み寸法を設定することで、カバーガラス６に適当な可撓性をもたせることが可能となる。

【0057】

また、ガラスフィルム２上への有機ＥＬ素子５の取付け態様は任意であり、例えばガラスフィルム２の支持体１とは反対側の表面２ｂ上、ＣＶＤ法やスパッタリング等の公知の成膜方法により、陽極層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層、陰極層などを順に成膜形成することで有機ＥＬ素子５を形成するようにしてもよい（詳細な図示は省略）。また、カバーガラス６のガラスフィルム２への固定手段についても任意であり、例えば公知のレーザー封止技術を用いてカバーガラス６をガラスフィルム２に固定するようにしてもよい。この場合、ＣＶＤ法やスパッタリング等による成膜処理が、加熱を伴う電子デバイス（有機ＥＬパネル７）の製造関連処理に該当する。従って、上述のように有機ＥＬ素子５をガラスフィルム２の支持体１と反対側の表面２ｂ上に形成することで、ガラスフィルム２が加熱される。また、この加熱に起因してガラスフィルム２と支持体１との間に新たな結合が形成され、積層時（積層体３を形成した際）に比べて、ガラスフィルム２と支持体１との固定力が高まる。

【0058】

なお、図６に示す形態では、カバーガラス６とガラスフィルム２とを直接固定しているが、適宜公知のガラスフリットやスペーサ等（図示は省略）を利用してカバーガラス６をガラスフィルム２に接着固定してもよい。あるいは、カバーガラス６に対して支持体１を設けてもよく（図示は省略）、支持体１からカバーガラス６を剥離する際に、本発明を適用することも可能である。

【0059】

（Ｓ３）剥離工程
このようにして、支持体付き有機ＥＬパネル８を形成した後、支持体付き有機ＥＬパネル８の支持体１からガラスフィルム２を含む有機ＥＬパネル７を剥離する（図１）。図７は、上記剥離を行うための剥離装置１０の平面図を示している。この剥離装置１０は、剥離起点部作製装置１１と、剥離進行装置１２とを具備するもので、剥離起点部作製装置１１は、支持体付き有機ＥＬパネル８を載置可能な載置台１３と、凹状変形の対象となる積層体３の一部（本実施形態では食み出し領域３ａ）に凹状の変形を付与するための凹状変形付与部１４と、挿入機構１５とを備える。なお、図７以降においては、支持体付き有機ＥＬパネル８に含まれる有機ＥＬ素子５及びカバーガラス６の図示を省略している。

【0060】

載置台１３は例えば定盤で構成され、積層体３を含む支持体付き有機ＥＬパネル８を平坦な載置面１６で支持可能とする。本実施形態では、載置面１６とガラスフィルム２の表面とが当接するように、すなわち図８に示すように、支持体１が上側、ガラスフィルム２が下側となるように、積層体３を載置面１６上に載置することで、積層体３を含む支持体付き有機ＥＬパネル８を支持可能としている。よって、図示は省略しているが、本実施形態のように、ガラスフィルム２上に有機ＥＬ素子５及びカバーガラス６を取付けている場合、載置面１６を、有機ＥＬ素子５及びカバーガラス６を支持可能な形状にするのがよい。もちろん、載置面１６を、ガラスフィルム２（本実施形態ではカバーガラス６）と支持体１の一方又は双方の周縁部のみを支持可能な形状としてもよい。なお、後述する剥離進行装置１２による剥離進行工程Ｓ３２のために、載置台１３の載置面１６に吸着穴を設けて、ガラスフィルム２（を含む有機ＥＬパネル７）を載置面１６に吸着可能に構成することも可能である。

【0061】

凹状変形付与部１４は、本実施形態では、載置面１６と、積層体３の載置面１６から食み出した支持体１のコーナー部４に、支持体１を支持する第一支点Ｐ１を設ける第一支点形成部材１７と、積層体３の食み出し領域３ａに外力を付与する外力付与部材１８とで構成される。

【0062】

本実施形態では、載置面１６は全体として支持すべき積層体３（支持体付き有機ＥＬパネル８）に準じた形状、すなわち矩形状をなし、かつその一つの角部を欠落させた形状をなす。これにより、載置面１６上に支持体付き有機ＥＬパネル８を載置した状態では、支持体付き有機ＥＬパネル８の一つのコーナー部４を除く全ての領域が載置面１６で支持されると共に、コーナー部４を含む一部の領域が食み出た状態となる（図７の左下を参照）。よって、この場合、コーナー部４が食み出した側の載置面１６の端部１６ａが、第一支点Ｐ１から離れた位置に支持体付き有機ＥＬパネル８を支持する第二支点Ｐ２を設ける第二支点形成部材となる。

【0063】

第一支点形成部材１７は、支持体付き有機ＥＬパネル８を構成する積層体３のコーナー部４を支持可能とするもので、本実施形態では、後述する挿入部材（楔状部材１９）を第一支点形成部材１７としている。また、支持体１がガラスフィルム２から食み出た状態で積層体３を構成する場合（図５を参照）、第一支点形成部材１７は、コーナー部４において、ガラスフィルム２から食み出した支持体１のガラスフィルム２側の表面１ａを支持可能としている。言い換えると、第一支点形成部材１７は、支持体１のコーナー部４に、支持体１を支持する第一支点Ｐ１を設けるようになっている。

【0064】

外力付与部材１８は、第一支点形成部材１７で形成される第一支点Ｐ１と、第二支点形成部材としての載置面１６の端部１６ａで形成される第二支点Ｐ２との間に配設される。本実施形態では、外力付与部材１８は、ガラスフィルム２の支持体１と反対側の表面２ｂ（実際には、図示を省略するカバーガラス６の表面）に吸着可能な吸着部材２０と、吸着部材２０を載置面１６の法線方向、すなわち載置面１６上に載置した積層体３の厚み方向ａに沿って昇降可能な昇降部材２１とで構成される。

【0065】

挿入機構１５は、本実施形態では、挿入部材としての楔状部材１９と、楔状部材１９を載置台１３の載置面１６と平行な方向、すなわち載置面１６上に載置した状態の積層体３の平面に沿った方向にスライド可能とするスライド部材２２とで構成される。本実施形態では、楔状部材１９が、支持体１のコーナー部４の頂部と外力付与部材１８の仮想中心線とを通過する向き（言い換えると、ガラスフィルム２の対角線に沿った向き）にスライドするよう構成されている（図７を参照）。

【0066】

また、楔状部材１９の刃先方向ｃと、スライド部材２２による楔状部材１９の挿入方向ｂとが成す角（以下、楔角度とも称する。）θが２０°以上でかつ４５°以下となるように、好ましくは２０°以上でかつ３０°以下となるように、楔状部材１９の姿勢及びスライド部材２２のスライド方向が設定される。

【0067】

次に、上記構成の剥離起点部作製装置１１を用いた剥離起点部の作製動作の一例を、図７〜図１３に基づき説明する。

【0068】

（Ｓ３１）剥離起点部作製工程
まず、図７及び図８に示すように、支持体付き有機ＥＬパネル８を載置台１３の載置面１６上に載置すると共に、支持体付き有機ＥＬパネル８の一部をなす積層体３の載置面１６から食み出したコーナー部４（すなわち支持体１のコーナー部４）を支持可能な位置に、第一支点形成部材１７としての楔状部材１９を配置する。これにより、積層体３を含む支持体付き有機ＥＬパネル８が載置面１６と楔状部材１９とで支持された状態となる。具体的には、コーナー部４の頂部において支持体１とガラスフィルム２との間に刃先１９ａが当接する位置に楔状部材１９が配置されており、これにより楔状部材１９の刃先１９ａと支持体１との当接点を第一支点Ｐ１、載置面１６の端部１６ａとガラスフィルム２（本実施形態では図示を省略するカバーガラス６）との多数の当接点（すなわち本実施形態では当接線）をそれぞれ第二支点Ｐ２として、積層体３を含む支持体付き有機ＥＬパネル８は支持された状態となっている（支点形成工程Ｓ３１１）。また、上述のように支持体付き有機ＥＬパネル８を支持した状態では、自重による食み出し領域３ａの変形への影響を除き、支持体付き有機ＥＬパネル８は全体として平坦に支持されている。

【0069】

また、この際、第一支点形成部材１７によるコーナー部４の支持位置（すなわち第一支点Ｐ１）から、載置面１６の端部１６ａによる支持体付き有機ＥＬパネル８の支持位置（すなわち第二支点Ｐ２）までの最短距離（図７）は、例えば３０ｍｍ以上でかつ２００ｍｍ以下に設定され、好ましくは３０ｍｍ以上でかつ１５０ｍｍ以下に設定され、より好ましくは５０ｍｍ以上でかつ１００ｍｍ以下に設定される。本図示例の如く載置面１６の形状が設定され、かつ支持体付き有機ＥＬパネル８が載置された状態では、第一支点形成部材１７による支持体１の支持位置（図７に示す第一支点Ｐ１）から、載置面１６の端部１６ａ上に設けられる複数の第二支点Ｐ２のうち端部１６ａの長手方向中央に位置する第二支点Ｐ２（図７）までの直線距離が、上述の最短距離として、３０ｍｍ以上でかつ２００ｍｍ以下に設定される。

【0070】

次に、積層体３を含む支持体付き有機ＥＬパネル８を第一支点Ｐ１及び第二支点Ｐ２で下方から支持した状態で、昇降部材２１により吸着部材２０を矢印ａの方向に沿って上昇させて、吸着部材２０を積層体３の下側に位置するガラスフィルム２の表面２ｂ（本実施形態では図示を省略するカバーガラス６の表面）に当接させる（図９）。そして、この状態から吸引等により吸着部材２０をガラスフィルム２の表面２ｂに吸着させる。ガラスフィルム２を吸着した段階では、積層体３を含む支持体付き有機ＥＬパネル８は依然として平坦に支持された状態を保っている。

【0071】

このようにガラスフィルム２を吸着した後、図１０に示すように、昇降部材２１により吸着部材２０を矢印ａの方向に沿って下降させ、支持体付き有機ＥＬパネル８のうち載置面１６から食み出した領域に下方への引張り力Ｆを付与する。言い換えると、第一支点形成部材１７（本実施形態では楔状部材１９）による第一支点Ｐ１と、載置面１６の端部１６ａによる第二支点Ｐ２との間に引張り力Ｆの作用点を設ける。これにより、支持体１の側に凹部３ｃが生じるように、積層体３の一部となる食み出し領域３ａを凹状に変形させる（凹状変形工程Ｓ３１２）。本実施形態では、食み出し領域３ａの略重心となる位置（図７）に下方への引張り力Ｆを付与することで、支持体１の側から平面視した場合に円状をなす凹部３ｃが生じるように、食み出し領域３ａを凹状に変形させている。

【0072】

また、上述のように食み出し領域３ａを凹状に変形させた状態において、支持体１の側に生じる凹部３ｃの最大深さ寸法ｄは１ｍｍ以上でかつ５ｍｍ以下に設定され、好ましくは２ｍｍ以上でかつ４ｍｍ以下に設定される。なお、この際の食み出し領域３ａの最大凹状変形量（支持体１の表面１ｂのうち、凹状変形前の状態から最もガラスフィルム２の側に変形した位置における厚み方向ａの変形量）は、例えば載置面１６及び第一支点形成部材１７による支持位置と、食み出し領域３ａの形状及び面積、及び吸着部材２０の吸着位置からの矢印ａの向きに沿った下降量Ｈ１とで調整される。本実施形態に係る構成を採る場合、最大深さ寸法ｄは、外力付与部材１８（吸着部材２０）の下降量Ｈ１に略等しい。すなわち、吸着部材２０の下降量Ｈ１は１ｍｍ以上でかつ５ｍｍ以下に設定され、好ましくは２ｍｍ以上でかつ４ｍｍ以下に設定される。

【0073】

そして、積層体３の一部となる食み出し領域３ａが凹状に変形している間に、スライド部材２２の駆動により楔状部材１９の矢印ｂの方向に沿った向きの移動を開始し、楔状部材１９の刃先１９ａを、食み出し領域３ａのコーナー部４の頂部に位置する支持体１とガラスフィルム２との間に挿入する（ここでは押し当てる）。これにより、図１１に示すように、支持体１の下側の表面１ａと密着状態にあるガラスフィルム２の上側の表面２ａがその端部２ａ１から、支持体１の表面１ａに対して剥離し始める。そして、図１１に示す状態から、スライド部材２２を駆動させて、楔状部材１９をさらに矢印ｂの方向に沿って移動させる（スライドさせる）ことで、ガラスフィルム２の剥離領域が拡大していく（図１２）。

【0074】

この際、支持体１及びガラスフィルム２には、凹状に変形する前の状態（図１２中、二点鎖線で示す状態）に戻ろうとする向きの反力（復元力ｆ１，ｆ２）がそれぞれ生じる。そのため、吸着部材２０でガラスフィルム２の側を吸着している場合には、ガラスフィルム２に生じた復元力ｆ２が吸着部材２０による下方への引張り力Ｆで相殺され、実質的には支持体１の側にのみ上述した復元力ｆ１が作用する状態となる。従って、このことによっても、ガラスフィルム２の支持体１からの剥離領域が拡大し、例えば図１３に示すように、支持体１がほぼ凹状に変形する前の状態に戻った段階では、支持体１とガラスフィルム２との間に、ガラスフィルム２をその全面にわたって剥離する際の起点となる剥離起点部９が形成される（挿入工程Ｓ３１３）。

【0075】

（Ｓ３２）剥離進行工程
このようにして剥離起点部９を作製した後、支持体１の側もしくはガラスフィルム２の側を図示しない吸着パッド等で把持して一方を他方から離反する向きに引張ることにより、あるいは水等の流体を剥離起点部９に向けて吹き付けることにより、支持体１からガラスフィルム２をその全面にわたって剥離する。

【0076】

本実施形態では、例えば図７及び図１４に示すように、複数の吸着パッド２３と、各吸着パッド２３を独立して上下方向ａに駆動可能な駆動部２４とを有する剥離進行装置１２を用いて、ガラスフィルム２の剥離を進行させる。具体的には、図７に示すように、支持体１の上側に複数の吸着パッド２３を配置した状態から、各吸着パッド２３を駆動部２４により下方に移動させて、各吸着パッド２３で支持体１の上側の表面１ｂを吸着する（図１４）。然る後、図１５に示すように、剥離起点部９の側から吸着パッド２３を順に上昇させていくことで、ガラスフィルム２の支持体１からの剥離がその対角線に沿って進行する。これにより、ガラスフィルム２がその全面にわたって支持体１から剥離され、支持体付き有機ＥＬパネル８が、ガラスフィルム２を含む有機ＥＬパネル７と支持体１とに分離される（図１６）。

【0077】

このように、支持体付き有機ＥＬパネル８の支持体１からガラスフィルム２を含む電子デバイスとしての有機ＥＬパネル７を剥離するに際し、本発明では、ガラスフィルム２から食み出した支持体１のコーナー部４に第一支点Ｐ１を設けると共に、第一支点Ｐ１から離れた位置に第二支点Ｐ２を設け、かつこれら双方の支点Ｐ１，Ｐ２間に外力（引張り力Ｆ）の作用点を設けることで、食み出し領域３ａを凹状に変形させるようにした。これによれば、積層体３の一部としての食み出し領域３ａを従来に比べて大きな曲率で変形させることができる。よって、支持体１とガラスフィルム２との間の曲率の違いに起因して生じるせん断力を高めることができ、その後の挿入工程Ｓ３１３で、容易に支持体１からガラスフィルム２の一部を剥離させることが可能となる。また、支持体１の側に凹部３ｃが生じるように積層体３の一部を凹状に変形させることで、積層体３の凹状変形時、ガラスフィルム２よりも肉厚に形成し易い（厚み寸法の制約が少ない）支持体１の側に大きな曲げ応力（圧縮応力）が作用する。よって、ガラスフィルム２と支持体１に過度な負荷が作用する事態を回避して、ガラスフィルム２及び支持体１の破損を防止することが可能となる。また、積層体３の一部を凹状に変形させた後に楔状部材１９を支持体１とガラスフィルム２との間に挿入するようにしたので、楔状部材１９を挿入している間に積層体３の変形量を増大させずに済む。よって、これによってもガラスフィルム２と支持体１に過度な負荷が作用する事態を回避して、剥離起点部９の作製の際にガラスフィルム２と支持体１が破損することを防止することが可能となる。以上より、本発明によれば、ガラスフィルム２や有機ＥＬ素子５、支持体１などに過度な負荷を掛けることなく、支持体付き有機ＥＬパネル８を、ガラスフィルム２を含む有機ＥＬパネル７と支持体１とを安全に分離することが可能となる。

【0078】

また、本実施形態では、楔状部材１９で第一支点Ｐ１を設けるようにしたので、食み出し領域３ａの凹状変形開始時（図１０）、楔状部材１９が食み出し領域３ａの第一支点形成部材１７として機能する一方、凹状に変形した状態においては、楔状部材１９が既にガラスフィルム２と支持体１との間に当接した状態になっている（図１０）。そのため、そのまま楔状部材１９を挿入方向ｂに移動（スライド）させるだけで、ガラスフィルム２と支持体１との間に楔状部材１９を挿入することができ、容易かつ確実に剥離起点部９を作製することが可能となる。また、楔状部材１９自体が第一支点形成部材１７として機能していることから、楔状部材１９の挿入動作に伴い、楔状部材１９による食み出し領域３ａの支持位置、すなわち第一支点Ｐ１も剥離の進行方向、すなわち積層体３の平面に沿った方向の中央側に移行する。よって、楔状部材１９の挿入態様を一定の状態に保って、剥離起点部９の作製動作を円滑に行うことが可能となる。

【0079】

特に、この場合、積層体３の食み出し領域３ａをガラスフィルム２の側から吸着部材２０で吸着した後、食み出し領域３ａを下方に引張って凹状に変形させることで、支持体１の側に生じる凹部３ｃに外力付与部材１８が居続ける事態を回避できる。そのため、楔状部材１９の挿入開始後、ガラスフィルム２が凹状に変形した状態を保ちつつも、楔状部材１９と外力付与部材１８とが干渉する事態を回避して、ガラスフィルム２と支持体１とが安全かつ確実に剥離可能な位置、すなわち剥離起点部９が形成されるまでの間、楔状部材１９の挿入動作を円滑に進めることが可能となる。また、上述のように支持体１の側に凹部３ｃが生じるように食み出し領域３ａを凹状に変形させた場合には、支持体１及びガラスフィルム２には凹状に変形する前の平坦な状態に戻ろうとする向きの復元力ｆ１，ｆ２が作用する。そのため、吸着部材２０でガラスフィルム２の側を吸着している場合には、ガラスフィルム２に生じた復元力ｆ２が吸着部材２０による下方への引張り力Ｆで相殺され、実質的には支持体１の側にのみ上述した復元力ｆ１が作用する状態となる。よって、楔状部材１９の挿入動作をより円滑に行うことができ、剥離起点部９を安全かつ容易に作製することが可能となる。

【0080】

以上、本発明に係るガラスフィルムを含む電子デバイスの製造方法の一実施形態（第一実施形態）を説明したが、この製造方法は、当然に本発明の範囲内において任意の形態を採ることができる。

【0081】

図１７は、本発明の第二実施形態に係る剥離起点部作製装置２５の要部断面図（図７に示す剥離装置１０のＡ−Ａ要部断面図と同じ箇所の断面図）を示している。この剥離起点部作製装置２５は、吸着部材２０及び昇降部材２１を、積層体３の上方、すなわち支持体１の側に配置してなる。他の構成については第一実施形態と同様であるので、詳細な説明を省略する。

【0082】

上記構成の剥離起点部作製装置２５を用いた剥離起点部９の作製動作（剥離起点部作製工程Ｓ３１）の一例は、図１７〜図２０に示す通りである。

【0083】

まず図１７に示すように、支持体付き有機ＥＬパネル８を載置台１３の載置面１６上に載置すると共に、支持体付き有機ＥＬパネル８の一部をなす積層体３の載置面１６から食み出したコーナー部４を支持する位置に、楔状部材１９を配置する。これにより、積層体３を含む支持体付き有機ＥＬパネル８が載置面１６と楔状部材１９とで支持された状態となる。本実施形態では、コーナー部４の頂部において支持体１とガラスフィルム２との間に刃先１９ａが当接する位置に楔状部材１９が配置されており、これにより楔状部材１９の刃先１９ａとコーナー部４との当接点、及び載置面１６の端部１６ａとコーナー部４との当接点をそれぞれ第一支点Ｐ１、第二支点Ｐ２として、支持体付き有機ＥＬパネル８は支持された状態となっている。また、上述のように支持体付き有機ＥＬパネル８を支持した状態では、自重による変形の影響を除き、支持体付き有機ＥＬパネル８は全体として平坦に支持されている。

【0084】

次に、昇降部材２１により吸着部材２０を図１６に示す位置から矢印ａの方向に沿って下降させて、図１８に示すように、吸着部材２０を積層体３の上側に位置する支持体１の表面１ｂに当接させる。そして、この状態から引き続き吸着部材２０を矢印ａの方向に沿って下降させ、積層体３に下方への押圧力Ｇを付与する。これにより、図１９に示すように、第一支点形成部材１７により設けられた第一支点Ｐ１と載置面１６の端部１６ａにより設けられた第二支点Ｐ２との間に押圧力Ｇの作用点を設けて、支持体１の側に凹部３ｃが生じるように、食み出し領域３ａを凹状に変形させる。

【0085】

そして、食み出し領域３ａを凹状に変形させた状態から、スライド部材２２の駆動により楔状部材１９の矢印ｂの方向に沿った向きの移動を開始し、楔状部材１９の刃先を、コーナー部４の頂部に位置する支持体１とガラスフィルム２との間に当接させる（例えば押し当てる）。これにより、図２０に示すように、支持体１とガラスフィルム２との間に向けた楔状部材１９の挿入が開始され、ある程度までガラスフィルム２の端部２ａ１からの剥離領域が拡大することで、図１３に示す如き剥離起点部９が作製される（剥離起点部作製工程Ｓ３１）。

【0086】

そして、剥離起点部９を作製した後、図示は省略するが、例えば支持体１の側もしくはガラスフィルム２の側を図示しない吸着パッド等で把持して一方を他方から離反する向きに引張ることで、あるいは水等の流体を剥離起点部９に向けて吹き付けることで、支持体１からガラスフィルム２をその全面にわたって剥離する。これにより、支持体付き有機ＥＬパネル８が、ガラスフィルム２を含む有機ＥＬパネル７と支持体１とに分離される（剥離進行工程Ｓ３２）。もちろん、この際、例えば図示は省略するが、吸着部材２０と干渉しない位置で、支持体１を上側から吸着可能な図１４の如き剥離進行装置１２を用いて、支持体１を剥離起点部９の側から引張り上げることによって、ガラスフィルム２をその全面にわたって支持体１から剥離するようにしてもよい。

【0087】

このように、食み出し領域３ａを矢印ａの方向、すなわち平坦な状態で載置面１６上に載置した積層体３の厚み方向に沿って支持体１の側から下方に押圧することによっても、ガラスフィルム２や支持体１に過度な負荷を掛けることなく、安定的に食み出し領域３ａを凹状に変形させることが可能となる。従って、食み出し領域３ａを従来に比べて大きな曲率で変形させることができ、上述の如く曲率の差に起因したせん断力でもって、比較的容易に支持体１とガラスフィルム２との間に剥離起点部９を作製することが可能となる。

【0088】

なお、本実施形態のように、支持体１の側から押圧力Ｇを付与する場合であれば、吸着部材２０に限る必要はない。例えば先端が球状をなす棒状部材など、支持体１及びガラスフィルム２に破損等の不具合を与えない限りにおいて、任意形状及び構成の押圧部材を用いてもよい。

【0089】

また、外力（引張り力Ｆ、押圧力Ｇ）の作用点に関し、上記実施形態では、コーナー部４における支持体付き有機ＥＬパネル８の支持位置（楔状部材１９の刃先１９ａと支持体１との当接位置）と、載置面１６の端部１６ａとの中間位置に引張り力Ｆ又は押圧力Ｇの作用点を設けた場合を例示したが、もちろんこれ以外の位置に作用点を設けてもよい。例えばよりコーナー部４の端部に支持体１とガラスフィルム２との間に互いに離反する向きの力が生じるよう、吸着部材２０と支持体１又はガラスフィルム２との接点、すなわち引張り力Ｆ又は押圧力Ｇの作用点を端部１６ａよりもコーナー部４に近い側に設けるようにしてもよい。

【0090】

また、上記実施形態では、積層体３の厚み方向ａに沿った向きに下方への引張り力Ｆ又は押圧力Ｇを食み出し領域３ａに付与する場合を例示したが、これ以外の態様で外力を付与することにより、食み出し領域３ａを凹状に変形させてもよい。例えば図示は省略するが、食み出し領域３ａにおいて支持体１のコーナー部を矢印ｂの方向よりもやや下方に向けて押圧することで、支持体１の側に凹部３ｃが生じるように食み出し領域３ａを凹状に変形させてもよい。

【0091】

また、上記実施形態では、載置面１６として、その一つの角部を欠落させた形状としたものを用いた場合を例示したが、もちろんこれ以外の形状をなす載置面１６を用いて支持体１とガラスフィルム２との剥離を図ることも可能である。図２１はその一例（第三実施形態）に係る剥離起点部作製装置２６の平面図を示している。この剥離起点部作製装置２６は、図７に示す載置面１６の端部１６ａの両端から支持すべき積層体３（支持体付き有機ＥＬパネル８）の辺縁に沿って延長する延長支持部２７を載置面１６と一体的に設けたものである。この構成によれば、支持体付き有機ＥＬパネル８を、載置面１６と第一支点形成部材１７としての楔状部材１９、及び延長支持部２７とで支持しながら、これら載置面１６と楔状部材１９、及び延長支持部２７との間の食み出し領域３ａを凹状に変形させることができる。従って、上述した一連の剥離起点部９の作製動作をより安定的に実施することが可能となる。

【0092】

また、第一支点形成部材１７に関し、上記実施形態では、第一支点形成部材１７を楔状部材１９として支持体１のコーナー部４に配設した場合を例示したが、もちろんこれ以外の構成を採ることも可能である。例えば図示は省略するが、第一支点形成部材１７が楔状部材１９の押し込み動作を阻害しない範囲内で、第一支点形成部材１７を楔状部材１９とは別個に設けてコーナー部４の頂部以外の領域を支持し、楔状部材１９をコーナー部４の頂部に当接させた形態を採ることも可能である。

【0093】

また、第二支点Ｐ２の形成態様に関し、上記実施形態では、載置面１６の端部１６ａで複数の第二支点Ｐ２を連続的に設けた場合を例示したが、もちろんこれ以外の態様を採ることも可能である。例えば図示は省略するが、載置面以外の支持部材（ローラなど）で支持体付き有機ＥＬパネル８を支持すると共に、支持体１のコーナー部４を第一支点形成部材１７で支持し、第一支点Ｐ１から離れた位置で、上記載置面以外の支持部材とは別個に第二支点形成部材を設けることも可能である。以上より、任意の部材で支持体付き有機ＥＬパネル８の任意の位置に第二支点Ｐ２を設けることが可能である。また、第二支点Ｐ２の数も任意であり、一又は複数の第二支点Ｐ２を設けることが可能である。

【0094】

また、楔状部材１９の挿入方向に関し、上記実施形態では、スライド部材２２により楔状部材１９を、平坦状態の積層体３の平面方向に沿った向きにスライドさせる形態を例示したが、もちろんこれ以外の挿入態様を採ることも可能である。例えば剥離起点部９が形成された後の食み出し領域３ａの変形態様（剥離進行時の変形態様）に応じて、楔状部材１９の移動方向を変更する構成を採ってもかまわない。

【0095】

また、上記実施形態では、剥離起点部作製装置１１と剥離進行装置１２とで、載置台１３（の載置面１６）を共用する場合を例示したが、もちろん剥離装置１０はこの例には限られない。剥離起点部作製装置１１と剥離進行装置１２とを完全別個に製作して、一旦剥離起点部９を作製した支持体付き有機ＥＬパネル８を剥離進行装置１２の吸着面上に載置して、剥離進行工程Ｓ３２を実施するようにしてもかまわない。

【0096】

また、上記実施形態では、支持体１として板状ガラスを採用し、かつこの支持体１とガラスフィルム２とを直接密着で相互に固定した場合を例示したが、もちろんこれ以外の手段でガラスフィルム２と支持体１とを固定してなる積層体３に対しても本発明を適用することは可能である。例えば、アクリル粘着層、シリコーン薄膜層、無機薄膜層（ＩＴＯ、酸化物、金属、カーボン）など非ガラス材からなる層と板状ガラスとで支持体１を構成し、非ガラス材層とガラスフィルム２を密着させてなる積層体（図示は省略）に対しても本発明を適用することが可能である。

【0097】

また、以上の説明では、電子デバイスとして有機ＥＬパネル７を製造する場合を例示したが、もちろんこれ以外の電子デバイスの製造方法に対しても本発明を適用することが可能である。図２２はその一例に係る支持体付き液晶パネル２８の断面図を示している。このパネル２８は、最終製品としての液晶パネル２９の両側に一対の支持体１，１を固定してなるもので、例えば以下のようにして形成される。すなわち、まずそれぞれ支持体１とガラスフィルム２とを積層してなる一対の積層体３，３を形成する（積層体形成工程Ｓ１）。然る後、一方の積層体３のガラスフィルム２の表面２ｂ上に、図示しない液晶を封入するための空間を区画形成するスペーサ３０を形成し、このスペーサ３０上に他方の積層体３のガラスフィルム２を固定する（取付け工程Ｓ２）。このようにして支持体付き液晶パネル２８を形成した後、上述した剥離方法で支持体１を一枚ずつ剥離し（剥離工程Ｓ３）、１枚の支持体付き液晶パネル２８を、２枚の支持体１，１と、１枚の液晶パネル２９とに分離する。よって、液晶パネル２９を製造する場合にあっても本発明を適用して、ガラスフィルム２を破損させることなく、安全かつ容易に支持体付き液晶パネル２８を、支持体１と液晶パネル２９とに分離させることが可能となる。

【0098】

もちろん、ガラスフィルム２自体を最終製品として取得（製造）する場合においても、本発明に係るガラスフィルムの製造方法を適用することにより、ガラスフィルム２を破損させることなく、安全かつ容易に支持体１からガラスフィルム２を剥離することが可能となる。

【符号の説明】

【0099】

１ 支持体
２ ガラスフィルム
３ 積層体
３ａ 食み出し領域
３ｃ 凹部
４ コーナー部
５ 有機ＥＬ素子
６ カバーガラス
７ 有機ＥＬパネル
８ 支持体付き有機ＥＬパネル
９ 剥離起点部
１０ 剥離装置
１１ 剥離起点部作製装置
１２ 剥離進行装置
１３ 載置台
１４ 凹状変形付与部
１５ 挿入機構
１６ 載置面
１６ａ 端部
１７ 第一支点形成部材
１８ 外力付与部材
１９ 楔状部材（挿入部材）
１９ａ 刃先
２０ 吸着部材
２１ 昇降部材
２２ スライド部材
２３ 吸着パッド
２４ 駆動部
２５ 剥離起点部作製装置
２６ 剥離起点部作製装置
２７ 延長支持部
２８ 支持体付き液晶パネル
２９ 液晶パネル
３０ スペーサ
Ｆ 引張り力
ｆ１，ｆ２ 復元力
Ｇ 押圧力
Ｈ１，Ｈ２ 下降量

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】