特許 6519979 欠陥検査装置及び欠陥検査方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6519979

(24)【登録日】2019年5月10日

(45)【発行日】2019年5月29日

(54)【発明の名称】欠陥検査装置及び欠陥検査方法

(51)【国際特許分類】

   G01M 3/20 20060101AFI20190520BHJP

【ＦＩ】

   G01M3/20 Z

【請求項の数】2

【全頁数】33

(21)【出願番号】特願2014-72553(P2014-72553)

(22)【出願日】2014年3月31日

(65)【公開番号】特開2015-194406(P2015-194406A)

(43)【公開日】2015年11月5日

【審査請求日】2017年2月22日

(73)【特許権者】

【識別番号】000003768

【氏名又は名称】東洋製罐グループホールディングス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002354

【氏名又は名称】特許業務法人平和国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】丸山 友樹

(72)【発明者】

【氏名】山田 真司

【審査官】 素川 慎司

(56)【参考文献】

【文献】 米国特許出願公開第２０１０／０３２６１７２（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 米国特許出願公開第２０１３／０２１０１５３（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 登録実用新案第３０８０３９３（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特表２００２−５００７６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−２５７９１７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−３２９６５０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−２２２５６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−０８５２５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−１０１８３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０７−３２５００６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０８−０９４４７９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭４９−０２９１８１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｍ ３／００ − ３／４０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

被検査物の内部に対して気体を供給する気体供給手段と、前記被検査物における欠陥部の有無を検出する手段とを備えた欠陥検査装置であって、
前記被検査物の表面のうち他の部材と接触する部分、又は前記被検査物の表面同士が接触する部分を、接触表面部としたときに、
前記接触表面部と前記被検査物の外側の空間とを連通又は接触させるための通気性確保手段を備え、
前記通気性確保手段は、前記接触表面部に接触する表面に、算術平均粗さＲａ＝１．４μｍ〜１０μｍの粗面を有し、
前記接触表面部は、前記被検査物の凹部であり、
前記通気性確保手段は、前記凹部に接触する位置に、前記凹部に押し当てられて配置され、
前記被検査物は、カップ状容器であり、
前記凹部は、前記カップ状容器の内部に向かって凹んだ底部である
ことを特徴とする欠陥検査装置。

【請求項2】

被検査物の内部に対して気体を供給する陽圧工程と、前記被検査物における欠陥部の有無を検出する検出工程とを有した欠陥検査方法であって、
前記被検査物の表面のうち他の部材と接触する部分、又は前記被検査物の表面同士が接触する部分を、接触表面部としたときに、
前記接触表面部と前記被検査物の外側の空間とを連通又は接触させるための通気性確保手段を、前記接触表面部に接触させる接触工程を有し、
前記通気性確保手段は、前記接触表面部に接触する表面に、算術平均粗さＲａ＝１．４μｍ〜１０μｍの粗面を有し、
前記接触表面部は、前記被検査物の凹部であり、
前記通気性確保手段は、前記凹部に接触する位置に、前記凹部に押し当てられて配置され、
前記被検査物は、カップ状容器であり、
前記凹部は、前記カップ状容器の内部に向かって凹んだ底部である
ことを特徴とする欠陥検査方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、所定の内容物を充填可能な容器を対象として、漏洩に関する欠陥部分の有無を検査する欠陥検査装置、及び、この欠陥検査装置を用いて容器の検査を行う欠陥検査方法に関し、特に、容器の内部圧力を外部圧力よりも高くすることにより欠陥部分の有無を検査する欠陥検査装置及び欠陥検査方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、内容物の漏洩防止、劣化防止、安全性の確保等が要求される食品、薬品、化粧品などは、容器に密閉されてきた。また、前記容器に対して、ピンホールやクラックなどの欠陥（リーク）を検出するために、欠陥検査が行われてきた。
このような欠陥検査の技術分野においては、検査精度や検査効率などの向上を目的として、様々な技術が提案されている。

【0003】

例えば、欠陥検査の対象をパウチとし、内部に空間を有する箱形の規制部材の中にパウチを挿入し、パウチの内部に加圧気体を供給し、加圧気体の供給経路の内圧又は流量を測定することにより、パウチにおけるリークの有無を判定する装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
また、他の技術としては、例えば、所定の間隔で平行に配置された二枚の板材である規制部材の間にパウチを挿入し、加圧気体を封入して膨張したパウチの内圧を測定し、複数のパウチの内圧に差があるときに、内圧の低いパウチにリークがあると判定する装置が提案されている（例えば、特許文献２参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１３−００２８１２号公報

【特許文献2】特開２００１−１０８５６８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、上述した特許文献１、２に記載の検査装置（以下、従来の検査装置という）においては、次のような問題があった。
従来の検査装置は、飲料などの内容物が充填されるパウチを対象とし、パウチに存在するピンホールなどの欠陥部の検出を検査の目的としている。
パウチには、例えば、二枚のラミネートシートを重ね合わせ、四辺を熱溶着によってシールした、平袋と呼ばれる形状のものがある。また、パウチには、図２７（ｉ）、（ii）に示すように、底部５２に折り込み部５３ａがあるスタンディングパウチ５１ａや、側部５４に折り込み部５３ｂがあるガセットパウチ５１ｂなどがある。
ここで、従来の検査装置では、平袋のパウチを検査対象としているが、スタンディングパウチ５１ａやガセットパウチ５１ｂについても、平袋と同様に、欠陥部の有無を検査することが望ましい。
ところが、従来の検査装置を用いてスタンディングパウチ５１ａなどを検査したとき、これらのパウチ５１ａ、５１ｂに存在する欠陥部を検出できない場合があった。

【0006】

例えば、図２８（ｉ）に示すように、スタンディングパウチ５１ａを規制部材（同図においては、二枚の板状の部材）の間に挿入し、スタンディングパウチ５１ａの内部に加圧気体を封入したとする。
これにより、スタンディングパウチ５１ａは膨張するが、折り込み部５３ａでは折り目５５の周囲が重なり合って密着した状態となる。特に、規制部材の間隔が狭いときには、このような重なりが顕著に現れる。
そして、折り込み部５３ａの密着部分である接触表面部に欠陥部があると、スタンディングパウチ５１ａに封入された気体は、欠陥部から外部へ漏洩しなくなる。そうすると、スタンディングパウチ５１ａの内圧が低下しないため、欠陥部を検出できないという問題があった。

【0007】

また、スタンディングパウチ５１ａに気体を封入したときに、内圧を高くしすぎると、図２８（ii）に示すように、折り込み部５３ａが膨出して外側へ飛び出してしまい、バックリングと呼ばれる変形が生じてしまうことがある。
このような変形は、折り込み部５３ａの縁部における熱溶着の剥離の原因ともなるため、回避すべきである。
ただし、こうした変形を避けるためにスタンディングパウチ５１ａの内圧を下げてしまうと、欠陥部から外部へ漏洩する気体の量が減少し、検査精度の低下を招くことになる。
そこで、スタンディングパウチ５１ａの内圧を一定値以上に高めつつ、バックリングの発生を防止可能な技術の提案が求められていた。

【0008】

さらに、上述した二つの問題は、いずれも折り込み部に関するものであるが、例えば、パウチの正面側のシートや背面側のシートに欠陥部がある場合に、これらの欠陥部を検出できないときがあった。
例えば、図２８（ｉ）に示すように、二枚の規制部材の間にスタンディングパウチ５１ａを挿入して加圧気体を封入したとき、スタンディングパウチ５１ａの正面側のシートと背面側のシートは、それぞれ規制部材の内側面に接触する。そして、正面側シートと背面側シートは、加圧気体により、規制部材の内側面に向かう方向に押圧される。
そうすると、それら正面側シート又は背面側シートのうち、規制部材の内側面に接触している部分である接触表面部に欠陥部があった場合、欠陥部が規制部材の内側面によって閉塞された状態となることから、スタンディングパウチ５１ａの内部の加圧気体が欠陥部から外部へ漏洩しなくなる。
これにより、スタンディングパウチ５１ａの内圧が低下しないため、従来の検査装置では、欠陥部を検出できないという問題があった。
なお、この問題は、スタンディングパウチ５１ａだけでなく、平袋のパウチやガセットパウチ５１ｂにおいても同様に生じ得る。

【0009】

本発明は、上記事情に鑑み提案されたものであり、被検査物である袋状容器の折り込み部に存在する欠陥部や、当該袋状容器の正面側シート又は背面側シート、又は被検査物であるカップ状容器の底部に存在する欠陥部についても確実に検出可能とするとともに、バックリングと呼ばれる変形が袋状容器の折り込み部又はカップ状容器の底部に生じる事態を回避しつつ検査精度の向上を可能とする欠陥検査装置及び欠陥検査方法の提供を目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0010】

上記目的を達成するため、本発明の欠陥検査装置は、被検査物の内部に対して気体を供給する気体供給手段と、被検査物における欠陥部の有無を検出する手段とを備えた欠陥検査装置であって、被検査物の表面のうち他の部材と接触する部分、又は被検査物の表面同士が接触する部分を、接触表面部としたときに、接触表面部と被検査物の外側の空間とを連通又は接触させるための通気性確保手段を備え、通気性確保手段は、接触表面部に接触する表面に、算術平均粗さＲａ＝１．４μｍ〜１０μｍの粗面を有し、接触表面部は、被検査物の凹部であり、通気性確保手段は、凹部に接触する位置に、凹部に押し当てられて配置され、被検査物は、カップ状容器であり、凹部は、カップ状容器の内部に向かって凹んだ底部である構成としてある。

【0011】

また、本発明の欠陥検査方法は、被検査物の内部に対して気体を供給する陽圧工程と、被検査物における欠陥部の有無を検出する検出工程とを有した欠陥検査方法であって、被検査物の表面のうち他の部材と接触する部分、又は被検査物の表面同士が接触する部分を、接触表面部としたときに、接触表面部と被検査物の外側の空間とを連通又は接触させるための通気性確保手段を、接触表面部に接触させる接触工程を有し、通気性確保手段は、接触表面部に接触する表面に、算術平均粗さＲａ＝１．４μｍ〜１０μｍの粗面を有し、接触表面部は、被検査物の凹部であり、通気性確保手段は、凹部に接触する位置に、凹部に押し当てられて配置され、被検査物は、カップ状容器であり、凹部は、カップ状容器の内部に向かって凹んだ底部である方法としてある。

【発明の効果】

【0012】

本発明の欠陥検査装置及び欠陥検査方法によれば、被検査物である袋状容器の折り込み部や当該袋状容器の正面側又は背面側のシートにおける接触表面部、又は被検査物であるカップ状容器の底部に通気性確保手段を接触させる構成としたので、接触表面部に存在する欠陥部についても確実に検出できる。
また、接触表面部である袋状容器の折り込み部又はカップ状容器の底部に対して通気性確保手段を押し当てることにより、バックリングと呼ばれる変形が生じる事態を回避できる。
そして、このようにしてバックリングの発生が防止されることから、被検査物である袋状容器又はカップ状容器の内圧を欠陥検査に適した圧力にまで高めることができ、検査精度の向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】本発明の第一実施形態にかかる欠陥検査装置の構成を示す正面図である。

【図2】パウチの構成を示す外観斜視図である。

【図3】気体検出装置の構成を示す概略図である。

【図4】溝状の通気部を有する通気性確保部材の構成を示す図であって、（ｉ）は、平面図、（ii）は、左側面図、（iii）は、正面図である。

【図5】溝状の通気部を有する通気性確保部材の他の構成を示す図であって、（ｉ）は、平面図、（ii）は、左側面図、（iii）は、正面図である。

【図6】多孔質材料で形成された通気性確保部材の構成を示す図であって、（ｉ）は、平面図、（ii）は、左側面図、（iii）は、正面図である。

【図7】複数の棒状部を有する通気性確保部材の構成を示す図であって、（ｉ）は、平面図、（ii）は、左側面図、（iii）は、正面図である。

【図8】Ｖ字溝の通気部を有する表面用通気性確保手段の構成を示す斜視図である。

【図9】凵字溝の通気部を有する表面用通気性確保手段の構成を示す斜視図である。

【図10】複数の凸部を有する表面用通気性確保手段の構成を示す斜視図である。

【図11】多孔質材料で形成された表面用通気性確保手段の構成を示す斜視図である。

【図12】欠陥検査装置の構成を示す正面図であって、チャンバ蓋を上昇させるとともに、気体供給ノズルと通気性確保部材を後退させて、チャンバ本体に被検査物を収納した状態を示す図である。

【図13】欠陥検査装置の構成を示す正面図であって、チャンバ蓋を下降させた状態を示す図である。

【図14】図１に示した欠陥検査装置のチャンバをＳ方向から見たときの構成を示す外観図である。

【図15】欠陥検査装置の構成を示す正面図であって、被検査物の上縁部を真空吸着して、チャンバ蓋を上昇させた状態を示す図である。

【図16】欠陥検査装置の構成を示す正面図であって、気体供給ノズルを被検査物の上部開口に挿入させた状態を示す図である。

【図17】欠陥検査装置の構成を示す正面図であって、チャンバ蓋を下降させた状態を示す図である。

【図18】欠陥検査装置の構成を示す正面図であって、被検査物の内部に気体を封入した状態を示す図である。

【図19】欠陥検査装置の構成を示す正面図であって、被検査物の折り込み部に通気性確保部材を進入させた状態を示す図である。

【図20】図１に示した欠陥検査装置のチャンバをＴ方向から見たときの構成を示す外観図である。

【図21】欠陥検査装置の構成を示す正面図であって、被検査物の内部に気体を封入して欠陥部の有無を検査している状態を示す図である。

【図22】光学的検出手段の構成を示す概略図である。

【図23】実施例１の実験結果を示す図表である。

【図24】実施例２の実験結果を示す図表である。

【図25】本発明の第二実施形態にかかる欠陥検査装置の構成を示す正面図である。

【図26】本発明の第三実施形態にかかる欠陥検査装置の構成を示す正面図である。

【図27】スタンディングパウチとガセットパウチの構成を示す外観斜視図である。

【図28】規制部材の間に挿入されて気体を封入したパウチの状態を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

本発明の欠陥検査装置は、飲料などの内容物を充填可能な容器を被検査物とし、内容物の漏洩の原因となるピンホールやクラックなどの欠陥部（リーク）が被検査物に存在するか否かを検査する装置である。また、本発明の欠陥検査装置は、被検査物の表面のうち他の部材と接触する部分又は当該被検査物の表面同士が接触する部分を接触表面部としたときに、接触表面部と当該被検査物の外側の空間とを連通又は接触させるための通気性確保手段を備えたことを特徴としている。
以下、本発明の欠陥検査装置及び欠陥検査方法の具体的な実施形態について、図１〜図２４を参照して説明する。

【0015】

［欠陥検査装置及び欠陥検査方法の第一実施形態］
（Ｉ）欠陥検査装置
本実施形態の欠陥検査装置は、被検査物の内部の圧力を外部の圧力よりも高くしたときに、被検査物の内部から欠陥部を通って外部に漏れ出た気体を検知することで、欠陥部の有無を検出するものである。
図１に示すように、本実施形態の欠陥検査装置１０Ａは、チャンバ１１、気体供給手段１２、吸着手段１３、排気手段１４、気体検出手段２０、折込部用通気性確保手段３０、表面用通気性確保手段４０を備えている。

【0016】

ここで、チャンバ１１は、直方体状の箱体であって、内部には、被検査物５０を収納可能な大きさを有する中空の収納空間１１１が形成されている。
このチャンバ１１は、直方体状の下半部を形成するチャンバ本体１１２と上半部を形成するチャンバ蓋１１３を有し、これらチャンバ本体１１２とチャンバ蓋１１３は、分離可能となっている。
チャンバ本体１１２は、上面部に開口を有する浅底でトレイ状の部材であって、開口が上向きとなるように、所定の水平面（例えば、当該チャンバ１１を収納するための筐体の内部の底面など）に載置固定されている。
チャンバ蓋１１３は、下面部に開口を有する浅底でトレイ状の部材であって、開口が下を向いた状態で、開口をチャンバ本体１１２の上面部の開口に対向させながら、チャンバ蓋１１３をチャンバ本体１１２の上に載置することにより、これらチャンバ本体１１２とチャンバ蓋１１３との間に中空の収納空間１１１を形成するようになっている。

【0017】

チャンバ蓋１１３の上方には、チャンバ蓋１１３を上昇又は下降させるためのチャンバ開閉手段１１４が備えられている。
チャンバ開閉手段１１４は、例えば、エアシリンダなどで構成することができ、エアシリンダの軸の端部にチャンバ蓋１１３の上面部を接続し、この軸を昇降させることにより、チャンバ蓋１１３を上昇又は下降させる。

【0018】

チャンバ本体１１２は、矩形板状の底部１１５と、底部１１５の周縁から上方に向かって立設された側壁１１７とを有している。
また、チャンバ蓋１１３は、矩形板状の上板部１１６と、上板部１１６の周縁から下方に向かって立設された側壁１１８とを有している。
チャンバ本体１１２の側壁１１７の上面とチャンバ蓋１１３の側壁１１８の下面との一方又は双方には、チャンバ１１の内部を密封状態にするための気密性保持部材１１９が配置されている。気密性保持部材１１９には、例えば、パッキンなどを用いることができる。
このような気密性保持部材１１９が配置されていることにより、チャンバ本体１１２の上にチャンバ蓋１１３を載置した状態、例えば、図１に示す状態においては、チャンバ１１の内部の収納空間１１１を密封状態に保つことができる。

【0019】

チャンバ１１の収納空間１１１には、被検査物５０が収納される。
被検査物５０は、飲料、食料品、化粧品、化学製品などを内容物として充填可能な容器である。ただし、本実施形態においては、容器の代表例としてパウチ５１を被検査物５０とする。
パウチ５１は、ポリプロピレンやポリエステルなどの合成樹脂で形成されたフィルムとアルミ箔とを積層加工（ラミネート加工）し、この加工で得られたラミネートシート（シート５６）を袋状に形成した容器である。

【0020】

パウチ５１は、種々の形状のものが市販されている。
代表的なものとして、例えば、矩形状の二枚のシート５６を積層するように重ね合わせ、縁部を所定の幅で熱溶着したもの（平袋）がある。
また、二枚のシート５６を重ね合わせるとともに、これら二枚のシート５６の内部に向かって「く」の字状に折り曲げられた折り込み部５３ａが底部５２に設けられたスタンディングパウチ５１ａがある（図２７（ｉ）、図２参照）。折り込み部５３ａは、二枚のシート５６の端部同士をつなぐ襠（まち）として機能する凹部である。スタンディングパウチ５１ａは、折り込み部５３ａが設けられた底部５２を広げることにより、自立可能となる。
さらに、パウチ５１には、折り込み部５３ｂが側部５４に設けられたガセット（gusset）パウチ５１ｂがある（図２７（ii）参照）。ガセットパウチ５１ｂは、凹部である折り込み部５３ｂが設けられた側部５４を広げることにより、内容積を増やすことができる。
また、パウチ５１には、スパウト５７を設けたものがある（図２７（ii）参照）。スパウト５７は、硬質プラスチックなどで形成された円筒形状の成形品である。スパウト５７は、通常、パウチ５１の上縁部５８の中央部分に設けられており、内容物を充填するときの注入口や内容物を吸い込むときの吸入口として機能する。

【0021】

このように、パウチ５１は、形状で分類したときに、平袋、スタンディングパウチ５１ａ、ガセットパウチ５１ｂなどの種類があり、さらにスパウト５７を設けたものもある。本実施形態の欠陥検査装置１０Ａは、それらいずれのパウチ５１についても被検査物５０とすることができる。
ただし、欠陥検査装置１０Ａを用いて検査を行うとき、パウチ５１は、図２に示すように、上縁部５８にスパウト５７を設けず、かつ、上縁部５８に熱溶着を施さずに（あるいは、上縁部５８の右端部と左端部のみを熱溶着し）、上部開口５９を設けた状態にして、チャンバ１１の内部に収納（セット）される。

【0022】

気体供給手段１２は、被検査物５０の内部に検査用の気体を供給するための陽圧手段である。
気体供給手段１２は、気体供給源１２１と、供給管１２２と、気体供給ノズル１２３と、ノズル駆動手段１２４と、バルブ１２５と、付勢部材１２６とを備えている。
気体供給源１２１は、清浄な空気を所定の気圧まで圧縮して供給する。気体供給源１２１には、例えば、オイルレスコンプレッサーや送風機などを用いることができる。なお、清浄な空気とは、フィルターなどにより、ほこり等が除去された空気をいう。
供給管１２２は、気体供給源１２１から供給された気体をチャンバ１１の内部に収納された被検査物５０へ送るための配管である。

【0023】

気体供給ノズル１２３は、供給管１２２を通って送られてきた気体を被検査物５０の内部へ送り込むためのものである。
この気体供給ノズル１２３は、チャンバ１１の外部であって側壁１１７、１１８の近傍に設けられている。
また、気体供給ノズル１２３には、気体を通すための貫通孔が穿設されている。貫通孔の一方の端部開口は、供給管１２２に接続されており、他方の端部開口は、チャンバ１１に向かって開放している。
さらに、気体供給ノズル１２３には、チャンバ１１に対向する面に管状部１２７が突設されている。管状部１２７は、内部に貫通孔が穿設されており、被検査物５０の上部開口５９に差し込まれることで、供給管１２２から送られてきた気体を被検査物５０の内部へ供給する。

【0024】

ノズル駆動手段１２４は、気体供給ノズル１２３をチャンバ１１に向かう方向、あるいは、チャンバ１１から離間する方向へ移動させる。ノズル駆動手段１２４には、例えば、エアシリンダなどを用いることができる。
バルブ１２５は、供給管１２２の途中又は端部に設けられており、供給管１２２の内部を流れる気体の流れを制御する。
付勢部材１２６は、気体供給ノズル１２３を上方へ付勢する。付勢部材１２６には、例えば、コイルばねなどを用いることができる。

【0025】

吸着手段１３は、チャンバ１１の収納空間１１１に収納された被検査物５０の上部開口５９を開閉する。
この吸着手段１３は、貫通孔１３１、１３２と、真空ホース（図示せず）と、真空ポンプ（図示せず）を備えている。
貫通孔１３１は、チャンバ本体１１２の側壁１１７ａ（チャンバ本体１１２の底部１１５の上にパウチ５１を載置したときにパウチ５１の上縁部５８が載置される側壁１１７ａ）において、側壁１１７ａの上面から下面に向かって穿設された孔である。
貫通孔１３２は、チャンバ蓋１１３の側壁１１８ａ（チャンバ蓋１１３の側壁１１８のうち、チャンバ本体１１２の側壁１１７ａの上方に位置する側壁１１８ａ）において、側壁１１８ａの下面から上面に向かって穿設された孔である。
真空ポンプは、真空ホースにより、チャンバ本体１１２の貫通孔１３１の内部と、チャンバ蓋１１３の貫通孔１３２の内部とに接続され、それぞれの貫通孔１３１、１３２の内部を真空状態にする。

【0026】

このような構成を備えた吸着手段１３は、具体的には、次のような手順で使用される。
チャンバ１１の収納空間１１１には、被検査物５０が収納される。このとき、被検査物５０であるパウチ５１の上縁部５８は、チャンバ本体１１２の側壁１１７ａとチャンバ蓋１１３の側壁１１８ａとの間に挟み込まれた状態とする。つまり、チャンバ本体１１２の側壁１１７ａに形成された貫通孔１３１の上部開口と、チャンバ蓋１１３の側壁１１８ａに形成された貫通孔１３２の下部開口との間に、パウチ５１の上縁部５８が位置するようにする。
そして、真空ポンプを駆動させて貫通孔１３１、１３２の内部を真空状態にすると、パウチ５１を構成する二枚のシート５６のうち、下側に位置するシート５６ａの上縁部５８がチャンバ本体１１２の貫通孔１３１の上部開口に真空吸着され、上側に位置するシート５６ｂの上縁部５８がチャンバ蓋１１３の貫通孔１３２の下部開口に真空吸着される。

【0027】

次いで、チャンバ開閉手段１１４を駆動させてチャンバ蓋１１３を上方へ移動させると、パウチ５１の上側シート５６ｂの上縁部５８がチャンバ蓋１１３の貫通孔１３２に真空吸着した状態で持ち上がる。一方、パウチ５１の下側シート５６ａの上縁部５８は、チャンバ本体１１２の貫通孔１３１に真空吸着した状態で固定される。これにより、パウチ５１は、上部開口５９が開いた状態となる。

【0028】

続いて、パウチ５１の上部開口５９に対して気体供給ノズル１２３の管状部１２７を挿入する。そして、チャンバ開閉手段１１４を駆動させてチャンバ蓋１１３を下降させる。これにより、パウチ５１の上側シート５６ｂの上縁部５８がチャンバ蓋１１３の貫通孔１３２に真空吸着された状態で下降し、パウチ５１の上部開口５９が、気体供給ノズル１２３の管状部１２７を挟み込んだ状態で閉口する。

【0029】

排気手段１４は、チャンバ１１の収納空間１１１にある気体を外部へ逃がすためのものである。
例えば、チャンバ１１の収納空間１１１に収納された被検査物５０が陽圧となって膨張したときに、排気手段１４は、チャンバ１１の収納空間１１１にある気体を外部へ逃がす。

【0030】

気体検出手段２０は、被検査物５０の内部に封入された気体が欠陥部を通って外部に漏洩したことを検出する手段である。
気体検出手段２０には、種々の装置を用いることができるが、一例として、漏洩した気体の量を測定する気体検出装置２１を用いることができる。
気体検出装置２１は、図３に示すように、チャンバ１１の収納空間１１１に連通している検出気体収納部２１１と、検出気体収納部２１１に連通している気体検出部２１２とを備えている。

【0031】

気体検出装置２１は、次のように動作する。被検査物５０の内部に封入されている気体が被検査物５０の欠陥部から外部へ漏洩すると、チャンバ１１の収納空間１１１の内部の気体が、検出気体収納部２１１へ移動する。このとき、被検査物５０の欠陥部から漏洩した気体の量と、チャンバ１１の収納空間１１１から検出気体収納部２１１へ移動する気体の量は同じである。
次いで、チャンバ１１の収納空間１１１から移動してきた気体が検出気体収納部２１１に収納されると、検出気体収納部２１１の内部の気体が、気体検出部２１２へ移動する。このとき、チャンバ１１の収納空間１１１から検出気体収納部２１１へ移動してきた気体の量と、検出気体収納部２１１から気体検出部２１２へ移動する気体の量は同じである。
そして、気体検出部２１２において、気体が移動してきたことを検知する。検知には、例えば、圧力計や流量計などを用いることができる。これにより、被検査物５０に欠陥部があることを検出できる。
なお、気体検出部２１２には、検出気体収納部２１１から移動してきた気体を検知すると電気信号を出力する信号出力手段（図示せず）と、出力された電気信号を入力して、被検査物５０における欠陥部の有無を判定するコンピュータなどからなる判定手段（図示せず）とを備えることができる。

【0032】

また、気体検出装置２１においては、被検査物５０の欠陥部から気体が漏洩すると、漏洩した気体の量に応じて、かつ、気体が漏洩した直後に、チャンバ１１の収納空間１１１の中の気体が検出気体収納部２１１へ移動する。実際には、チャンバ１１の収納空間１１１の中の気体が、チャンバ１１と検出気体収納部２１１とを接続するチューブ２１３の内部に進入し、チューブ２１３の内部の気体が、検出気体収納部２１１の内部に流入する。
さらに、チューブ２１３の内部の気体が検出気体収納部２１１の内部に流入すると、検出気体収納部２１１の内部の気体が、検出気体収納部２１１と気体検出部２１２とを接続するチューブ２１４の内部に進入し、チューブ２１４の内部の気体が、気体検出部２１２の内部に流入する。
これら気体の移動は、瞬時に行われるので、短時間で検査結果を得ることができる。

【0033】

折込部用通気性確保手段３０は、チャンバ１１の収納空間１１１に収納された被検査物５０の折り込み部５３ａ、５３ｂの表面を、被検査物５０の外側にある空間（チャンバ１１の収納空間１１１）に連通又は接触させるための通気性確保手段である。
折込部用通気性確保手段３０は、通気性確保部材３１と、部材駆動手段３２とを備えている。

【0034】

通気性確保部材３１は、被検査物５０の折り込み部５３ａ、５３ｂに対して外側から押し当てられる部材であって、次の三つの機能を有している。
第一の機能は、折り込み部５３ａ、５３ｂを広げる機能である。
第二の機能は、折り込み部５３ａ、５３ｂの表面とチャンバ１１の内部の収納空間１１１とを連通又は接触させる機能である。
第三の機能は、折り込み部５３ａ、５３ｂが外側へ膨出してバックリングと呼ばれる変形が生じる事態を防止する機能である。

【0035】

第一の機能は、チャンバ１１の収納空間１１１に収納された被検査物５０が気体の封入によって膨張し、折り込み部５３ａ、５３ｂが折り目５５の周囲で重なり合って密着した状態（すなわち、被検査物５０の表面のうち折り込み部５３ａ、５３ｂの表面同士が接触した状態）となっている場合において（図２８（ｉ）参照）、重なり合った部分を接触表面部としたときに、接触表面部である重なり部分の間隙に通気性確保部材３１を挿入することで、折り込み部５３ａ、５３ｂを押し広げる機能である。

【0036】

この機能により、折り込み部５３ａ、５３ｂに存在する欠陥部を検出できるようにする。
例えば、通気性確保部材３１を押し当てておらず、折り込み部５３ａ、５３ｂの折り目５５の周囲が重なり合って密着している状態では、重なり合っている部分である接触表面部がチャンバ１１の収納空間１１１に露出していないため、接触表面部に欠陥部があったとしても、被検査物５０の内部に封入された気体が欠陥部を通って外部の収納空間１１１に漏洩しないので、気体検出手段２０が漏洩を検知できず、欠陥部を検出することができない。
これに対し、通気性確保部材３１を押し当てて折り込み部５３ａ、５３ｂを広げた状態では、被検査物５０の内部に封入された気体が、折り込み部５３ａ、５３ｂに存在する欠陥部を通って外部の収納空間１１１に漏洩可能となる。これにより、気体検出手段２０は、漏洩を検知することで、欠陥部を検出できる。

【0037】

ただし、通気性確保部材３１の表面が凹凸のほとんど無い平坦な面であった場合、通気性確保部材３１を折り込み部５３ａ、５３ｂに押し当てると、折り込み部５３ａ、５３ｂに存在する欠陥部に対しても通気性確保部材３１が押し当てられるので、欠陥部が外側から閉塞される。特に、被検査物５０の内部には加圧気体が封入されており、内圧が高い陽圧状態となっていることから、内圧によって被検査物５０の折り込み部５３ａ、５３ｂが通気性確保部材３１の表面に向かって押圧されることで、通気性確保部材３１による欠陥部の閉塞状態が保持される。
そうすると、通気性確保部材３１が折り込み部５３ａ、５３ｂを押し広げたとしても、折り込み部５３ａ、５３ｂに存在する欠陥部を通って加圧気体が外部の収納空間１１１に漏洩しなくなるので、気体検出手段２０が欠陥部を検出できなくなる。

【0038】

そこで、通気性確保部材３１には、上述した第二の機能を備えることとした。すなわち、折り込み部５３ａ、５３ｂの表面とチャンバ１１の収納空間１１１とを連通又は接触させる機能を、通気性確保部材３１に備えることとした。
この機能を実現するための具体的な構成として、通気性確保部材３１は、通気部３３を有している。
通気部３３は、通気性確保部材３１が折り込み部５３ａ、５３ｂを押し広げている状態において、折り込み部５３ａ、５３ｂの表面とチャンバ１１の収納空間１１１とを通気可能に連通させ、あるいは、それらを直接接触させるものである。

【0039】

通気部３３の具体例としては、例えば、図４、図５に示すように、板状の通気性確保部材３１の表面に形成された複数の溝部３３１がある。
溝部３３１は、通気性確保部材３１の表面を平面視したときに線状又は曲線状に形成された凹状部分である。
溝部３３１は、通気性確保部材３１の表面において複数形成されている。これら複数の溝部３３１は、平行に配置されていてもよく、あるいは、平行でなくてもよい。平行でない場合、複数の溝部３３１同士は、交差していてもよく、あるいは、交差していなくてもよい。交差している場合、交差する箇所は、複数箇所であってもよく、あるいは、一箇所であってもよい。一箇所の場合、複数の溝部３３１は、一点から放射状に延びた形状としてもよい。

【0040】

また、複数の溝部３３１が線状で平行に配置されている場合、これら溝部３３１の長手方向は、図４に示すように、通気性確保部材３１の幅方向であってもよく、あるいは、図５に示すように、通気性確保部材３１の長手方向（部材駆動手段３２によって通気性確保部材３１が移動する方向と同じ方向）であってもよい。さらに、溝部３３１の長手方向は、通気性確保部材３１の上面端辺に対して斜め方向であってもよい。
さらに、溝部３３１の断面形状は、例えば、図４、図５に示すように、Ｖ字状とすることができる。ただし、溝部３３１の断面形状は、Ｖ字状に限るものではなく、例えば、Ｕ字状や凵の字状などであってもよい。

【0041】

通気部３３の他の具体例としては、例えば、図６に示すように、多孔質の材料で形成された通気性確保部材３１の細孔３３２が挙げられる。
また、通気部３３のさらに他の具体例としては、例えば、図７に示すように、板状の基部３３３の側面に突設された複数の棒状部３３４の各間に位置する棒状部間空間部３３５が挙げられる。
さらに、通気部３３の他の具体例としては、例えば、サンドブラストによって通気性確保部材３１の表面を加工したときの表面の凹凸形状のうちの凹部が挙げられる。
また、通気部３３の他の具体例としては、例えば、通気性確保部材３１の表面に梨地加工を施したときの梨地である凹凸形状の凹部が挙げられる。

【0042】

これらの形状のうちのいずれかの形状を有する通気部３３を備えた通気性確保部材３１は、被検査物５０の折り込み部５３ａ、５３ｂを押し広げるとともに、折り込み部５３ａ、５３ｂに存在する欠陥部を通って漏洩してきた気体を、通気部３３を通って、チャンバ１１の収納空間１１１へ排出することができる。
具体的に、通気部３３は、次のように機能する。
通気性確保部材３１は、被検査物５０の折り込み部５３ａ、５３ｂを押し広げるときに、折り込み部５３ａ、５３ｂの外側面に接触する。ただし、通気性確保部材３１は、通気部３３を備えているために、通気性確保部材３１の表面の全体が折り込み部５３ａ、５３ｂの外側面に接触するのではなく、通気部３３が形成されていない部分のみが接触し、通気部３３が形成されている部分は接触しないようになる。
また、図４〜図７に示すように、通気性確保部材３１の表面においては、通気部３３が密に、あるいは、広い範囲で形成されている。このため、通気性確保部材３１の表面のうち、通気部３３が形成されていないごく一部のみが、折り込み部５３ａ、５３ｂの外側面に接触するようになる。
そうすると、折り込み部５３ａ、５３ｂの外側面においては、通気性確保部材３１に接触している面積が小さくなる。よって、折り込み部５３ａ、５３ｂに存在する欠陥部が通気性確保部材３１によって閉塞される可能性が非常に小さくなる。
これにより、被検査物５０の内部に封入された加圧気体が欠陥部を通って外部に漏洩可能となり、漏洩した気体がチャンバ１１の収納空間１１１に移動可能となる。よって、気体検出手段２０は、漏洩を検知でき、欠陥部を検出できる。

【0043】

なお、図７に示す棒状部３３４は、断面が六角形に形成されているが、六角形に限るものではなく、四角形や円形など、任意の形状に形成することができる。
また、図７においては、棒状部３３４の数を五本としているが、五本に限るものではなく、任意の数だけ設けることができる。
さらに、棒状部３３４は、周面の全体が被検査物５０の折り込み部５３ａ、５３ｂに接触するのではなく、六角形状の斜面部など、折り込み部５３ａ、５３ｂに接触しない箇所がある。この箇所は、折り込み部５３ａ、５３ｂに接触しないので、通気部３３として機能する。
加えて、棒状部３３４の周面において周方向に溝部を設け、当該溝部を通気部３３とすることもできる。

【0044】

また、通気部３３は、折り込み部５３ａ、５３ｂの表面とチャンバ１１の収納空間１１１とを連通又は接触させるものであるが、連通と接触は、次の点で相違する。
例えば、通気性確保部材３１の介在によって折り込み部５３ａ、５３ｂの表面とチャンバ１１の収納空間１１１とが離間しており、通気部３３がそれら折り込み部５３ａ、５３ｂの表面と収納空間１１１とを通気可能につなげているとき、通気部３３は、それらを連通させている。一方、通気部３３の一例として図７に示した棒状部間空間部３３５のように、チャンバ１１の収納空間１１１との境界が必ずしも明確でなく、収納空間１１１の一部と捉えることが可能な通気部３３については、当該通気部３３が折り込み部５３ａ、５３ｂの表面に接触することにより、折り込み部５３ａ、５３ｂの表面と収納空間１１１とを直接接触させている。
つまり、通気部３３が収納空間１１１の一部と捉えられない場合には、連通という表現を用い、一方、通気部３３が収納空間１１１の一部と捉えられる場合には、接触という表現を用いる。ただし、いずれの場合においても、通気部３３は、折り込み部５３ａ、５３ｂの表面とチャンバ１１の収納空間１１１とを通気可能につなげる役割を果たすものである。

【0045】

さらに、通気性確保部材３１は、第三の機能を備えている。第三の機能とは、パウチ５１の折り込み部５３ａ、５３ｂが外側へ膨出してバックリングと呼ばれる変形が生じる事態を防止する機能をいう。
チャンバ１１の収納空間１１１に収納されたパウチ５１の内部に気体が封入されて陽圧になると、折り込み部５３ａ、５３ｂが外側へ膨出してバックリングと呼ばれる変形が生じることがある。
そこで、折り込み部５３ａ、５３ｂに対して外側から通気性確保部材３１を押し当てることにより、折り込み部５３ａ、５３ｂの膨出を抑制し、バックリングの発生を防止するものである。
そして、このようにバックリングの発生を防止できることから、パウチ５１の内部の気圧を所望の気圧にまで高めることができ、欠陥部から外部へ漏洩する気体の量を十分確保できる。これにより、気体検出手段２０は、欠陥部での漏洩を確実に検知できる。よって、欠陥検査の精度を高めることができる。

【0046】

なお、図１においては、通気性確保部材３１が、被検査物５０の底部５２に設けられた折り込み部５３ａに対向する位置に配置されている。ただし、折り込み部５３ｂが側部５４に設けられたガセットパウチ５１ｂを被検査物５０とする場合には、折り込み部５３ｂに対向する位置に、通気性確保部材３１を配置させる。

【0047】

部材駆動手段３２は、通気性確保部材３１をチャンバ１１に向かう方向、あるいは、チャンバ１１から離間する方向へ移動させる。
部材駆動手段３２には、例えば、エアシリンダなどを用いることができる。

【0048】

表面用通気性確保手段４０は、チャンバ１１の内部に収納された被検査物５０の表面を、被検査物５０の外側にあるチャンバ１１の収納空間１１１に連通又は接触させるための通気性確保手段である。
表面用通気性確保手段４０は、チャンバ１１の内側面のうち被検査物５０の下側シート５６ａの表面又は上側シート５６ｂの表面が接触する部分に設けられている。具体的には、例えば、被検査物５０が載置されるチャンバ本体１１２の底部１１５の上面に、表面用通気性確保手段４０が設けられている。また、気体の封入によって膨張した被検査物５０の表面が接触する部分、例えば、チャンバ蓋１１３の上板部１１６の下面に、表面用通気性確保手段４０が設けられている。
なお、図１に示す表面用通気性確保手段４０は、チャンバ１１とは別体で、板状又はシート状に形成された部材である。この表面用通気性確保手段４０は、チャンバ本体１１２の底部１１５の上面とチャンバ蓋１１３の上板部１１６の下面のそれぞれに配置されている。ただし、チャンバ本体１１２の底部１１５の上面に設けられる表面用通気性確保手段４０は、チャンバ本体１１２の一部として、底部１１５の上面に直接形成されていてもよい。また、チャンバ蓋１１３の上板部１１６の下面に設けられる表面用通気性確保手段４０は、チャンバ蓋１１３の一部として、上板部１１６の下面に直接形成されていてもよい。

【0049】

これら表面用通気性確保手段４０は、少なくとも被検査物５０が接触する面である被検査物接触面４１に、通気部４２が形成されている。
通気部４２は、表面用通気性確保手段４０の被検査物接触面４１に被検査物５０の表面が接触している状態において、被検査物５０の表面のうち被検査物接触面４１に接触している部分を接触表面部としたときに、接触表面部とチャンバ１１の収納空間１１１とを連通又は接触させるためのものである。

【0050】

通気部４２の具体例としては、例えば、図８に示すように、板状又はシート状の表面用通気性確保手段４０の被検査物接触面４１に形成された複数の溝部４３が挙げられる。
溝部４３は、被検査物接触面４１を平面視したときに、直線状又は曲線状に形成された凹状部分である。
溝部４３は、被検査物接触面４１において複数形成されている。これら複数の溝部４３は、平行に配置されていてもよく、あるいは、平行でなくてもよい。平行でない場合、複数の溝部４３同士は、交差していてもよく、あるいは、交差していなくてもよい。交差している場合、交差する箇所は、複数箇所であってもよく、あるいは、一箇所であってもよい。一箇所の場合、複数の溝部４３は、一点から放射状に延びた形状としてもよい。
また、線状又は曲線状の溝部４３の長さは、長い方がよく、特に、線状等の一方の端部が表面用通気性確保手段４０の一の端辺に達し、線状等の他方の端部が当該表面用通気性確保手段４０における他の端辺に達していることが望ましい。このような長さとすることにより、膨張した被検査物５０の表面によって溝部４３のすべてが覆い隠されることがなくなるので、被検査物５０の表面とチャンバ１１の収納空間１１１とを連通させることができ、被検査物５０の欠陥部から漏洩した気体を気体検出手段２０にて検出させることができる。

【0051】

さらに、図８に示す溝部４３は、断面形状がＶ字状となっているが、Ｖ字状に限るものではなく、例えば、凵の字状であってもよく（図９参照）、あるいは、Ｕ字状などであってもよい。
また、複数の溝部４３の各間には突状部分４４が形成されるが（図８、図９参照）、突状部分４４の断面形状は、図８に示すように三角形状であってもよく、あるいは、図９に示すように矩形状であってもよい。また、突状部分４４の断面形状は、例えば、台形状、多角形状、半円形状、アーチ型などであってもよい。ただし、表面用通気性確保手段４０の被検査物接触面４１と被検査物５０の表面との接触面積をできる限り小さくすることが好ましいことから、突状部分４４の突状先端部の形状は、∧の字状あるいは半円形状であることが望ましい。

【0052】

また、通気部４２の他の具体例としては、例えば、図１０に示すように、表面用通気性確保手段４０の被検査物接触面４１に、放物線状に突出した凸部４５を複数形成し、これら複数の凸部４５の各間に位置する凹状部４６を通気部４２とすることができる。
さらに、通気部４２の他の具体例としては、例えば、図１１に示すように、多孔質の材料で形成された表面用通気性確保手段４０の細孔４７が挙げられる。
また、通気部４２の他の具体例としては、例えば、サンドブラストによって表面用通気性確保手段４０の表面を加工したときの表面の凹凸形状のうちの凹部が挙げられる。
さらに、通気部４２の他の具体例としては、例えば、表面用通気性確保手段４０の表面に梨地加工を施したときの梨地である凹凸形状の凹部が挙げられる。
なお、通気部４２が溝部４３や凹状部４６などである場合、これら通気部４２の幅や深さは、通気部４２に接触した被検査物５０の表面が当該通気部４２に進入する程度に応じて決めるのが望ましい。すなわち、チャンバ１１の内部に収納された被検査物５０に気体が封入されて膨張し、被検査物５０の表面が表面用通気性確保手段４０の被検査物接触面４１に接触して通気部４２の内部へ進入しようとしたときに、通気部４２の内側面と被検査物５０の表面との間に空間が確保されるような程度で、一つの通気部４２の幅や深さを決めるのが望ましい。

【0053】

これらの形状のうちのいずれかの形状を有する通気部４２を備えた表面用通気性確保手段４０は、被検査物５０の表面に存在する欠陥部を通って外部に漏洩してきた気体を、通気部４２を通して、チャンバ１１の収納空間１１１へ排出することができる。
具体的に、通気部４２は、次のように機能する。
チャンバ１１の収納空間１１１に収納された被検査物５０は、下側シート５６ａの表面が、チャンバ本体１１２の底部１１５の上面に配置された表面用通気性確保手段４０の被検査物接触面４１に接触する。また、被検査物５０の内部に気体が封入されると、被検査物５０が膨張し、表面がチャンバ蓋１１３の上板部１１６の下面に配置された表面用通気性確保手段４０の被検査物接触面４１に接触する。ここで、これら表面用通気性確保手段４０の被検査物接触面４１には通気部４２が形成されているため、被検査物５０の表面の全体に被検査物接触面４１が接触するのではなく、通気部４２が形成されている部分では、被検査物５０の表面に接触しないようになる。
しかも、図８〜図１１に示すように、被検査物接触面４１においては、複数の通気部４２が密に、かつ、広い範囲で形成されている。これにより、被検査物接触面４１のうち、通気部４２が形成されていないごく一部のみが、被検査物５０の表面に接触するようになる。
そうすると、被検査物５０の表面においては、被検査物接触面４１に接触している面積が小さくなることから、被検査物５０の表面に存在する欠陥部が表面用通気性確保手段４０によって閉塞される可能性が非常に小さくなる。
このため、欠陥部を通って加圧気体が外部に漏洩可能となり、気体がチャンバ１１の収納空間１１１に移動可能となることから、気体検出手段２０は、欠陥部での漏洩を検知でき、欠陥部を検出できる。

【0054】

（II）欠陥検査方法
次に、本実施形態の欠陥検査方法について、図１２〜図２１を参照して説明する。
本実施形態の欠陥検査方法は、上記の構成を備えた欠陥検査装置１０Ａを用いて、被検査物５０における欠陥部の有無を検査する方法である。
なお、図１２〜図２１においては、説明の便宜上、気体供給手段１２と気体検出手段２０の図示を省略してある。
また、この欠陥検査方法においては、スタンディングパウチ５１ａを被検査物５０とした場合について説明する。

【0055】

まず、チャンバ１１の収納空間１１１に被検査物５０であるスタンディングパウチ５１ａが収納されていない状態の欠陥検査装置１０Ａを用意する。
このとき、チャンバ本体１１２の上には、チャンバ蓋１１３が載置されているものとする。

【0056】

次に、チャンバ開閉手段１１４を駆動させてチャンバ蓋１１３を上方へ移動させる。これにより、チャンバ蓋１１３がチャンバ本体１１２から離間して上方へ持ち上がり、チャンバ１１の収納空間１１１が当該チャンバ１１の外部と連通し、チャンバ本体１１２の内部がオープンな状態となる。
また、チャンバ蓋１１３が上方へ持ち上がることにより、気体供給手段１２の気体供給ノズル１２３がチャンバ蓋１１３から受けていた下方向への押圧が解除される。このため、気体供給ノズル１２３は、付勢部材１２６による付勢により、所定の高さだけ上方へ持ち上がる。

【0057】

次いで、ノズル駆動手段１２４を駆動させることにより、気体供給ノズル１２３をチャンバ１１から離間する方向（水平方向）へ移動させる。
続いて、部材駆動手段３２を駆動させることにより、折込部用通気性確保手段３０の通気性確保部材３１をチャンバ１１から離間する方向（水平方向）へ移動させる。
これらの工程を経ることにより、チャンバ本体１１２の上方には、気体供給ノズル１２３と通気性確保部材３１が位置しておらず、かつ、チャンバ蓋１１３がチャンバ本体１１２から距離を置いて上方に位置するようになる。これにより、チャンバ本体１１２の底部１１５の上方が開放した状態となる（図１２参照）。

【0058】

チャンバ本体１１２の底部１１５の上面上には、表面用通気性確保手段４０が付設されている。表面用通気性確保手段４０の上面である被検査物接触面４１の上に、被検査物５０が載置される。
このとき、被検査物５０であるスタンディングパウチ５１ａ（以下、単にパウチ５１という）を水平状態に保ち、パウチ５１を構成する二枚のシート５６のうち下側に位置するシート５６を下側シート５６ａとしたときに、下側シート５６ａの表面が表面用通気性確保手段４０の被検査物接触面４１に対向した状態で、当該パウチ５１が被検査物接触面４１の上に載置される。
また、パウチ５１の上縁部５８は、チャンバ本体１１２の側壁１１７ａ（側壁１１７のうち、気体供給ノズル１２３に近い方の側壁１１７ａ）の上面上に載置される。このとき、チャンバ本体１１２の側壁１１７ａに穿設されている貫通孔１３１の上部開口が、パウチ５１の上縁部５８によって閉塞されるようにする。

【0059】

次いで、チャンバ開閉手段１１４を駆動させてチャンバ蓋１１３を下方へ移動させる（図１３参照）。これにより、チャンバ本体１１２の上にチャンバ蓋１１３が載置される。
続いて、吸着手段１３の真空ポンプ（図示せず）を駆動させる。これにより、チャンバ本体１１２の貫通孔１３１の内部が真空状態となり、パウチ５１の下側シート５６ａの上縁部５８が真空吸着される。また、チャンバ蓋１１３の貫通孔１３２の内部が真空状態となり、パウチ５１の上側シート５６ｂの上縁部５８が真空吸着される。
ここで、チャンバ本体１１２の側壁１１７ａの上面には、パウチ５１の下側シート５６ａの上縁部５８と気体供給ノズル１２３の管状部１２７の下半部が収まる形状の凹部１６ａが形成されている（図１４参照）。また、チャンバ蓋１１３の側壁１１８ａの下面には、パウチ５１の上側シート５６ｂの上縁部５８と気体供給ノズル１２３の管状部１２７の上半部が収まる形状の凹部１６ｂが形成されている。
そして、チャンバ本体１１２の凹部１６ａにおいてパウチ５１の下側シート５６ａの上縁部５８が収まる部分のうち、気体供給ノズル１２３の管状部１２７の下半部が収まる部分の近傍（図１４においては、気体供給ノズル１２３の管状部１２７の下半部が収まる部分の右側方及び左側方）には、貫通孔１３１の上面開口が形成されている。また、チャンバ蓋１１３の凹部１６ｂにおいてパウチ５１の上側シート５６ｂの上縁部５８が収まる部分のうち、気体供給ノズル１２３の管状部１２７の上半部が収まる部分の近傍（図１４においては、気体供給ノズル１２３の管状部１２７の上半部が収まる部分の右側方及び左側方）には、貫通孔１３２の下面開口が形成されている。さらに、チャンバ本体１１２の凹部１６ａのうち気体供給ノズル１２３の管状部１２７の下半部が収まる部分と、チャンバ蓋１１３の凹部１６ｂのうち気体供給ノズル１２３の管状部１２７の上半部が収まる部分とで形成される、ほぼ円形状の開口を第一開口１６ｃとする。

【0060】

そして、チャンバ開閉手段１１４を駆動させてチャンバ蓋１１３を上昇させる（図１５参照）。これにより、チャンバ蓋１１３がチャンバ本体１１２から離間して上方へ持ち上がる。
このとき、パウチ５１の下側シート５６ａの上縁部５８は、チャンバ本体１１２の貫通孔１３１に真空吸着されているので、上方へは移動せず、チャンバ本体１１２の側壁１１７ａの上面上に固定される。
一方、パウチ５１の上側シート５６ｂの上縁部５８は、チャンバ蓋１１３の貫通孔１３２に真空吸着されているので、チャンバ蓋１１３の上昇に伴って、上方へ移動する。
これにより、パウチ５１の下側シート５６ａの上縁部５８と上側シート５６ｂの上縁部５８が離間して、パウチ５１の上部開口５９が大きく開いた状態となる。

【0061】

次いで、ノズル駆動手段１２４を駆動させることにより、気体供給ノズル１２３をチャンバ１１に近づける方向（水平方向）へ移動させる（図１６参照）。これにより、気体供給ノズル１２３に形成された管状部１２７がパウチ５１の上部開口５９の内部に挿入される。

【0062】

続いて、チャンバ開閉手段１１４を駆動させてチャンバ蓋１１３を下降させる（図１７参照）。
このとき、チャンバ蓋１１３の下降に伴って当該チャンバ蓋１１３の側壁１１８ａも下降するが、側壁１１８ａの下方には気体供給ノズル１２３の管状部１２７が位置していることから、側壁１１８ａは、気体供給ノズル１２３の管状部１２７を押し下げながら下降する。これにより、気体供給ノズル１２３の全体が、付勢部材１２６による上方向への付勢の方向とは反対の方向である下方へ押し下げられる。

【0063】

下降したチャンバ蓋１１３は、チャンバ本体１１２の上に載置される。
そして、気体供給ノズル１２３の管状部１２７は、パウチ５１の上部開口５９の内部に挿入された状態で、パウチ５１の下側シート５６ａの上縁部５８と上側シート５６ｂの上縁部５８との間に挟み込まれる。また、パウチ５１の下側シート５６ａの上縁部５８と上側シート５６ｂの上縁部５８は、チャンバ本体１１２の側壁１１７ａの上面とチャンバ蓋１１３の側壁１１８ａの下面との間に挟まれた状態となる。

【0064】

さらに、気体供給ノズル１２３の管状部１２７が挿入されたパウチ５１の上部開口５９が閉塞することで、当該パウチ５１が密封状態となる。
ただし、ここでは、チャンバ本体１１２に対してチャンバ蓋１１３を完全に閉鎖せず、パウチ５１を密封状態で保持できる程度に閉鎖する。これは、パウチ５１の内部に気体を供給可能とするとともに、その後に折込部用通気性確保手段３０の通気性確保部材３１をチャンバ１１の収納空間１１１に進入させるためである。
このようなチャンバ蓋１１３の閉鎖を実現するため、チャンバ本体１１２の側壁１１７の上面に設けられた気密性保持部材１１９（パッキン）とチャンバ蓋１１３の側壁１１８の下面に設けられた気密性保持部材１１９（パッキン）の潰ししろを厚くしておくとよい。

【0065】

次いで、気体供給手段１２のバルブ１２５（図１参照）を開にするなどして、気体供給源１２１から排出された加圧気体を、気体供給ノズル１２３の管状部１２７を通して、パウチ５１の内部に供給する（図１８参照）。
これにより、パウチ５１は、陽圧となって膨張する。
また、パウチ５１は、膨張に伴って、折り込み部５３ａの端部（折り込み部５３ａと下側シート５６ａとの繋がり部分と、折り込み部５３ａと上側シート５６ｂとの繋がり部分）が上下方向に広がって、開いた状態となる。そして、これら折り込み部５３ａと下側シート５６ａとの繋がり部分と、折り込み部５３ａと上側シート５６ｂとの繋がり部分との距離を、通気性確保部材３１の厚み（上下方向の高さ）よりも高くしておく。

【0066】

続いて、部材駆動手段３２を駆動させることにより、折込部用通気性確保手段３０の通気性確保部材３１をチャンバ１１に近づける方向（水平方向）へ移動させる（図１９参照）。そして、チャンバ１１の側壁１１７、１１８の間に形成された、通気性確保部材３１を通すための第二開口１６ｄ（図１８、図２０参照）に通気性確保部材３１を通して、収納空間１１１へ進入させる。さらに、通気性確保部材３１を、重なり合った折り込み部５３ａの合間に進入させ、折り込み部５３ａの外側面に接触させた状態で配置する接触工程を行う。
これにより、折り込み部５３ａは、重なり合って密着していた外側面同士が離間して押し広げられた状態となる。

【0067】

そして、チャンバ開閉手段１１４を駆動させてチャンバ蓋１１３を下方向へ押圧し、チャンバ本体１１２に対してチャンバ蓋１１３を完全に閉鎖させる。このとき、チャンバ本体１１２の気密性保持部材１１９とチャンバ蓋１１３の気密性保持部材１１９とを潰して、チャンバ１１を密封状態にする。

【0068】

さらに、気体供給源１２１（図１参照）から排出された加圧気体を、気体供給ノズル１２３の管状部１２７を通して、パウチ５１の内部にさらに供給する陽圧工程を行う（図２１参照）。
これにより、パウチ５１に欠陥部があるときは、パウチ５１の内部に供給された気体が欠陥部を通ってチャンバ１１の収納空間１１１へ漏洩する。
また、パウチ５１の折り込み部５３ａに欠陥部があるときは、パウチ５１の内部に供給された気体が、欠陥部を通り、折込部用通気性確保手段３０の通気性確保部材３１の通気部３３を通って、チャンバ１１の収納空間１１１へ漏洩する。

【0069】

さらに、内部が陽圧となったパウチ５１においては、下側シート５６ａの表面がチャンバ本体１１２に設けられた表面用通気性確保手段４０の上面に接しており、また、上側シート５６ｂの表面がチャンバ蓋１１３に設けられた表面用通気性確保手段４０の下面に接する。
これにより、パウチ５１の下側シート５６ａ及び上側シート５６ｂにおいて表面用通気性確保手段４０に接触している部分を接触表面部とした場合において、接触表面部に欠陥部があるときは、パウチ５１の内部に供給された気体が、欠陥部を通り、表面用通気性確保手段４０の通気部４２を通って、チャンバ１１の収納空間１１１へ漏洩する。
そして、気体検出手段２０は、漏洩を検知し、パウチ５１に欠陥部があることを検出する検出工程を行う。

【0070】

このように、本実施形態の欠陥検査方法を実施することにより、被検査物５０における欠陥部の有無を検査することができる。
また、チャンバ１１の収納空間１１１に収納された被検査物５０であるパウチ５１の内部に気体を封入したときに、パウチ５１の折り込み部５３ａが折り目５５の周囲で重なり合って密着することがあるが、折り込み部５３ａの密着部分である接触表面部の外側から折込部用通気性確保手段３０の通気性確保部材３１を押し当てることにより、折り込み部５３ａを押し広げることができる。
そして、折り込み部５３ａに欠陥部がある場合でも、通気性確保部材３１に通気部３３が形成されているため、欠陥部から外部へ漏洩してきた気体が通気部３３を通ってチャンバ１１の収納空間１１１に排出されることから、欠陥部での漏洩を気体検出手段２０によって検知できる。

【0071】

さらに、パウチ５１の下側シート５６ａ又は上側シート５６ｂにおいて表面用通気性確保手段４０と接触する接触表面部に欠陥部がある場合でも、表面用通気性確保手段４０に通気部４２が形成されているため、欠陥部から外部へ漏洩してきた気体が通気部４２を通ってチャンバ１１の収納空間１１１に排出されることから、欠陥部での漏洩を気体検出手段２０によって検知できる。

【0072】

しかも、パウチ５１の折り込み部５３ａに対しては、外側から通気性確保部材３１が押し当てられるため、パウチ５１が陽圧になっても、折り込み部５３ａが外側へ膨出せず、バックリングと呼ばれる変形が生じない。このため、パウチ５１の内部の気圧を所望の気圧にまで高めることができ、欠陥部から漏洩する気体の量を十分確保できるので、気体検出手段２０が漏洩を確実に検知でき、これにより欠陥検査の精度を高めることができる。
また、チャンバ１１は、被検査物５０の全体を収容するため、被検査物５０の全体に対して、欠陥部の有無を検査できる。

【0073】

なお、本実施形態の欠陥検査方法においては、スタンディングパウチ５１ａを被検査物５０とした場合について説明したが、被検査物５０は、スタンディングパウチ５１ａに限るものではなく、ガセットパウチ５１ｂや平袋のパウチ５１であってもよい。

【0074】

（III）気体検出手段
図１に示した欠陥検査装置１０Ａは、図３に示した構成を有する気体検出装置２１を気体検出手段２０として備えている。
ただし、気体検出手段２０は、気体検出装置２１に限るものではなく、例えば、図２２に示した構成を有する光学的検出手段２２を用いることができる。

【0075】

（光学的検出手段）
光学的検出手段２２は、検出気体収納部２１１から押し出された気体を、シュリーレン法を用いて検出する手段である。
具体的に、光学的検出手段２２は、光源２２１と、第一レンズ２２２と、第二レンズ２２３と、ノズル２２４と、ナイフエッジ２２５と、観察手段２２６とを備えている。
光源２２１は、光を出射する。
第一レンズ２２２は、光源２２１からの光を平行光束にする。
第二レンズ２２３は、平行光束を集光する。
ノズル２２４は、検出気体収納部２１１から押し出された気体を検出用気体として平行光束へ送る。
ナイフエッジ２２５は、光源像を部分的に遮る。
観察手段２２６は、光源像を結像し、平行光束における屈折の分布を観察する。
このような構成を備えた光学的検出手段２２を気体検出手段２０として用いることにより、検出気体収納部２１１から押し出された気体を、平行光束における屈折率の分布として可視化し、精度よく検出することができる。

【0076】

ここで、検出用気体は、光学的検出手段２２の内部の雰囲気と屈折率が異なる気体を用いるものとする。

【0077】

また、検出用気体は、温調されることによって、光学的検出手段２２の内部の雰囲気と屈折率が異なるようにするとよい。
温調は、ヒータなどの加熱手段、あるいは、ペルチェ装置や水冷装置などの冷却手段を、検出気体収納部２１１に設けることで実現できる。
温調することにより、検出用気体の屈折率と光学的検出手段２２の内部の雰囲気の屈折率との差を容易に大きくすることができるので、検出性能を向上させることができる。
また、例えば、被検査物５０の内部に供給される気体と、チャンバ１１の収納空間１１１の気体と、検出気体収納部２１１の内部の気体は、いずれも空気を用いることができる。空気とすることにより、ヘリウムなどの高価な気体を使用しなくても済むので、ランニング費用のコストダウンを図ることができる。
なお、光学的検出手段２２は、シュリーレン法を行う構成としてあるが、これに限定されるものではなく、たとえば、シャドウグラフ法やマッハツェンダー法などを行う構成としてもよい。

【0078】

（ダイアフラム）
検出気体収納部２１１には、仕切り部材として、ダイアフラムを設けることができる。
ダイアフラムは、検出気体収納部２１１を上流側と下流側とに分ける仕切り用の板材であって、可撓性を有するものである。ダイアフラムは、チャンバ１１の収納空間１１１からの気体が検出気体収納部２１１の上流側に流入すると、ほぼ同じ容積に応じて下流側に変形する。
ダイアフラムを設けることにより、検出気体収納部２１１及び気体検出部２１２に封入させる気体とチャンバ１１の収納空間１１１の気体とを異ならせることができる。例えば、前者の気体を二酸化炭素とし、後者の気体を通常の空気とすることができる。
これら二酸化炭素と空気は、ダイアフラムによって仕切られるので、検出気体収納部２１１の内部で二酸化炭素の濃度が低下せず、屈折率が変動するといった不具合を回避することができる。

【0079】

また、ダイアフラムを設けることにより、検出気体収納部２１１及び気体検出部２１２に封入されている気体とチャンバ１１の収納空間１１１の気体とが異なる場合であっても、混ざり合うことを防止できる。よって、気体の選定の自由度を大きくすることができ、使い勝手などを向上させることができる。
なお、仕切り部材としては、ダイアフラムの他にも、例えば、蛇腹状のシート（図示せず）などを用いてもよい。

【0080】

（IV）実施例
以下、具体的な実施例を挙げて、本発明をより詳細に説明する。

【0081】

（IV-1）実施例１
欠陥検査装置として、図１に示した構成を備える欠陥検査装置１０Ａを用意した。
また、気体検出手段２０としては、図２２に示した構成を備える光学的検出手段２２（シュレーリン装置）を用いた。

【0082】

折込部用通気性確保手段３０の通気性確保部材３１には、厚さ５ｍｍのアルミニウム製の板材（アルミ Ａ５０５２Ｐ（ＪＩＳ規格 Ｈ４０００））を用いた。
この通気性確保部材３１を二枚用意した。二枚のうちの一枚は、表面に通気部３３を加工せず、表面の粗さを算術平均粗さＲａ＝０．２μｍとした。他の一枚は、表面に梨地加工を施し、梨地である凹凸形状の凹部を通気部３３とし、表面の粗さをＲａ＝１０μｍとした。
チャンバ本体１１２の底部１１５の上面上に設けられた表面用通気性確保手段４０の上面とチャンバ蓋１１３の上板部１１６の下面に設けられた表面用通気性確保手段４０の下面との間隔は、７ｍｍとした。

【0083】

被検査物５０は、サンプルとして、スタンディングパウチ５１ａを用意した。
また、スタンディングパウチ５１ａの折り込み部５３ａには、疑似不良として、直径が１００μｍのピンホールを一箇所に形成した。

【0084】

これら欠陥検査装置１０Ａと被検査物５０とを用意した後、前述した「（II）欠陥検査方法」の内容で、実験を行った。
また、次の三つの場合について、それぞれ実験を行った。
（ｉ）通気性確保部材３１をスタンディングパウチ５１ａの折り込み部５３ａに押し込まなかった場合（図２３に示す「通気性確保部材３１の押し込み無し」）
（ii）表面の粗さがＲａ＝０．２μｍである通気性確保部材３１をスタンディングパウチ５１ａの折り込み部５３ａに押し込んだ場合（図２３に示す「通気性確保部材３１の押し込み有り（表面未加工 Ｒａ＝０．２μｍ）」）
（iii）表面の粗さがＲａ＝１０μｍである通気性確保部材３１をスタンディングパウチ５１ａの折り込み部５３ａに押し込んだ場合（図２３に示す「通気性確保部材３１の押し込み有り（表面梨地加工 Ｒａ＝１０μｍ）」）
これら（ｉ）〜（iii）のいずれにおいても、気体供給手段１２から被検査物５０の内部に供給される気体を空気とし、圧力を１０ｋＰａとした。

【0085】

実験の結果を図２３に示す。
同図に示すように、（ｉ）の場合は、スタンディングパウチ５１ａの折り込み部５３ａに存在する欠陥部（ピンホール）が、検出されなかった。
これは、スタンディングパウチ５１ａの折り込み部５３ａにおいて、折り目５５の周囲が積層して密着し、積層した折り込み部５３ａにおいてピンホールが閉塞し、スタンディングパウチ５１ａの内部に封入された気体がピンホールから漏洩できない状態となったためであると考えられる。

【0086】

（ii）の場合も、欠陥部（ピンホール）が、検出されなかった。
これは、スタンディングパウチ５１ａの折り込み部５３ａに通気性確保部材３１が押し込まれたために、折り目５５の周囲を広げることができ、折り込み部５３ａ同士の密着を解消できたものの、折り込まれた通気性確保部材３１の表面の粗さが細かいことから、通気性確保部材３１の表面と折り込み部５３ａの表面とが密着し、通気性確保部材３１の表面によってピンホールが閉塞し、スタンディングパウチ５１ａの内部に封入された気体がピンホールから外部に漏洩できない状態となったためであると考えられる。

【0087】

（iii）の場合は、欠陥部（ピンホール）が検出された。
これは、スタンディングパウチ５１ａの折り込み部５３ａに通気性確保部材３１を押し込むことで、折り目５５の周囲の密着状態を解消するとともに、押し込まれた通気性確保部材３１の表面の粗さが粗いために、通気性確保部材３１の表面が凹凸形状をなし、凹凸形状のうちの凹状部分が通気部３３となって折り込み部５３ａの表面と密着しないことで、ピンホールの閉塞を回避し、スタンディングパウチ５１ａの内部に封入された気体がピンホールを通って外部の収納空間１１１に漏洩できたためであると考えられる。

【0088】

（IV-2）実施例２
欠陥検査装置として、図１に示した構成を備える欠陥検査装置１０Ａを用意した。また、気体検出手段２０としては、図２２に示した構成を備える光学的検出手段２２（シュレーリン装置）を用いた。
チャンバ本体１１２の底部１１５の上面上に設けられた表面用通気性確保手段４０の上面とチャンバ蓋１１３の上板部１１６の下面に設けられた表面用通気性確保手段４０の下面との間隔は、７ｍｍとした。

【0089】

折込部用通気性確保手段３０の通気性確保部材３１には、厚さ５ｍｍのアルミニウム製の板材（アルミ Ａ５０５２Ｐ（ＪＩＳ規格 Ｈ４０００））を用いた。
この通気性確保部材３１を四枚用意した。四枚のうちの一枚は、表面に通気部３３を加工せず、表面の粗さを算術平均粗さＲａ＝０．２μｍとした。他の一枚は、表面にサンドブラスト加工を施し、表面の粗さをＲａ＝１．４μｍとし、表面の凹凸形状の凹部を通気部３３とした。また、他の一枚は、エッチングによる梨地加工を表面に施し、表面の粗さをＲａ＝４．６μｍとし、梨地である凹凸形状の凹部を通気部３３とした。さらに、他の一枚は、エッチングによる梨地加工を表面に施し、表面の粗さをＲａ＝１０μｍとし、梨地である凹凸形状の凹部を通気部３３とした。
なお、四枚の通気性確保部材３１のそれぞれの表面粗さは、株式会社東京精密製の表面粗さ・輪郭形状測定機（サーフコム２０００ＳＤ３（サーフコムは登録商標））を用いて測定した。

【0090】

被検査物５０は、サンプルとして、スタンディングパウチ５１ａを用意した。
また、スタンディングパウチ５１ａの折り込み部５３ａには、疑似不良として、直径が１００μｍのピンホールを一箇所に形成した。

【0091】

これら欠陥検査装置１０Ａと被検査物５０とを用意した後、前述した「（II）欠陥検査方法」の内容で、実験を行った。
また、この実験では、上述した四枚の通気性確保部材３１を予め用意しておき、一枚ずつ欠陥検査装置１０Ａに取り付けて当該実験を行った。そして、四枚の通気性確保部材３１のそれぞれについて欠陥部（ピンホール）を検出できたか否かを検証した。
なお、四枚の通気性確保部材３１のいずれを用いる場合においても、気体供給手段１２から被検査物５０の内部に供給される気体を空気とし、圧力を１０ｋＰａとした。

【0092】

実験の結果を図２４に示す。
同図（ｉ）に示すように、表面粗さＲａ＝０．２μｍの通気性確保部材３１を用いた場合は、スタンディングパウチ５１ａの折り込み部５３ａに存在する欠陥部（ピンホール）が、検出されなかった。
これは、スタンディングパウチ５１ａの折り込み部５３ａに通気性確保部材３１が押し込まれたために、折り目５５の周囲を広げることができ、折り込み部５３ａ同士の密着を解消できたものの、折り込まれた通気性確保部材３１の表面の粗さが細かいことから、通気性確保部材３１の表面と折り込み部５３ａの表面とが密着し、通気性確保部材３１の表面によってピンホールが閉塞し、スタンディングパウチ５１ａの内部に封入された気体がピンホールから外部に漏洩できない状態となったためであると考えられる。

【0093】

一方、同図（ii）〜（iv）に示すように、表面粗さＲａ＝１．４μｍ、Ｒａ＝４．６μｍ、Ｒａ＝１０μｍの通気性確保部材３１をそれぞれ用いた場合は、いずれも欠陥部（ピンホール）が検出された。
これは、スタンディングパウチ５１ａの折り込み部５３ａに通気性確保部材３１を押し込むことで、折り目５５の周囲の密着状態を解消するとともに、押し込まれた通気性確保部材３１の表面の粗さが粗いために、通気性確保部材３１の表面が凹凸形状をなし、凹凸形状のうちの凹状部分が通気部３３となって折り込み部５３ａの表面と密着しないことで、ピンホールの閉塞を回避し、スタンディングパウチ５１ａの内部に封入された気体がピンホールを通って外部の収納空間１１１に漏洩できたためであると考えられる。
この実験の結果から、通気性確保部材３１の表面粗さは、少なくともＲａ＝１．４μｍ以上あればよいことがわかった。

【0094】

［欠陥検査装置及び欠陥検査方法の第二実施形態］
次に、本発明の欠陥検査装置及び欠陥検査方法の第二の実施形態について、図２５を参照して説明する。
同図は、本実施形態の欠陥検査装置の構成を示す正面図である。
本実施形態は、第一実施形態と比較して、被検査物が相違するとともに、被検査物の相違にもとづく欠陥検査装置の構成が相違する。すなわち、第一実施形態では、被検査物が、上縁部に開口を有するパウチであったのに対し、本実施形態では、被検査物が、上縁部を含むすべての縁部を熱溶着した密封パウチである点で相違する。また、第一実施形態では、欠陥検査装置が、気体供給手段を備えた構成であったのに対し、本実施形態では、欠陥検査装置が、チャンバの収納空間を真空にするための真空手段を備えており、気体供給手段を備えていない点で相違する。さらに、気体検出手段には圧力計やヘリウムリークディテクタを用いることができる。ヘリウムリークディテクタを用いる場合、密封パウチの内部に予めヘリウムを充填しておく。他の構成要素は第一実施形態と同様である。
したがって、図２５において、図１と同様の構成部分については同一の符号を付して、詳細な説明を省略する。

【0095】

図２５に示すように、本実施形態の欠陥検査装置１０Ｂは、チャンバ１１、排気手段１４、気体検出手段２０、折込部用通気性確保手段３０、表面用通気性確保手段４０、真空手段１５を備えている。
ここで、真空手段１５は、チャンバ１１の収納空間１１１を真空状態にすることで相対的に被検査物５０の内部を陽圧にするための陽圧手段である。
真空手段１５は、真空ポンプ１５１と、真空配管１５２と、バルブ１５３とを備えている。
真空ポンプ１５１は、真空配管１５２によりチャンバ１１の収納空間１１１に接続されており、収納空間１１１の内部を真空状態する。
バルブ１５３は、真空配管１５２の途中又は端部に設けられており、真空ポンプ１５１による収納空間１１１の内部の気体の排出を制御する。

【0096】

折込部用通気性確保手段３０は、チャンバ１１の収納空間１１１に収納された被検査物５０の折り込み部５３ａ、５３ｂの表面を、被検査物５０の外側にある空間（チャンバ１１の収納空間１１１）に連通又は接触させるための通気性確保手段である。
折込部用通気性確保手段３０は、通気性確保部材３１を備えている。通気性確保部材３１は、チャンバ本体１１２の側壁１１７に固定されている。つまり、折込部用通気性確保手段３０は、部材駆動手段を備えていない。これは、チャンバ１１の収納空間１１１を真空状態にした後に、真空状態を保持しながら、収納空間１１１に通気性確保部材３１を進入させることが困難だからである。

【0097】

欠陥検査装置１０Ｂを用いて行われる欠陥検査の対象は、すべての縁部が熱溶着によってシールされた密封パウチ５１ｃである。
密封パウチ５１ｃは、平袋、スタンディングパウチ５１ａ、ガセットパウチ５１ｂのいずれであってもよい。また、スパウト５７が取り付けられているものであってもよく、あるいは、取り付けられていないものであってもよい。

【0098】

欠陥検査装置１０Ｂを用いて行われる欠陥検査方法は、次の手順で実行される。
なお、ここでは、スタンディングパウチ５１ａを密封パウチ５１ｃとしたものを被検査物５０とする。

【0099】

チャンバ１１の収納空間１１１に被検査物５０が収納されていない状態の欠陥検査装置１０Ｂを用意する。
このとき、チャンバ本体１１２の上には、チャンバ蓋１１３が載置されているものとする。
チャンバ開閉手段１１４を駆動させてチャンバ蓋１１３を上昇させる。これにより、チャンバ蓋１１３がチャンバ本体１１２から離間して上方へ持ち上がり、チャンバ１１の収納空間１１１が当該チャンバ１１の外部と連通し、チャンバ本体１１２の内部が露出したオープンな状態となる。

【0100】

次いで、チャンバ本体１１２の底部１１５の上面上に設けられた表面用通気性確保手段４０の上に、被検査物５０（密封パウチ５１ｃであるスタンディングパウチ５１ａ）を載置する。
このとき、スタンディングパウチ５１ａの折り込み部５３ａに対して通気性確保部材３１を挿入した状態で、スタンディングパウチ５１ａを表面用通気性確保手段４０の上に載置する。これにより、通気性確保部材３１がスタンディングパウチ５１ａの折り込み部５３ａに接触した状態で配置される（接触工程）。

【0101】

続いて、チャンバ開閉手段１１４を駆動させてチャンバ蓋１１３を下降させる。これにより、チャンバ本体１１２の上にチャンバ蓋１１３が載置される。そして、チャンバ１１の収納空間１１１が密封状態となる。

【0102】

そして、真空手段１５の真空ポンプ１５１を駆動させる。これにより、チャンバ本体１１２の収納空間１１１が真空状態となり（陽圧工程）、スタンディングパウチ５１ａが膨張する。
このとき、スタンディングパウチ５１ａの下側シート５６ａの表面がチャンバ本体１１２の表面用通気性確保手段４０の上面に接しており、また、スタンディングパウチ５１ａの上側シート５６ｂの表面がチャンバ蓋１１３の表面用通気性確保手段４０の下面に接する。
また、スタンディングパウチ５１ａの折り込み部５３ａにおいては、通気性確保部材３１が挿入されているため、折り目５５の周囲が重ならず、広がった状態となる。

【0103】

さらに、真空手段１５の真空ポンプ１５１を駆動させて、収納空間１１１の圧力（真空度）を所定の圧力にまで低下させた後、バルブ１５３を閉にする。これにより、スタンディングパウチ５１ａに欠陥部がある場合、陽圧となったスタンディングパウチ５１ａの内部の気体が、欠陥部から外部の収納空間１１１へ漏洩する。
この漏洩を気体検出手段２０が検出することにより、スタンディングパウチ５１ａに欠陥部があることを検出できる（検出工程）。

【0104】

また、スタンディングパウチ５１ａが陽圧により膨張して折り込み部５３ａの折り目５５の周囲が密着するときの当該密着部分である接触表面部に欠陥部がある場合でも、接触表面部に通気性確保部材３１が接触して配置され、折り込み部５３ａ同士が密着しないため、スタンディングパウチ５１ａの内部の気体が、欠陥部を通って外部に漏洩可能となる。そして、配置された通気性確保部材３１には、通気部３３が形成されているため、欠陥部から外部へ漏洩してきた気体が通気部３３を通ってチャンバ１１の収納空間１１１に排出される。これにより、欠陥部での漏洩を気体検出手段２０によって検知できる。

【0105】

さらに、スタンディングパウチ５１ａの下側シート５６ａ又は上側シート５６ｂに欠陥部がある場合でも、表面用通気性確保手段４０に通気部４２が形成されているため、欠陥部から外部へ漏洩してきた気体が通気部４２を通ってチャンバ１１の収納空間１１１に排出されるので、欠陥部での漏洩を気体検出手段２０によって検知できる。
しかも、スタンディングパウチ５１ａの折り込み部５３ａに対しては、外側から通気性確保部材３１が押し当てられるため、チャンバ１１の収納空間１１１が真空状態になったとしても、折り込み部５３ａが外側へ膨出せず、バックリングと呼ばれる変形が生じない。これにより、パウチ５１の内部の陽圧状態を維持することができ、欠陥部から漏洩する気体の量を十分確保できるので、気体検出手段２０が欠陥部での漏洩を確実に検知でき、よって、欠陥検査の精度を高めることができる。

【0106】

なお、本実施形態の欠陥検査方法においては、スタンディングパウチ５１ａを被検査物５０とした場合について説明したが、被検査物５０は、スタンディングパウチ５１ａに限るものではなく、ガセットパウチ５１ｂや平袋のパウチ５１であってもよい。

【0107】

［欠陥検査装置及び欠陥検査方法の第三実施形態］
次に、本発明の欠陥検査装置及び欠陥検査方法の第三の実施形態について、図２６を参照して説明する。
同図は、本実施形態の欠陥検査装置の構成を示す正面図である。
本実施形態は、第一実施形態と比較して、被検査物が相違するとともに、被検査物の相違にもとづいて欠陥検査装置の構成が相違する。すなわち、第一実施形態では、被検査物がパウチであったのに対し、本実施形態では、被検査物がカップ状容器である。また、第一実施形態では、欠陥検査装置がパウチを被検査物として検査可能な構成を備えていたのに対し、本実施形態では、欠陥検査装置が、カップ状容器を被検査物として検査可能な構成を備えている点で相違する。他の構成要素は第一実施形態と同様である。
したがって、図２６において、図１と同様の構成部分については同一の符号を付して、詳細な説明を省略する。

【0108】

図２６に示すように、本実施形態の欠陥検査装置１０Ｃは、チャンバ１１、気体供給手段１２、気体検出手段２０、底部用通気性確保手段６０を備えている。
ここで、チャンバ１１は、中空で直方体状の箱体であって、被検査物５０であるカップ状の紙容器７０を収納可能な形状に形成されている。
気体供給手段１２は、チャンバ１１に収納された紙容器７０の内部に対して気体を供給する。

【0109】

底部用通気性確保手段６０は、チャンバ１１の内部底面と紙容器７０の底部７１の下面との間に設けられる板状の部材である。
底部用通気性確保手段６０は、紙容器７０の底部７１におけるバックリングの発生又は外側への変形を防止する機能と、紙容器７０の底部７１の下面を紙容器７０の外側にある収納空間１１１に連通又は接触させる機能とを備えている。
前者の機能は、底部用通気性確保手段６０の上面が紙容器７０の底部７１の下面に接触すること、及び、底部用通気性確保手段６０の上面のうち紙容器７０の底部７１の下面に接触する部分が水平であることにより、発揮される。
すなわち、紙容器７０は、内部に気体が封入されると、紙容器７０の内部に向かって凹んだ形状の凹部である底部７１が下方へ向かって膨出しようとするが、下方には底部用通気性確保手段６０が配置されており、しかも、底部７１の下面が底部用通気性確保手段６０に接触していることから、底部７１は、下方へ膨出することができない。
また、底部用通気性確保手段６０の上面のうち紙容器７０の底部７１の下面に接触する部分が水平であるため、底部用通気性確保手段６０の上面に接している底部７１も水平に保たれる。
これらにより、底部用通気性確保手段６０は、紙容器７０の底部７１におけるバックリングの発生又は外側への変形を防止する機能を発揮できる。

【0110】

後者の機能は、底部用通気性確保手段６０が通気部６１を備えることにより、発揮される。
通気部６１は、紙容器７０の底部７１の下面を紙容器７０の外側にある収納空間１１１に連通又は接触させるための形状に形成された部分である。
通気部６１の形状は、第一実施形態における折込部用通気性確保手段３０の通気部３３の形状（例えば、図４〜図７に示された通気部３３の形状）と同様の形状とすることができる。
紙容器７０の底部７１の下方に底部用通気性確保手段６０を配置したとき、紙容器７０の底部７１の下面は、他の部材（底部用通気性確保手段６０）と接触する接触表面部となる。
そうすると、底部７１にピンホールなどの欠陥部があるときに、底部用通気性確保手段６０の上面が欠陥部を閉塞し、当該紙容器７０の内部に封入された気体が欠陥部を通って外部に漏洩することができず、気体検出手段２０が欠陥部での漏洩を検出できない。
そこで、底部用通気性確保手段６０に通気部６１を備えることとした。
これにより、紙容器７０の底部７１の下面が通気部６１を通って紙容器７０の外側にある収納空間１１１に通気可能に連通するので、当該紙容器７０の内部に封入された気体が欠陥部を通って外部に漏洩することができ、気体が通気部６１を通ってチャンバ１１の収納空間１１１に排出されるので、気体検出手段２０が欠陥部での漏洩を検出できる。

【0111】

なお、本実施形態の欠陥検査方法、すなわち、欠陥検査装置１０Ｃを用いて被検査物５０の欠陥部の有無を検査する方法は、第一実施形態の欠陥検査方法と同様であるため、ここでの説明は、省略する。

【0112】

このように、本実施形態の欠陥検査装置及び欠陥検査方法によれば、被検査物５０が紙容器７０の場合でも、紙容器７０における欠陥部の有無を検査できる。
また、紙容器７０の底部７１に欠陥部がある場合でも、底部用通気性確保手段６０に通気部６１が形成されているため、欠陥部から外部へ漏洩してきた気体が通気部６１を通ってチャンバ１１の収納空間１１１に排出されるので、欠陥部での漏洩を気体検出手段２０によって検知できる。

【0113】

さらに、紙容器７０の底部７１に対しては、下方から底部用通気性確保手段６０が押し当てられるため、紙容器７０の内部に気体が供給された場合でも、底部７１が外側へ膨出せず、バックリングと呼ばれる変形が生じない。これにより、紙容器７０の内部の陽圧状態を維持することができ、欠陥部から漏洩する気体の量を十分確保できるので、気体検出手段２０が欠陥部での漏洩を確実に検知でき、よって欠陥検査の精度を高めることができる。

【0114】

以上、本発明の欠陥検査装置について、好ましい実施形態を示して説明したが、本発明に係る欠陥検査装置は、上述した実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の範囲で種々の変更実施が可能であることは言うまでもない。
例えば、本発明の欠陥検査装置が検査の対象とする被検査物は、多様な形状に対応できる。形状に特に制限はないが、例えば、フィルム状、コップ状、カップ状、筒状、袋状などがある。また、被検査物を構成する材料としては、例えば、プラスチック、紙、金属などがある。さらに、用途としては、タンク、フィルム、蓋、容器などがあり、特に、空容器に用いることが好適である。

【0115】

また、気体供給手段の代わりに、被検査物内に液化窒素を滴下する手段と、被検査物の上部開口を挟むようにして閉じる閉止手段とを設けることができる。これにより、密閉状態の被検査物の内部で液化窒素が気化し、被検査物の内部を陽圧とすることができる。
さらに、上述した各実施形態においては、被検査物の欠陥部からの気体の漏洩を検知する欠陥検査装置について説明したが、本発明は、このような検知を行う欠陥検査装置への適用に限るものではなく、例えば、特許文献１、２に開示されている検査装置、すなわち、被検査物の内圧を測定し、この内圧の低下を検知する検査装置などに対しても適用できる。

【符号の説明】

【0116】

１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ 欠陥検査装置
１２ 気体供給手段（陽圧手段）
２０ 気体検出手段（検出手段）
３０ 折込部用通気性確保手段
３１ 通気性確保部材
３３ 通気部
３３１ 溝部（凹状部分）
３３２ 細孔
４０ 表面用通気性確保手段
４２ 通気部
４３ 溝部（凹状部分）
４６ 凹状部
４７ 細孔
５０ 被検査物
５１（５１ａ〜５１ｃ） パウチ（袋状容器）
５３ａ、５３ｂ 折り込み部
６０ 底面用通気性確保手段
６１ 通気部
７０ 紙容器
７１ 底部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】

【図27】

【図28】