特許6532419インプリント用のテンプレート製造装置

発明の名称　インプリント用のテンプレート製造装置

出願人　芝浦メカトロニクス株式会社　（識別番号 2428）

　　　　特許公開件数ランキング 490 位（56件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 395 位（65件）（共同出願を含む）

出願人　東芝メモリ株式会社　（識別番号 318010018）

　　　　特許公開件数ランキング 100 位（299件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 222 位（134件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6532419

公報発行日　2019年6月19

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6532419

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