特許第6536239号(P6536239)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6536239Ｔｅ−Ｇｅ系スパッタリングターゲット、及び、Ｔｅ−Ｇｅ系スパッタリングターゲットの製造方法
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