特許6538172蒸着源および蒸着装置並びに蒸着膜製造方法

発明の名称　蒸着源および蒸着装置並びに蒸着膜製造方法

出願人　シャープ株式会社　（識別番号 5049）

　　　　特許公開件数ランキング 17 位（917件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 29 位（607件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6538172

公報発行日　2019年7月3

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6538172

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