特許6539414イオン注入器用リペラー、カソード、チャンバーウォール、スリット部材、及びこれを含むイオン発生装置

発明の名称　イオン注入器用リペラー、カソード、チャンバーウォール、スリット部材、及びこれを含むイオン発生装置

出願人　バリュー　エンジニアリング　リミテッド　（識別番号 517455432）

　　　　特許公開件数ランキング 14468 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12296 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6539414

公報発行日　2019年7月3

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6539414

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