(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
ノイズ源部から対象電気回路に誤動作テスト用のノイズ信号を入力し、前記対象電気回路が誤動作を起こす電力の大きさの周波数特性を求める電気回路の評価方法であって、
前記ノイズ信号は、前記対象電気回路のグラウンド端子に入力されており、
前記対象電気回路が誤動作を起こすかどうかを検知する検知部の検知基準グラウンドと前記対象電気回路のグラウンド端子との間が、高インピーダンスの抵抗器、コイル、または、フェライトビーズを介して接続されており、
前記対象電気回路のグラウンド端子は、さらに、電源インピーダンス安定回路網の一端にも接続されており、
前記電源インピーダンス安定回路網の他端は、前記対象電気回路に電源を供給する電源回路のグラウンドと接続されており、
前記検知部は、前記検知基準グラウンドのほかに、前記対象電気回路のグラウンド端子から直流的に遮断されたシステムグラウンドを備えており、
前記ノイズ源部のグラウンドは、前記システムグラウンドに接続されており、前記電源回路のグラウンドから遮断されているとともに、前記対象電気回路のグラウンド端子から直流的に遮断されていることを特徴とする電気回路の評価方法。
ノイズ源部から対象電気回路に誤動作テスト用のノイズ信号を入力し、前記対象電気回路が誤動作を起こす電力の大きさの周波数特性を求める電気回路の評価方法であって、
前記ノイズ信号は、前記対象電気回路のグラウンド端子に入力されており、
前記対象電気回路が誤動作を起こすかどうかを検知する検知部が高入力インピーダンスの差動入力部を有し、前記差動入力部の一方に前記対象電気回路の検知対象部を、他方に前記対象電気回路のグラウンド端子をそれぞれ接続しており、
前記対象電気回路のグラウンド端子は、さらに、電源インピーダンス安定回路網の一端にも接続されており、
前記電源インピーダンス安定回路網の他端は、前記対象電気回路に電源を供給する電源回路のグラウンドであって前記検知部の検知基準グラウンドとは異なるグラウンドと接続されており、
前記検知部は、前記検知基準グラウンドのほかに、前記対象電気回路のグラウンド端子から直流的に遮断されたシステムグラウンドを備えており、
前記ノイズ源部のグラウンドは、前記システムグラウンドに接続されており、前記電源回路のグラウンドから遮断されているとともに、前記対象電気回路のグラウンド端子から直流的に遮断されていることを特徴とする電気回路の評価方法。
前記ノイズ源部、前記対象電気回路及び前記検知部を少なくとも用いて、前記対象電気回路が誤動作を起こす限界の前記ノイズ信号の大きさを前記対象電気回路に注入される電力で表した誤動作電力周波数特性を求めるDPIテストに加えて請求項1または2に記載の特徴を備える電気回路の評価方法。
【発明を実施するための形態】
【0012】
<DPIテスト(第1構成例)>
図1は、DPIテストの第1構成例を示すブロック図である。DPIテストは、国際電気標準会議(IEC[international electrotechnical commission])で標準化された半導体集積回路用EMS[electromagnetic susceptibility]検証法の一つ(IEC62132−4)であり、被試験デバイス10(以下、DUT[device under test]10と呼ぶ)のほか、ノイズ源部20、検知部30、コントローラ40、バッテリ50、及び、電源フィルタ60などを用いて実施される。
【0013】
DUT10は、対象電気回路11(以下、LSI11と呼ぶ)とこれを搭載したプリント配線基板(PCB[printed circuit board])を含む。もちろん、DUT10としてLSI11単体を用いることも可能である。なお、DUT10は、必ずしも実機デバイスである必要はなく、一般的には試験用の模擬デバイスを用いることが多い。
【0014】
特に、複数LSIの相互比較(例えば、新モデルLSIと旧モデルLSIとの相互比較や、自社LSIと他社コンパチブルLSIとの相互比較)を行う場合には、評価対象となるLSI以外の構成要素(PCBのサイズや配線パターン、ないしは、PCBに搭載されるディスクリート部品の種類や特性など)が共通化された試験用の模擬デバイスを用いることが望ましい。
【0015】
ノイズ源部20は、DUT10の端子(
図1では電源端子VCCを例示)に高周波ノイズ信号(妨害波電力)を注入する主体であり、シグナルジェネレータ21と、RFアンプ22と、双方向性結合器23と、進行波側パワーセンサ24と、反射波側パワーセンサ25と、パワーメータ26と、カップリングコンデンサ27と、を含む。
【0016】
シグナルジェネレータ(SG[signal generator])21は、正弦波状の高周波ノイズ信号を発生する。高周波ノイズ信号の発振周波数と振幅は、いずれもコントローラ40によって制御することができる。なお、妨害波がパルスの場合、パルスジェネレータ(PG[pulse generator])、妨害波がインパルスの場合、インパルスジェネレータ(IG[impulse generator]を用いても良い。
【0017】
RF[radio frequency]アンプ22は、シグナルジェネレータ21で生成された高周波ノイズ信号を所定の利得で増幅する。
【0018】
双方向性結合器(BDC[bi-directional coupler])23は、RFアンプ22で増幅された高周波ノイズ信号をDUT10に向かう進行波成分とDUT10から戻ってくる反射波成分に分離する。
【0019】
進行波側パワーセンサ24は、双方向性結合器23で分離された進行波成分の電力測定を行う。一方、反射波側パワーセンサ25は、双方向性結合器23で分離された反射波成分の電力測定を行う。なお、進行波側パワーセンサ24及び反射波側パワーセンサ25への各伝送線路は、いずれも疑似遮断状態(例えば、インピーダンス:50Ω以上、電力通過特性:−20dBm以下)としておくことが望ましい。
【0020】
パワーメータ26は、進行波側パワーセンサ24で測定された進行波電力と反射波側パワーセンサ25で測定された反射波電力をコントローラ40に送出する。コントローラ40により差分演算することにより、DUT10に対して実際に注入された電力を算出し、その算出結果をコントローラ40に記録する。このように、DUT10への注入電力は、DUT10からかけ離れたパワーメータ26で測定される。従って、DUT10への注入電力を高精度に測定するためには、高周波ノイズ信号伝送時のケーブルロスを極力小さい値(例えば1dB以下)に低減することが望ましい。
【0021】
カップリングコンデンサ27は、双方向結合器23の出力端とDUT10との間に接続されて、直流成分をカットして交流成分(高周波ノイズ信号)のみを通過させる。なお、
図1では、カップリングコンデンサ27をノイズ源部20の構成要素として描写したが、LSI11を搭載したPCB上にセラミックコンデンサを配置して代用する場合も多い。
【0022】
検知部30は、DUT10の出力波形を監視してその監視結果をコントローラ40に送出する。検知部30としてはオシロスコープなどを好適に用いることができる。なお、検知部30の存在がDPIテストに影響を及ぼさないように、高入力インピーダンス(1MΩ)の差動プローブを使用して、DUT10から検知部30への伝送線路を疑似遮断状態とすることが望ましい。
【0023】
コントローラ40は、DPIテストを統括制御する主体である。DPIテストの実施に際して、コントローラ40は、例えば、DUT10に注入される高周波ノイズ信号の発振周波数を固定したまま、高周波ノイズ信号の振幅(注入電力)を徐々に大きくしていくように、シグナルジェネレータ21を制御する。また、コントローラ40は、上記の振幅制御と並行して、検知部30の監視結果に応じたLSI11の誤動作判定(クロック信号のパルス抜けや周波数乱れ、出力電圧の規格外れ、または、通信エラーなどを起こしたか否かの判定)を行う。そして、コントローラ40は、LSI11の誤動作発生時点におけるパワーメータ26の測定値の演算結果(DUT10への注入電力)を取得し、これを現在設定中の発振周波数と関連付けて記憶する。以降も、コントローラ40は、高周波ノイズ信号の発振周波数をスイープしながら上記測定を繰り返すことにより、高周波ノイズ信号の発振周波数と誤動作発生時の注入電力とを関連付けた誤動作電力周波数特性を求める。なお、コントローラ40としては、上記測定をシーケンシャルに実施し得るパーソナルコンピュータなどを好適に用いることができる。
【0024】
バッテリ50は、DUT10に電力供給を行う直流電源である。例えば、車載用LSIをDPIテストの評価対象とする場合には、バッテリ50として車載バッテリを用いればよい。ただし、DUT10への直流電源としては、バッテリに限らず、商用交流電力から所望の直流電力を生成するAC/DCコンバータなどを用いることも可能である。
【0025】
電源フィルタ60は、ノイズ源部20からバッテリ50への伝送線路を疑似遮断状態とするための回路部であり、電源インピーダンス安定回路網61及び62(以下、LISN[line impedance stabilization network]61及び62と呼ぶ)を含む。LISN61及び62は、いずれもバッテリ50の見かけ上のインピーダンスを安定化させる。なお、LISN61は、バッテリ50の正極端子(+)とDUT10の電源端子(VCC)との間を結ぶ電源ラインに挿入されており、LISN62は、バッテリ50の負極端子(−)とDUT10のGND端子(VEE)との間を結ぶGNDラインに挿入されている。
【0026】
<DPIテスト結果(誤動作電力周波数特性)>
図2は、DPIテスト結果(誤動作電力周波数特性)の一例を示す図である。なお、本図の横軸は高周波ノイズ信号の発振周波数[Hz]を示しており、縦軸は高周波ノイズ信号の注入電力[dBm]を示している。本図では、DPIテストの結果として高周波ノイズ信号の発振周波数毎にLSI11が誤動作を起こす限界の注入電力がプロットされている(図中の実線を参照)。すなわち、図中の実線は誤動作境界となるので、これより上側の領域(I)は誤動作領域となり、これより下側の領域(II)は正常動作領域となる。
【0027】
ただし、所定の最大電力(例えば38〜40dBm)を注入しても誤動作を生じなかった発振周波数では、暫定的に上記最大電力がプロットされている(図中の破線を参照)。すなわち、図中の破線は正常動作保証境界となるので、これより上側の領域(III)は保証外領域となり、これより下側の領域(II)は正常動作領域となる。
【0028】
このように、DPIテストでは、DUT10が誤動作を起こす限界の高周波ノイズ信号の大きさをDUT10に注入される電力で表した誤動作電力周波数特性が求められる。ただし、背景技術の項でも述べたように、誤動作電力周波数特性は取得しやすい情報ではある反面、実際のLSI11で生じる事象を改善するための情報としては扱いにくかった。
【0029】
そこで、以下では、DPIテストにより上記の誤動作電力周波数特性を求めるステップに加えて、さらに、誤動作電力周波数特性からLSI11が誤動作を起こす限界の高周波ノイズ信号の大きさをLSI11の所定部分に流れる端子電流I_LSIで表した誤動作電流周波数特性及びLSI11が誤動作を起こす限界の高周波ノイズ信号の大きさをLSI11の所定点間に現れる端子電圧V_LSIで表した誤動作電圧周波数特性をそれぞれ求めるステップを有する電気回路の評価方法を提案する。
【0030】
なお、当該評価方法の実施に際しては、DUT10とLSI11のS[scattering]パラメータを測定してLSI11の等価回路化とそのAC解析を行い、さらに、その解析結果に基づいて端子電流I_LSIと端子電流V_LSIのIB[immunity behavior]モデル化(誤動作電流周波数特性と誤動作電圧周波数特性の取得)を行う。以下では、これらの要素ステップについて順次詳細に説明する。
【0031】
<Sパラメータ測定>
図3は、Sパラメータ測定の一例を示す図である。Sパラメータとは、DUT10やLSI11の周波数特性を表すパラメータであり、回路網の電力通過特性や電力反射特性を示すものである。例えば、
図3で例示したSパラメータ|S11|は、2端子対回路(4端子回路網)において、第1端子から信号を入力したときに同第1端子に反射する信号の割合(反射損失)を示している。2端子対回路では、第1端子の反射損失(|S11|)以外にも、第1端子から第2端子への挿入損失(|S21|)、第2端子から第1端子への挿入損失(|S12|)、及び、第2端子の反射損失(|S22|)が測定される。なお、LSI11については単体のSパラメータを測定すればよく、DUT10についてはLSI実装時のSパラメータを測定すればよい。
【0032】
<等価回路化>
図4は、等価回路化の一例を示す図である。DUT10とLSI11のSパラメータから、LSI11とこれを搭載するPCBの等価回路化を行う。等価回路化に際しては、例えば、本図で示したように、LSI11を抵抗R、インダクタL、コンデンサCの直列回路とみなしたり、PCBを配線パターンのインダクタLと搭載部品(コンデンサCなど)で表したりすればよい。
【0033】
<AC解析>
図5は、AC解析の一例を示す図である。LSI11及びこれを搭載するPCBの等価回路に対してAC解析を行う。なお、交流電圧Vs[Vrms]を生成するAC信号源としては、50Ω系の交流電圧源を用いればよい。このとき、LSI11の所定部分に流れる端子電流I_LSI、及び、LSI11の所定点間に現れる端子電圧V_LSIは、それぞれ、次の(1a)式及び(1b)式で示すように、交流電圧Vsの関数として表すことができる。
【0034】
I_LSI=fI(Vs) …(1a)
V_LSI=fV(Vs) …(1b)
【0035】
また、AC信号源で生成される交流電圧VsとLSI11への注入電力Piとの間には次の(2)式が成立する。
【0037】
従って、(2)式を(1a)式及び(1b)式に各々代入すると、端子電流I_LSI及び端子電圧V_LSIは、それぞれ、次の(3a)式及び(3b)式で示すように、注入電力Piの関数として表すことができる。
【0038】
I_LSI=fI(Vs)=fI(√(Pi×200))=gI(Pi) …(3a)
V_LSI=fV(Vs)=fv(√(Pi×200))=gV(Pi) …(3b)
【0039】
なお、端子電流I_LSIが流れる所定部分としては、LSI11の信号入力端子、信号出力端子、信号入出力端子、電源端子、GND端子、放熱フィン板などを挙げることができる。特に、LSI11の信号入力端子に対して高周波ノイズ信号が入力されると、LSI11に誤動作を生じやすいので、信号入力端子の誤動作電流周波数特性や誤動作電圧周波数特性を求めることは非常に重要である。
【0040】
<IBモデル化(誤動作電流/電圧周波数特性)>
図6は、誤動作電流周波数特性と誤動作電圧周波数特性の一例を示す図である。先出の(3a)式及び(3b)式にDPIテストの結果(LSI11が誤動作を起こす限界の注入電力Pi)を代入すると、高周波ノイズ信号の発振周波数毎に、LSI11が誤動作を起こす限界の端子電流I_LSIと端子電圧V_LSIが得られる。
【0041】
このように、本発明に係る電気回路の評価方法において、誤動作電力周波数特性は、DUT10についてのものであるとともに、誤動作電流周波数特性及び誤動作電圧周波数特性は、誤動作電力周波数特性からLSI11についての周波数特性を抽出したものとなっている。その際、上記の誤動作電流周波数特性及び誤動作電圧周波数特性は、DUT10の誤動作電力周波数特性、DUT10の等価回路、及び、LSI11の等価回路に基づいて抽出される。
【0042】
なお、上記の誤動作電流周波数特性及び誤動作電圧周波数特性に関するデータは、LSI11と共にユーザへ提供するとよい。このようなデータ提供を行うことにより、ユーザは、LSI11の誤動作を容易に回避することが可能となる。
【0043】
<到達電流/電圧周波数特性との比較>
図7は、
図6で示した誤動作電流周波数特性及び誤動作電圧周波数特性(実線)と、到達電流周波数特性及び到達電圧周波数特性(破線)との比較例を示す図である。到達電流周波数特性とは、LSI11を含む測定対象回路ユニットまたはその模擬ユニットに対して所定のイミュニティテスト(詳細は後述)を行なったときにLSI11の所定部分に到達して流れる到達電流I_arrの周波数特性である。一方、到達電圧周波数特性とは、上記のイミュニティテストを行ったときにLSI11の所定点間に到達して現れる到達電圧V_arrの周波数特性である。
【0044】
このように、本発明に係る電気回路の評価方法は、先に求めたLSI11の誤動作電流周波数特性及び誤動作電圧周波数特性をEMS評価に活用すべく、各々をLSI11の到達電流周波数特性及び到達電圧周波数特性と比較するステップを有する。このような比較を行うことにより、例えば、
図7において破線が実線を上回っている発振周波数では、LSI11が誤動作を生じ得ると判断することができる。また、LSI11の各端子毎に上記と同様の比較を行えば、誤動作を生じ得る端子を特定することができるので、速やかに回路設計を改善することが可能となる。
【0045】
以上により、同一のLSI11を使用している条件であれば、PCBの構造やノイズ注入方法(テスト方法)が変わったとしても、端子電流I_LSIと端子電圧V_LSIを算出することにより、LSI11が誤動作を起こすか否かを推測することが可能となる。
【0046】
なお、LSI11の到達電流周波数特性及び到達電圧周波数特性は、LSI11を搭載する測定対象回路ユニットの等価回路または模擬ユニットの等価回路に基づいてシミュレーションで求められる。このようなシミュレーションを行う際には、測定対象回路ユニットまたはその模擬ユニットに対して、所定のイミュニティテストを行う必要がある。
【0047】
例えば、車載用LSIを評価対象とする場合には、上記のイミュニティテストとして、ISO11452に準拠したテストを行うことが望ましい。なお、ISO11452に準拠したテストとしては、ISO11452−2に準拠した放射イミュニティテスト、ISO11452−3に準拠したTEMCELL[transverse electromagnetic cell]テスト、及び、ISO11452−4に準拠したBCI[bulk current injection]テストなどを挙げることができる。また、イミュニティテストとしては、ISO7637やIEC61000−4シリーズに代表される製品のイミュニティ試験に準拠したテストを採用してもよい。以下では、BCIテストを例に挙げて詳細な説明を行う。
【0048】
<BCIテスト>
図8は、BCIテストの一構成例を示すブロック図である。BCIテストは、国際標準化機構(ISO[international organization for standardization])で標準化された車載電子機器向けの狭帯域電磁放射エネルギーによる電気的妨害のためのコンポーネント試験方法の一つ(製品用EMS規格:ISO11452−4)である。
【0049】
BCIテストは、LSI11を含む測定対象回路ユニット100(またはその模擬ユニット)に対して実施されるテストであり、先のDPIテスト(
図1を参照)と同様、DUT10のほか、ノイズ源部20、検知部30、コントローラ40、バッテリ50、及び、電源フィルタ60などを用いて実施される。
【0050】
測定対象回路ユニット100は、LSI11が搭載される実際の製品(実機)に相当するものであり、先出のDUT10やバッテリ50のほかに、DUT10と電源フィルタ部60との間を電気的に接続する1.5〜2.0m程度のワイヤーハーネス70を含む。なお、ワイヤーハーネス70にはインジェクションプローブ80が挿入されており、ノイズ源部20の50Ω伝送線路28を介してバルク電流が注入される。
【0051】
なお、測定対象回路ユニット100に対してBCIテストを行った場合、LSI11の到達電流周波数特性及び到達電圧周波数特性は、測定対象回路ユニット100の等価回路に基づいてシミュレーションで求められる。
【0052】
一方、測定対象回路ユニット100を簡略化した模擬ユニットに対してBCIテストを行った場合、LSI11の到達電流周波数特性及び到達電圧周波数特性は、測定対象回路ユニット100の等価回路と模擬ユニットの等価回路の双方に基づいてシミュレーションで求められる。
【0053】
なお、上記の等価回路は、測定対象回路ユニット100のSパラメータとLSI11のSパラメータに基づくものである。
【0054】
このように、本発明に係る電気回路の評価方法は、LSI11を含む測定対象回路ユニット100に対して所定のイミュニティテスト(例えばBCIテスト)を行なったときにLSI11の所定部分に到達して流れる到達電流I_arrを表わす到達電流周波数特性をLSI11の等価回路及び測定対象回路ユニット100の等価回路に基づいてシミュレーションで求めるステップと、同イミュニティテストを行なったときにLSI11の所定点間に到達して現れる到達電圧V_arrを表わす到達電圧周波数特性をLSI11の等価回路及び測定対象回路ユニット100の等価回路に基づいてシミュレーションで求めるステップと、を有する。
【0055】
<DPIテスト(第2構成例)>
図9は、DPIテストの第2構成例を示すブロック図である。第2構成例は、先の第1構成例と基本的に同一であるが、高周波ノイズ信号をDUT10の端子にグラウンド基準で入力するのではなく、高周波ノイズ信号をDUT10のグラウンド端子VEE自体に入力し、LSI11が誤動作を起こす電力の大きさの周波数特性(誤動作電力周波数特性)を求める点に特徴を有する。そこで、第1構成例と同様の構成要素については、
図1と同一の符号を付すことで重複した説明を割愛し、以下では、第2構成例の特徴部分について重点的に説明する。
【0056】
DPIテストの第2構成例における一つ目の特徴は、LSI11が誤動作を起こすかどうかを検知する検知部30の検知基準グラウンド30aがDUT10のグラウンド端子VEEに対して高インピーダンス部品31で接続されている点である。この高インピーダンス部品31は、抵抗器(例えば10kΩ)、コイル、フェライトビーズ等で構成する。
【0057】
DUT10のグランド端子VEEに高周波ノイズ信号を注入する場合、検知部30の基準電位を得るために検知基準グラウンド30aをDUT10のグラウンド端子VEEに低インピーダンスで接続してしまうと、高周波ノイズ信号が検知部30のグラウンドに分散してしまうので、検知部30の存在がDPIテスト結果に影響を及ぼしてしまう。一方、検知部30のグラウンドをDUT10のグラウンド端子VEEから完全に絶縁してしまうと、DUT10と検知部30のグラウンド電位が不一致となるので、出力波形の検出を正しく行うことができなくなる。
【0058】
そこで、検知部30の検知基準グラウンドとDUT10のグラウンド端子VEEとの間を高インピーダンス部品31で接続した状態(疑似遮断状態)とすることにより、検知部30に向けた高周波ノイズ信号のリークを低減することができるので、上記の問題を解消することが可能となる。
【0059】
DPIテストの第2構成例における二つ目の特徴は、DUT10に誤動作テスト用の高周波ノイズ信号を入力するノイズ源部20のグラウンド20aがDUT10のグラウンドVEEから直流的に遮断されている点である。つまり、グラウンド20aは、グラウンドVEEとは別ノードとなっている。このような構成を採用することにより、ノイズ源部20のグラウンドVEEに向けた高周波ノイズ信号のリークを防止することが可能となる。
【0060】
DPIテストの第2構成例における三つ目の特徴は、DUT10に誤動作テスト用の高周波ノイズ信号を入力するノイズ源部20のグラウンド20aが、DUT10に電力供給を行うバッテリ50等の直流電源系のグラウンド50aと別ノードとなっていて遮断されている点である。
【0061】
図9に示すように、ノイズ源部20のグラウンド20aは、共通グラウンドとなっていて、コントローラ40および検知部30のシステムグラウンドと共通電位に置かれる。
【0062】
なお、上記の誤動作電力周波数特性に関するデータは、LSI11と共にユーザへ提供するとよい。このようなデータ提供を行うことにより、ユーザは、当該データをLSI11の誤動作回避に活用することが可能となる。
【0063】
図10は、
図9の第2構成例と他の構成例とを比較するための模式図である。(X)欄には、第1構成例と同様、グラウンド基準でLSIの出力端子OUT1に高周波ノイズ信号を注入する構成が描写されている。(Y)欄には、アンテナからシャーシに向けて妨害電波を放出することでLSIのグラウンド端子VEEに高周波ノイズ信号を注入する構成が描写されている。(Z)欄には、第2構成例と同様、LSIのグラウンド端子VEE自体に高周波ノイズ信号を注入する構成が描写されている。
【0064】
(X)欄で示した構成では、LSIのグラウンド端子VEE以外の端子に高周波ノイズ信号を注入した場合の誤動作しか評価することができない。
【0065】
(Y)欄で示した構成であれば、LSIのグラウンド端子VEEに高周波ノイズ信号を注入した場合の誤動作を評価することができる。ただし、このような構成では、シャーシの存在がDPIテストの結果に影響を及ぼしてしまう。
【0066】
(Z)欄で示した構成であれば、シャーシの影響を受けることなく、LSIのグラウンド端子VEEに高周波ノイズ信号を注入した場合の誤動作を評価することができる。
【0067】
<DPIテスト(第3構成例)>
図11は、DPIテストの第3構成例を示すブロック図である。第3構成例も第2構成例と同様にして、高周波ノイズ信号をDUT10のグラウンド端子VEE自体に入力し、LSI11が誤動作を起こす電力の大きさの周波数特性(誤動作電力周波数特性)を求めるものである。第2構成例と同様の構成要素については、
図9と同一の符号を付すことで重複した説明を割愛し、以下では、第3構成例の特徴部分について重点的に説明する。
【0068】
DPIテストの第3構成例では、検知部30が高入力インピーダンス(例えば1MΩ)の差動入力部30bを有し、その一方の入力である第1差動入力30b1にDUT10の検知対象部が接続される。一方、差動入力部30bの他方の入力である第2差動入力30b2にはDUT10のGND端子(VEE)が接続される。これによって、DUT10から検知部30への結合が疑似遮断状態となり、検知部30の存在がDPIテストに影響を及ぼさないようにすることができる。なお、第3構成例の検知部30においては、DUT10と検知部30の検知基準グラウンド電位を一致させる必要がないので、検知部30のグラウンドをDUT10のグラウンド端子VEEから完全に絶縁してよく、検知基準グラウンド30aは適宜の電位に接続される。
【0069】
<その他の変形例>
なお、本明細書中に開示されている種々の技術的特徴は、上記実施形態のほか、その技術的創作の主旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加えることが可能である。すなわち、上記実施形態は、全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきであり、本発明の技術的範囲は、上記実施形態の説明ではなく、特許請求の範囲によって示されるものであり、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内に属する全ての変更が含まれると理解されるべきである。