特許 6543140 シート貼付装置およびシート貼付方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6543140

(24)【登録日】2019年6月21日

(45)【発行日】2019年7月10日

(54)【発明の名称】シート貼付装置およびシート貼付方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20190628BHJP

   B65C 9/36 20060101ALI20190628BHJP

   B65C 9/32 20060101ALI20190628BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 N

   B65C9/36

   B65C9/32

【請求項の数】4

【全頁数】8

(21)【出願番号】特願2015-170705(P2015-170705)

(22)【出願日】2015年8月31日

(65)【公開番号】特開2017-50330(P2017-50330A)

(43)【公開日】2017年3月9日

【審査請求日】2018年6月5日

(73)【特許権者】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100082762

【弁理士】

【氏名又は名称】杉浦 正知

(74)【代理人】

【識別番号】100123973

【弁理士】

【氏名又は名称】杉浦 拓真

(72)【発明者】

【氏名】丸山 孝之

【審査官】 中田 剛史

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１０−０１６２０６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１５−０４１７４７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−３３１９６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−０７７９８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−０１９２３９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−１３７３０３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−００９６９８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ６５Ｃ １／００−１１／０６

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

Ｈ０１Ｌ ２１／６７−２１／６８３

Ｈ０１Ｌ ２１／７８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１被着体および第２被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置であって、
前記接着シートを繰り出す繰出手段と、
前記第１被着体および第２被着体を保持する保持手段と、
前記第１被着体および第２被着体に前記接着シートを押圧して貼付する押圧手段と
を備え、
前記保持手段は、前記接着シートにおける前記第１被着体および第２被着体が貼付されない不貼り領域に収まる形状のシート部材を貼付可能なシート部材保持手段を備え、
前記シート部材保持手段で保持した前記シート部材にも前記接着シートを押圧して前記接着シートを介して前記第１被着体、前記第２被着体および前記シート部材が一体化された一体物を形成することを特徴するシート貼付装置。

【請求項2】

前記シート部材は、少なくとも前記第１被着体及び第２被着体の何れか一方の情報が付与されたものであることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。

【請求項3】

前記保持手段は、接着剤または疑似接着によって帯状の剥離シートに所定の間隔をあけて仮着された前記シート部材を前記シート部材保持手段に繰り出すシート部材繰出手段を備えたことを特徴とする請求項１または２に記載のシート貼付装置。

【請求項4】

第１被着体および第２被着体に接着シートを貼付するシート貼付方法であって、
前記接着シートを繰り出す繰出工程と、
前記第１被着体および第２被着体を保持する保持工程と、
前記第１被着体と第２被着体とシート部材とに前記接着シートを押圧して貼付する押圧工程とを有し、
前記保持工程において、前記接着シートにおける前記第１被着体および第２被着体が貼付されない不貼り領域に収まる形状のシート部材を配置し、前記押圧工程において、前記シート部材にも前記接着シートを押圧して前記接着シートを介して前記第１被着体、前記第２被着体および前記シート部材が一体化された一体物を形成することを特徴するシート貼付方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、粘着テープを介してリング状フレームに半導体ウエハを保持する半導体ウエハのマウント方法が知られている（例えば、特許文献１）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００３−７７９８８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に記載の方法では、装置における粘着テープ（接着シート）の貼付を行なう位置と、ラベル（シート部材）を貼るプリンタの位置が離れているため装置が大型化するという不都合がある。また、ラベルをマウントフレーム（環状部材）に貼付しているので、ラベルが不要になった際にはラベルをマウントフレームから剥がさなければならないという不都合もある。

【0005】

本発明の目的は、装置の小型化が可能であり、また、シート部材が不要になった場合でもシート部材を第１被着体から剥がす必要がないシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上述した課題を解決するために、本発明は、第１被着体および第２被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置であって、前記接着シートを繰り出す繰出手段と、前記第１被着体および第２被着体を保持する保持手段と、前記第１被着体および第２被着体に前記接着シートを押圧して貼付する押圧手段とを備え、前記保持手段は、前記接着シートにおける前記第１被着体および第２被着体が貼付されない不貼り領域に収まる形状のシート部材を貼付可能なシート部材保持手段を備え、前記シート部材保持手段で保持した前記シート部材にも前記接着シートを押圧して前記接着シートを介して前記第１被着体、前記第２被着体および前記シート部材が一体化された一体物を形成することを特徴するシート貼付装置である。

【0007】

前記シート部材は、少なくとも前記第１被着体及び第２被着体の何れか一方の情報が付与されたものであることを特徴としてもよい。

【0008】

前記保持手段は、接着剤または疑似接着によって帯状の剥離シートに所定の間隔をあけて仮着された前記シート部材を前記シート部材保持手段に繰り出すシート部材繰出手段を備えたことを特徴としてもよい。

【0009】

本発明の他の態様は、第１被着体および第２被着体に接着シートを貼付するシート貼付方法であって、前記接着シートを繰り出す繰出工程と、前記第１被着体および第２被着体を保持する保持工程と、前記第１被着体と第２被着体とシート部材とに前記接着シートを押圧して貼付する押圧工程とを有し、前記保持工程において、前記接着シートにおける前記第１被着体および第２被着体が貼付されない不貼り領域に収まる形状のシート部材を配置し、前記押圧工程において、前記シート部材にも前記接着シートを押圧して前記接着シートを介して前記第１被着体、前記第２被着体および前記シート部材が一体化された一体物を形成することを特徴するシート貼付方法である。

【発明の効果】

【0010】

本発明によれば、保持手段がシート部材を貼付可能なシート部材保持手段を備えているので、装置の小型化が可能であり、また、シート部材が不要になった場合でもシート部材を第１被着体から剥がす必要がない。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】実施形態に係るシート貼付装置の側面図。

【図2】一体物の斜視図。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、当該所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」が紙面に直交する手前方向であってＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。

【0013】

図１において、シート貼付装置１０は、第１被着体であって環状部材としてのリングフレームＲＦおよび第２被着体としての半導体ウエハ（以下単に「ウエハ」という場合がある）ＷＦに接着シートＡＳを貼付するシート貼付装置であって、接着シートＡＳを繰り出す繰出手段２０と、リングフレームＲＦおよびウエハＷＦを保持する保持手段３０と、リングフレームＲＦおよびウエハＷＦに接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ４０とを備えている。なお、接着シートＡＳは、基材シートＢＳの一方の面に接着剤ＡＤ層を備えている。

【0014】

繰出手段２０は、接着シートＡＳが帯状の剥離シートＲＬに所定の間隔をあけて仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ２２と、剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板２３と、駆動機器としての回動モータ２４Ａによって駆動される駆動ローラ２４と、剥離シートＲＬを駆動ローラ２４との間に挟み込むピンチローラ２５と、図示しない駆動機器によって駆動され、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２６とを備えている。

【0015】

保持手段３０は、駆動機器としてのリニアモータ３１のスライダ３１Ａに支持されたテーブル３２と、接着シートＡＳにおけるリングフレームＲＦおよびウエハＷＦが貼付されない不貼り領域ＳＰ（図２参照）にシート部材ＳＭを貼付可能なシート部材保持手段としての中間テーブル３３とを備えている。テーブル３２は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハＷＦを保持可能な第１支持面３２Ａと、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってリングフレームＲＦを保持可能な第２支持面３２Ｂとを備えている。中間テーブル３３は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってシート部材ＳＭを吸着保持可能なシート部材支持面３３Ａを備え、テーブル３２の凹部３２Ｃの底面に支持され、リングフレームＲＦの上面およびウエハＷＦの上面が位置する面とシート部材ＳＭの上面とが同一平面内に配置される高さに設定されている。

【0016】

シート部材ＳＭは、ウエハＷＦやリングフレームＲＦ等の製品名、ロット番号などの各種情報、今までに施した処理の履歴情報、今後施す処理の内容を示す情報等、ウエハＷＦやリングフレームＲＦ等に関する情報が付与されている。

【0017】

次に、本実施形態におけるシート貼付装置１０の動作について説明する。
先ず、作業者が原反ＲＳを図１に示すようにセットする。次に、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して自動運転開始の信号を入力すると、繰出手段２０が回動モータ２４Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出す。そして、先頭の接着シートＡＳの繰出方向先端部が所定位置に到達したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検出手段に検出されると、繰出手段２０が回動モータ２４Ａの駆動を停止し、当該繰出手段２０がスタンバイ状態となる。

【0018】

次いで、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない移送手段がウエハＷＦおよびリングフレームＲＦを第１、第２支持面３２Ａ、３２Ｂに載置し、さらに、シート部材ＳＭをシート部材支持面３３Ａに載置すると、保持手段３０が図示しない減圧手段を駆動し、それらを吸着保持した後、リニアモータ３１を駆動し、テーブル３２を左方に移動させる。そして、テーブル３２が所定位置に到達したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検出手段に検出されると、繰出手段２０が回動モータ２４Ａを駆動し、テーブル３２の搬送速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、先頭の接着シートＡＳが剥離シートＲＬから剥離され、リングフレームＲＦ、ウエハＷＦおよびシート部材ＳＭに押圧ローラ４０によって押圧されて貼付され、一体物ＷＫ１が形成される。その後、次の接着シートＡＳの繰出方向先端部が所定位置に達したことが図示しない検出手段に検出されると、繰出手段２０が回動モータ２４Ａの駆動を停止し、当該繰出手段２０が再びスタンバイ状態となる。

【0019】

一体物ＷＫ１が形成されると、保持手段３０がリニアモータ３１の駆動を停止し、テーブル３２を所定の位置で停止させた後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、人手または図示しない移送手段が、一体物ＷＫ１を次工程に搬送する。そして、保持手段３０がリニアモータ３１を駆動し、テーブル３２を図１中実線で示す位置に復帰させた後、上記同様の動作が繰り返される。

【0020】

以上のような本実施形態によれば、保持手段３０がシート部材ＳＭを貼付可能なシート部材保持手段としての中間テーブル３３を備えているので、シート貼付装置１０の小型化が可能であり、また、シート部材ＳＭが不要になった場合でもシート部材ＳＭをリングフレームＲＦから剥がす必要がない。

【0021】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、繰出手段は、接着シートを繰り出すことが可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせてその範囲内であればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。

【0022】

シート部材ＳＭは、接着剤層を有していてもよいし、有していなくてもよい。
シート部材ＳＭは、バーコードラベルやシート状のＲＦＩＤ(Radio Frequency Identification)、非接触ＩＤタグ、マイクロチップ等のデータキャリアであってもよい。
シート部材ＳＭは、剥離シートＲＬであってもよく、シート貼付装置１０は、当該剥離シートＲＬをシート部材ＳＭに加工する加工手段を備えていてもよい。加工手段は、接着シートＡＳが仮着または剥離された剥離シートＲＬに情報を付与する接触式または非接触式の印刷手段と、当該剥離シートＲＬを所定形状に切断するカッタ刃やレーザ等の切断手段を備えた構成が例示できる。
シート部材ＳＭに付与される情報は、リングフレームＲＦに関する情報のみであってもよいし、ウエハＷＦやリングフレームＲＦに関する情報以外のものであってもよいし、情報がなくてもよい。

【0023】

繰出手段２０は、支持ローラ２１を回転駆動させる駆動機器を備えてもよく、このような駆動機器は、原反ＲＳに所定の張力を付与する張力付与手段として機能させてもよい。
繰出手段２０は、剥離手段として回転可能または回転不能な剥離用ローラを採用してもよい。

【0024】

保持手段３０は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着等でリングフレームＲＦ、ウエハＷＦおよびシート部材ＳＭを保持する構成でもよい。
保持手段３０は、中間テーブル３３の高さを調節する駆動機器等の高さ調整手段を備えていてもよい。
保持手段３０は、リングフレームＲＦおよびウエハＷＦを別々の部材で保持してもよい。
保持手段３０は、情報が付与されたシート部材ＳＭの付与面側を中間テーブル３３で保持してもよいし、シート部材ＳＭに付与した情報が接着シートＡＳを介して認識可能であれば付与面と反対側の面を中間テーブル３３で保持してもよい。
保持手段３０は、接着剤または疑似接着によって帯状の剥離シートに所定の間隔をあけて仮着されたシート部材ＳＭを中間テーブル３３上に繰り出すシート部材繰出手段を備えていてもよく、シート部材繰出手段は、繰出手段２０と同様の構成を採用してもよい。

【0025】

押圧手段は、押圧ローラ４０の代わりに、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用してもよいし、大気やガス等のエアの噴き付けにより接着シートＡＳを被着体に押圧する構成を採用してもよいし、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段によって接着シートＡＳを吸着保持し、駆動機器の駆動によって当該接着シートＡＳを被着体に押圧して積層する構成を採用してもよい。
押圧手段は、押圧部材を移動させずに、被着体を移動させてもよいし、押圧部材と被着体との両方を移動させて押圧して貼付してもよい。

【0026】

シート貼付装置１０は、天地反転して配置したり横置きにしたりして、リングフレームＲＦおよびウエハＷＦの下面や側面に接着シートＡＳを貼付するように構成してもよい。

【0027】

さらに、本発明における接着シートＡＳ、シート部材ＳＭ、リングフレームＲＦ、ウエハＷＦ等の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、シート部材ＳＭは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはない。感熱接着性のものが採用された場合は、接着シートＡＳ、シート部材ＳＭを適宜加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設ければよい。また、接着シートＡＳ、シート部材ＳＭは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層とからなるもの、それらの間に中間層を有するものや、基材シートの上面にカバー層を有する３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよいし、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、電極基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳ、シート部材ＳＭは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

【0028】

また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

【符号の説明】

【0029】

１０・・・シート貼付装置
２０・・・繰出手段
３０・・・保持手段
３３・・・中間テーブル（シート部材保持手段）
４０・・・押圧ローラ（押圧手段）
ＡＳ・・・接着シート
ＲＦ・・・リングフレーム（第１被着体）
ＳＭ・・・シート部材
ＳＰ・・・不貼り領域
ＷＦ・・・ウエハ（第２被着体）

【図1】

【図2】