特許 6546810 検査装置、及び検査方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6546810

(24)【登録日】2019年6月28日

(45)【発行日】2019年7月17日

(54)【発明の名称】検査装置、及び検査方法

(51)【国際特許分類】

   G01R 31/28 20060101AFI20190705BHJP

   G01R 31/26 20140101ALI20190705BHJP

   H01L 21/02 20060101ALI20190705BHJP

【ＦＩ】

   G01R31/28 X

   G01R31/26 Z

   H01L21/02 A

【請求項の数】5

【全頁数】18

(21)【出願番号】特願2015-164621(P2015-164621)

(22)【出願日】2015年8月24日

(65)【公開番号】特開2017-44480(P2017-44480A)

(43)【公開日】2017年3月2日

【審査請求日】2018年2月22日

(73)【特許権者】

【識別番号】000002037

【氏名又は名称】新電元工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100106909

【弁理士】

【氏名又は名称】棚井 澄雄

(74)【代理人】

【識別番号】100149548

【弁理士】

【氏名又は名称】松沼 泰史

(74)【代理人】

【識別番号】100160093

【弁理士】

【氏名又は名称】小室 敏雄

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 洋史

【審査官】 續山 浩二

(56)【参考文献】

【文献】 特表２０１３−５４５２６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００１−０８３２１１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−１２４９７３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１０７４３２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０４−２２３２８３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０９−２９２４４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−０２６３３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−１５７６２６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許第０６１００４８６（ＵＳ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｒ ３１／２８

Ｇ０１Ｒ ３１／２６

Ｈ０１Ｌ ２１／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

半導体装置を識別する識別情報を前記半導体装置から検出する検出部と、
半導体装置を検査し、検査した当該検査結果と前記識別情報とを対応付けて記憶部に記憶させる検査部と、
前記検出部が検出した識別情報に基づいて、前記半導体装置に対して過去に検査が実行されているか否かを判定し、過去に検査が実行されている場合に、前記記憶部が記憶する前記識別情報に対応する前記検査結果に基づいて、前記検査部が検査する検査項目のうち、過去に検査した検査項目と重複する検査項目の少なくとも１つを除外した再検査を前記検査部に実行させる制御部と
を備え、
前記制御部は、前記重複する検査項目のうち、少なくとも前記半導体装置に対して電気的ストレスを与える検査項目を除外した再検査を前記検査部に実行させる
ことを特徴とする検査装置。

【請求項2】

複数の前記検査部を備え、
前記制御部は、前記複数の検査部のうち、実行する全ての検査項目が前記重複する検査項目である前記検査部を再検査から除外し、過去に検査していない検査項目が存在する前記検査部に対して全ての検査項目の再検査を実行させる
ことを特徴とする請求項１に記載の検査装置。

【請求項3】

複数の前記検査部を備え、
前記制御部は、前記複数の検査部のうち、実行する全ての検査項目が前記重複する検査項目である前記検査部を再検査から除外し、過去に検査していない検査項目が存在する前記検査部に対して、前記重複する検査項目を再検査から除外し、前記過去に検査していない検査項目の再検査を実行させる
ことを特徴とする請求項１に記載の検査装置。

【請求項4】

前記半導体装置は、前記識別情報を示す二次元コードを有し、
前記検出部は、前記二次元コードに基づいて、前記識別情報を検出する
ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の検査装置。

【請求項5】

半導体装置を識別する識別情報を前記半導体装置から検出する検出部と、半導体装置を検査し、当該検査結果と前記識別情報とを対応付けて記憶部に記憶させる検査部とを備える検査装置の検査方法であって、
前記検出部が検出した識別情報に基づいて、前記半導体装置に対して過去に検査が実行されているか否かを判定し、過去に検査が実行されている場合に、前記記憶部が記憶する前記識別情報に対応する前記検査結果に基づいて、前記検査部が検査する検査項目のうち、過去に検査した検査項目と重複する検査項目の少なくとも１つを除外した再検査を前記検査部に実行させ、
前記重複する検査項目のうち、少なくとも前記半導体装置に対して電気的ストレスを与える検査項目を除外した再検査を前記検査部に実行させる
ことを特徴とする検査方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、検査装置、及び検査方法に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体装置の検査工程において、例えば、何等かの原因により必要なデータが測定できずに、良品又は不良品の判定が行えない場合が生じることがある。従来、このような場合に、当該半導体装置は、製造工程から除外されて回収され、再検査品の在庫として管理された後、再び検査工程（以下、再検査という）が実行される（例えば、特許文献１を参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００２−２８０２７６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、上述のような従来技術では、再検査が実行される際に、例えば、検査項目の一部が既に実行されている半導体装置に対しても、検査項目を最初から全項目について実行される。そのため、上述のような従来技術では、重複した検査項目が実行されて、既に実行されている不要な検査項目が繰り返し実行される場合があった。例えば、耐圧試験やＰＲＳＭ（定格サージ逆電力）試験のように、半導体装置に電気的ストレスを与える検査項目については、繰り返し実行されると半導体装置の品質を低下させてしまうおそれがあるため、再検査において不要な検査項目をなくすことが望ましい。

【0005】

本発明は、上記問題を解決すべくなされたもので、その目的は、半導体装置の品質を確保しつつ、再検査を実行することができる検査装置、及び検査方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記問題を解決するために、本発明の一態様は、半導体装置を識別する識別情報を前記半導体装置から検出する検出部と、半導体装置を検査し、検査した当該検査結果と前記識別情報とを対応付けて記憶部に記憶させる検査部と、前記検出部が検出した識別情報に基づいて、前記半導体装置に対して過去に検査が実行されているか否かを判定し、過去に検査が実行されている場合に、前記記憶部が記憶する前記識別情報に対応する前記検査結果に基づいて、前記検査部が検査する検査項目のうち、過去に検査した検査項目と重複する検査項目の少なくとも１つを除外した再検査を前記検査部に実行させる制御部とを備え、前記制御部は、前記重複する検査項目のうち、少なくとも前記半導体装置に対して電気的ストレスを与える検査項目を除外した再検査を前記検査部に実行させることを特徴とする検査装置である。

【0008】

また、本発明の一態様は、上記の検査装置において、複数の前記検査部を備え、前記制御部は、前記複数の検査部のうち、実行する全ての検査項目が前記重複する検査項目である前記検査部を再検査から除外し、過去に検査していない検査項目が存在する前記検査部に対して全ての検査項目の再検査を実行させることを特徴とする。

【0009】

また、本発明の一態様は、上記の検査装置において、複数の前記検査部を備え、前記制御部は、前記複数の検査部のうち、実行する全ての検査項目が前記重複する検査項目である前記検査部を再検査から除外し、過去に検査していない検査項目が存在する前記検査部に対して、前記重複する検査項目を再検査から除外し、前記過去に検査していない検査項目の再検査を実行させることを特徴とする。

【0010】

また、本発明の一態様は、上記の検査装置において、前記半導体装置は、前記識別情報を示す二次元コードを有し、前記検出部は、前記二次元コードに基づいて、前記識別情報を検出することを特徴とする。

【0011】

また、本発明の一態様は、半導体装置を識別する識別情報を前記半導体装置から検出する検出部と、半導体装置を検査し、当該検査結果と前記識別情報とを対応付けて記憶部に記憶させる検査部とを備える検査装置の検査方法であって、前記検出部が検出した識別情報に基づいて、前記半導体装置に対して過去に検査が実行されているか否かを判定し、過去に検査が実行されている場合に、前記記憶部が記憶する前記識別情報に対応する前記検査結果に基づいて、前記検査部が検査する検査項目のうち、過去に検査した検査項目と重複する検査項目の少なくとも１つを除外した再検査を前記検査部に実行させ、前記重複する検査項目のうち、少なくとも前記半導体装置に対して電気的ストレスを与える検査項目を除外した再検査を前記検査部に実行させることを特徴とする検査方法である。

【発明の効果】

【0012】

本発明によれば、過去に検査した検査項目と重複する検査項目を除外した再検査を実行するので、半導体装置の品質を確保しつつ、再検査を実行することができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】第１の実施形態による検査装置の構成例を示すブロック図である。

【図2】第１の実施形態における半導体装置の一例を示す外観図である。

【図3】第１の実施形態における結果記憶部が記憶するデータ例を示す図である。

【図4】第１の実施形態における検査装置の検査手順の一例を示すフローチャートである。

【図5】第１の実施形態における検査装置の二次元コードの読み取り及び検査処理の一例を示すフローチャートである。

【図6】第２の実施形態における結果記憶部が記憶するデータ例を示す図である。

【図7】第２の実施形態における検査装置の二次元コードの読み取り及び検査処理の一例を示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、本発明の一実施形態による検査装置について図面を参照して説明する。
［第１の実施形態］
図１は、本実施形態による検査装置１の構成例を示すブロック図である。
図１に示すように、検査装置１は、コードリーダ１１と、搬送部１２と、分類部１３と、ハブ１４と、テスタＰＣ２０と、検査部（３０−１、３０−２）と、シーケンサ４０とを備えている。

【0015】

検査装置１は、例えば、半導体装置２（図２参照）の各種測定を実行して検査する。ここで、半導体装置２とは、例えば、パワーＭＯＳ（Metal-Oxide-Semiconductor）トランジスタ、ダイオード、サイリスタなどの半導体モジュールである。なお、本実施形態では、検査装置１が、２つの検査部（３０−１、３０−２）を備える場合の一例について説明する。また、検査装置１が備える任意の検査部を示す場合、又は特に区別しない場合には、検査部３０として説明する。

【0016】

コードリーダ１１（検出部の一例）は、半導体装置２を識別する識別情報であるシリアル番号を半導体装置２から検出する。コードリーダ１１は、半導体装置２のモジュールに捺印されている二次元コード２３（図２参照、例えば、ＱＲコード（登録商標）など）を読み取り、二次元コード２３によって示されるシリアル番号を検出する。すなわち、コードリーダ１１は、二次元コード２３に基づいて、シリアル番号を検出する。なお、シリアル番号には、例えば、製品名を示す情報、製造ロットを示す情報を含んでいてもよい。コードリーダ１１は、検出したシリアル番号をシーケンサ４０に出力する。

【0017】

ここで、図２を参照して、半導体装置２に捺印される二次元コード２３の一例について説明する。
図２は、本実施形態における半導体装置２の一例を示す外観図である。
図２に示すように、半導体装置２は、モジュール化されており（モジュール形状であり）、モジュール２１の表面に、端子部２２と、二次元コード２３とを有している。
端子部２２は、半導体装置２を動作させるための端子であり、検査の際に、後述する検査部３０に接続される。
二次元コード２３は、上述したシリアル番号を示すコードであり、例えば、レーザなどによりモジュール２１の表面に捺印されている。なお、シリアル番号は、例えば、半導体装置２ごとに異なる番号が付与されている。

【0018】

図１の説明に戻り、搬送部１２は、例えば、供給コンベア部や供給Ｐ＆Ｐ（ピック＆プレイス）部などを含み、作業者（オペレータ）によってセットされた半導体装置２をコードリーダ１１、検査部３０、及び分類部１３に搬送する。

【0019】

分類部１３は、後述するシーケンサ４０の結果記憶部４１が記憶する検査結果に基づいて、半導体装置２をＰＡＳＳ（良品）、ＦＡＩＬ（不良品）、及び再検査に分類する。分類部１３は、ＰＡＳＳ（良品）に分類した半導体装置２を、次工程装置の受渡ステージ（不図示）に移送する。また、分類部１３は、ＦＡＩＬ（不良品）に分類した半導体装置２を、不良品の回収用のラックである不良品回収ラック（不図示）に収納する。また、分類部１３は、再検査に分類した半導体装置２を再検査品の回収用のラックである再検査ラック（不図示）に収納する。

【0020】

ハブ１４は、例えば、イーサネット（登録商標）などのＬＡＮ（Local Area Network）用の集線装置であり、テスタＰＣ２０と、検査部３０とをＬＡＮによるネットワークにより接続する。

【0021】

テスタＰＣ（パーソナルコンピュータ）２０は、例えば、検査装置１への各種操作を受け付けるとともに、各種メッセージを表示する端末装置である。テスタＰＣ２０は、例えば、半導体装置２の検査の開始のための操作、検査結果を記録するデータ記録ファイルの設定などの操作を受け付ける。また、テスタＰＣ２０は、例えば、半導体装置２の検査に関するエラーメッセージなどを表示する。なお、テスタＰＣ２０は、データ記録ファイルに記録されている検査結果や検査条件などを表示して、作業者が確認可能であってもよい。
また、テスタＰＣ２０は、半導体装置２の製品名に適合した測定条件を記憶しており、製品名に応じた測定条件を検査部３０に出力する。また、テスタＰＣ２０は、検査部３０が検査した半導体装置２の検査結果（測定結果）を記憶する。また、テスタＰＣ２０は、ハブ１４を介して検査部３０とネットワークにより接続されているとともに、シーケンサ４０と、例えば、ＲＳ−２３２Ｃ規格のインターフェースなどのシリアルインターフェースにより接続されている。

【0022】

テスタＰＣ２０は、例えば、後述する半導体装置２のシリアル番号及び半導体装置２の検査結果（測定結果）を、検査部３０からハブ１４を介して取得する。そして、テスタＰＣ２０は、取得した検査結果（測定結果）とシリアル番号とを対応付けて、データ記録ファイルに記録（記憶）する。

【0023】

検査部３０（３０−１、３０−２）は、半導体装置２の各種測定を含む検査を実行し、検査した検査結果をシーケンサ４０及びテスタＰＣ２０に送信する。なお、本実施形態では、一例として、検査部３０−１と、検査部３０−２とのそれぞれが、１つの検査項目を検査する場合の例を説明する。
検査部３０は、例えば、検査した半導体装置２が合格（ＰＡＳＳ）であるか否かを示す検査結果をシーケンサ４０に送信し、当該検査結果と、当該半導体装置２のシリアル番号とを対応付けて後述するシーケンサ４０の結果記憶部４１に記憶させる。また、検査部３０は、例えば、ハブ１４を介して、各種測定の測定データを含む検査結果及び当該半導体装置２のシリアル番号をテスタＰＣ２０に送信し、当該測定データを含む検査結果と当該半導体装置２のシリアル番号とを対応付けてテスタＰＣ２０に記憶させる。

【0024】

検査部３０−１は、半導体装置２に対して、耐圧試験（検査項目の一例）を実行する。検査部３０−１は、テスタ３１と、耐圧試験器３２とを備えている。
テスタ３１は、例えば、ＧＰＩＢ（General Purpose Interface Bus）インターフェースにより耐圧試験器３２と接続され、耐圧試験器３２に半導体装置２の耐圧試験を実行させる。また、テスタ３１は、ハブ１４を介してテスタＰＣ２０に接続されているとともに、上述したシリアルインターフェース、及びＩＯ（Input Output）バスなどのパラレルインターフェースにより、シーケンサ４０と接続されている。

【0025】

テスタ３１は、例えば、シリアルインターフェースを介して、耐圧試験の開始命令などの制御命令を受信し、ＧＰＩＢインターフェースを介して、耐圧試験器３２に耐圧試験を実行させる。テスタ３１は、耐圧試験器３２によって実行された耐圧試験の実行結果に基づいて、半導体装置２の耐圧試験が合格（ＰＡＳＳ）であるか否かを判定し、判定結果（ＰＡＳＳ／ＦＡＩＬ）を、例えば、パラレルインターフェースによりシーケンサ４０に送信する。また、テスタ３１は、耐圧試験器３２によって実行された耐圧試験の測定データ及び半導体装置２のシリアル番号を、ハブ１４を介してテスタＰＣ２０に送信する。

【0026】

耐圧試験器３２は、テスタ３１からＧＰＩＢインターフェースを介して、受信した制御指示に基づいて、半導体装置２の耐圧試験を実行する。ここで、耐圧試験は、例えば、定格値を超える電圧を半導体装置２に印加して、半導体装置２に対して電気的ストレス（例えば、電圧負荷）を与える検査を含む試験である。耐圧試験器３２は、耐圧試験の際に測定した測定データを、ＧＰＩＢインターフェースを介して、テスタ３１に送信する。

【0027】

検査部３０−２は、半導体装置２に対して、例えば、所定の直流電圧又は直流電流に対する特性値を測定する静特性試験（検査項目の一例）を実行する。なお、静特性試験には、複数の測定項目が含まれているものとする。検査部３０−２は、テスタ３３を備えている。
テスタ３３は、ハブ１４を介してテスタＰＣ２０に接続されているとともに、上述したシリアルインターフェース及びＩＯバスなどのパラレルインターフェースにより、シーケンサ４０と接続されている。

【0028】

テスタ３３は、例えば、シリアルインターフェースを介して、静特性試験の開始命令などの制御命令を受信し、半導体装置２に対して、静特性試験を実行する。テスタ３３は、実行した静特性試験の実行結果に基づいて、半導体装置２の静特性試験が合格（ＰＡＳＳ）であるか否かを判定し、判定結果（ＰＡＳＳ／ＦＡＩＬ）を、例えば、パラレルインターフェースによりシーケンサ４０に送信する。また、テスタ３３は、静特性試験の測定データ及び半導体装置２のシリアル番号を、ハブ１４を介してテスタＰＣ２０に送信する。

【0029】

シーケンサ４０（制御部の一例）は、例えば、ＰＬＣ（Programmable Logic Controller）を含み、検査装置１を統括的に制御する。シーケンサ４０は、結果記憶部４１を備えている。シーケンサ４０は、例えば、搬送部１２を制御して、コードリーダ１１の二次元コード２３の検出位置に半導体装置２を移送させる。そして、シーケンサ４０は、コードリーダ１１に二次元コード２３を読み取らせて、二次元コード２３が示すシリアル番号をコードリーダ１１から取得する。また、シーケンサ４０は、取得したシリアル番号を、シリアルインターフェースを介して検査部３０に送信する。

【0030】

また、シーケンサ４０は、搬送部１２を制御して、半導体装置２を検査部３０の測定位置に移送させる。そして、シーケンサ４０は、検査部３０に半導体装置２を検査させて、検査結果を検査部３０から取得する。シーケンサ４０は、例えば、検査部３０が検査した検査が合格（ＰＡＳＳ）であるか否かを示す検査結果と、コードリーダ１１から取得した半導体装置２のシリアル番号とを対応付けて、結果記憶部４１に記憶させる。
なお、本実施形態では、検査装置１は、２つの検査部（３０−１．３０−２）を備えており、シーケンサ４０は、２つの検査部（３０−１．３０−２）のそれぞれに対して、半導体装置２を検査させて、検査結果と、半導体装置２のシリアル番号とを対応付けて結果記憶部４１に記憶させる。なお、結果記憶部４１は、例えば、１ロット分の検査結果を記憶する。

【0031】

ここで、図３を参照して、結果記憶部４１が記憶するデータ例について説明する。
図３は、本実施形態における結果記憶部４１が記憶するデータ例を示す図である。
この図に示すように、結果記憶部４１は、「シリアル番号」と、「テスタＡの検査結果」と、「テスタＢの検査結果」とを対応付けて記憶する。ここで、「シリアル番号」は、上述した半導体装置２のシリアル番号である。また、「テスタＡの検査結果」は、検査部３０−１（テスタ３１）の検査結果を示し、「テスタＢの検査結果」は、検査部３０−２（テスタ３３）の検査結果を示している。なお、以下の説明において、検査部３０−１（テスタ３１）を「テスタＡ」と表記し、検査部３０−２（テスタ３３）を「テスタＢ」と表記することがある。

【0032】

図３に示す例では、「シリアル番号」が、“ＸＸＸＸ０００００１”である半導体装置２は、「テスタＡの検査結果」が“ＰＡＳＳ”であり、「テスタＢの検査結果」が“ＰＡＳＳ”であることを示している。また、「シリアル番号」が、“ＸＸＸＸ０００００２”である半導体装置２は、「テスタＡの検査結果」が“ＰＡＳＳ”であり、「テスタＢの検査結果」が“−（未実施）”であることを示している。

【0033】

再び図１の説明に戻り、シーケンサ４０は、コードリーダ１１が検出したシリアル番号に基づいて、半導体装置２に対して過去に検査が実行されているか否かを判定する。シーケンサ４０は、例えば、コードリーダ１１が検出したシリアル番号に対応する検査結果が結果記憶部４１に記憶されているか否かによって、過去に検査が実行されているか否かを判定する。
また、シーケンサ４０は、過去に検査が実行されている場合に、結果記憶部４１が記憶するシリアル番号に対応する検査結果に基づいて、検査部３０が検査する検査項目のうち、過去に検査した検査項目と重複する検査項目の少なくとも１つを除外した再検査を検査部３０に実行させる。すなわち、シーケンサ４０は、再検査を実行する場合に、結果記憶部４１に記憶されているシリアル番号に対応する検査結果に基づいて、既に実行されている検査項目を抽出し、既に実行されている検査項目を除外した検査を検査部３０に実行させる。

【0034】

具体的に、シーケンサ４０は、シリアル番号に対応する検査結果を結果記憶部４１から参照し、例えば、“ＰＡＳＳ”となっている検査項目を除外して、“−（未実施）”の検査項目を検査部３０に実行させる。例えば、図３に示す「シリアル番号」が“ＸＸＸＸ０００００２”に対応する検査結果は、「テスタＡの検査結果」が“ＰＡＳＳ”であり、「テスタＢの検査結果」が“−（未実施）”である。この場合に、シーケンサ４０は、再検査において、検査部３０−１による検査項目（耐圧試験）を除外して、検査部３０−２による検査項目（静特性試験）のみを実行させる。

【0035】

なお、シーケンサ４０は、重複する検査項目が複数ある場合には、重複する検査項目のうち、例えば、耐圧試験のような、少なくとも半導体装置２に対して電気的ストレスを与える検査項目を除外した再検査を検査部３０に実行させる。ここで、本実施形態では、各検査部３０が、１つの検査項目を検査する場合の例であるため、シーケンサ４０は、重複する検査部３０が複数ある場合には、重複する検査部３０のうち、例えば、耐圧試験のような、少なくとも半導体装置２に対して電気的ストレスを与える検査を行う検査部３０を再検査から除外する。
また、本実施形態では、シーケンサ４０は、上述したように、再検査の際に、検査部３０単位で検査を実行するか否かを判定して、実行すると判定した検査部３０に検査を実行させる。すなわち、シーケンサ４０は、複数の検査部３０のうち、実行する全ての検査項目が重複する検査項目である検査部３０を再検査から除外し、過去に検査していない検査項目が存在する検査部３０に対して全ての検査項目の再検査を実行させる。ここで、本実施形態では、各検査部３０が、１つの検査項目を検査する場合の例であるため、上述した全ての検査項目とは、１つの検査項目となる。

【0036】

また、シーケンサ４０は、検査部３０による検査後に、搬送部１２を制御して、半導体装置２を分類部１３の位置に移送させて、分類部１３に半導体装置２をＰＡＳＳ（良品）、ＦＡＩＬ（不良品）、及び再検査のいずれかに分類させる。

【0037】

次に、図面を参照して、本実施形態による検査装置１の動作について説明する。
図４は、本実施形態における検査装置１の検査手順の一例を示すフローチャートである。
作業者によりシーケンサ４０が操作されて、半導体装置２の検査が開始されると、図４に示すように、検査装置１は、まず、二次元コード２３の読み取り、及び検査処理を実行する（ステップＳ１０１）。すなわち、検査装置１のシーケンサ４０は、搬送部１２を制御して、コードリーダ１１の検出位置に検査対象の半導体装置２を移送させて、コードリーダ１１に二次元コード２３を読み取らせる。コードリーダ１１は、読み取った二次元コード２３が示すシリアル番号をシーケンサ４０に送信し、シーケンサ４０は、検査対象の半導体装置２のシリアル番号をコードリーダ１１から取得する。そして、シーケンサ４０は、取得したシリアル番号に基づいて、再検査であるか否かを判定し、当該判定結果に応じた検査を検査部３０に実行させる。シーケンサ４０は、再検査である場合に、過去に検査した検査項目と重複する検査項目を除外した再検査を検査部３０に実行させる。また、シーケンサ４０は、再検査でない場合に、全ての検査項目の検査を検査部３０に実行させる。また、シーケンサ４０は、検査部３０による検査結果と、シリアル番号とを対応付けて、結果記憶部４１に記憶させる。

【0038】

例えば、図３に示す「シリアル番号」が“ＸＸＸＸ０００００２”である半導体装置２を再検査する場合には、シーケンサ４０は、検査部３０−１（テスタ３１）による検査を除外して、検査部３０−２（テスタ３３）による検査のみを実行させる。また、図３に示す「シリアル番号」が“ＸＸＸＸ０００００３”である半導体装置２を再検査する場合には、シーケンサ４０は、検査部３０−１（テスタ３１）による検査と、検査部３０−２（テスタ３３）による検査との両方を実行させる。

【0039】

次に、検査装置１は、分類部１３に検査部３０による検査結果に基づいて、半導体装置２を分類させる（ステップＳ１０２）。すなわち、シーケンサ４０は、搬送部１２を制御して、検査対象の半導体装置２を分類部１３の位置に移送させて、分類部１３に半導体装置２をＰＡＳＳ（良品）、ＦＡＩＬ（不良品）、及び再検査のいずれかに分類させる。分類部１３は、例えば、結果記憶部４１が記憶する検査対象の半導体装置２に対応する検査結果を取得し、取得した検査結果に基づいて、半導体装置２をＰＡＳＳ（良品）、ＦＡＩＬ（不良品）、及び再検査に分類する。

【0040】

分類部１３は、取得した検査結果のうちの全ての検査項目（検査部３０）の結果が合格（ＰＡＳＳ）である場合に、半導体装置２がＰＡＳＳ（良品）であると判定し、処理をステップＳ１０３に進める。また、分類部１３は、取得した検査結果のうちの少なくとも１つの検査項目（検査部３０）の結果が不合格（ＦＡＩＬ）である場合に、半導体装置２がＦＡＩＬ（不良品）であると判定し、処理をステップＳ１０４に進める。また、分類部１３は、取得した検査結果のうちの全ての検査項目（検査部３０）の結果に不合格（ＦＡＩＬ）がなく、且つ、未実施が含まれる場合に、半導体装置２に再検査が必要であると判定し、処理をステップＳ１０５に進める。

【0041】

ステップＳ１０３において、分類部１３は、半導体装置２を良品待機ステージ（次工程装置の受渡ステージ）に載置（移送）する。ステップＳ１０３の処理後に、検査装置１は、処理をステップＳ１０１に戻し、次の検査対象の半導体装置２の検査を実行する。

【0042】

ステップＳ１０４において、分類部１３は、半導体装置２を不良品回収ラックに収納する。ステップＳ１０４の処理後に、検査装置１は、処理をステップＳ１０１に戻し、次の検査対象の半導体装置２の検査を実行する。

【0043】

ステップＳ１０５において、分類部１３は、半導体装置２を再検査ラックに収納する。ステップＳ１０５の処理後に、検査装置１は、処理をステップＳ１０１に戻し、次の検査対象の半導体装置２の検査を実行する。なお、再検査ラックに収納された半導体装置２は、再検査品の在庫として管理された後に再び検査装置１に戻され、再検査処理が実行される。

【0044】

次に、図５を参照して、上述したステップＳ１０１の処理の詳細について説明する。
図５は、本実施形態における検査装置１の二次元コード２３の読み取り及び検査処理の一例を示すフローチャートである。なお、この図において、「テスタＡ」は、検査部３０−１（テスタ３１）を示し、「テスタＢ」は、検査部３０−２（テスタ３３）を示すものとする。

【0045】

図５に示すように、検査装置１は、まず、二次元コード２３を読み取る（ステップＳ２０１）。すなわち、検査装置１のシーケンサ４０は、搬送部１２を制御して、コードリーダ１１の検出位置に検査対象の半導体装置２を移送させて、コードリーダ１１に二次元コード２３を読み取らせる。シーケンサ４０は、コードリーダ１１が読み取った二次元コード２３が示すシリアル番号を取得する。なお、シーケンサ４０は、取得したシリアル番号を、シリアルインターフェースを介して検査部３０に送信する。

【0046】

次に、シーケンサ４０は、「テスタＡ」の検査が再検査であるか否かを判定する（ステップＳ２０２）。シーケンサ４０は、例えば、取得したシリアル番号に対応する検査結果が、結果記憶部４１に記憶されているか否かによって、「テスタＡ」の検査が再検査であるか否かを判定する。シーケンサ４０は、「テスタＡ」の検査が再検査である場合（ステップＳ２０２：ＹＥＳ）に、処理をステップＳ２０３に進める。また、シーケンサ４０は、「テスタＡ」の検査が再検査でない場合（ステップＳ２０２：ＮＯ）に、処理をステップＳ２０４に進める。

【0047】

ステップＳ２０３において、シーケンサ４０は、「テスタＡ」の検査が未実施であるか否かを判定する。シーケンサ４０は、例えば、結果記憶部４１に記憶されている検査結果であって、シリアル番号に対応する検査結果の「テスタＡの検査結果」が“−（未実施）”であるか否かによって、「テスタＡ」の検査が未実施であるか否かを判定する。シーケンサ４０は、「テスタＡ」の検査が未実施である場合（ステップＳ２０３：ＹＥＳ）に、処理をステップＳ２０４に進める。また、シーケンサ４０は、「テスタＡ」の検査が未実施でない（実行済みである）場合（ステップＳ２０３：ＮＯ）に、処理をステップＳ２０７に進め、「テスタＡ」の再検査を実行しない。

【0048】

ステップＳ２０４において、シーケンサ４０は、「テスタＡ」による検査を実行する。すなわち、シーケンサ４０は、検査部３０−１（テスタ３１）に半導体装置２の検査を実行させる。
次に、シーケンサ４０は、「テスタＡ」による検査結果を格納する（ステップＳ２０５）。すなわち、シーケンサ４０は、検査部３０−１（テスタ３１）から検査結果を取得し、所得した検査結果とシリアル番号とを対応付けて結果記憶部４１に記憶させる。なお、検査部３０−１（テスタ３１）は、検査の際に測定した測定データを含む検査結果とシリアル番号とをテスタＰＣ２０に送信し、テスタＰＣ２０は、受信した検査結果とシリアル番号とを対応付けてデータ記録ファイルに記録（記憶）する。

【0049】

次に、シーケンサ４０は、「テスタＡ」の検査結果が合格であるか否かを判定する（ステップＳ２０６）。シーケンサ４０は、検査部３０−１（テスタ３１）から取得した検査結果が合格（ＰＡＳＳ）である場合（ステップＳ２０６：ＹＥＳ）に、処理をステップＳ２０７に進める。また、シーケンサ４０は、検査部３０−１（テスタ３１）から取得した検査結果が合格（ＰＡＳＳ）でない場合（ステップＳ２０６：ＮＯ）に、処理（図４に示すステップＳ１０１の処理）を終了する。

【0050】

ステップＳ２０７において、シーケンサ４０は、「テスタＢ」の検査が再検査であるか否かを判定する。シーケンサ４０は、例えば、取得したシリアル番号に対応する検査結果が、結果記憶部４１に記憶されているか否かによって、「テスタＢ」の検査が再検査であるか否かを判定する。シーケンサ４０は、「テスタＢ」の検査が再検査である場合（ステップＳ２０７：ＹＥＳ）に、処理をステップＳ２０８に進める。また、シーケンサ４０は、「テスタＢ」の検査が再検査でない場合（ステップＳ２０６：ＮＯ）に、処理をステップＳ２０９に進める。

【0051】

ステップＳ２０８において、シーケンサ４０は、「テスタＢ」の検査が未実施であるか否かを判定する。シーケンサ４０は、例えば、結果記憶部４１に記憶されている検査結果であって、シリアル番号に対応する検査結果の「テスタＢの検査結果」が“−（未実施）”であるか否かによって、「テスタＢ」の検査が未実施であるか否かを判定する。シーケンサ４０は、「テスタＢ」の検査が未実施である場合（ステップＳ２０８：ＹＥＳ）に、処理をステップＳ２０９に進める。また、シーケンサ４０は、「テスタＡ」の検査が未実施でない（実行済みである）場合（ステップＳ２０８：ＮＯ）に、処理（図４に示すステップＳ１０１の処理）を終了し、「テスタＢ」の再検査を実行しない。

【0052】

ステップＳ２０９において、シーケンサ４０は、「テスタＢ」による検査を実行する。すなわち、シーケンサ４０は、検査部３０−２（テスタ３３）に半導体装置２の検査を実行させる。
次に、シーケンサ４０は、「テスタＢ」による検査結果を格納する（ステップＳ２１０）。すなわち、シーケンサ４０は、検査部３０−２（テスタ３３）から検査結果を取得し、所得した検査結果とシリアル番号とを対応付けて結果記憶部４１に記憶させる。なお、検査部３０−２（テスタ３３）は、検査の際に測定した測定データを含む検査結果とシリアル番号とをテスタＰＣ２０に送信し、テスタＰＣ２０は、受信した検査結果とシリアル番号とを対応付けてデータ記録ファイルに記録（記憶）する。シーケンサ４０は、ステップＳ２１０の処理後に、処理（図４に示すステップＳ１０１の処理）を終了する。

【0053】

以上説明したように、本実施形態による検査装置１は、コードリーダ１１（検出部）と、検査部３０と、シーケンサ４０（制御部）とを備えている。コードリーダ１１は、半導体装置２を識別する識別情報（例えば、シリアル番号）を半導体装置２から検出する。検査部３０は、半導体装置２を検査し、検査した当該検査結果と識別情報（例えば、シリアル番号）とを対応付けて結果記憶部４１に記憶させる。シーケンサ４０は、コードリーダ１１が検出した識別情報（例えば、シリアル番号）に基づいて、半導体装置２に対して過去に検査が実行されているか否かを判定する。シーケンサ４０は、過去に検査が実行されている場合に、結果記憶部４１が記憶する識別情報（例えば、シリアル番号）に対応する検査結果に基づいて、検査部３０が検査する検査項目のうち、過去に検査した検査項目と重複する検査項目の少なくとも１つを除外した再検査を検査部３０に実行させる。

【0054】

これにより、本実施形態による検査装置１は、過去に検査した検査項目と重複する検査項目を除外した再検査を実行するので、例えば、耐圧試験やＰＲＳＭ（定格サージ逆電力）試験のように半導体装置２に電気的ストレスを与える検査項目が繰り返し実行されて、半導体装置２の品質を低下させてしまう可能性を低減することができる。よって、本実施形態による検査装置１は、半導体装置２の品質を確保しつつ、再検査を実行することができる。
また、本実施形態による検査装置１は、重複する検査項目を除外した再検査を実行するので、再検査において不要な検査（測定）を削減することができる。よって、本実施形態による検査装置１は、再検査において、検査時間を短縮することができる。

【0055】

また、本実施形態では、シーケンサ４０は、重複する検査項目のうち、少なくとも半導体装置２に対して電気的ストレスを与える検査項目（例えば、耐圧試験）を除外した再検査を検査部３０に実行させる。
これにより、本実施形態による検査装置１は、再検査により、半導体装置２の品質を低下させてしまう可能性を確実に低減することができる。

【0056】

また、本実施形態による検査装置１は、複数の検査部３０（３０−１、３０−２）を備えている。そして、シーケンサ４０は、複数の検査部３０のうち、実行する全ての検査項目が重複する検査項目である検査部３０を再検査から除外し、過去に検査していない検査項目が存在する検査部３０に対して全ての検査項目の再検査を実行させる。
これにより、本実施形態による検査装置１は、再検査において、重複する検査項目を検査部３０単位で除外するので、検査項目単位で除外する場合と比較して、容易に重複する検査項目を除外することができる。

【0057】

また、本実施形態では、半導体装置２は、識別情報（例えば、シリアル番号）を示す二次元コード２３を有し、コードリーダ１１は、二次元コード２３に基づいて、識別情報（例えば、シリアル番号）を検出する。
これにより、本実施形態による検査装置１は、二次元コード２３という簡易な手法により、半導体装置２を識別する識別情報を取得することができる。

【0058】

また、本実施形態による検査方法は、半導体装置２を識別する識別情報（例えば、シリアル番号）を半導体装置２から検出するコードリーダ１１と、半導体装置２を検査し、当該検査結果と識別情報（例えば、シリアル番号）を対応付けて結果記憶部４１に記憶させる検査部３０とを備える検査装置１の検査方法である。本実施形態による検査方法において、検査装置１は、コードリーダ１１が検出した識別情報（例えば、シリアル番号）に基づいて、半導体装置２に対して過去に検査が実行されているか否かを判定する。そして、検査装置１は、過去に検査が実行されている場合に、結果記憶部４１が記憶する識別情報（例えば、シリアル番号）に対応する検査結果に基づいて、検査部３０が検査する検査項目のうち、過去に検査した検査項目と重複する検査項目の少なくとも１つを除外した再検査を検査部３０に実行させる。
これにより、本実施形態による検査方法は、上述した検査装置１と同様に、半導体装置２の品質を確保しつつ、再検査を実行することができる。

【0059】

［第２の実施形態］
次に、図面を参照して、第２の実施形態による検査装置１について説明する。
本実施形態による検査装置１の構成は、図１に示す第１の実施形態と同様であるので、ここではその説明を省略する。
なお、本実施形態では、検査部３０が複数の検査項目を検査する場合の一例について説明する。すなわち、検査部３０−１は、耐圧試験を含む複数の検査項目を検査するとともに、検査部３０−２は、複数の検査項目（例えば、複数の測定項目を含む静特性試験など）を検査するものとして説明する。

【0060】

なお、本実施形態における結果記憶部４１は、図６に示すように、シリアル番号と、複数の検査項目の検査結果とを対応付けて記憶する。
図６は、本実施形態における結果記憶部４１が記憶するデータ例を示す図である。
図６に示すように、結果記憶部４１は、「シリアル番号」と、「テスタＡの検査結果」と、「テスタＢの検査結果」とを対応付けて記憶する。また、「テスタＡの検査結果」及び「テスタＢの検査結果」のそれぞれには、「検査項目１」、「検査項目２」、・・・による各検査項目の検査結果が含まれている。すなわち、結果記憶部４１は、「シリアル番号」と、各検査項目の検査結果とを対応付けて記憶している。

【0061】

図６に示す例では、「シリアル番号」が、“ＸＸＸＸ０００００１”である半導体装置２は、「テスタＡの検査結果」の「検査項目１」及び「検査項目２」と、「テスタＢの検査結果」の「検査項目１」とが、“ＰＡＳＳ”であり、「テスタＢの検査結果」の「検査項目２」が、“−（未実施）”であることを示している。

【0062】

また、本実施形態におけるシーケンサ４０は、検査部３０に複数の検査項目を実行させ、検査部３０から検査項目ごとの検査結果を取得する。シーケンサ４０は、図６に示すように、検査項目ごとの検査結果と、半導体装置２のシリアル番号とを対応付けて結果記憶部４１に記憶させる。また、シーケンサ４０は、再検査を行う際には、上述した結果記憶部４１からシリアル番号に対応する各検査項目の検査結果を参照して、重複する検査項目を除外した検査を検査部３０に実行させる。
例えば、図６に示す「シリアル番号」が、“ＸＸＸＸ０００００１”である半導体装置２に対して、シーケンサ４０は、検査部３０−１の検査項目のうち、少なくとも「検査項目１」及び「検査項目２」を除外し、検査部３０−２の検査項目のうち、少なくとも「検査項目１」を除外して、再検査を実行させる。この場合、シーケンサ４０は、再検査において、検査部３０−２に「検査項目２」の検査を実行させる。

【0063】

次に、図面を参照して、本実施形態による検査装置１の動作について説明する。
本実施形態における検査装置１の検査手順は、基本的に図４に示す第１の実施形態と同様であるので、ここではその説明を省略する。
ここでは、図７を参照して、図４に示すステップＳ１０１の処理の詳細について説明する。
図７は、本実施形態における検査装置１の二次元コード２３の読み取り及び検査処理の一例を示すフローチャートである。なお、この図において、図５と同様に、「テスタＡ」は、検査部３０−１（テスタ３１）を示し、「テスタＢ」は、検査部３０−２（テスタ３３）を示すものとする。

【0064】

図７に示すように、検査装置１は、まず、二次元コード２３を読み取る（ステップＳ３０１）。なお、ステップＳ３０１の処理は、上述した図５に示すステップＳ２０１の処理と同様である。
次に、シーケンサ４０は、「テスタＡ」の検査が再検査であるか否かを判定する（ステップＳ３０２）。シーケンサ４０は、例えば、取得したシリアル番号に対応する検査結果が、結果記憶部４１に記憶されているか否かによって、「テスタＡ」の検査が再検査であるか否かを判定する。シーケンサ４０は、「テスタＡ」の検査が再検査である場合（ステップＳ３０２：ＹＥＳ）に、処理をステップＳ３０４に進める。また、シーケンサ４０は、「テスタＡ」の検査が再検査でない場合（ステップＳ３０２：ＮＯ）に、処理をステップＳ３０３に進める。

【0065】

ステップＳ３０３において、シーケンサ４０は、再検査でない通常の検査処理として、「テスタＡ」の全検査項目を実行する。すなわち、シーケンサ４０は、検査部３０−１（テスタ３１）に、全検査項目の検査を実行させる。ステップＳ３０３の処理後に、シーケンサ４０は、処理をステップＳ３０５に進める。

【0066】

ステップＳ３０４において、シーケンサ４０は、再検査処理として、重複を除外した「テスタＡ」の検査項目を実行する。すなわち、シーケンサ４０は、結果記憶部４１のシリアル番号に対応する「テスタＡの検査結果」のうち、“ＰＡＳＳ”である検査項目を除外し、“−（未実施）”である検査項目の検査を検査部３０−１（テスタ３１）に実行させる。
なお、シーケンサ４０は、重複する検査項目が複数ある場合には、重複する検査項目のうち、例えば、耐圧試験のような、少なくとも半導体装置２に対して電気的ストレスを与える検査項目を除外した再検査を検査部３０に実行させるようにしてもよい。また、全検査項目が“ＰＡＳＳ”である場合には、シーケンサ４０は、検査部３０−１（テスタ３１）に検査を実行させない。ステップＳ３０４の処理後に、シーケンサ４０は、処理をステップＳ３０５に進める。

【0067】

ステップＳ３０５において、シーケンサ４０は、「テスタＡ」による検査結果を格納する。すなわち、シーケンサ４０は、検査部３０−１（テスタ３１）から検査項目ごとの検査結果を取得し、取得した検査結果と、検査対象の半導体装置２のシリアル番号とを対応付けて結果記憶部４１に記憶させる。なお、検査部３０−１（テスタ３１）は、検査の際に測定した測定データを含む検査結果とシリアル番号とをテスタＰＣ２０に送信し、テスタＰＣ２０は、受信した検査結果とシリアル番号とを対応付けてデータ記録ファイルに記録（記憶）する。

【0068】

次に、シーケンサ４０は、「テスタＡ」の検査結果が合格であるか否かを判定する（ステップＳ３０６）。シーケンサ４０は、検査部３０−１（テスタ３１）から取得した各検査項目の検査結果が全て合格（ＰＡＳＳ）である場合（ステップＳ３０６：ＹＥＳ）に、処理をステップＳ３０７に進める。また、シーケンサ４０は、検査部３０−１（テスタ３１）から取得した各検査項目の検査結果が１つでも合格（ＰＡＳＳ）でない場合（ステップＳ３０６：ＮＯ）に、処理（図４に示すステップＳ１０１の処理）を終了する。

【0069】

ステップＳ３０７において、シーケンサ４０は、「テスタＢ」の検査が再検査であるか否かを判定する。シーケンサ４０は、例えば、取得したシリアル番号に対応する検査結果が、結果記憶部４１に記憶されているか否かによって、「テスタＢ」の検査が再検査であるか否かを判定する。シーケンサ４０は、「テスタＢ」の検査が再検査である場合（ステップＳ３０７：ＹＥＳ）に、処理をステップＳ３０９に進める。また、シーケンサ４０は、「テスタＢ」の検査が再検査でない場合（ステップＳ３０７：ＮＯ）に、処理をステップＳ３０８に進める。

【0070】

ステップＳ３０８において、シーケンサ４０は、再検査でない通常の検査処理として、「テスタＢ」の全検査項目を実行する。すなわち、シーケンサ４０は、検査部３０−２（テスタ３３）に、全検査項目の検査を実行させる。ステップＳ３０８の処理後に、シーケンサ４０は、処理をステップＳ３１０に進める。

【0071】

ステップＳ３０９において、シーケンサ４０は、再検査処理として、重複を除外した「テスタＢ」の検査項目を実行する。すなわち、シーケンサ４０は、結果記憶部４１のシリアル番号に対応する「テスタＢの検査結果」のうち、“ＰＡＳＳ”である検査項目を除外し、“−（未実施）”である検査項目の検査を検査部３０−２（テスタ３３）に実行させる。なお、全検査項目が“ＰＡＳＳ”である場合には、シーケンサ４０は、検査部３０−２（テスタ３３）に検査を実行させない。ステップＳ３０９の処理後に、シーケンサ４０は、処理をステップＳ３１０に進める。

【0072】

ステップＳ３１０において、シーケンサ４０は、「テスタＢ」による検査結果を格納する。すなわち、シーケンサ４０は、検査部３０−２（テスタ３３）から検査項目ごとの検査結果を取得し、取得した検査結果と、検査対象の半導体装置２のシリアル番号とを対応付けて結果記憶部４１に記憶させる。なお、検査部３０−２（テスタ３３）は、検査の際に測定した測定データを含む検査結果とシリアル番号とをテスタＰＣ２０に送信し、テスタＰＣ２０は、受信した検査結果とシリアル番号とを対応付けてデータ記録ファイルに記録（記憶）する。シーケンサ４０は、ステップＳ３１０の処理後に、処理（図４に示すステップＳ１０１の処理）を終了する。

【0073】

以上説明したように、本実施形態において、結果記憶部４１は、検査した検査項目ごとの検査結果と半導体装置２のシリアル番号とを対応付けて記憶する。検査部３０は、半導体装置２に対して複数の検査項目を検査し、検査した検査項目ごとの検査結果とシリアル番号とを対応付けて結果記憶部４１に記憶させる。すなわち、検査部３０は、検査した検査項目ごとの検査結果をシーケンサ４０に送信し、シーケンサ４０が、検査した検査項目ごとの検査結果とシリアル番号とを対応付けて結果記憶部４１に記憶させる。また、シーケンサ４０は、コードリーダ１１が検出したシリアル番号が結果記憶部４１に記憶されているか否かによって、半導体装置２に対して過去に検査が実行されているか否かを判定する。そして、シーケンサ４０は、過去に検査が実行されている場合に、結果記憶部４１が記憶する二次元コード２３に対応する検査結果に基づいて、検査部３０が検査する検査項目のうち、過去に検査した検査項目と重複する検査項目の少なくとも１つを除外した再検査を検査部３０に実行させる。

【0074】

これにより、本実施形態による検査装置１は、上述した第１の実施形態と同様に、半導体装置２の品質を確保しつつ、再検査を実行することができる。なお、本実施形態では、検査装置１は、再検査において、検査項目単位で重複する検査項目を除外することができるので、より適切な検査（測定）を実行することができる。

【0075】

また、本実施形態による検査装置１は、複数の検査部３０（３０−１、３０−２）を備えている。そして、シーケンサ４０は、複数の検査部３０のうち、実行する全ての検査項目が重複する検査項目である検査部３０を再検査から除外し、過去に検査していない検査項目が存在する検査部３０に対して、重複する検査項目を再検査から除外し、過去に検査していない検査項目の再検査を実行させる。
これにより、本実施形態による検査装置１は、再検査において、検査部３０単位、及び検査項目単位で重複する検査項目を除外することができるので、より適切な検査（測定）を実行することができる。

【0076】

なお、本発明は、上記の各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で変更可能である。
例えば、上記の各実施形態において、検査装置１は、２つの検査部３０を備える例を説明したが、これに限定されるものではなく、例えば、１つの検査部３０を備えるようにしてもよいし、３つ以上の検査部３０を備えるようにしてもよい。

【0077】

また、上記の各実施形態において、コードリーダ１１が二次元コード２３を読み取って、半導体装置２の識別情報（例えば、シリアル番号）を検出する例を説明したが、これに限定されるものではない。例えば、コードリーダ１１は、二次元コード２３の代わりに、バーコードなどの一次元コードを読み取って識別情報を検出するようにしてもよいし、他のコードを取って識別情報を検出するようにしてもよい。また、例えば、半導体装置２は、数字又は記号などの識別情報を示す文字が捺印されていて、コードリーダ１１が、ＯＣＲ（Optical Character Recognition：光学文字認識）機能を用いて、識別情報を検出するようにしてもよい。

【0078】

また、上記の各実施形態において、検査装置１は、モジュール形状の半導体装置２を検査する例を説明したが、これに限定されるものではない。検査装置１は、例えば、ウェハ状の半導体装置２を検査するようにしてもよい。なお、この場合、検査装置１は、ウェハ番号と、ウェハ上の半導体装置２の位置情報とを組み合わせて、半導体装置２の識別情報として検出するようにしてもよい。

【0079】

また、上記の各実施形態において、一例として、半導体装置２に電気的ストレスを与える検査項目が耐圧試験である例を説明したが、これに限定されるものではなく、ＰＲＳＭや、スクリーニング試験のためのＶ（電圧）ストレス試験など、他の電気的ストレスを与える試験であってもよい。また、検査項目には、回数制限が設定され、検査装置１は、再検査において、回数制限を超える場合に、検査項目から除外するようにしてもよい。この場合、結果記憶部４１は、半導体装置２の識別情報と、各検査項目の検査結果及び実行回数とを対応付けて記憶するようにしてもよい。

【0080】

また、上記の各実施形態において、シーケンサ４０が、結果記憶部４１を備える例を説明したが、これに限定されるものではなく、シーケンサ４０の外部に結果記憶部４１を備えるようにしてもよい。例えば、検査部３０又はテスタＰＣ２０が結果記憶部４１を備えるようにしてもよいし、検査装置１が、シーケンサ４０の外部に結果記憶部４１としての記憶装置を備えるようにしてもよい。

【0081】

また、上記の各実施形態において、結果記憶部４１は、１ロット分の検査結果を記憶する例を説明したが、これに限定されるものではなく、複数ロットの検査結果を記憶するようにしてもよい。
また、上記の各実施形態において、シーケンサ４０の一部又は全部の機能を、検査部３０又はテスタＰＣ２０が備えるようにしてもよい。

【0082】

また、上記の各実施形態において、検査装置１は、全検査項目を実行する通常検査処理と、再検査処理とのいずれの検査を実行するのかを、テスタＰＣ２０から作業者が設定してから、各検査処理を実行するようにしてもよい。この場合、検査装置１は、結果記憶部４１を参照して、通常検査処理中に、過去に検査が実行されている半導体装置２を検出した場合に、テスタＰＣ２０に異常を示すメッセージを表示させる。これにより、検査装置１は、既に検査を実行済みの半導体装置２が誤って混入されている作業ミスなどを検出することができる。

【0083】

また、上記の各実施形態において、検査部３０とシーケンサ４０とは、シリアルインターフェース、及びパラレルインターフェースにより接続される例を説明したが、これに限定されるものではない。例えば、検査部３０とシーケンサ４０とは、シリアルインターフェースとパラレルインターフェースとのいずれか一方により接続されるようにしてもよい。また、シリアルインターフェースは、ＲＳ−２３２Ｃ規格のインターフェースに限定されるものではなく、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）などの他のインターフェースであってもよい。
また、上記の各実施形態において、テスタ３１は、ＧＰＩＢインターフェースにより耐圧試験器３２と接続される例を説明したが、他のインターフェースにより耐圧試験器３２と接続されるようにしてもよい。また、テスタＰＣ２０は、シリアルインターフェースによりシーケンサ４０と接続される例を説明したが、他のインターフェースによりシーケンサ４０と接続されるようにしてもよい。

【0084】

なお、上述の検査装置１は内部に、コンピュータシステムを有している。そして、上述した検査装置１の備える各部の処理過程は、プログラムの形式でコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記憶されており、このプログラムをコンピュータが読み出して実行することによって、上記処理が行われる。ここでコンピュータ読み取り可能な記録媒体とは、磁気ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、半導体メモリ等をいう。また、このコンピュータプログラムを通信回線によってコンピュータに配信し、この配信を受けたコンピュータが当該プログラムを実行するようにしてもよい。

【符号の説明】

【0085】

１ 検査装置
２ 半導体装置
１１ コードリーダ
１２ 搬送部
１３ 分類部
１４ ハブ
２０ テスタＰＣ
２１ モジュール
２２ 端子部
２３ 二次元コード
３０、３０−１、３０−２ 検査部
３１、３３ テスタ
３２ 耐圧試験器
４０ シーケンサ
４１ 結果記憶部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】