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特許6547225膜厚算出方法、成膜装置およびプログラム
発明の名称 膜厚算出方法、成膜装置およびプログラム
出願人 高知県公立大学法人 （識別番号 513067727）
特許公開件数ランキング 5243 位（2件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 12849 位（1件）（共同出願を含む）
出願人 株式会社ＦＬＯＳＦＩＡ （識別番号 511187214）
特許公開件数ランキング 3051 位（2件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 747 位（11件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6547225
公報発行日 2019年7月24
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6547225
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