特許 6551197 ロードポート

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6551197

(24)【登録日】2019年7月12日

(45)【発行日】2019年7月31日

(54)【発明の名称】ロードポート

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20190722BHJP

   B65G 49/00 20060101ALI20190722BHJP

   H01L 21/67 20060101ALI20190722BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 A

   B65G49/00 A

   H01L21/68 L

【請求項の数】3

【全頁数】15

(21)【出願番号】特願2015-233485(P2015-233485)

(22)【出願日】2015年11月30日

(65)【公開番号】特開2017-103286(P2017-103286A)

(43)【公開日】2017年6月8日

【審査請求日】2018年10月9日

(73)【特許権者】

【識別番号】000002059

【氏名又は名称】シンフォニアテクノロジー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001841

【氏名又は名称】特許業務法人梶・須原特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】森鼻 俊光

(72)【発明者】

【氏名】松本 祐貴

【審査官】 宮久保 博幸

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１６−１８１６５５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−０８８０１７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２００３−５０４８８７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−２２２３１０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−１９７４３１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−１４６８７０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｂ６５Ｇ ４９／００

Ｈ０１Ｌ ２１／６７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送空間を区画する隔壁の一部を構成し、被処理物を前記搬送空間に出し入れするためのベース開口部を有する立設配置されるベースと、
前記ベースの前記搬送空間の側とは反対側に設けられ、複数の前記被処理物を収容する容器が載置される載置台と、
前記ベース開口部の開閉を行うドアと、
前記載置台の上に載置された前記容器を覆う開閉可能な容器カバーと、
を備えるロードポートにおいて、
前記容器カバーは、分割された形態の複数の分割容器カバーで構成されており、
前記複数の分割容器カバーは、前記載置台の上方、および前記載置台の下方スペースに退避可能に構成されていることを特徴とする、ロードポート。

【請求項2】

請求項１に記載のロードポートにおいて、
前記複数の分割容器カバーは、
前記載置台の前方側を覆うとともに、開の状態にされたとき、前記載置台の下方スペースに退避する、昇降移動する第１容器カバーと、
前記第１容器カバーの上に載せられて前記載置台の上方側を覆うとともに、前記開の状態にされたとき、前記載置台の上方に退避する、回動動作する第２容器カバーと、
を有することを特徴とする、ロードポート。

【請求項3】

請求項１または２に記載のロードポートにおいて、
前記複数の分割容器カバーを動作させる駆動装置が、前記複数の分割容器カバーのそれぞれに設けられていることを特徴とする、ロードポート。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ウエハなどの被処理物を搬送空間に出し入れするために、当該被処理物を収容する容器が載置されるロードポートに関する。

【背景技術】

【0002】

上記した容器には、ＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）と呼ばれる開閉可能な蓋を備える密閉型の容器や、オープンカセットと呼ばれる開放型の容器がある。これら容器の内側には複数段の棚板が設けられており、ウエハなどの複数の被処理物は、上下方向に一定の間隔をあけて水平姿勢でその容器の中に収容される。

【0003】

ここで、異なるサイズのウエハ（異なるサイズの容器）のいずれにも対応できるロードポートとして、例えば特許文献１に記載のロードポートがある。特許文献１の中に記載されているように、一般に、３００ｍｍウエハには、密閉型の容器であるＦＯＵＰが用いられ、２００ｍｍウエハには、開放型の容器であるオープンカセットが用いられる。特許文献１の段落００３１に記載されているように、２００ｍｍウエハ用の容器であるオープンカセットを用いる場合、載置台の上に載置された２００ｍｍウエハを収容するオープンカセットの全体をキャリアカバーで覆う。このキャリアカバーは、載置台の少し下の回動支点を中心にして回動するように構成されており、ロードポートが作動していないとき、および３００ｍｍウエハ用のＦＯＵＰが載置されているときは、その全てが載置台の下方に退避させられる。

【0004】

上記したキャリアカバーに関する技術として、特許文献２に記載のものもある。特許文献２に記載のカセットカバー部材も、特許文献１に記載のキャリアカバーと同様、使用しないときは、その全てが載置台の下方に退避させられる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特許第４４７４９２２号公報

【特許文献2】特開２００３−２４９５３５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

ここで、例えば特許第５７９６２７９号公報に記載されているように、ロードポートの載置台の下方には、ロードポートのドア昇降機構、マッピングセンサの昇降機構などの機械機構や、これらを動作させるための制御盤、ケーブルなどの電気機器が収納される。

【0007】

特許文献１，２に記載されているようなロードポートの載置台の下方にその全てを退避させるタイプのカバーによると、上記した機械機構および電気機器の収容スペースを確保しにくい。収容スペースを確保できたとしても、その収容スペースが複雑なものとなる。

【0008】

上記した機械機構および電気機器の収容スペースとして、ロードポートのベースの背面側を利用することも考えられるが、この背面側には、昇降するドアの昇降空間などを確保する必要があったり、半導体の製造機器メーカー、材料メーカーなどを構成員とする国際的な業界団体であるSEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）により策定されたＳＥＭＩ規格（Semiconductor Equipment and Materials International Standard）を遵守する場合は収容スペースがベースの背面から１００ｍｍ（３００ｍｍウエハの場合）という制約があったりと、必要な収容スペースを確保することは困難である。

【0009】

本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、ロードポートに必要な機械機構、および電気機器の収容スペースをロードポートの載置台の下方に確保しやすいロードポートを提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明に係るロードポートは、搬送空間を区画する隔壁の一部を構成し、被処理物を前記搬送空間に出し入れするためのベース開口部を有する立設配置されるベースと、前記ベースの前記搬送空間の側とは反対側に設けられ、複数の前記被処理物を収容する容器が載置される載置台と、前記ベース開口部の開閉を行うドアと、前記載置台の上に載置された前記容器を覆う開閉可能な容器カバーと、を備える。前記容器カバーは、分割された形態の複数の分割容器カバーで構成されており、前記複数の分割容器カバーは、前記載置台の上方、および前記載置台の下方スペースに退避可能に構成されている。

【0011】

この構成によると、容器を覆う開閉可能な容器カバーを、分割された形態の複数の分割容器カバーとすることで、カバーの配置、およびカバー形状の自由度が高くなる。これらの複数の分割容器カバーを、載置台の下方ではなく、載置台の上方や、載置台の下方スペースに退避させるので、開閉可能な容器カバーの全てを載置台の下方スペースに退避させる場合に比べて、ロードポートに必要な機械機構、および電気機器の収容スペースをロードポートの載置台の下方に確保しやすい。

【0012】

また本発明において、前記複数の分割容器カバーは、前記載置台の前方側を覆うとともに、開の状態にされたとき、前記載置台の下方スペースに退避する、昇降移動する第１容器カバーと、前記第１容器カバーの上に載せられて前記載置台の上方側を覆うとともに、前記開の状態にされたとき、前記載置台の上方に退避する、回動動作する第２容器カバーと、を有することが好ましい。

【0013】

この構成によると、特に、載置台の下方スペースに退避する分割容器カバーを昇降移動する構成としたことで、ロードポートに必要な機械機構、および電気機器の収容スペースをロードポートの載置台の下方により確保しやすい。

【0014】

さらに本発明において、前記複数の分割容器カバーを動作させる駆動装置が、前記複数の分割容器カバーのそれぞれに設けられていることが好ましい。

【0015】

この構成によると、分割容器カバーを自動で開閉することができる。これにより、容器の搬送方法や、容器の種類によって、必要な分割容器カバーのみを自動で開けたり、必要最低限の範囲で分割容器カバーを自動で開けたりなどの制御が可能となる。

【発明の効果】

【0016】

本発明によれば、ロードポートに必要な機械機構、および電気機器の収容スペースをロードポートの載置台の下方に確保しやすいロードポートを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本発明の一実施形態に係るロードポートを含む、半導体の製造に用いられる装置全体の概略平面図である。

【図2】図１に示すロードポートの斜視図である。

【図3】図２（ｂ）に示すロードポートを上方からみた平面図である。

【図4】ロードポートの載置台の上に載せるアダプタおよびカセットを示す斜視図である。

【図5】ロードポートの載置台の上に載せるアダプタおよびカセットを示す斜視図である。

【図6】図２に示すロードポートにおいて、外カバー、ベース、および第２容器カバーを外した、ロードポートの内部構造を示す斜視図である（第１容器カバーは下がった状態）。

【図7】図２に示すロードポートにおいて、外カバー、ベース、および第２容器カバーを外した、ロードポートの内部構造を示す斜視図である（第１容器カバーは上がった状態）。

【図8】図７に示すロードポートの上部を示す斜視図である（第２容器カバーは取り付けられた状態）。

【図9】図８の右側面図である。

【図10】図８の左側面図である。

【図11】マッピングセンサの斜視図である。

【図12】開閉可能な容器カバーの変形例を示す斜視図である。

【図13】開閉可能な容器カバーの変形例を示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しつつ説明する。

【0019】

（ロードポートを含む装置全体の構成）
図１に示す装置は、半導体の製造に用いられる装置であって、複数のロードポート１（本実施形態では３つ）と、搬送室２と、処理装置３とで構成される。ロードポート１は、ウエハ（Wafer）などの被処理物を、搬送室２の中の空間（搬送空間Ｓ）に出し入れするために、当該被処理物を収容する容器（例えば、カセット５１，５２（図４，５参照））が載置される装置である。なお、ウエハは、ウエハのみが（ウエハが直接）容器に収容される場合もあるし、ＦＦＣ（Film Flame Carrier）やフープリング（Hoop Ring）の上面（または下面）に貼ったテープに貼られた状態で容器に収容される場合もある。以下で単に「ＦＦＣ」と言う場合は、ＦＦＣ（Film Flame Carrier）の上面（または下面）に貼ったテープにウエハが貼られた状態のＦＦＣのことを指す。

【0020】

搬送室２の中には搬送ロボット２２が配置されており、この搬送ロボット２２によって、ロードポート１と処理装置３との間で被処理物の受け渡しが行われる。搬送ロボット２２は、ロードポート１に載置された容器の中から被処理物を取り出し、搬送空間Ｓを経由して被処理物を処理装置３に供給する。なお、搬送空間Ｓは、搬送室２を構成する外壁である隔壁２１でその側方を区画される空間である。

【0021】

ロードポート１は、制御装置４によってその動作が制御される。なお、制御装置４は、ロードポート１だけでなく搬送ロボット２２などの搬送室２内の機器も制御するものである場合もある。図１における制御装置４の図示は、ロードポート１が制御装置４で制御されるということを示すための図示であり、制御装置４の配置位置を示すものではない。ロードポート１の中（載置台１１（図２等参照）の下方の空間）に制御装置４が組み込まれる場合もあるし、搬送ロボット２２などの制御も含む制御装置が搬送室２の中に配置される場合もある。

【0022】

なお、搬送室２（搬送空間Ｓ）から見てロードポート１が接続される側の向きを前方、その反対方向を後方と定義し、さらに、前後方向および鉛直方向に直交する方向を側方と定義し、それを図１中に示した。図２以降の図中に示す前方、後方、側方は、図１中に示す前方、後方、側方と一致する。

【0023】

（ロードポートの構成）
図２〜図１１を参照しつつ、ロードポート１の構成を説明する。図２に示すように、ロードポート１は、搬送空間Ｓを区画する隔壁２１の一部を構成する板形状のベース１０を有する。ベース１０は立設配置され、このベース１０には、被処理物を搬送空間Ｓに出し入れするための開口としてのベース開口部１０ａ（図２（ｂ）参照）が設けられている。搬送空間Ｓをクリーンな状態に保つため、通常時、ベース開口部１０ａはドア１２で閉じられている。

【0024】

ベース１０の搬送空間Ｓの側とは反対側、すなわちベース１０の前方には、複数の被処理物を収容する容器が載置される載置台１１が設けられる。

【0025】

被処理物を収容する容器の一例を図４，５に示している。図４，５に示すカセット５１，５２は、それぞれ、複数のＦＦＣを収容する容器であり、図４に示すカセット５１は、図５に示すカセット５２よりも小径のＦＦＣを収容する容器である。図４，５にはそれぞれ１つのＦＦＣしか示していないが、カセット５１，５２には、それぞれ、複数のＦＦＣが、上下方向に一定の間隔をあけて水平姿勢でカセット５１，５２の中に収容される。カセット５１，５２は、載置台１１の上に載置された状態における後方（搬送空間Ｓの側）、および前方（その反対側）に、それぞれ、開口部５１ａ，５２ａ、開口部５１ｂ，５２ｂを有する。

【0026】

ここで、カセット５１，５２は、カセット５１，５２に共通のＦＦＣ用アダプタ２０を介して載置台１１の上に載せられる。ＦＦＣ用アダプタ２０は、光学式のカセットサイズ検知センサ４２（４２ａ、４２ｂ）を有する。２組のセンサからなるカセットサイズ検知センサ４２は、カセット５１，５２のうちのどちらのカセットがＦＦＣ用アダプタ２０の上に載置されているかを検知するためのセンサである。内側のカセットサイズ検知センサ４２ａがオンしているが（遮光状態）、外側のカセットサイズ検知センサ４２ｂがオンしていない場合（投光状態）は、ＦＦＣ用アダプタ２０の上に載置されているのは小さい方のカセット５１ということになる（図４）。これに対して、カセットサイズ検知センサ４２ａ、４２ｂの両方がオンしている場合は、ＦＦＣ用アダプタ２０の上に載置されているのは大きい方のカセット５２ということになる（図５）。なお、当然ではあるが、カセットサイズ検知センサ４２ａ、４２ｂの両方がオンしていない場合は、ＦＦＣ用アダプタ２０の上にカセットが載置されていないということである。

【0027】

カセットのサイズと、ＦＦＣのサイズとは一対一の関係にあるため、カセットのサイズが検知されることは、ＦＦＣのサイズが検知されることでもある。すなわち、カセットサイズ検知センサ４２により、ＦＦＣのサイズが検知される。

【0028】

ＦＦＣ用アダプタ２０に設けられたコネクタ２０ａには、カセットサイズ検知センサ４２（４２ａ、４２ｂ）がケーブル等で接続されており、カセットサイズ検知センサ４２（４２ａ、４２ｂ）からの信号は、コネクタ２０ａ部分を経由して制御装置４に送られる。すなわち、ＦＦＣのサイズ情報は、ＦＦＣ用アダプタ２０から制御装置４へ送られる。

【0029】

＜マッピングセンサ＞
カセット５１，５２に収容された複数のＦＦＣをマッピングするマッピングセンサ３０をロードポート１は備えている。図２（ｂ）、図３に示されているように、マッピングセンサ３０は、ベース１０の搬送空間Ｓの側とは反対側、すなわちベース１０の前方に配置される。マッピングセンサ３０は光学式のセンサである。なお、光学式のセンサは、レーザー光式のセンサを含む。

【0030】

図１１に示したように、マッピングセンサ３０は、センサ部３１、およびセンサ部３１を昇降させる昇降部３２を有する。

【0031】

センサ部３１は、平面視でコ字形状のセンサ支持部材３４の両端先端部分に発光素子部３３ａおよび受光素子部３３ｂがそれぞれ取り付けられてなるものである。１組の発光素子部３３ａと受光素子部３３ｂとでセンサ３３を構成する。発光素子部３３ａおよび受光素子部３３ｂにはケーブル３５が接続されており、センサ３３からの信号は、ケーブル３５を介して制御装置４に送られる。図１１中に示すケーブルベア(登録商標)３９は、センサ３３用のケーブルベアである。

【0032】

昇降部３２は、センサ支持部材３４の中央部に端部が固定されたセンサ部支持部材３６と、センサ部支持部材３６を昇降させるためのボールネジ３７と、ボールネジ３７を回転させるモータ３８とを有する。

【0033】

図３に示したように、発光素子部３３ａおよび受光素子部３３ｂは、載置台１１の前方および後方にそれぞれ配置される。すなわち、カセット５１またはカセット５２がＦＦＣ用アダプタ２０を介して載置台１１の上に載置された状態において、カセット５１，５２の外であって、且つカセット５１，５２に収容された複数のＦＦＣを平面視において間に挟む位置に、発光素子部３３ａおよび受光素子部３３ｂは配置される。

【0034】

＜カバー＞
図２に示すように、前記した載置台１１、マッピングセンサ３０は、ロードポート１の外カバー１３（固定カバー）の中に収容される。本実施形態では、外カバー１３のうちの前面側カバーは、カバー１３ａ，１３ｂ，１３ｃで構成され、側面側カバーは、左右一対のカバー１３ｄ，１３ｅで構成される。ロードポート１の背面側は、ベース１０がカバーの役割を果たす。なお、ロードポート１の底部にはキャスター１４が取り付けられており、これにより、ロードポート１は容易に移動させることができるようになっている。

【0035】

＜開閉可能な容器カバー＞
さらに、本実施形態のロードポート１は、ＦＦＣ用アダプタ２０を介して載置台１１の上に載置されたカセット５１，５２、および上下動するセンサ部３１を有するマッピングセンサ３０の全体を覆う開閉可能な容器カバー１５，１６を備えている。

【0036】

容器カバー１５と容器カバー１６とで、開閉可能な１つの容器カバーを構成する。すなわち、容器カバー１５，１６は、分割された形態の複数の分割容器カバーの一例である。

【0037】

第１容器カバー１５は、前面側カバー１５ａおよび左右一対の側面側カバー１５ｂで構成された平面視コ字形状のカバーであり、図６，７に示す駆動装置としてのエアシリンダー６１で制御装置４からの指令により上下動（昇降移動）するようになっている。

【0038】

エアシリンダー６１は、左右一対の側面側カバー１５ｂの下に、それぞれ１本ずつ配置され、その上端（シリンダロッド６１ａ）は側面側カバー１５ｂの下に取り付けられ、下端部（シリンダ本体６１ｂ）はロードポート１のフレームに取り付けられている。

【0039】

また、後述する内カバー１９（１９ａ、１９ｂ）の外面には上下方向に直線状に延びるガイドレール６２が設けられており、第１容器カバー１５はこのガイドレール６２に沿って上下動する。

【0040】

シリンダ本体６１ｂは、その内部に、不図示の圧力室を二つ備える。そして、圧力室の一方にエアーを供給すると、シリンダロッド６１ａが延びて、これにより、第１容器カバー１５は上昇する。また、圧力室の他方にエアーを供給すると、シリンダロッド６１ｂが縮んで第１容器カバー１５は下降する。このように、シリンダ本体６１ｂ内の圧力を調整することで、第１容器カバー１５を昇降移動させている。第１容器カバー１５の下方には、ショックアブソーバー６３、および弾性ストッパ６４（例えばゴム板）が配置されており、第１容器カバー１５の落下の衝撃が吸収されるようになっている。なお、二つの圧力室は、一方にエアーが供給されると、他方の圧力室内のエアーが排気される仕組みになっている。

【0041】

主として図８〜１０を参照しつつ第２容器カバー１６について説明する。第２容器カバー１６は、カセット５１（５２）およびマッピングセンサ３０の上方を覆う平板形状のカバーであり、上方へ進出した第１カバー１５の上に載るようになっている。この第２容器カバー１６は、制御装置４からの指令により、駆動装置としてのエアシリンダー１７でヒンジ１８を支点にして回動するようになっている。図２（ｂ）、図３に示されているように、載置台１１の両側方には固定の内カバー１９（１９ａ、１９ｂ）が設けられており、エアシリンダー１７は、内カバー１９ｂと外カバー１３ｄとの間に配置されている。内カバー１９ａと内カバー１９ｂとの間隔は、載置台１１の上に載せされるカセット５１，５２などの容器と干渉しない間隔が確保されている。

【0042】

エアシリンダー１７は、第２容器カバー１６の一方の側端部の下に配置され、その上端（シリンダロッド１７ａ）は第２容器カバー１６の裏面に取り付けられ、下端部（シリンダ本体１７ｂ）はロードポート１のフレームに取り付けられている。

【0043】

また、第２容器カバー１６の他方の側端部の下には安全装置としてショックアブソーバー６５が配置されている。ショックアブソーバー６５の上端は第２容器カバー１６の裏面に取り付けられ、下端部はロードポート１のフレームに取り付けられている。このショックアブソーバー６５は、第２容器カバー１６を回動させる力（閉める方向）よりも弱い力で、第１カバー１５を常時、上方へ付勢している。そして、このショックアブソーバー６５の付勢力は、第２容器カバー１６が予め設定された回動角度になったときの自重よりも高く設定されている。この回動角度は、１０度から４５度が好ましい。本実施形態では、回動角を１５度に設定している。

【0044】

シリンダ本体１７ｂは、その内部に、不図示の二つの圧力室を備える。さらに、シリンダ本体１７ｂは、下端部を中心に回動可能に配置されている。シリンダ本体１７ｂの圧力室の一方にエアーを供給すると、シリンダロッド１７ａが延びながら下端部を中心に回動し、シリンダ本体１７ｂは、図７の直立した状態から図８の傾斜した状態に回動する。シリンダ本体１７ｂがシリンダロッド１７ａを伸ばす力を、第２容器カバー１６を上方へ回動する力に変換する。シリンダ本体１７ｂ内の他方の圧力室にエアーを供給すると、シリンダロッド１７ａが縮みながら、下端部を中心に逆方向に回動する。これにより、シリンダ本体１７ｂがシリンダ本体１７ｂを縮める力を、第２容器カバー１６を下方へ回動する力に変換する。このように、シリンダ本体１７ｂ内の圧力を調整することで、シリンダロッド１７ａが昇降する力を利用して第２容器カバー１６を回動させる。なお、二つの圧力室は、一方にエアーが供給されると、他方の圧力室内のエアーが排気される仕組みになっている。また、ショックアブソーバー６５も、その下端部を中心に回動するように構成されている。

【0045】

ここで、なんらかの原因(エアシリンダー１７のエア漏れなど)で、第２容器カバー１６を回動させる駆動部となるエアシリンダー１７が作動中に故障し、エアシリンダー１７が作用しなくなった場合、回動角が１５度以上の場合、ショックアブソーバー６５の付勢力が第２容器カバー１６の自重よりも大きいので、第２容器カバー１６を退避位置に戻す。一方、回動角が１５度未満の場合、ショックアブソーバー６５の付勢力が第２容器カバー１６の自重よりも小さいので、第２容器カバー１６はゆっくりと倒れていく。
この結果、なんらかの原因でエアシリンダー１７が故障したとしても、第２容器カバー１６がショックアブソーバー６５によって、退避位置に移動するか、ゆっくりと倒れていくので、第２容器カバー１６が自重により勢いよく閉まることを防ぐことができる。

【0046】

ここで、図２からわかるように、外カバー１３のうちの側面側カバーを構成する上側のカバー１３ｄの上端部は、エアシリンダー１７およびショックアブソーバー６５が、外側方に露出しない高さ寸法とされている。エアシリンダー１７、ショックアブソーバー６５は可動部品であり、可動部品が外側方に露出しないので、安全性に優れる。

【0047】

また、可動部品であるエアシリンダー１７およびショックアブソーバー６５が、それぞれ、外カバー１３ｄと内カバー１９（１９ａ、１９ｂ）との間に配置されているので、ロードポート１外部や、カセットがセットされる載置台１１の上空間への、これら可動部品からのパーティクル（微小なゴミ）拡散を防止できる。

【0048】

（ロードポートの動作）
ロードポート１の動作（制御装置４によるロードポート１の制御）を説明する。ここでは、一例として、図４，５に示すＦＦＣ用アダプタ２０がロードポート１の載置台１１の上に取り付けられていることとする。最初、容器カバー１５，１６は開いた状態にあり、マッピングセンサ３０のセンサ部３１は、載置台１１の高さレベル以下に下がった状態にある（待機状態、図２（ｂ）参照）。また、載置台１１は、図２（ｂ）、図３に示す位置（＝ＵＮＤＯＣＫ位置）に位置する。なお、説明を省略するが、ＦＦＣ用アダプタ２０がロードポート１の載置台１１の上に取り付けられていることで、ロードポート１（制御装置４）は、処理対象がＦＦＣであることを特定できている。以下に記載するロードポート１の各部の動きは、制御装置４からの指令によるものである。

【0049】

代表して、小さい方のカセット５１に収容されたＦＦＣの搬送空間Ｓへの供給について説明する。複数のＦＦＣを収容する図４に示すカセット５１が、ＦＦＣ用アダプタ２０の上に載せられると、第１容器カバー１５を上昇させるとともに、第２容器カバー１６を倒すことで、容器カバー１５，１６を閉じる（カセット５１およびマッピングセンサ３０を容器カバー１５，１６で覆う）。ＦＦＣ用アダプタ２０に設けられたカセットサイズ検知センサ４２により、カセット５１のサイズが検出され、これにより、処理対象のＦＦＣのサイズが特定される。制御装置４は、カセット５１のサイズに応じたマッピングパラメータ、すなわち、ＦＦＣのサイズに応じたマッピングパラメータを自動選定する。その後、マッピングセンサ３０のセンサ部３１を上昇させつつ、カセット５１の中に多段で収容されたＦＦＣのマッピングを行う（容器カバー１５，１６で覆われた空間内でマッピングセンサが動く）。なお、マッピングとは、カセット５１内に収容されたＦＦＣの各段毎での有無や、傾きなどの収容状態を検出する（チェックする）ことである。カセット５１の開口部を通過するように発光素子部３３ａから受光素子部３３ｂへ光を照射すると、ＦＦＣが存在する場合はＦＦＣで遮光されるので、これによりＦＦＣの存在が検知される。一方、ＦＦＣが存在しない場合は照射された光が受光素子部３３ｂへ到達するので、これによりＦＦＣが存在しないことが検知される。マッピングが終わったら、マッピングセンサ３０のセンサ部３１を載置台１１の高さレベル以下にまで下げる。

【0050】

マッピング結果、正常と判断されると、搬送室２の搬送空間Ｓとの間を仕切るドア１２を開けるとともに（ドア１２は下方へ動く）、載置台１１をドア１２側へ所定の距離だけ水平移動させる（ＤＯＣＫ位置まで移動させる）。カセット５１内のＦＦＣは、搬送ロボット２２（図１参照）によって、ベース開口部１０ａから搬送空間Ｓに入れられる。

【0051】

全てのＦＦＣの搬送空間Ｓへの取り込みが完了すると、ドア１２を閉じる（ドア１２は上方へ動く）とともに、載置台１１をＵＮＤＯＣＫ位置まで移動させる。その後、容器カバー１５，１６を開く。空のカセット５１は、図示しない搬送手段で、ロードポート１から取り出される。第１容器カバー１５は、その直下へ下降して、載置台１１の下方スペースの隅である外カバー１３の内側に退避する。第２容器カバー１６は、上方へ回動して、載置台１１の上方に退避する。

【0052】

一方、マッピング結果、エラーと判断されると、ドア１２を開くことなく、カバー１５，１６を開く。ＦＦＣを収容するカセット５１は、図示しない搬送手段で、ロードポート１から取り出される。

【0053】

ここで、第１容器カバー１５、第２容器カバー１６というように、本発明では、容器を覆うカバーを分割された形態の複数の分割容器カバーで構成している。これにより、カバーの配置、およびカバー形状の自由度が高くなり、結果として、カバーの容積を大きくすることができる。そのため、本実施形態のロードポート１のように、容器とマッピングセンサとをまとめて覆うことができる。

【0054】

また、第１容器カバー１５は、上下動（昇降移動）する構成であり、且つ、第２容器カバー１６は、外カバー１３よりも前方にはみだして回動することはないので、第１容器カバー１５および第２容器カバー１６の動作過程において、当該第１容器カバー１５および第２容器カバー１６が外カバー１３よりも前方に出てしまうことはない。よって、容器カバーがロードポート１前方を移動する作業者の邪魔になることはない。

【0055】

さらには、容器カバー１５，１６が閉じた状態でマッピングするので、装置外部からの光がマッピングセンサ３０のセンサ部３１に侵入しにくく、これによりセンサ精度（マッピング精度）が向上する。

【0056】

（変形例）
載置台１１の上に載置された容器を覆う開閉可能な容器カバーの変形例を図１２，１３に示している。図１２に示す開閉可能な容器カバーは、回動動作する容器カバー６６と、昇降移動する１組の容器カバー６７とで構成される。容器カバー６６は、側面視Ｌ字形状のカバーであり、載置台１１の上方の回動軸まわりに回動する。容器カバー６６は、載置台１１の前方側および上方側を覆う。容器カバー６７は、平板形状のカバーであり、載置台１１の側方側を覆う。

【0057】

図１３に示す開閉可能な容器カバーは、回動動作する１組の容器カバー６８と、昇降移動する容器カバー６９とで構成される。容器カバー６８は、平板形状のカバーであり、載置台１１の上方の回動軸まわりに回動する。容器カバー６８は、載置台１１の上方側を覆う。容器カバー６９は、平板形状のカバーであり、載置台１１の前方側を覆う。なお、符号７０で示すのは立設配置された固定カバーである。

【0058】

被処理物は、ウエハのような半導体基板以外に、ガラス基板（液晶パネル、有機／無機ＥＬ等のディスプレイ用基板）、細胞等を内部に収容可能なプレートやシャーレなどを挙げることができる。

【0059】

上記実施形態では、第１カバー１５と第２カバー１６とを、同時に退避させているが、これに限定されない。例えば、ＯＨＴ（Overhead Hoist Transfer）のような天井走行式無人搬送車により容器がロードポートの載置台に搬送される場合、第２カバー１６のみを退避位置に移動させてもよい。
また、ＡＧＶ（Automated Guided Vehicle)のような床上走行式無人搬送車により容器をロードポートに載置する場合、第１カバー１５のみを退避位置に移動させてもよい。
なお、第１カバー１５の駆動部および第２カバー１６の駆動部の制御は、制御装置４が上位コンピュータの指令を受けて動作させる。例えば、ＯＨＴにより搬送されている容器がロードポートに近づいた場合、予め第２カバー１６のみを退避位置に移動させておき、ＯＨＴで上方から載置台に容器を載置可能にスタンバイさせておけばよい。

【0060】

エアシリンダー１７に代えて、第２カバー１６を回転軸に連結して、この回転軸をモータによって回転させることで、第２カバー１６を退避位置に退避してもよい。

【0061】

エアシリンダー６１に代えて、ボールネジと、ボールネジを回転させるモータとを有する駆動装置を用いてもよい。さらには、エアシリンダー６１に代えて、油圧シリンダーを用いてもよい（エアシリンダー１７についても同様）。

【0062】

ショックアブソーバー６５に代えて、ガススプリングを用いてもよい。前記した実施形態では、１本のエアシリンダー１７で第２容器カバー１６を回動させているが、第２容器カバー１６の両側端部にエアシリンダー１７を配置して、２本のエアシリンダー１７で第２容器カバー１６を回動させてもよい。

【0063】

前記した実施形態では、ロードポートの載置台の上にアダプタを介して容器（カセット）を載置しているが、載置台の上に直接、容器を載置するロードポートであってもよい。

【0064】

前記したロードポートにＦＯＵPを載置する場合、ドア１２は、容器に対する蓋体の固定及び固定の解除を行って前記容器から前記蓋体の取外し及び取付けを可能に構成しておくとよい。具体的には、容器に対する蓋体の固定および固定の解除は、ドア１２にラッチキーを設け、ラッチキーを蓋の鍵穴に挿入した後、ラッチキーを回動することで蓋体を容器から着脱可能にする。蓋体の取外し及び取付けは、ドア１２に吸着部を設け、ドア１２で蓋体を吸着して保持した状態で、載置台１１またはドア１２のうち一方を水平方向に移動させることで、容器に対する蓋体の取外しおよび取付けが可能になる。

【0065】

その他に、当業者が想定できる範囲で種々の変更を行えることは勿論である。

【0066】

第１カバー１５のうちの例えば前面側カバー１５ａを透明部材で構成しておいてもよい。このようにすると、第１カバー１５を閉じた状態でもカバー内部を目視できるので、マッピングセンサ３０の動作や搬送ロボット２２がウエハを取り出している状況を確認できる。

【符号の説明】

【0067】

１：ロードポート
２：搬送室
３：処理装置
４：制御装置
１０：ベース
１０ａ：ベース開口部
１１：載置台
１２：ドア
１５：第１容器カバー（分割容器カバー）
１６：第２容器カバー（分割容器カバー）
１７：エアシリンダー（駆動装置）
２１：隔壁
３０：マッピングセンサ
５１、５２：カセット（容器）
６１：エアシリンダー（駆動装置）
Ｓ：搬送空間

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】