特許 6551240 物品収納棚、及び、それを備えた物品収納設備

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6551240

(24)【登録日】2019年7月12日

(45)【発行日】2019年7月31日

(54)【発明の名称】物品収納棚、及び、それを備えた物品収納設備

(51)【国際特許分類】

   B65G 1/14 20060101AFI20190722BHJP

   H01L 21/673 20060101ALI20190722BHJP

【ＦＩ】

   B65G1/14 B

   H01L21/68 T

【請求項の数】7

【全頁数】17

(21)【出願番号】特願2016-1094(P2016-1094)

(22)【出願日】2016年1月6日

(65)【公開番号】特開2017-121987(P2017-121987A)

(43)【公開日】2017年7月13日

【審査請求日】2018年2月8日

(73)【特許権者】

【識別番号】000003643

【氏名又は名称】株式会社ダイフク

(74)【代理人】

【識別番号】110001818

【氏名又は名称】特許業務法人Ｒ＆Ｃ

(72)【発明者】

【氏名】冨永 博文

【審査官】 土田 嘉一

(56)【参考文献】

【文献】 国際公開第２０１２／１６４９９４（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２０１５−０１２０４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開昭４８−０１０７２１（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開２００２−２５２２７７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ６５Ｇ １／００− １／２０

Ｈ０１Ｌ ２１／６７−２１／６８３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

上下方向に沿う基準面を有する棚枠を備えると共に、前記棚枠に取り付けられて収納対象の物品を下方から支持する棚体を複数備え、複数の前記棚体が上下方向に沿って一列に並ぶように配置され、上下方向に隣接する２つの前記棚体の間に物品が収納される物品収納領域が形成され、複数の前記棚体の夫々は、前記基準面から水平方向に沿う突出方向に突出する片持ち状態で前記棚枠に取り付けられた物品収納棚であって、
前記棚体は、水平面に沿う板状の支持板部と、前記支持板部の下方における上下方向視で前記支持板部と重複する位置に配置されて前記支持板部を下方から支持する支持枠と、を備え、
水平面に沿う方向であって前記突出方向と直交する棚左右方向での前記支持板部の幅が、前記突出方向に向かうに従って狭くなる先細り形状に形成され、
前記支持板部には、上下方向に貫通すると共に前記突出方向に向かって開口する切欠き部が形成され、
前記支持枠は、前記支持板部に沿って配置された長尺部材で構成されて、前記切欠き部に対して前記支持板部の前記棚左右方向の両側に分かれて一対設けられ、
一対の前記支持枠の夫々は、前記基準面に当接する基端部を有する基端側部分と当該基端側部分よりも前記突出方向側の部分である先端側部分とを有し、
前記基端側部分は、前記棚左右方向視で、当該基端側部分を含む前記支持枠が支持する前記支持板部の下方に形成された前記物品収納領域と重複する部分を有し、
前記先端側部分は、前記棚左右方向視で、当該基端側部分を含む前記支持枠が支持する前記支持板部の下方に形成された前記物品収納領域よりも上方に位置し、
一対の前記支持枠は、一対の前記基端側部分の双方が、上下方向視で前記物品収納領域と重複しないように配置され、一対の前記先端側部分の双方が、上下方向視で前記物品収納領域と重複する部分を有するように、前記棚左右方向における互いの離間距離が前記突出方向に向かうに従って狭くなる向きに前記突出方向に対して傾斜して配置され、
前記支持板部の前記棚左右方向の両側の側縁の夫々が、直線状部分を有し、
一対の前記支持枠の夫々は、一対の前記側縁の直線状部分から下向きに折り曲げられた板状部を有して構成されている物品収納棚。

【請求項2】

上下方向に沿う基準面を有する棚枠を備えると共に、前記棚枠に取り付けられて収納対象の物品を下方から支持する棚体を複数備え、複数の前記棚体が上下方向に沿って一列に並ぶように配置され、上下方向に隣接する２つの前記棚体の間に物品が収納される物品収納領域が形成され、複数の前記棚体の夫々は、前記基準面から水平方向に沿う突出方向に突出する片持ち状態で前記棚枠に取り付けられた物品収納棚であって、
前記棚体は、水平面に沿う板状の支持板部と、前記支持板部の下方における上下方向視で前記支持板部と重複する位置に配置されて前記支持板部を下方から支持する支持枠と、を備え、
水平面に沿う方向であって前記突出方向と直交する棚左右方向での前記支持板部の幅が、前記突出方向に向かうに従って狭くなる先細り形状に形成され、
前記支持板部には、上下方向に貫通すると共に前記突出方向に向かって開口する切欠き部が形成され、
前記支持枠は、前記支持板部に沿って配置された長尺部材で構成されて、前記切欠き部に対して前記支持板部の前記棚左右方向の両側に分かれて一対設けられ、
一対の前記支持枠の夫々は、前記基準面に当接する基端部を有する基端側部分と当該基端側部分よりも前記突出方向側の部分である先端側部分とを有し、
前記基端側部分は、前記棚左右方向視で、当該基端側部分を含む前記支持枠が支持する前記支持板部の下方に形成された前記物品収納領域と重複する部分を有し、
前記先端側部分は、前記棚左右方向視で、当該基端側部分を含む前記支持枠が支持する前記支持板部の下方に形成された前記物品収納領域よりも上方に位置し、
一対の前記支持枠は、一対の前記基端側部分の双方が、上下方向視で前記物品収納領域と重複しないように配置され、一対の前記先端側部分の双方が、上下方向視で前記物品収納領域と重複する部分を有するように、前記棚左右方向における互いの離間距離が前記突出方向に向かうに従って狭くなる向きに前記突出方向に対して傾斜して配置され、
前記棚枠は、一対の支柱と、複数の長尺状の横行部材とを備え、
複数の前記横行部材は、一対の前記支柱の間において前記棚左右方向に沿って配置されると共に上下方向に互いに離間して配置され、
前記棚体が、前記横行部材の上面に当接する上側当接部と、前記横行部材の下面に当接する下側当接部とを備え、
複数の前記横行部材の夫々は、前記棚左右方向の両端部が前記支柱に固定された第１横行部材と、当該第１横行部材に対して上方又は下方から当接する第２横行部材とを備えている物品収納棚。

【請求項3】

前記上側当接部と前記下側当接部とが、前記支持枠の前記基端側部分から連続して形成され、
前記第１横行部材と前記第２横行部材とが、前記上側当接部及び前記下側当接部により連結されている請求項２に記載の物品収納棚。

【請求項4】

前記第１横行部材の上面及び下面に、雄ネジが螺合する雌ネジ穴が形成され、前記第２横行部材における前記第１横行部材の前記雌ネジ穴に対応する位置に、前記雄ネジの呼び径よりも大きい貫通孔が形成され、
前記上側当接部及び前記下側当接部において前記第１横行部材の雌ネジ穴に対応する位置に、前記雄ネジの呼び径よりも大きい貫通孔が形成されている請求項３に記載の物品収納棚。

【請求項5】

前記第１横行部材及び前記第２横行部材の夫々は、前記棚左右方向視で矩形状に形成され、かつ、前記第１横行部材及び前記第２横行部材の夫々の上面及び下面が水平面に沿って形成され、
前記上側当接部と前記下側当接部との双方が、前記支持枠の前記基端部から水平方向に沿って前記突出方向と反対向きに延出し、
前記上側当接部と前記下側当接部とは、前記第１横行部材及び前記第２横行部材の上下方向の寸法の和に相当する距離だけ上下方向に離間して配置されている請求項３又は４に記載の物品収納棚。

【請求項6】

前記支持板部の前記棚左右方向の両側の側縁の夫々が、直線状部分を有し、
一対の前記支持枠の夫々は、一対の前記側縁の直線状部分から下向きに折り曲げられた板状部を有して構成されている請求項２から５の何れか一項に記載の物品収納棚。

【請求項7】

請求項１から６の何れか一項に記載の物品収納棚と、
前記物品収納棚が設けられる棚設置領域を包囲して前記棚設置領域の外部と内部とを区画する区画壁と、
前記棚設置領域内において、上下方向に並ぶ前記棚体の存在範囲で上方から下方に向けて気体を流動させる気流発生装置と、を備える物品収納設備。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、上下方向に沿う基準面を有する棚枠を備えると共に、前記棚枠に取り付けられて収納対象の物品を下方から支持する棚体を複数備え、複数の前記棚体が上下方向に沿って一列に並ぶように配置され、上下方向に隣接する２つの前記棚体の間に物品が収納される物品収納領域が形成され、複数の前記棚体の夫々は、前記基準面から水平方向に沿う突出方向に突出する片持ち状態で前記棚枠に取り付けられた物品収納棚に関する。

【背景技術】

【0002】

上述のような物品収納棚の一例が特開２００２−２５２２７７号公報（特許文献１）に記載されている。特許文献１の物品収納棚はクリーンルームの内部に設置され、収納対象の物品として、半導体基板を複数収容する容器を収納するように構成されている（特許文献１の段落〔００３３〕参照）。特許文献１において、図１に示されるように、棚体は、水平面に沿う板状の天板５を備えている。

【0003】

特許文献１の物品収納棚における天板５には、上下方向に貫通すると共に突出方向に向かって開口する切欠き部が形成されている。切欠き部は、収納対象の容器を支持する移載装置の移動支持体が上下方向に通過可能な大きさに形成され、容器を支持している移動支持体を切欠き部を通して天板５の上方から下方に移動させることで、容器を移動支持体から棚体に移載することができる。また、容器を支持していない移動支持体を切欠き部を通して容器を支持している天板５の下方から上方に移動させることで、容器を棚体から移載することができる。天板５は、このような切欠き部が形成されることで強度が弱くなる。この為、天板５を補強する為に、天板５を下方から支持する支持リブ６が設けられている。

【0004】

特許文献１の物品収納棚は、基準面よりも突出方向に突出した支柱３が、水平方向で突出方向と直交する左右方向に離間して複数設けられている。そして、左右方向において、隣接する一対の支柱３の間に物品が収納される物品収納領域が形成されている。また、支持リブ６の基端部は、基準面よりも突出方向にオフセットした位置で支柱３に取付けられるとともに、容器の荷重を適切に支持するため、支持リブ６の先端側部分は上下方向視で物品の存在領域と重複する位置となるように配設されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２００２−２５２２７７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

特許文献１のように、クリーンルーム内部に設置される物品収納棚においては、容器に収容された半導体基板の汚染の原因となる不純物の微小粒子（パーティクル）が当該半導体容器の周囲を浮遊することを抑制するために、物品収納棚の設置領域において上方から下方に向う気流（ダウンフロー）を発生させ、浮遊するパーティクルを下方に移動させて集塵するようになっている。しかしながら、特許文献１の物品収納棚では、天板５の上下方向視での形状は、容器を支持させた場合に、棚左右方向の外側方まで延在する形状に形成されており、天板５に支持させた容器の外側方の空間は上下に区切られている。そのため、天板５に支持された容器の周囲にダウンフローを形成し難い。

【0007】

そこで、収納対象の物品の周囲にダウンフローを形成し易く、かつ、当該物品の荷重を適切に支持可能な棚体を備えた物品収納棚、及び、それを備えた物品収納設備が望まれる。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明に係る物品収納棚は、上下方向に沿う基準面を有する棚枠を備えると共に、前記棚枠に取り付けられて収納対象の物品を下方から支持する棚体を複数備え、複数の前記棚体が上下方向に沿って一列に並ぶように配置され、上下方向に隣接する２つの前記棚体の間に物品が収納される物品収納領域が形成され、複数の前記棚体の夫々は、前記基準面から水平方向に沿う突出方向に突出する片持ち状態で前記棚枠に取付けられたものであって、
前記棚体は、水平面に沿う板状の支持板部と、前記支持板部の下方における上下方向視で前記支持板部と重複する位置に配置されて前記支持板部を下方から支持する支持枠と、を備え、水平面に沿う方向であって前記突出方向と直交する棚左右方向での前記支持板部の幅が、前記突出方向に向かうに従って狭くなる先細り形状に形成され、前記支持板部には、上下方向に貫通すると共に前記突出方向に向かって開口する切欠き部が形成され、前記支持枠は、前記支持板部に沿って配置された長尺部材で構成されて、前記切欠き部に対して前記支持板部の前記棚左右方向の両側に分かれて一対設けられ、一対の前記支持枠の夫々は、前記基準面に当接する基端部を有する基端側部分と当該基端側部分よりも前記突出方向側の部分である先端側部分とを有し、前記基端側部分は、前記棚左右方向視で、当該基端側部分を含む前記支持枠が支持する前記支持板部の下方に形成された前記物品収納領域と重複する部分を有し、前記先端側部分は、前記棚左右方向視で、当該基端側部分を含む前記支持枠が支持する前記支持板部の下方に形成された前記物品収納領域よりも上方に位置し、一対の前記支持枠は、一対の前記基端側部分の双方が、上下方向視で前記物品収納領域と重複しないように配置され、一対の前記先端側部分の双方が、上下方向視で前記物品収納領域と重複する部分を有するように、前記棚左右方向における互いの離間距離が前記突出方向に向かうに従って狭くなる向きに前記突出方向に対して傾斜して配置され、前記支持板部の前記棚左右方向の両側の側縁の夫々が、直線状部分を有し、一対の前記支持枠の夫々は、一対の前記側縁の直線状部分から下向きに折り曲げられた板状部を有して構成されている点を特徴とする。

【0009】

すなわち、支持板部の幅が、突出方向に向かうに従って狭くなる先細り形状に形成されているから、棚体棚左右方向での支持板部の両側の側縁よりも外方にダウンフローが通過可能な空間（棚体外方空間と称する）を形成することができる。ここで、支持枠は、基端部が棚枠の基準面に当接する状態で、上下方向視で支持板部と重複する位置に配置されるから、支持枠の基端側部分を棚左右方向で互いに近づけることができる。しかも、支持枠は、基端部を基準面に当接させた状態で突出方向に突出し、棚左右方向における互いの離間距離が突出方向に向かうに従って狭くなる向きに突出方向に対して傾斜して配置されている。そのため、支持板部の幅を突出方向の全体に亘って幅狭にすることができ、棚体外方空間を突出方向の全体に亘って形成することができる。したがって、棚左右方向での支持板部の両側の側縁よりも外方にダウンフローを形成し易い。

【0010】

さらに、支持枠における一対の先端側部分の双方は上下方向視で物品収納領域と重複するように配置されているから、支持板部に支持している物品の荷重を当該物品の直下方で適切に支持することができる。

【0011】

このように、本特徴構成によれば、収納対象の物品の周囲にダウンフローを形成し易く、かつ、当該物品の荷重を適切に支持可能な棚体を備えた物品収納棚を実現できる。

【0012】

また、一対の支持枠の夫々は、支持板部の棚左右方向の両側の側縁における直線状部分から下向きに折り曲げるという簡易な方法で形成することができる。

【0013】

本発明に係る他の物品収納棚は、上下方向に沿う基準面を有する棚枠を備えると共に、前記棚枠に取り付けられて収納対象の物品を下方から支持する棚体を複数備え、複数の前記棚体が上下方向に沿って一列に並ぶように配置され、上下方向に隣接する２つの前記棚体の間に物品が収納される物品収納領域が形成され、複数の前記棚体の夫々は、前記基準面から水平方向に沿う突出方向に突出する片持ち状態で前記棚枠に取付けられたものであって、
前記棚体は、水平面に沿う板状の支持板部と、前記支持板部の下方における上下方向視で前記支持板部と重複する位置に配置されて前記支持板部を下方から支持する支持枠と、を備え、水平面に沿う方向であって前記突出方向と直交する棚左右方向での前記支持板部の幅が、前記突出方向に向かうに従って狭くなる先細り形状に形成され、前記支持板部には、上下方向に貫通すると共に前記突出方向に向かって開口する切欠き部が形成され、前記支持枠は、前記支持板部に沿って配置された長尺部材で構成されて、前記切欠き部に対して前記支持板部の前記棚左右方向の両側に分かれて一対設けられ、一対の前記支持枠の夫々は、前記基準面に当接する基端部を有する基端側部分と当該基端側部分よりも前記突出方向側の部分である先端側部分とを有し、前記基端側部分は、前記棚左右方向視で、当該基端側部分を含む前記支持枠が支持する前記支持板部の下方に形成された前記物品収納領域と重複する部分を有し、前記先端側部分は、前記棚左右方向視で、当該基端側部分を含む前記支持枠が支持する前記支持板部の下方に形成された前記物品収納領域よりも上方に位置し、一対の前記支持枠は、一対の前記基端側部分の双方が、上下方向視で前記物品収納領域と重複しないように配置され、一対の前記先端側部分の双方が、上下方向視で前記物品収納領域と重複する部分を有するように、前記棚左右方向における互いの離間距離が前記突出方向に向かうに従って狭くなる向きに前記突出方向に対して傾斜して配置され、前記棚枠は、一対の支柱と、複数の長尺状の横行部材とを備え、複数の前記横行部材は、一対の前記支柱の間において前記棚左右方向に沿って配置されると共に上下方向に互いに離間して配置され、前記棚体が、前記横行部材の上面に当接する上側当接部と、前記横行部材の下面に当接する下側当接部とを備え、複数の前記横行部材の夫々は、前記棚左右方向の両端部が前記支柱に固定された第１横行部材と、当該第１横行部材に対して上方又は下方から当接する第２横行部材とを備えている点を特徴とする。

【0014】

このように、本特徴構成によれば、収納対象の物品の周囲にダウンフローを形成し易く、かつ、当該物品の荷重を適切に支持可能な棚体を備えた物品収納棚を実現できる。

【0015】

また、一対の支柱に固定された第１横行部材に対して上方又は下方から第２横行部材を当接させることで横行部材を補強することができる。
このため、第１横行部材を備えた棚枠と当該棚枠に対して取り付ける棚体とを備えた既設の物品収納棚が存在する場合に、当該物品収納棚における棚枠に対して第２横行部材を付加し、第１横行部材及び第２横行部材から成る補強された横行部材に対応する棚体を取り付けることで、より重量が大きい物品を収納できるようになる。

【0016】

このように、収納対象の物品としてより重い物品を収納する必要が生じた場合でも、既設の物品収納棚を流用できるので、機器コストを削減することが可能となる。

【0017】

本発明に係る物品収納棚においては、前記上側当接部と前記下側当接部とが、前記支持枠の前記基端側部分から連続して形成され、前記第１横行部材と前記第２横行部材とが、前記上側当接部及び前記下側当接部により連結されていることが好ましい。

【0018】

すなわち、第１横行部材と第２横行部材とによって横行部材を形成する場合には、第１横行部材と第２横行部材とを連結する必要がある。本特徴構成は、支持枠の基端側部分から連続して形成された上側当接部と下側当接部とで上下から挟み込む形態で第１横行部材と第２横行部材と連結するから、第１横行部材と第２横行部材とを連結するための部材と棚体とを共用することができ、第１横行部材と第２横行部材とを連結するための部材（例えば第１横行部材と第２横行部材とを上下方向に貫通するボルトとナットや第１横行部材と第２横行部材とを一体に締め付けるベルト等）を別途用いる構成と比べて、物品収納棚を構成する部材数の低減を図ることができる。

【0019】

本発明に係る物品収納棚においては、前記第１横行部材の上面及び下面に、雄ネジが螺合する雌ネジ穴が形成され、前記第２横行部材における前記第１横行部材の前記雌ネジ穴に対応する位置に、前記雄ネジの呼び径よりも大きい貫通孔が形成され、前記上側当接部及び前記下側当接部において前記第１横行部材の雌ネジ穴に対応する位置に、前記雄ネジの呼び径よりも大きい貫通孔が形成されていることが好ましい。

【0020】

すなわち、既設の物品収納棚として、重量の小さい物品用の棚体を備えたものにおいて、第１横行部材の上面及び下面に、当該棚体を取り付けるための雌ネジ穴が形成されているので、第２横行部材における第１横行部材の雌ネジ穴に対応する位置に形成された貫通孔に雄ネジを通過させて新たな重量の大きい物品用の棚体を取り付けることができる。
このように、第１横行部材と第２横行部材とで横行部材を構成する場合でも、第１横行部材の雌ネジ穴を流用することができるので、第２横行部材による棚枠の補強及び新たな棚体の取り付けに当たって、既設の物品収納棚における棚枠に対する加工の手間を省略することができる。

【0021】

本発明に係る物品収納棚においては、前記第１横行部材及び前記第２横行部材の夫々は、前記棚左右方向視で矩形状に形成され、かつ、前記第１横行部材及び前記第２横行部材の夫々の上面及び下面が水平面に沿って形成され、前記上側当接部と前記下側当接部との双方が、前記支持枠の前記基端部から水平方向に沿って前記突出方向と反対向きに延出し、前記上側当接部と前記下側当接部とは、前記第１横行部材及び前記第２横行部材の上下方向の寸法の和に相当する距離だけ上下方向に離間して配置されていることが好ましい。

【0022】

すなわち、上側当接部と下側当接部との双方が、第１横行部材及び第２横行部材の上下方向の寸法の和に相当する距離だけ上下方向に離間して支持枠の基端部から水平方向に沿って突出方向と反対向きに延出しているから、上下方向に隣接させた第１横行部材及び第２横行部材を上下から挟み込んで適切に固定することができる。

【0023】

本発明に係る物品収納棚を備えた物品収納設備においては、物品収納棚が設けられる棚設置領域を包囲して前記棚設置領域の外部と内部とを区画する区画壁と、前記棚設置領域内において、上下方向に並ぶ前記棚体の存在範囲で上方から下方に向けて気体を流動させる気流発生装置と、を備えていることが好ましい。

【0024】

すなわち、物品収納設備の棚設置領域内において、上下方向に並ぶ棚体の存在範囲で上方から下方に向けて気体を流動させる（ダウンフローを発生させる）ことができる。
このような構成において、棚体棚左右方向での支持板部の両側の側縁よりも外方にダウンフローが通過可能な空間が形成されているから、物品収納設備において適切にダウンフローを形成することができる。

【図面の簡単な説明】

【0025】

【図1】半導体容器ストッカーの全体平面図

【図2】半導体容器ストッカーの側面視断面図

【図3】保管棚ユニットの正面図

【図4】保管棚ユニットの斜視図

【図5】保管棚ユニットの平面図

【図6】保管棚ユニットの要部側面図

【図7】支持枠の基端側部分と先端部分との位置関係を示す棚体の平面図及び側面図

【図8】保管棚ユニットの正面視断面図

【図9】重量容器に対応した新たな棚体の取付方法を示す分解斜視図

【図10】既設の棚体の取付方法を示す分解斜視図

【発明を実施するための形態】

【0026】

以下、本発明の物品収納棚の実施形態について、物品収納設備の一例である半導体容器ストッカーに本発明を適用した場合を例に、図面に基づいて説明する。

【0027】

図１〜４に示すように、本実施形態の半導体容器ストッカー１０は、収納対象の物品として半導体基板を収容するＦＯＵＰ又はＦＯＳＢ等の半導体容器Ｂを収納するようになっている。半導体容器ストッカー１０は、物品収納棚としての保管棚ユニットＵを棚横幅方向に複数並べて備え、さらに、保管棚ユニットＵを半導体容器Ｂの出し入れ方向が逆になる形態で棚前後方向に離間して一対備えている。そして、棚前後方向に並ぶ一対の保管棚ユニットＵの間にはスタッカークレーンＣが移動する移動空間が設けられ、その移動空間に、保管棚ユニットＵの並び方向に沿って走行レールＲが設けられている。また、半導体容器ストッカー１０の内部と外部との間で半導体容器Ｂを出し入れする入出庫ステーション１０Ｔが設けられている。

【0028】

保管棚ユニットＵは、棚枠と、当該棚枠に取付けられて収納対象の物品を下方から支持する棚体Ｓとを備えている。棚枠は、保管棚ユニットＵの並び方向に間隔を隔てて並ぶ支柱３３と、隣接する支柱３３の間に長手方向を水平方向に沿わせて取り付けられた横行部材３０と、横行部材３０に突出方向の後端部を支持される形態で取り付けられた棚体Ｓと、を備えている。

【0029】

図２に示すように、スタッカークレーンＣは、走行レールＲ上を走行する走行部２１と、走行部２１に立設された昇降案内マスト２０と、昇降移動可能な状態で昇降案内マスト２０支持される昇降体２２と、昇降体２２に支持されて、半導体容器Ｂを支持する移動支持体２４を棚の前後方向で移動空間側と保管棚ユニットＵの物品収納空間側とに出退移動自在に移動操作する出退アーム２３と、を備えて構成されている。

【0030】

図１及び図２に示すように、半導体容器ストッカー１０は、上記保管棚ユニットＵとスタッカークレーンＣとが存在する棚設置領域を包囲する状態で区画壁１０Ｗを備えている。この区画壁１０Ｗにより、棚設置領域Ｅ１と外部領域Ｅ２とが区画されている。また、図２に示すように、保管棚ユニットＵの上端には気流発生装置Ｄが載置状態で支持されている。なお、区画壁１０Ｗの下端部近傍には開口が設けられ、当該半導体容器ストッカー１０が設置される半導体製造設備の床Ｆの下方に設けられる気体回収流路に棚設置領域Ｅ１内部の気体を排出するようになっている。これにより、棚設置領域Ｅ１内部において、上下方向に並ぶ棚体Ｓの存在範囲で上方から下方に向けて気流（ダウンフロー）を発生させることができる。
すなわち、保管棚ユニットＵが設けられる棚設置領域Ｅ１を包囲して棚設置領域Ｅ１の外部と内部とを区画する区画壁１０Ｗと、棚設置領域Ｅ１内において、上下方向に並ぶ棚体Ｓの存在範囲で上方から下方に向けて気体を流動させる気流発生装置Ｄと、が設けられている。
なお、

【0031】

半導体容器Ｂは、図５に示すように、前面の開口に蓋部が設けられ、平面視で蓋部と逆側の端部近づくに伴って左右方向の幅が狭くなる形状に形成されている。以降、半導体容器Ｂについて、蓋部側を前端部、蓋部と逆側の端部を後端部と称する。
図５及び図６に示すように、半導体容器Ｂは、底面Ｂｂに３つの位置決め溝Ｂｍを備えている。３つの位置決め溝Ｂｍのうちの２つ（図５、６の位置決め溝Ｂｍ２）は、半導体容器Ｂの前端部に近接しかつ左右方向に離間して設けられ、３つの位置決め溝Ｂｍのうちの１つ（図５、６の位置決め溝Ｂｍ１）は、半導体容器Ｂの後端部に近接しかつ左右方向で２つの位置決め溝Ｂｍ２の中間に設けられている。

【0032】

図５に示すように、移動支持体２４の基端側は、上下方向に沿う回動軸Ｊを介して出退アーム２３に支持されている。移動支持体２４は、上端に半導体容器Ｂを載置する載置面を備え、当該載置面に、半導体容器Ｂの底面Ｂｂに備えられる３つの位置決め溝Ｂｍと係合する３つの位置決めピンＱが設けられている。なお、位置決めピンＱとして、２つの位置決め溝Ｂｍ２と係合する２つの位置決めピンＱ２と、１つの位置決め溝Ｂｍ１と係合する１つの位置決めピンＱ１とが設けられている。
移動支持体２４は、平面視で回動軸Ｊ周りに回動可能となっており、これにより、スタッカークレーンＣが移動する移動空間を挟んで対向する保管棚ユニットＵの何れに対しても半導体容器Ｂを移載可能となっている。

【0033】

図１〜４に示すように、棚枠は、水平面に沿う方向であって前記突出方向と直交する棚左右方向に離間しかつ上下方向に沿う姿勢で下端の基部から立設された一対の支柱３３と、その一対の支柱３３の間に水平方向に沿う姿勢で設けられ、かつ、左右両端部の夫々を一対の支柱３３に固定された複数の長尺状の横行部材３０と、を備えている。
複数の横行部材３０は、一対の支柱３３の間において棚左右方向に沿って配置されると共に上下方向に互いに離間して配置されている。また、単一の横行部材３０には、棚左右方向に並べて２つ又は３つの棚体Ｓが取り付けられている。

【0034】

本実施形態においては、上下方向に並ぶ横行部材３０の突出方向に向かう側の面にて定義される仮想面が基準面に相当する。
すなわち、保管棚ユニットＵは、上下方向に沿う基準面を有する棚枠を備えると共に、棚枠に取り付けられて収納対象の半導体容器Ｂを下方から支持する棚体Ｓを複数備え、複数の棚体Ｓが上下方向に沿って一列に並ぶように配置され、上下方向に隣接する２つの棚体Ｓの間に半導体容器Ｂが収納される物品収納領域が形成され、複数の棚体Ｓの夫々は、基準面から水平方向に沿う突出方向に突出する片持ち状態で棚枠に取り付けられている。

【0035】

ところで、半導体容器Ｂは規格によって外形が規定されているが、外形を維持したまま半導体基板の収納密度を向上する等の改良が加えられることによって、その重量が重くなる場合がある。以降、改良が加えられる前の半導体容器Ｂを軽量容器、改良が加えられた後の半導体容器Ｂを重量容器と称する。また、軽量容器に対応する保管棚ユニットＵ（改修前のユニットと称する）の棚体Ｓを図１０に示す。

【0036】

以下、軽量容器に対応する保管棚ユニットＵの構成を説明する。図１０に示すように、第１横行部材３１は支柱３３に取り付けられている。また、第１横行部材３１の上面及び下面が水平面に沿って形成されている。軽量容器に対応する棚体Ｓ１は、水平面に沿う板状の支持板部９０と、支持板部９０の下方における上下方向視で支持板部９０と重複する位置に配置されて支持板部９０を下方から支持する支持枠９１と、を備えている。
支持板部９０には、上下方向に貫通すると共に突出方向に向かって開口する切欠き部９０Ｙが形成され、支持枠９１は、支持板部９０に沿って配置された長尺部材で構成されて、切欠き部９０Ｙに対して支持板部９０の棚左右方向の両側に分かれて一対設けられている。

【0037】

支持板部９０の上面には、半導体容器Ｂの底面Ｂｂに備えられる３つの位置決め溝Ｂｍと係合する３つの位置決めピンＰが設けられている。位置決めピンＰとして、２つの位置決め溝Ｂｍ２と係合する２つの位置決めピンＰ２と、１つの位置決め溝Ｂｍ１と係合する１つの位置決めピンＰ１とが設けられている。また、支持板部９０の上面には、半導体容器Ｂが当該棚体Ｓ１に支持されているかいないかを検出する在荷センサＧが設けられている。
さらに、棚体Ｓ１は、第１横行部材３１の上面に当接する上側当接部９２と、第１横行部材３１の下面に当接する下側当接部９３とを備えている。上側当接部９２と下側当接部９３とは、支持枠９１の基端側部分から連続して形成されている。

【0038】

第１横行部材３１の上面には雄ネジ３１Ｂが螺合する雌ネジ穴３１ｈｕが形成され、第１横行部材３１の下面には雄ネジ３１Ｂが螺合する雌ネジ穴３１ｈｄが形成されている。
そして、上側当接部９２において第１横行部材の雌ネジ穴３１ｈｕに対応する位置に、雄ネジ３１Ｂの呼び径よりも大きい貫通孔９２ｈが形成され、下側当接部９３において第１横行部材３１の雌ネジ穴３１ｈｄに対応する位置に、雄ネジ３１Ｂの呼び径よりも大きい貫通孔９３ｈが形成されている。

【0039】

さらに、上側当接部９２と下側当接部９３との双方が、支持枠９１の基端部から水平方向に沿って突出方向と反対向きに延出し、上側当接部９２と下側当接部９３とは、第１横行部材３１の上下方向の寸法Ｌ１に相当する距離だけ上下方向に離間して配置されている。
そして、第１横行部材３１の上端と下端とを上側当接部９２と下側当接部９３とで挟み込み、上側当接部９２の貫通孔９２ｈを通過させて雄ネジ３１Ｂを第１横行部材３１の上端の雌ネジ穴３１ｈｕに螺合させるとともに、下側当接部９３の貫通孔５３ｈを通過させて雄ネジ３１Ｂを第１横行部材３１の下端の雌ネジ穴３２ｈｕに螺合させることにより、棚体Ｓを第１横行部材３１に固定する。

【0040】

本実施形態では、上記のような軽量容器に対応する保管棚ユニットＵにおける棚枠を流用して、保管棚ユニットＵを重量容器の荷重に耐えられる棚体Ｓ２を備えたものに改修する（以下、レトロフィットと称する）ことができる。このため、棚枠全体を重量容器の荷重を支持可能なものに作り変える場合に比べて、コストを低減することができる。

【0041】

以下、保管棚ユニットＵのレトロフィットの方法について説明する。
図６、図８、及び図９に示すように、第１横行部材３１及び第２横行部材３２の夫々は、棚左右方向視で矩形状に形成され、かつ、第１横行部材３１及び第２横行部材３２の夫々の上面及び下面が水平面に沿って形成されている。

【0042】

第１横行部材３１は支柱３３に取り付けられている。この第１横行部材３１の下方から、棚左右方向の寸法が第１横行部材３１とほぼ同じ寸法である第２横行部材３２を当接させる。その後、支持用ブロック３５を第２横行部材３２の下方から当接させた状態で当該支持用ブロック３５の貫通孔３５ｈｙを通して雄ネジ３５Ｂを支柱３３の雌ネジ穴３３ｈに螺合させて支持用ブロック３５を支柱３３に固定する。これにより、第２横行部材３２が第１横行部材３１の下方に位置する状態に維持できる。

【0043】

図６、図８、及び図９に示すように、第１横行部材３１の上面には雄ネジ３１Ｂが螺合する雌ネジ穴３１ｈｕが形成され、第１横行部材３１の下面には雄ネジ３２Ｂが螺合する雌ネジ穴３１ｈｄが形成されている。また、第２横行部材３２における第１横行部材３１の雌ネジ穴３１ｈｄに対応する位置に、雄ネジ３２Ｂの呼び径よりも大きい貫通孔３２ｈが形成されている。
そして、上側当接部５２において第１横行部材の雌ネジ穴３１ｈｕに対応する位置に、雄ネジ３１Ｂの呼び径よりも大きい貫通孔５２ｈが形成され、下側当接部５３において第１横行部材３１の雌ネジ穴３１ｈｄに対応する位置に、雄ネジ３２Ｂの呼び径よりも大きい貫通孔５３ｈが形成されている。

【0044】

すなわち、第１横行部材３１の上面及び下面に、雄ネジ（３１Ｂ、３２Ｂ）が螺合する雌ネジ穴（３１ｈｕ、３１ｈｄ）が形成され、第２横行部材３２における第１横行部材３１の雌ネジ穴３１ｈｄに対応する位置に、雄ネジ３２Ｂの呼び径よりも大きい貫通孔３２ｈが形成されている。
また、上側当接部５２及び下側当接部５３において第１横行部材３１の雌ネジ穴に対応する位置に、雄ネジ（３１Ｂ、３２Ｂ）の呼び径よりも大きい貫通孔（５２ｈ、５３ｈ）が形成されている。

【0045】

図５〜７に示すように、重量容器に対応する棚体Ｓ２は、水平面に沿う板状の支持板部５０と、支持板部５０の下方における上下方向視で支持板部５０と重複する位置に配置されて支持板部５０を下方から支持する支持枠５１と、を備えている。
支持板部５０には、上下方向に貫通すると共に突出方向に向かって開口する切欠き部５０Ｙが形成され、支持枠５１は、支持板部５０に沿って配置された長尺部材で構成されて、切欠き部５０Ｙに対して支持板部５０の棚左右方向の両側に分かれて一対設けられている。

【0046】

支持板部５０の上面には、半導体容器Ｂの底面Ｂｂに備えられる３つの位置決め溝Ｂｍと係合する３つの位置決めピンＰが設けられている。位置決めピンＰとして、２つの位置決め溝Ｂｍ２と係合する２つの位置決めピンＰ２と、１つの位置決め溝Ｂｍ１と係合する１つの位置決めピンＰ１とが設けられている。

【0047】

図５〜図７に示すように、一対の支持枠５１の夫々は、基準面に当接する基端部を有する基端側部分５１ａ（図７において突出方向での領域Ｗ１にて示す部分）と当該基端側部分５１ａよりも突出方向側の部分である先端側部分５１ｂ（図７において突出方向での領域Ｗ２にて示す部分）とを有する。図７に示すように、基端側部分５１ａは、棚左右方向視で、当該基端側部分５１ａを含む支持枠５１が支持する支持板部５０の下方に形成された物品収納領域と重複する部分を有する。

【0048】

また、図６及び図７に示すように、先端側部分５１ｂは、棚左右方向視で、当該先端側部分５１ｂを含む支持枠５１が支持する支持板部５０の下方に形成された物品収納領域よりも上方に位置し、図５及び図７に示すように、一対の支持枠５１は、一対の基端側部分５１ａの双方が、上下方向視で物品収納領域よりも棚左右方向の外側に配置され、一対の先端側部分５１ｂの双方が、上下方向視で物品収納領域と重複する部分を有するように、棚左右方向における互いの離間距離が突出方向に向かうに従って狭くなる向きに突出方向に対して傾斜して配置されている。

【0049】

また、図９に示すように、支持板部５０の棚左右方向の両側の側縁の夫々が、直線状部分を有し、一対の支持枠５１の夫々は、一対の側縁の直線状部分から下向きに折り曲げられた板状部を有して構成されている。

【0050】

図５〜９に示すように、棚体Ｓ２は、横行部材３０の上面に当接する上側当接部５２と、横行部材３０の下面に当接する下側当接部５３とを備えている。
図６及び図７に示すように、上側当接部５２と下側当接部５３とは、支持枠５１の基端側部分５１ａから連続して形成されている。上側当接部５２と下側当接部５３との双方は、支持枠５１の基端部５１ｅから水平方向に沿って突出方向と反対向きに延出し、図８に示すように、上側当接部５２と下側当接部５３とは、第１横行部材３１の上下方向の寸法Ｌ１及び第２横行部材３２の上下方向の寸法Ｌ２の和に相当する距離だけ上下方向に離間して配置されている。
また、支持枠５１の基端部５１ｅから連続する状態で、第１横行部材３１及び第２横行部材３２の突出方向に向う側の面（以下前面と称する）に沿う前面当接部５４が形成されている。図９に示すように、前面当接部５４には、雄ネジ５４Ｂの呼び径よりも大きい貫通孔５４ｈが形成され、第２横行部材３２の前面には、雄ネジ５４Ｂが螺合する雌ネジ穴３２ｈｙが形成されている。そして、大きい貫通孔５４ｈを通過させて雄ネジ５４Ｂを雌ネジ穴３２ｈｙと螺合させることによって、前面当接部５４と第１横行部材３１及び第２横行部材３２の前面とを当接させた状態で固定させることができる。

【0051】

上記のような構成により、第１横行部材３１の下方に第２横行部材３２を当接させた状態で、上側当接部５２と下側当接部５３とで当該第１横行部材３１と第２横行部材３２とを挟み込み、上側当接部５２の貫通孔５２ｈを通過させて雄ネジ３１Ｂを第１横行部材３１の上端の雌ネジ穴３１ｈｕに螺合させるとともに、下側当接部５３の貫通孔５３ｈ及び第２横行部材３２の貫通孔３２ｈを通過させて雄ネジ３２Ｂを第１横行部材３１の下端の雌ネジ穴３２ｈｕに螺合させることで、第１横行部材３１と第２横行部材３２とを連結する。すなわち、第１横行部材３１と第２横行部材３２とが、上側当接部５２及び下側当接部５３により連結される。
本実施形態では、第１横行部材３１と第２横行部材３２とによって横行部材３０が構成される。すなわち、複数の横行部材３０の夫々は、棚左右方向の両端部が支柱３３に固定された第１横行部材３１と、当該第１横行部材３１に対して下方から当接する第２横行部材３２とを備えている。

【0052】

このように、支柱３３に固定されている第１横行部材３１を流用しつつ、重量容器に対応する棚体Ｓ２を取り付け可能とするように棚枠を改修することができるので、棚枠における全ての部材を新たに制作して重量容器に対応する保管棚ユニットＵとする構成と比べてコストを削減することができるとともに、第１横行部材３１と第２横行部材３２とを連結するための部材を、棚体Ｓ２を棚枠に取り付けるための上側当接部５２及び下側当接部５３と兼用させることで、構成の簡素化を図ることができるものとなる。

【0053】

〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、支持枠を、支持板部５０の棚左右方向の両側の側縁の直線状部分から下向きに折り曲げられた板状部とする構成を説明したが、板状部を支持板部５０とは別体に形成して、その板状部と支持板部５０の棚左右方向の両側の側縁とを溶接等で接続するように構成してもよい。また、支持枠を、板状ではなく中実又は中空の棒状体として構成してもよい。このように、支持枠は、一対の基端側部分の双方が上下方向視で物品収納領域よりも棚左右方向の外側に配置され、一対の先端側部分の双方が、上下方向視で物品収納領域と重複する部分を有するように、棚左右方向における互いの離間距離が突出方向に向かうに従って狭くなる向きに突出方向に対して傾斜して配置されている限り、その構造や形成方法は自由に選択可能である。

【0054】

（２）上記実施形態では、一対の支柱３３と、記棚左右方向の両端部が一対の支柱３３に固定されて一対の支柱３３の間を接続する複数の長尺状の横行部材３０とを備えて棚枠を構成する形態を説明したが、このような構成に限定されるものではない。例えば、単一の支柱を備え、その支柱から水平方向に沿って片持ち状に延出する横行部材３０を備える構成としてもよい。

【0055】

（３）上記実施形態では、第１横行部材３１及び第２横行部材３２の夫々を、棚左右方向視で矩形状に形成する構成を説明したが、第１横行部材３１及び第２横行部材３２の棚左右方向視での形状は矩形状に限定されるものではない。例えば、第１横行部材３１の棚左右方向視での形状を上方に突出する半円形状とし、第２横行部材３２の棚左右方向視での形状を下方に突出する半円形状として、第１横行部材３１と第２横行部材３２とを上下方向に連結することで棚左右方向視で円形状となるようにしてもよい。このとき、上側当接部は少なくとも第１横行部材３１の上面に当接し、下側当接部は少なくとも第２横行部材３２の下面に当接するように構成する。また、第１横行部材３１と第２横行部材３２とを上下方向に連結した場合における棚左右方向視での形状が楕円形状又は矩形以外の異形断面形状になるようにしてもよい。

【0056】

（４）上記実施形態では、第１横行部材３１の上面及び第２横行部材３２の下面を水平面に沿って形成し、上側当接部５２と下側当接部５３との双方を、支持枠５１の基端部から水平方向に沿って突出方向と反対向きに延出させる構成を説明したが、このような構成に限定されるものではない。例えば、第１横行部材３１の上面を突出方向に近づくほど下方になる傾斜面として形成し、第２横行部材３２の下面を突出方向に近づくほど上方になる傾斜面として形成し、上側当接部５２を第１横行部材３１の上面に沿う角度に形成し、下側当接部５３を第２横行部材３２の下面に沿う角度に形成してもよい。

【0057】

（５）上記実施形態では、第２横行部材３２を第１横行部材３１に対して下方から当接させる形状を説明したが、第２横行部材３２を第１横行部材３１に対して上方から当接させるように構成しても良い。この場合、第２横行部材３２の貫通孔３２ｈは、第１横行部材３１の上端の雌ネジ穴３１ｈｕに対応する位置に形成する。

【0058】

（６）上記実施形態では、収納対象の物品を半導体容器Ｂとする場合を説明したが、このような構成に限定されるものではなく、収納対象の物品を半導体容器Ｂ以外の物品（例えば食品等）としてもよい。この場合、例えば食品保存用の冷凍ガスや冷蔵ガス等を棚設置領域における棚体Ｓの存在範囲の上方から下方に流動させることが考えられる。

【0059】

（７）上記実施形態では、棚横幅方向に２つ又は３つの棚体Ｓを並べて備える保管棚ユニットＵを例示したが、棚横幅方向に４つ以上の棚体Ｓを並べて備える保管棚ユニットＵとしてもよく、また、棚体Ｓを棚横幅方向で１つのみ備える保管棚ユニットＵとしてもよい。

【0060】

（８）上記実施形態では、複数の保管棚ユニットＵ夫々の基準面が同一平面となるように保管棚ユニットＵを並べて配置したが、このような構成に限定されるものではない。例えば、複数の保管棚ユニットＵを、平面視で突出方向の位置を互いにずらして設けてもよい。また、上下方向に移動可能で且つ上下軸心に沿って回動可能な移載装置を備えた搬送装置を設け、複数の保管棚ユニットＵを、上下方向視で当該搬送装置を周方向に取り囲むように配置してもよい。

【符号の説明】

【0061】

１０ 物品収納棚（半導体容器ストッカー）
１０Ｗ 区画壁
Ｓ１、Ｓ 棚体
５０ 支持板部
５１ 支持枠
５１ａ 基端側部分
５１ｂ 先端側部分
５２ 上端当接部
５２ｈ 貫通孔
５３ 下端当接部
５３ｈ 貫通孔
Ｂ 物品（半導体容器）
Ｄ 気流発生装置
３０ 横行部材
３１ 第１横行部材
３１ｈ（３１ｈｕ、３１ｈｄ） 雌ネジ穴
３２ 第２横行部材
３２ｈ 貫通孔
３３ 支柱

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】