特許 6553103 流体圧シリンダ用センサ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6553103

(24)【登録日】2019年7月12日

(45)【発行日】2019年7月31日

(54)【発明の名称】流体圧シリンダ用センサ

(51)【国際特許分類】

   G01B 7/00 20060101AFI20190722BHJP

   F15B 15/28 20060101ALI20190722BHJP

   G01D 5/18 20060101ALN20190722BHJP

【ＦＩ】

   G01B7/00 101H

   F15B15/28 C

   !G01D5/18 E

【請求項の数】7

【全頁数】18

(21)【出願番号】特願2017-15831(P2017-15831)

(22)【出願日】2017年1月31日

(65)【公開番号】特開2018-124151(P2018-124151A)

(43)【公開日】2018年8月9日

【審査請求日】2018年8月29日

(73)【特許権者】

【識別番号】000106760

【氏名又は名称】ＣＫＤ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100105957

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 誠

(74)【代理人】

【識別番号】100068755

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 博宣

(72)【発明者】

【氏名】野村 雅之

(72)【発明者】

【氏名】岩田 将男

【審査官】 九鬼 一慶

(56)【参考文献】

【文献】 実開昭６１−０６３１０２（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開平１０−３３２４２４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−０１７５１４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−３１４６０３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−２９４７５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００８／０２２４６９２（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｂ ７／００−７／３４

Ｆ１５Ｂ １５／２８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

磁気抵抗素子を含むブリッジ回路と、前記ブリッジ回路からの出力信号が入力される比較器と、信号端子及びコモン端子とを備え、流体圧シリンダのピストンの位置検出に用いられる２線式センサ回路構成の流体圧シリンダ用センサであって、
前記比較器の出力がベース端子に入力される第１トランジスタと、
接続ラインを介して前記第１トランジスタのコレクタ端子と接続されたベース端子、前記信号端子に接続されたエミッタ端子、及び前記ブリッジ回路に接続されたコレクタ端子を有する第２トランジスタと、
前記接続ライン上に設けられ、スイッチングダイオード又は整流ダイオードで構成された電圧調整ダイオードと、
前記第１トランジスタ及び前記第２トランジスタがＯＮ状態である場合に、前記第２トランジスタのエミッタ−ベース間の電圧降下と前記電圧調整ダイオードの電圧降下とに対応する電圧が印加される発光ダイオードと、
を備え、
前記流体圧シリンダ用センサは、前記第１トランジスタ及び前記第２トランジスタがＯＮ状態である場合に、前記第２トランジスタのエミッタ−ベース間の電圧降下量と前記電圧調整ダイオードの電圧降下量とを含む駆動電圧が前記ブリッジ回路に印加されるように構成されていることを特徴とする流体圧シリンダ用センサ。

【請求項2】

前記ブリッジ回路及び前記比較器は、１つのパッケージに組み込まれている請求項１に記載の流体圧シリンダ用センサ。

【請求項3】

前記第２トランジスタのエミッタ端子又はコレクタ端子と、前記接続ラインにおける前記第１トランジスタと前記電圧調整ダイオードとの間の部分とを接続するバイパスラインを備え、
前記発光ダイオードは、前記バイパスライン上に設けられている請求項１又は請求項２に記載の流体圧シリンダ用センサ。

【請求項4】

前記信号端子及び前記コモン端子に接続されているラインであって、前記電圧調整ダイオード及び前記第１トランジスタを通るラインとは別に設けられたバイパスラインと、
前記バイパスライン上に設けられ、前記比較器の出力がベース端子に入力される第３トランジスタと、
を備え、
前記発光ダイオードは、前記バイパスライン上に設けられている請求項１又は請求項２に記載の流体圧シリンダ用センサ。

【請求項5】

前記バイパスライン上には、前記電圧調整ダイオードを流れる電流と前記発光ダイオードを流れる電流との比率を調整する抵抗が設けられている請求項３又は請求項４に記載の流体圧シリンダ用センサ。

【請求項6】

前記第１トランジスタ及び前記第２トランジスタがＯＦＦ状態である状況において前記ブリッジ回路に対して電圧を印加するのに用いられる定電流回路を備えている請求項１〜５のうちいずれか一項に記載の流体圧シリンダ用センサ。

【請求項7】

前記電圧調整ダイオードの数は、前記発光ダイオードの電圧降下量から前記第２トランジスタのエミッタ−ベース間の電圧降下量を減算した値を、前記電圧調整ダイオードの１つ当たりの電圧降下量で除算したときの商である請求項１〜６のうちいずれか一項に記載の流体圧シリンダ用センサ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、流体圧シリンダ用センサに関する。

【背景技術】

【0002】

従来から、エアシリンダ等のような流体圧を利用した流体圧シリンダが知られている。また、流体圧シリンダのピストンの位置を検出するものとして、２線式センサ回路構成の流体圧シリンダ用センサ等がある。このような流体圧シリンダ用センサには、例えば、プログラマブルコントローラ入力カード等の外部負荷と、外部電源とが接続される。流体圧シリンダ用センサは、当該流体圧シリンダ用センサのＯＮ時及びＯＦＦ時に関わらず、外部電源から電力供給を受けている。

【0003】

また、図８に示すように、流体圧シリンダ用センサの一例として、特許文献１に記載の流体圧シリンダ用センサ１００は、磁気抵抗素子１０１ａ，１０１ｂ及び分圧抵抗１０１ｃ，１０１ｄを有するブリッジ回路１０１と、ブリッジ回路１０１からの出力信号が入力される比較器１０２とから構成されたＭＲセンサパッケージ１０３を備えている。また、流体圧シリンダ用センサ１００は、比較器１０２の出力がベース端子に入力される第１トランジスタ１１１と、第１トランジスタ１１１のコレクタ端子にカソード端子が接続された発光ダイオード１１２と、発光ダイオード１１２のアノード端子にベース端子が接続された第２トランジスタ１１３とを備えている。流体圧シリンダ用センサ１００は、外部負荷１２１及び外部電源１２２に接続されて使用される。かかる構成においては、流体圧シリンダ用センサ１００のＯＮ時には、第２トランジスタ１１３のエミッタ−ベース間の電圧降下量δＶ１と、発光ダイオード１９の電圧降下量δＶａと、第１トランジスタ１１１のコレクタ−エミッタ間の電圧降下量δＶ３とを合わせた駆動電圧Ｖｄが、ブリッジ回路１０１に印加される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００７−１３９１３０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ここで、図９に示すように、流体圧シリンダ用センサ１００及び流体圧シリンダ１１０は、自動機械装置２００に対して複数組み込まれる場合がある。この場合、各流体圧シリンダ用センサ１００がＯＮとなったことに基づいて、プログラマブルコントローラにて次のシーケンス制御が行われるといった使用態様が想定される。

【0006】

上記使用態様を実現するためのシステムの一例としては、例えば、図１０に示すように、複数の流体圧シリンダ用センサ１００が直列に接続されているとともに、これらに対してプログラマブルコントローラの入力カード等の外部負荷１２１と、外部電源１２２とが接続されるシステムが考えられる。かかる構成によれば、例えば各流体圧シリンダ用センサ１００が全てＯＮとなることによって外部負荷１２１に電流が流れることにより、各流体圧シリンダ用センサ１００が全てＯＮとなったことを外部負荷１２１にて検知できる。

【0007】

上記のようなシステムにおいては、外部負荷１２１の最低動作電圧Ｖｍｉｎ、外部電源１２２の電源電圧Ｖ０及び駆動電圧Ｖｄによって、直列に接続できる流体圧シリンダ用センサ１００の数Ｎが決まる。詳細には、駆動電圧Ｖｄに対して流体圧シリンダ用センサ１００の数Ｎを乗算した値が、電源電圧Ｖ０から最低動作電圧Ｖｍｉｎを減算した値以下に設定されている必要があるため、流体圧シリンダ用センサ１００の数Ｎは、Ｎ≦（Ｖ０−Ｖｍｉｎ）／Ｖｄの不等式を満たす自然数である。このため、直列に接続できる流体圧シリンダ用センサ１００の数Ｎは制限されている。

【0008】

上記不等式によれば、駆動電圧Ｖｄが低くなることによって数Ｎを増やすことが可能となる。ここで、駆動電圧Ｖｄを低くすると、ＭＲセンサパッケージ１０３の動作が不安定となることが懸念されるが、近年ＭＲセンサパッケージ１０３の最低動作電圧は低下しているため、駆動電圧Ｖｄが低下している状況下でもＭＲセンサパッケージ１０３は正常に動作できる。

【0009】

本発明は、上述した事情を鑑みてなされたものであり、その目的は流体圧シリンダ用センサのＯＮ時においてブリッジ回路に印加される駆動電圧の低下を図ることができる流体圧シリンダ用センサを提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0010】

上記目的を達成する流体圧シリンダ用センサは、磁気抵抗素子を含むブリッジ回路と、前記ブリッジ回路からの出力信号が入力される比較器と、信号端子及びコモン端子とを備え、流体圧シリンダのピストンの位置検出に用いられる２線式センサ回路構成であって、前記比較器の出力がベース端子に入力される第１トランジスタと、接続ラインを介して前記第１トランジスタのコレクタ端子と接続されたベース端子、前記信号端子に接続されたエミッタ端子、及び前記ブリッジ回路に接続されたコレクタ端子を有する第２トランジスタと、前記接続ライン上に設けられ、スイッチングダイオード又は整流ダイオードで構成された電圧調整ダイオードと、前記第１トランジスタ及び前記第２トランジスタがＯＮ状態である場合に、前記第２トランジスタのエミッタ−ベース間の電圧降下と前記電圧調整ダイオードの電圧降下とに対応する電圧が印加される発光ダイオードと、を備え、前記流体圧シリンダ用センサは、前記第１トランジスタ及び前記第２トランジスタがＯＮ状態である場合に、前記第２トランジスタのエミッタ−ベース間の電圧降下量と前記電圧調整ダイオードの電圧降下量とを含む駆動電圧が前記ブリッジ回路に印加されるように構成されていることを特徴とする。

【0011】

かかる構成によれば、第１トランジスタ及び第２トランジスタがＯＮ状態である場合には、第２トランジスタのエミッタ−ベース間の電圧降下と電圧調整ダイオードの電圧降下とに対応する電圧が発光ダイオードに印加されて発光ダイオードが発光するとともに、駆動電圧がブリッジ回路に印加される。駆動電圧には、第２トランジスタのエミッタ−ベース間の電圧降下量と電圧調整ダイオードの電圧降下量とが含まれる一方、発光ダイオードの電圧降下量が含まれない。これにより、駆動電圧に、第２トランジスタのエミッタ−ベース間の電圧降下量と発光ダイオードの電圧降下量とが含まれる構成と比較して、駆動電圧の低下を図ることができる。

【0012】

上記流体圧シリンダ用センサについて、前記ブリッジ回路及び前記比較器は、１つのパッケージに組み込まれているとよい。
かかる構成によれば、ブリッジ回路及び比較器が独立の部品の場合と比較して流体圧シリンダ用センサの組み立てを容易にできる。

【0013】

上記流体圧シリンダ用センサについて、前記第２トランジスタのエミッタ端子又はコレクタ端子と、前記接続ラインにおける前記第１トランジスタと前記電圧調整ダイオードとの間の部分とを接続するバイパスラインを備え、前記発光ダイオードは、前記バイパスライン上に設けられているとよい。

【0014】

かかる構成によれば、第２トランジスタのエミッタ−ベース間及び電圧調整ダイオードに対して並列に発光ダイオードが接続されているため、発光ダイオードと第２トランジスタのエミッタ−ベース間とが直列的に接続されることに起因して駆動電圧が高くなることを抑制できる。

【0015】

特に、本構成によれば、第１トランジスタがＯＮ状態となることによって、電圧調整ダイオードと発光ダイオードとの双方において電流が流れる。これにより、１つのトランジスタで、並列接続された電圧調整ダイオードと発光ダイオードとの双方に電流を流すことができるため、構成の簡素化を図ることができる。

【0016】

上記流体圧シリンダ用センサについて、前記信号端子及び前記コモン端子に接続されているラインであって、前記電圧調整ダイオード及び前記第１トランジスタを通るラインとは別に設けられたバイパスラインと、前記バイパスライン上に設けられ、前記比較器の出力がベース端子に入力される第３トランジスタと、を備え、前記発光ダイオードは、前記バイパスライン上に設けられているとよい。

【0017】

かかる構成によれば、第２トランジスタのエミッタ−ベース間及び電圧調整ダイオードに対して並列に発光ダイオードが接続されている。そして、第１トランジスタがＯＮ状態となることによって第２トランジスタがＯＮ状態となり、駆動電圧がブリッジ回路に印加される。また、第３トランジスタがＯＮ状態となることによって、第２トランジスタのエミッタ−ベース間の電圧降下と電圧調整ダイオードの電圧降下とに対応する電圧が発光ダイオードに印加される。これにより、発光ダイオードと第２トランジスタのエミッタ−ベース間とが直列的に接続されることに起因して駆動電圧が高くなることを抑制できる。特に、本構成によれば、電流が第１トランジスタと第３トランジスタとに分流されるため、第１トランジスタ及び第３トランジスタに要求される電流増幅率を低くできる。

【0018】

上記流体圧シリンダ用センサについて、前記バイパスライン上には、前記電圧調整ダイオードを流れる電流と前記発光ダイオードを流れる電流との比率を調整する抵抗が設けられているとよい。

【0019】

かかる構成によれば、抵抗によって発光ダイオードに流れる電流を調整することができる。これにより、例えば発光ダイオードに過度な電流が流れることを抑制できる。
上記流体圧シリンダ用センサについて、前記第１トランジスタ及び前記第２トランジスタがＯＦＦ状態である状況において前記ブリッジ回路に対して電圧を印加するのに用いられる定電流回路を備えているとよい。

【0020】

かかる構成によれば、第１トランジスタ及び第２トランジスタがＯＦＦ状態である場合であっても、ブリッジ回路に電圧が印加される。また、定電流回路によってブリッジ回路を流れる電流が一定となっているため、第１トランジスタ及び第２トランジスタがＯＦＦ状態である状況におけるブリッジ回路及び比較器の安定動作を実現できる。

【0021】

上記流体圧シリンダ用センサについて、前記電圧調整ダイオードの数は、前記発光ダイオードの電圧降下量から前記第２トランジスタのエミッタ−ベース間の電圧降下量を減算した値を、前記電圧調整ダイオードの１つ当たりの電圧降下量で除算したときの商であるとよい。

【0022】

かかる構成によれば、第２トランジスタのエミッタ−ベース間の電圧降下量と電圧調整ダイオードの電圧降下量とを合わせた電圧を、発光ダイオードの電圧降下量に近づけることができる。これにより、必要最小限の電圧調整ダイオードの数で上述した効果を実現できる。

【発明の効果】

【0023】

この発明によれば、流体圧シリンダ用センサのＯＮ時においてブリッジ回路に印加される駆動電圧の低下を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【0024】

【図1】エアシリンダの模式斜視図。

【図2】エアシリンダとシリンダスイッチとの関係を示す模式図。

【図3】第１実施形態のシリンダスイッチの回路図。

【図4】第２実施形態のシリンダスイッチの回路図。

【図5】別例のシリンダスイッチの回路図。

【図6】別例のシリンダスイッチの回路図。

【図7】別例のシリンダスイッチの回路図。

【図8】従来技術のシリンダスイッチの回路図。

【図9】自動機械装置の一例を模式的に示す概念図。

【図10】シリンダスイッチの電気的構成を模式的に示す概念図。

【発明を実施するための形態】

【0025】

（第１実施形態）
以下、流体圧シリンダ用センサの第１実施形態について説明する。
流体圧シリンダ用センサとしてのシリンダスイッチは、流体圧シリンダの一種であるエアシリンダのピストンの位置検出に用いられる。図１に示すように、シリンダスイッチ１１は、エアシリンダ１２の外周面にピストンロッド１３ａの移動方向に沿って延びるように形成された取付け溝１４内に設置される。図２に示すように、ピストン１３の外周面に形成された収容溝１５には磁石１６が設けられており、シリンダスイッチ１１は、磁石１６がピストン１３と共に所定位置に移動した時に出力信号を発するように構成されている。なお、シリンダスイッチ１１の取付け位置を適宜変更可能とするため、図示しないが、取付け溝１４はエアシリンダ１２の他の面にも設けられている。

【0026】

図２に示すように、シリンダスイッチ１１は各種の電子部品を備えている。これらの電子部品は全て表面実装部品（ＳＭＤ）であって、回路基板１７上に実装されて後述する２線式センサ回路を構成する。回路基板１７には、電子部品としてのＭＲセンサパッケージ１８、発光ダイオード１９及び図示しないトランジスタや抵抗等の電子部品がはんだ付けにより表面実装されている。そして、各種電子部品及び回路基板１７はケース２１内に収容されている。

【0027】

次に、シリンダスイッチ１１の回路構成を図３に基づいて説明する。
図３に示すように、シリンダスイッチ１１を構成する２線式センサ回路２２は、磁気抵抗素子２３ａ，２３ｂを含むブリッジ回路２３と、ブリッジ回路２３からの出力信号が入力される比較器（オペアンプ）２４と、信号端子２５及びコモン端子２６とを備えている。

【0028】

ブリッジ回路２３は、２個の磁気抵抗素子２３ａ，２３ｂと２個の分圧抵抗２３ｃ，２３ｄとにより構成されている。両磁気抵抗素子２３ａ，２３ｂの接続点が比較器２４の反転入力端子に接続されて比較器２４に磁気検出信号が入力され、両分圧抵抗２３ｃ，２３ｄの接続点が比較器２４の非反転入力端子に接続されて比較器２４に基準電圧が入力されるようになっている。比較器２４は、ブリッジ回路２３からの出力信号を比較して、Ｈｉｇｈ／Ｌｏｗの２値化するとともに増幅して出力する。また、ブリッジ回路２３及び比較器２４は、１つのパッケージに組み込まれてＭＲセンサパッケージ１８となっている。

【0029】

シリンダスイッチ１１の２線式センサ回路２２は、信号端子２５とＭＲセンサパッケージ１８（詳細にはブリッジ回路２３）とを接続する第１母線ＬＮ１と、コモン端子２６とＭＲセンサパッケージ１８（詳細にはブリッジ回路２３）とを接続する第２母線ＬＮ２とを備えている。

【0030】

２線式センサ回路２２は、第１トランジスタ２８及び第２トランジスタ２９と、接続ラインＬＮ３と、電圧調整ダイオードとしてのスイッチングダイオード３１，３２と、を備えている。

【0031】

第１トランジスタ２８は、ＮＰＮトランジスタである。ＭＲセンサパッケージ１８の比較器２４の出力端子は、抵抗２７を介して第１トランジスタ２８のベース端子に接続されている。すなわち、比較器２４の出力は第１トランジスタ２８のベース端子に入力される。第１トランジスタ２８のエミッタ端子は第２母線ＬＮ２に接続されている。

【0032】

第２トランジスタ２９は、ＰＮＰトランジスタである。第２トランジスタ２９は、第１母線ＬＮ１上に設けられており、第２トランジスタ２９のエミッタ端子は信号端子２５に接続されており、第２トランジスタ２９のコレクタ端子はＭＲセンサパッケージ１８（詳細にはブリッジ回路２３）に接続されている。

【0033】

接続ラインＬＮ３は、第１トランジスタ２８のコレクタ端子と第２トランジスタ２９のベース端子とを接続している。
スイッチングダイオード３１，３２は、接続ラインＬＮ３上に設けられている。本実施形態では、スイッチングダイオード３１，３２は２つ設けられている。両スイッチングダイオード３１，３２は、第２トランジスタ２９のベース端子から第１トランジスタ２８のコレクタ端子に向かう方向を順方向として互いに直列に接続されている。

【0034】

かかる構成によれば、第１トランジスタ２８がＯＮ状態である場合には、第２トランジスタ２９がＯＮ状態となり、それによって駆動電圧ＶｄがＭＲセンサパッケージ１８（ブリッジ回路２３）に印加される。

【0035】

この場合、第２トランジスタ２９のエミッタ−ベース間におけるダイオード特性によって、第２トランジスタ２９のエミッタ−ベース間において電圧降下が生じるとともに、両スイッチングダイオード３１，３２において電圧降下が生じる。このため、駆動電圧Ｖｄは、第２トランジスタ２９のエミッタ−ベース間の電圧降下量である第１電圧降下量δＶ１と、両スイッチングダイオード３１，３２の電圧降下量である第２電圧降下量δＶ２とを含む。詳細には、駆動電圧Ｖｄは、第１電圧降下量δＶ１と、第２電圧降下量δＶ２と、第１トランジスタ２８のコレクタ−エミッタ間の電圧降下量である第３電圧降下量δＶ３とを合わせた電圧である。なお、駆動電圧Ｖｄは、ＭＲセンサパッケージ１８の最低動作電圧（例えば１．６Ｖ）以上に設定されている。

【0036】

シリンダスイッチ１１の２線式センサ回路２２は、接続ラインＬＮ３とは別に設けられたバイパスラインＬＮ４と、バイパスラインＬＮ４上に設けられた発光ダイオード１９及び抵抗２０と、を備えている。

【0037】

バイパスラインＬＮ４は、第２トランジスタ２９のエミッタ端子と、接続ラインＬＮ３のうち両スイッチングダイオード３１，３２（詳細には第２スイッチングダイオード３２）と第１トランジスタ２８のコレクタ端子とを接続している部分とを接続している。

【0038】

発光ダイオード１９及び抵抗２０は、バイパスラインＬＮ４上において互いに直列に接続されている。発光ダイオード１９及び抵抗２０は、第２トランジスタ２９のエミッタ−ベース間及び両スイッチングダイオード３１，３２と並列に接続されている。このため、両トランジスタ２８，２９がＯＮ状態である場合、発光ダイオード１９には、第２トランジスタ２９のエミッタ−ベース間の電圧降下とスイッチングダイオード３１，３２の電圧降下とに対応した電圧が印加される。詳細には、発光ダイオード１９及び抵抗２０の直列接続体には、第１電圧降下量δＶ１と第２電圧降下量δＶ２とを合わせた電圧が印加される。ちなみに、発光ダイオード１９の電圧降下量δＶａは、スイッチングダイオード３１，３２の１つ当たりの電圧降下量よりも大きく、第２電圧降下量δＶ２よりも大きい。

【0039】

抵抗２０は、両スイッチングダイオード３１，３２を流れる電流と、発光ダイオード１９を流れる電流とに分流される両電流の比率を調整する。詳細には、発光ダイオード１９及び抵抗２０からなる直列接続体の印加電圧と、第１電圧降下量δＶ１と第２電圧降下量δＶ２とを合わせた電圧との大小関係は、抵抗２０の抵抗値に応じて変化し、それによって両電流の比率が変化する。

【0040】

本実施形態では、抵抗２０の抵抗値は、発光ダイオード１９の電圧降下量δＶａと抵抗２０の印加電圧とを合わせた電圧が第１電圧降下量δＶ１と第２電圧降下量δＶ２とを合わせた電圧と一致するように設定されている。具体的には、第１電圧降下量δＶ１と第２電圧降下量δＶ２とを合わせた電圧から発光ダイオード１９の電圧降下量δＶａを差し引いた電圧（δＶ１＋δＶ２−δＶａ）が抵抗２０に印加されるように、抵抗２０の抵抗値が設定されている。

【0041】

図３に示すように、シリンダスイッチ１１の２線式センサ回路２２は、シリンダスイッチ１１がＯＦＦ時に、ＭＲセンサパッケージ１８に電圧を印加するのに用いられる定電流回路３０を備えている。

【0042】

定電流回路３０は、第２トランジスタ２９のエミッタ−コレクタ間に接続されている。定電流回路３０は、ＮＰＮトランジスタＱ１のコレクタ−ベース間に第１の定電流用抵抗Ｒ１が接続された回路を備えるとともに、ＮＰＮトランジスタＱ１のコレクタ端子が第２トランジスタ２９のエミッタ端子に接続されている。第１の定電流用抵抗Ｒ１は、ＮＰＮトランジスタＱ１が飽和した状態で動作可能にする値の抵抗値を有する。定電流回路３０は、さらにＮＰＮトランジスタＱ１のエミッタ端子に一端が接続された第２の定電流用抵抗Ｒ２と、ＮＰＮトランジスタＱ１のベース端子にコレクタ端子が接続されるとともにベース端子がＮＰＮトランジスタＱ１のエミッタ端子に接続された第２のＮＰＮトランジスタＱ２とを備えている。第２の定電流用抵抗Ｒ２の他端及び第２のＮＰＮトランジスタＱ２のエミッタ端子が第２トランジスタ２９のコレクタ端子に接続されている。

【0043】

第１の定電流用抵抗Ｒ１及び第２の定電流用抵抗Ｒ２の抵抗値を所定の範囲に設定することによりシリンダスイッチ１１のＯＦＦ時に、定電流回路３０からＭＲセンサパッケージ１８に流れる電流値は、シリンダスイッチ１１が誤動作をしない所定の範囲内になる。例えば、第１の定電流用抵抗Ｒ１の抵抗値を１ｋΩ、第２の定電流用抵抗Ｒ２の抵抗値を１００ｋΩとすることにより、ＭＲセンサパッケージ１８に流れる電流値を１ｍＡ未満にすることができる。

【0044】

また、信号端子２５とコモン端子２６との間には、サージ電圧対策用のツェナーダイオード３３と、外部雑音対策用のコンデンサ３４とが並列に接続されている。
シリンダスイッチ１１は、エアシリンダ１２の所定位置に取付けられている。例えばピストンロッド１３ａが所定の没入状態（基準位置）となった場合に磁石１６の作用によりＭＲセンサパッケージ１８（比較器２４）からＨｉｇｈの出力信号が出力され、基準位置から移動した状態ではＭＲセンサパッケージ１８からＬｏｗの出力信号が出力される。

【0045】

図３に示すように、シリンダスイッチ１１が１つ使用される場合、シリンダスイッチ１１は、２線式センサ回路２２の信号端子２５とコモン端子２６との間に外部負荷３５及び直流の外部電源３６が接続された状態で使用される。この場合、外部電源３６の＋端子が外部負荷３５を介して信号端子２５に接続され、外部電源３６の−端子がコモン端子２６に接続される。

【0046】

シリンダスイッチ１１のＯＮ時、すなわちピストンロッド１３ａが基準位置に移動して磁石１６の作用によりＭＲセンサパッケージ１８からＨｉｇｈの出力信号が出力される状態では、第１トランジスタ２８がＯＮ状態となる。そして、第２トランジスタ２９がＯＮ状態となって、信号端子２５から、第２トランジスタ２９のエミッタ−ベース間、接続ラインＬＮ３の両スイッチングダイオード３１，３２、及び第１トランジスタ２８のコレクタ−エミッタ間を経由する第１電流経路ＥＬ１を通って、コモン端子２６へと外部負荷３５を動作させる電流が流れる。そして、駆動電圧ＶｄがＭＲセンサパッケージ１８に印加される。

【0047】

また、両トランジスタ２８，２９がＯＮ状態となることによって、バイパスラインＬＮ４の発光ダイオード１９及び抵抗２０と第１トランジスタ２８のコレクタ−エミッタ間とを経由する第２電流経路ＥＬ２を通って電流が流れる。これにより、発光ダイオード１９が点灯し、シリンダスイッチ１１がＯＮとなったことを目視で確認できる。すなわち、シリンダスイッチ１１は、第２トランジスタ２９のエミッタ−ベース間及び両スイッチングダイオード３１，３２を流れる第１電流経路ＥＬ１と、第１電流経路ＥＬ１とは別に設けられ、発光ダイオード１９を流れる第２電流経路ＥＬ２とを備えていると言える。第１電流経路ＥＬ１と第２電流経路ＥＬ２とは、一部（第１トランジスタ２８）において共通している。

【0048】

本実施形態では、第２トランジスタ２９のエミッタ−ベース間を流れる電流と、発光ダイオード１９を流れる電流とが別々になっている。既に説明した通り、バイパスラインＬＮ４上の抵抗２０によって、両スイッチングダイオード３１，３２を流れる電流と、発光ダイオード１９を流れる電流との比率が調整されており、その結果発光ダイオード１９を流れる電流は、発光ダイオード１９の定格電流よりも低くなっている。すなわち、抵抗２０は、両スイッチングダイオード３１，３２を流れる電流と発光ダイオード１９を流れる電流との比率を調整することにより、発光ダイオード１９に流れる電流が定格電流よりも低くなるように制限するものとして機能している。

【0049】

ちなみに、第２トランジスタ２９は、シリンダスイッチ１１のＯＮ時にＯＮ状態となることにより、ＭＲセンサパッケージ１８を安定動作させるのに寄与している。詳述すると、仮に第２トランジスタ２９が存在せず、第１母線ＬＮ１上に定電流回路３０が設けられている場合、ＭＲセンサパッケージ１８には、定電流回路３０によって分圧された電圧が印加されることとなる。この場合、ＭＲセンサパッケージ１８の印加電圧が低くなり、ＭＲセンサパッケージ１８の動作が不安定となり得る。

【0050】

この点、本実施形態では、第１母線ＬＮ１上に第２トランジスタ２９が設けられており、当該第２トランジスタ２９に対して並列に定電流回路３０が設けられているため、第２トランジスタ２９がＯＮ状態である場合には、ＭＲセンサパッケージ１８に印加される電圧（駆動電圧Ｖｄ）が定電流回路３０によって分圧されない。これにより、定電流回路３０に起因する不都合、すなわち分圧によってＭＲセンサパッケージ１８に印加される電圧が低くなることを抑制できる。

【0051】

なお、第２トランジスタ２９は、シリンダスイッチ１１のＯＦＦ時においてＯＦＦ状態となることにより、第１母線ＬＮ１を通ってＭＲセンサパッケージ１８に電流が流れることを規制し、それを通じて定電流回路３０を有効に機能させている。

【0052】

外部負荷３５は、例えばフォトカプラを有しており、当該外部負荷３５に電流が流れることによってフォトカプラがＯＮ状態となり、プログラマブルコントローラに対して信号が出力される。プログラマブルコントローラは、上記信号が入力されることにより、シーケンス制御を実行する。

【0053】

次に本実施形態の作用について説明する。
シリンダスイッチ１１のＯＮ時、すなわち比較器２４からの出力信号がＨｉｇｈである場合、駆動電圧ＶｄがＭＲセンサパッケージ１８に印加されるとともに、第１電圧降下量δＶ１と第２電圧降下量δＶ２とを合わせた電圧が発光ダイオード１９及び抵抗２０に印加される。

【0054】

ここで、駆動電圧Ｖｄは、第１電圧降下量δＶ１と発光ダイオード１９の電圧降下量δＶａとを合わせた電圧よりも低くなっている。このため、図８に示すような構成、すなわち第２トランジスタ２９のエミッタ−ベース間と発光ダイオード１９とが直列に接続されている構成と比較して、駆動電圧Ｖｄが低くなっている。

【0055】

例えば、発光ダイオード１９の電圧降下量δＶａが２．０Ｖであり、第１電圧降下量δＶ１が０．７Ｖであり、第３電圧降下量δＶ３が０．１Ｖであるとする。また、各スイッチングダイオード３１，３２の１つ当たりの電圧降下量がそれぞれ０．７Ｖであるとすると、第２電圧降下量δＶ２は１．４Ｖとなる。この場合、ＭＲセンサパッケージ１８に印加される駆動電圧Ｖｄは２．２Ｖ（＝０．７Ｖ＋１．４Ｖ＋０．１Ｖ）である。

【0056】

なお、比較対象として示した図８の流体圧シリンダ用センサ１００における駆動電圧Ｖｄは、発光ダイオード１９の電圧降下量δＶａと、第１電圧降下量δＶ１と、第３電圧降下量δＶ３とを合わせて２．８Ｖである。このため、上記条件下においては、駆動電圧Ｖｄを０．６Ｖ低下させることが実現される。

【0057】

また、第１電圧降下量δＶ１と第２電圧降下量δＶ２とを合わせた電圧が２．１Ｖであり、発光ダイオード１９の電圧降下量δＶａが２．０Ｖであるため、抵抗２０の抵抗値は、当該抵抗２０に０．１Ｖ（＝２．１Ｖ−２．０Ｖ）が印加されるように設定されている。これにより、発光ダイオード１９と両スイッチングダイオード３１，３２とに対して同一電流が流れる。

【0058】

なお、具体例として、第２トランジスタ２９として型式ＤＳＡ５００２（パナソニック社製）、スイッチングダイオード３１，３２として型式１ＳＳ４００（ローム社製）、発光ダイオード１９として型式２ＳＣ４１５４（イサハヤ電子社製）を採用した。そして、抵抗２０の抵抗値を２０Ωとし、外部負荷３５を１ｋΩとし、電源電圧Ｖ０を２４Ｖとして実際に測定を行った。この場合、シリンダスイッチ１１のＯＮ時において、ＭＲセンサパッケージ１８に約２０ｍＡの電流が流れ、駆動電圧Ｖｄ（詳細にはシリンダスイッチ１１がＯＮ時における両端子２５，２６間の電圧）は２．２Ｖであった。

【0059】

次に、シリンダスイッチ１１が複数使用される場合について説明する。シリンダスイッチ１１が複数使用される使用態様としては、例えば外部負荷３５及び外部電源３６に対して複数のシリンダスイッチ１１が直列に接続されることが想定される。詳細には、最上流にあるシリンダスイッチ１１の信号端子２５が外部負荷３５を介して外部電源３６の＋端子に接続され、最下流にあるシリンダスイッチ１１のコモン端子２６が外部電源３６の−端子に接続される。そして、上流側のシリンダスイッチ１１のコモン端子２６と下流側のシリンダスイッチ１１の信号端子２５とが互いに接続される。

【0060】

上記のようにシリンダスイッチ１１が直列接続される場合において外部電源３６に対して直列接続可能なシリンダスイッチ１１の数Ｎについて説明する。仮に外部負荷３５の最低動作電圧Ｖｍｉｎが１０Ｖであり、電源電圧Ｖ０が２４Ｖであるとすると、本実施形態では、直列接続可能なシリンダスイッチ１１の数Ｎは、Ｎ≦（Ｖ０−Ｖｍｉｎ）／Ｖｄの不等式を満たす自然数であることから、「６」となる。一方、比較対象の流体圧シリンダ用センサ１００における直列接続可能な数Ｎは「５」となる。

【0061】

以上詳述した本実施形態によれば以下の効果を奏する。
（１−１）エアシリンダ１２のピストン１３の位置検出に用いられる２線式センサ回路構成のシリンダスイッチ１１は、磁気抵抗素子２３ａ，２３ｂを含むブリッジ回路２３と、当該ブリッジ回路２３からの出力信号が入力される比較器２４と、信号端子２５及びコモン端子２６とを備えている。そして、シリンダスイッチ１１は、比較器２４の出力がベース端子に入力される第１トランジスタ２８と、接続ラインＬＮ３を介して第１トランジスタ２８のコレクタ端子と接続されたベース端子を有する第２トランジスタ２９とを備えている。第２トランジスタ２９のコレクタ端子は、ブリッジ回路２３に接続されており、第２トランジスタ２９のエミッタ端子は、信号端子２５に接続されている。

【0062】

かかる構成において、シリンダスイッチ１１は、接続ラインＬＮ３上に設けられたスイッチングダイオード３１，３２と、両トランジスタ２８，２９がＯＮ状態である場合に、第２トランジスタ２９のエミッタ−ベース間の電圧降下とスイッチングダイオード３１，３２の電圧降下とに対応した電圧が印加される発光ダイオード１９とを備えている。そして、シリンダスイッチ１１は、両トランジスタ２８，２９がＯＮ状態である場合に、第２トランジスタ２９のエミッタ−ベース間の電圧降下量である第１電圧降下量δＶ１とスイッチングダイオード３１，３２の電圧降下量である第２電圧降下量δＶ２とを含む駆動電圧Ｖｄがブリッジ回路２３に印加されるように構成されている。

【0063】

かかる構成によれば、駆動電圧Ｖｄには、第１電圧降下量δＶ１は含まれる一方、発光ダイオード１９の電圧降下量δＶａが含まれない。これにより、駆動電圧Ｖｄに、第１電圧降下量δＶ１と発光ダイオード１９の電圧降下量δＶａとが含まれる構成と比較して、駆動電圧Ｖｄの低下を図ることができる。したがって、直列接続可能なシリンダスイッチ１１の数Ｎの増加を図ることができる。

【0064】

また、接続ラインＬＮ３上に、一定量の電圧降下を生じさせるスイッチングダイオード３１，３２が設けられているため、発光ダイオード１９に対して当該発光ダイオード１９の電圧降下量δＶａに相当する電圧を印加できる。

【0065】

ここで、電圧降下を生じさせる点に着目すれば、例えばスイッチングダイオード３１，３２に代えて、ショットキーバリアダイオードやツェナーダイオードを設けることも考えられる。しかしながら、一般的に、ショットキーバリアダイオードの電圧降下量は、発光ダイオード１９の電圧降下量δＶａよりも十分に小さいため、ショットキーバリアダイオードの数が多くなり易く、部品点数の増加が懸念される。一方、ツェナーダイオードの電圧降下量は、一般的に、発光ダイオード１９の電圧降下量δＶａよりも大きくなり易いため、使用に適さない。

【0066】

この点、本実施形態では、一定量の電圧降下を生じさせる素子としてスイッチングダイオード３１，３２が採用されている。当該スイッチングダイオード３１，３２の電圧降下量は、ショットキーバリアダイオードの電圧降下量と比較して大きく、且つ、ツェナーダイオードの電圧降下量よりも小さくなり易い。これにより、部品点数の削減を図りつつ、発光ダイオード１９に対して発光に必要な電圧を印加できる。

【0067】

（１−２）発光ダイオード１９の電圧降下量δＶａは、スイッチングダイオード３１，３２の１つ当たりの電圧降下量よりも大きい。かかる構成において、スイッチングダイオード３１，３２は２つ設けられている。かかる構成によれば、第１電圧降下量δＶ１と両スイッチングダイオード３１，３２の電圧降下量である第２電圧降下量δＶ２とを合わせた電圧を、発光ダイオード１９の電圧降下量δＶａに近づけることができる。

【0068】

（１−３）シリンダスイッチ１１は、第２トランジスタ２９のエミッタ端子と、接続ラインＬＮ３における第１トランジスタ２８と両スイッチングダイオード３１，３２との間の部分とを接続するバイパスラインＬＮ４を備えている。発光ダイオード１９は、バイパスラインＬＮ４上に設けられている。

【0069】

かかる構成によれば、第２トランジスタ２９のエミッタ−ベース間及びスイッチングダイオード３１，３２に対して並列に発光ダイオード１９が接続されているため、発光ダイオード１９と第２トランジスタ２９のエミッタ−ベース間とが直列的に接続されることに起因して駆動電圧Ｖｄが高くなることを抑制できる。

【0070】

特に、本実施形態では、第１トランジスタ２８がＯＮ状態となることによって、両スイッチングダイオード３１，３２と、発光ダイオード１９との双方において電流が流れる。これにより、１つのトランジスタで両電流を流すことができ、構成の簡素化を図ることができる。

【0071】

（１−４）バイパスラインＬＮ４上には、両スイッチングダイオード３１，３２を流れる電流と発光ダイオード１９を流れる電流との比率を調整する抵抗２０が設けられている。かかる構成によれば、抵抗２０によって発光ダイオード１９を流れる電流を調整することができる。これにより、抵抗２０の抵抗値を調整することにより、例えば発光ダイオード１９に過度な電流（例えば定格電流以上の電流）が流れることを抑制できる。換言すれば、発光ダイオード１９の定格電流以上の電流を、シリンダスイッチ１１（換言すれば外部負荷３５）に流すことができる。

【0072】

特に、本実施形態では、抵抗２０の抵抗値は、発光ダイオード１９の電圧降下量δＶａと抵抗の印加電圧とを合わせた電圧が、第１電圧降下量δＶ１と第２電圧降下量δＶ２とを合わせた電圧と同一に設定されている。これにより、シリンダスイッチ１１を流れる電流（詳細にはシリンダスイッチ１１を流れる電流のうちＭＲセンサパッケージ１８を流れる電流を除いたもの）は、両スイッチングダイオード３１，３２を流れる電流と、発光ダイオード１９を流れる電流とに均等に分流される。これにより、発光ダイオード１９に適切な電流を流すことができる。

【0073】

（１−５）シリンダスイッチ１１は、両トランジスタ２８，２９がＯＦＦ状態である状況においてＭＲセンサパッケージ１８（詳細にはブリッジ回路２３）に対して電圧を印加するのに用いられる定電流回路３０を備えている。かかる構成によれば、両トランジスタ２８，２９がＯＦＦ状態である場合であっても、ＭＲセンサパッケージ１８に電圧が印加される。また、定電流回路３０によってＭＲセンサパッケージ１８を流れる電流が一定となっているため、両トランジスタ２８，２９がＯＦＦ状態である状況におけるＭＲセンサパッケージ１８の安定動作を実現できる。

【0074】

（１−６）ブリッジ回路２３及び比較器２４は、ＭＲセンサパッケージ１８として１つのパッケージに組み込まれている。かかる構成によれば、ブリッジ回路２３及び比較器２４が独立の部品の場合と比較してシリンダスイッチ１１の組み立てを容易にできる。

【0075】

（第２実施形態）
本実施形態では、図４に示すように、シリンダスイッチ１１は、信号端子２５及びコモン端子２６に接続されているバイパスラインＬＮ１４を備えている。

【0076】

バイパスラインＬＮ１４は、信号端子２５に接続された第１母線ＬＮ１と、コモン端子２６に接続された第２母線ＬＮ２とに接続されている。本実施形態では、バイパスラインＬＮ１４は、両スイッチングダイオード３１，３２及び第１トランジスタ２８の直列接続体に対して両端子２５，２６側に設けられている。詳細には、バイパスラインＬＮ１４は、第１母線ＬＮ１における信号端子２５と第２トランジスタ２９のエミッタ端子とを繋ぐ部分に接続されているとともに、第２母線ＬＮ２のうち第１トランジスタ２８のエミッタ端子との接続点Ｐよりもコモン端子２６側の部分に接続されている。バイパスラインＬＮ１４は、スイッチングダイオード３１，３２及び第１トランジスタ２８を通るラインとは別に設けられている。

【0077】

バイパスラインＬＮ１４上には、抵抗２０と、発光ダイオード１９と、第３トランジスタ３８とが設けられている。抵抗２０と、発光ダイオード１９と、第３トランジスタ３８とは互いに直列に接続されており、これらの直列接続体は、両スイッチングダイオード３１，３２及び第１トランジスタ２８に対して並列に接続されている。

【0078】

発光ダイオード１９は、第１母線ＬＮ１から第２母線ＬＮ２に向かう方向を順方向としてバイパスラインＬＮ１４上に設けられている。
第３トランジスタ３８は、発光ダイオード１９のカソード端子に接続されたコレクタ端子と、第２母線ＬＮ２に接続されたエミッタ端子とを有している。第３トランジスタ３８は、抵抗３７を介して比較器２４に接続されたベース端子を有している。比較器２４の出力は、第１トランジスタ２８及び第３トランジスタ３８の双方に入力される。つまり、第１トランジスタ２８と第３トランジスタ３８とは同期している。なお、本実施形態では、第３トランジスタ３８は、第１トランジスタ２８と同一品種である。

【0079】

本実施形態の作用について説明する。
比較器２４からＨｉｇｈの出力信号が出力された場合、第１トランジスタ２８及び第３トランジスタ３８がＯＮ状態となる。これにより、駆動電圧ＶｄがＭＲセンサパッケージ１８に印加されるとともに、抵抗２０、発光ダイオード１９及び第３トランジスタ３８から構成された直列接続体にも駆動電圧Ｖｄが印加される。したがって、第１電流経路ＥＬ１に電流が流れるとともに、バイパスラインＬＮ１４に電流が流れる。この場合、発光ダイオード１９には、第１電圧降下量δＶ１と第２電圧降下量δＶ２とに対応する電圧、詳細には発光ダイオード１９の電圧降下量δＶａに相当する電圧が印加される。なお、本実施形態では、バイパスラインＬＮ１４が第２電流経路ＥＬ２を構成しており、第１電流経路ＥＬ１と第２電流経路ＥＬ２とはそれぞれ独立している。

【0080】

以上詳述した本実施形態によれば以下の効果を奏する。
（２−１）両スイッチングダイオード３１，３２及び第１トランジスタ２８を通るラインとは別に設けられたバイパスラインＬＮ１４上に、発光ダイオード１９及び第３トランジスタ３８が設けられている。第３トランジスタ３８は、比較器２４の出力が入力されるベース端子を有している。かかる構成においても、（１−１）等の効果を奏する。

【0081】

特に、本実施形態では、第１トランジスタ２８とは別に第３トランジスタ３８が設けられている。これにより、シリンダスイッチ１１を流れる電流が、第１トランジスタ２８を流れる電流と、第３トランジスタ３８を流れる電流とに分流される。したがって、第１トランジスタ２８及び第３トランジスタ３８として、電流増幅率の低い品種を採用できる。

【0082】

詳述すると、第１実施形態では、接続ラインＬＮ３を流れる電流とバイパスラインＬＮ４を流れる電流とを合わせた電流が第１トランジスタ２８を流れる。これに対して、本実施形態では、電流が第１トランジスタ２８と第３トランジスタ３８とに分流しているため、各トランジスタ２８，３８に流れる電流は、第１実施形態の第１トランジスタ２８に流れる電流よりも小さくて済む。これにより、各トランジスタ２８，３８に必要な電流増幅率は小さくて済む。したがって、各トランジスタ２８，３８に、電流増幅率の低い品種を採用できる。

【0083】

なお、上記各実施形態は以下のように変更してもよい。
○ 図５に示すように、第１実施形態において、バイパスラインＬＮ４が、第２トランジスタ２９のコレクタ端子と接続ラインＬＮ３とを接続してもよい。

【0084】

同様に、図６に示すように、第２実施形態において、バイパスラインＬＮ１４が両トランジスタ２８，２９とＭＲセンサパッケージ１８との間に設けられていてもよい。詳細には、バイパスラインＬＮ１４の一端が、第１母線ＬＮ１における第２トランジスタ２９のコレクタ端子とＭＲセンサパッケージ１８とを接続する部分に接続され、バイパスラインＬＮ１４の他端が、第２母線ＬＮ２のうち接続点ＰよりもＭＲセンサパッケージ１８側の部分に接続されていてもよい。

【0085】

○ 抵抗２０の抵抗値は、抵抗２０の印加電圧と発光ダイオード１９の電圧降下量δＶａとを合わせた電圧が、第１電圧降下量δＶ１と第２電圧降下量δＶ２とを合わせた電圧よりも大きく又は小さくなるように設定されていてもよい。これにより、両スイッチングダイオード３１，３２を流れる電流と、発光ダイオード１９を流れる電流との比率を変更できる。要は、抵抗２０の抵抗値は、発光ダイオード１９の発光可能な最低電流以上且つ定格電流未満の電流が発光ダイオード１９に流れるように、各電圧降下量δＶ１，δＶ２，δＶａに対応させて設定されているとよい。

【0086】

○ 第１実施形態において、スイッチングダイオードの数は、２つに限られず、各電圧降下量δＶ１，δＶ２，δＶａに基づいて設定されればよい。例えば、スイッチングダイオードの数は、第１電圧降下量δＶ１と第２電圧降下量δＶ２とを合わせた電圧が発光ダイオード１９の電圧降下量δＶａに近づくように設定されているとよい。具体的には、スイッチングダイオードの数は、発光ダイオード１９の電圧降下量δＶａから第１電圧降下量δＶ１を減算した値を、スイッチングダイオードの１つ当たりの電圧降下量で除算したときの商に設定されているとよい。

【0087】

また、上記のようにスイッチングダイオードの数が設定される構成において、上記除算において余りが発生する場合には、抵抗２０の抵抗値は、当該余りの電圧が印加されるように設定されればよく、上記余りが発生しない場合には、抵抗２０を省略してもよい。すなわち、抵抗２０は必須ではない。第２実施形態についても同様である。

【0088】

○ スイッチングダイオード３１，３２に代えて、整流ダイオードを用いてもよい。要は、電圧調整ダイオードは、スイッチングダイオード又は整流ダイオードで構成されていればよい。

【0089】

○ 図７に示すように、シリンダスイッチ１１は、定電流回路３０に代えて、定電圧回路としての３端子レギュレータ４０を備えていてもよい。この場合、３端子レギュレータ４０は、ＭＲセンサパッケージ１８に定電圧を印加するように第１母線ＬＮ１及び第２母線ＬＮ２に接続されているとよい。

【0090】

○ ブリッジ回路２３と比較器２４とはパッケージ化されていなくてもよい。
○ エアシリンダ１２に対するシリンダスイッチ１１の取付位置は、ピストンロッド１３ａが没入した状態におけるピストン１３を検出する位置に限られない。例えば、ピストンロッド１３ａが突出した状態におけるピストン１３を検出する位置でもよいし、ピストンロッド１３ａが所定の中間位置まで突出した状態におけるピストン１３を検出する位置でもよい。

【0091】

○ 流体圧シリンダは、エアシリンダ１２に限られず、作動油で動作する油圧シリンダであってもよい。
○ シリンダスイッチ１１が取り付けられる流体圧シリンダは、直動型の流体圧シリンダに限られず、ロータリシリンダでもよい。この場合、シリンダスイッチ１１は、ロータリシリンダの軸の回転方向の位置検出に用いられるとよい。

【0092】

○ シリンダスイッチ１１は１つで使用されてもよいし、互いに直列に接続された状態で複数使用されてもよい。
○ 各実施形態と各別例とを適宜組み合わせてもよい。

【0093】

次に、上記各実施形態及び別例から把握できる好適な一例について以下に記載する。
（イ）ブリッジ回路と信号端子とを接続する第１母線と、ブリッジ回路とコモン端子とを接続する第２母線とを備え、第１トランジスタのエミッタ端子は、第２母線に接続されており、第２トランジスタは、第１母線上に設けられているとよい。

【0094】

（ロ）抵抗の抵抗値は、発光ダイオードの電圧降下量と抵抗の印加電圧とを合わせた電圧が、第２トランジスタのエミッタ−ベース間の電圧降下量と電圧調整ダイオードの電圧降下量とを合わせた電圧と一致するように設定されているとよい。

【符号の説明】

【0095】

１１…シリンダスイッチ（流体圧シリンダ用センサ）、１３…ピストン、１８…ＭＲセンサパッケージ、１９…発光ダイオード、２０…抵抗、２３…ブリッジ回路、２３ａ，２３ｂ…磁気抵抗素子、２４…比較器、２５…信号端子、２６…コモン端子、２８…第１トランジスタ、２９…第２トランジスタ、３０…定電流回路、３１，３２…スイッチングダイオード（電圧調整ダイオード）、３８…第３トランジスタ、ＬＮ１…第１母線、ＬＮ２…第２母線、ＬＮ３…接続ライン、ＬＮ４，ＬＮ１４…バイパスライン、Ｖｄ…駆動電圧。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】