特許 6553645 光熱試験方法及び対応する試験ユニット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6553645

(24)【登録日】2019年7月12日

(45)【発行日】2019年7月31日

(54)【発明の名称】光熱試験方法及び対応する試験ユニット

(51)【国際特許分類】

   G01N 25/72 20060101AFI20190722BHJP

   G01J 5/48 20060101ALI20190722BHJP

【ＦＩ】

   G01N25/72 K

   G01J5/48 A

【請求項の数】25

【全頁数】28

(21)【出願番号】特願2016-565296(P2016-565296)

(86)(22)【出願日】2015年4月29日

(65)【公表番号】特表2017-519196(P2017-519196A)

(43)【公表日】2017年7月13日

(86)【国際出願番号】EP2015059421

(87)【国際公開番号】WO2015166007

(87)【国際公開日】20151105

【審査請求日】2018年3月29日

(31)【優先権主張番号】1453989

(32)【優先日】2014年4月30日

(33)【優先権主張国】FR

(73)【特許権者】

【識別番号】509337414

【氏名又は名称】アレバ・エヌペ

(74)【代理人】

【識別番号】100108453

【弁理士】

【氏名又は名称】村山 靖彦

(74)【代理人】

【識別番号】100110364

【弁理士】

【氏名又は名称】実広 信哉

(74)【代理人】

【識別番号】100133400

【弁理士】

【氏名又は名称】阿部 達彦

(72)【発明者】

【氏名】ヤニック・コリエ

(72)【発明者】

【氏名】マチュー・タグリオーヌ

【審査官】 野田 華代

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１５−１３２５４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００３／００３０００２（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特開２００６−３０８５１３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−２４０８０１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−２４４０２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２０１１−５０６９２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１０／０２９２９３８（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｎ ２５／００−７２

Ｇ０１Ｊ ５／４８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

部品の光熱試験方法であって、前記方法が、以下のステップ、
−ステップ１１：第１の熱入力要素（５４）で部品の表面（５２）の第１の領域（５０）を走査するステップであって、前記走査が、第１の方向（Ｄ１）と実質的に平行な複数の直線に沿って行われる、ステップと、
−ステップ１２：第１の感光表面要素（５６）を用いて、前記第１の領域（５０）によって放出された赤外放射の画像を取得するステップと、
を有する第１のシーケンスを含み、
前記方法がさらに、以下のステップ、
−ステップ１３：第２の熱入力要素（６０）で前記部品の前記表面（５２）の第２の領域（５８）を走査するステップであって、前記走査が、第２の方向（Ｄ２）と実質的に平行な複数の直線に沿って行われる、ステップと、
−ステップ１４：第２の感光表面要素（６２）を用いて前記第２の領域（６０）によって放出された赤外放射の画像を取得する段階と、
をさらに含み、
前記第１及び第２の領域（５０、５８）が同時に走査され、前記第１及び第２の感光表面（５６、６２）が互いに分離され、
前記第２の方向（Ｄ２）が前記第１の方向（Ｄ１）と第１の非ゼロの角度（α）を成し、または、
前記第２の方向（Ｄ２）が前記第１の方向（Ｄ１）と実質的に平行であり、前記第１及び第２の熱入力要素（５４、６０）が、それらの間に第２の非ゼロの角度（β）を成す直線であり、
前記方法がさらに、以下のステップ、
−ステップ２１：前記第１の熱入力要素（５４）で前記部品の前記表面（５２）の前記第２の領域（５８）を走査するステップであって、前記走査が前記第１の方向（Ｄ１）に対して実質的に平行な複数の直線に沿って行われる、ステップと、
−ステップ２２：前記第１の感光表面要素（５６）を用いて、前記第２の領域（５８）によって放出された赤外放射の画像を取得するステップと、
−ステップ２３：前記第２の熱入力要素（６０）で前記部品の前記表面（５２）の第３の領域（６４）を走査するステップであって、前記走査が前記第２の方向（Ｄ２）に対して実質的に平行な複数の直線に沿って行われる、ステップと、
−ステップ２４：前記第２の感光表面要素（６２）を用いて、前記第３の領域（６４）によって放出される赤外放射の画像を取得するステップと、
を有する少なくとも１つの第２のシーケンスをさらに含み、
前記第２及び第３の領域が同時に走査される
ことを特徴とする、方法。

【請求項2】

前記第１及び第２の感光表面要素（５６、６２）が、マトリックスセンサ（７２）の同じ感光表面（７０）の２つの部分であることを特徴とする、請求項１に記載の方法。

【請求項3】

前記第１のシーケンスと前記第２のシーケンスとの間に、前記部品に対して前記第１及び第２の感光表面要素（５６、６２）を移動させるためのステップ（１５）を含むことを特徴とする、請求項１または２に記載の方法。

【請求項4】

前記第１及び第２のシーケンスの後に、
−前記第２の領域（５８）の第１及び／または第２の最終画像が、前記第２の領域（５８）によって放出され、それぞれ前記第２及び／または第１のシーケンスにおいて、前記第１及び／または第２の感光表面要素（５６、６２）によってそれぞれ収集された赤外放射の画像からそれぞれ計算される、第１の処理ステップ（４０）と、
−前記第２の領域（５８）における任意の構造的欠陥が、前記第１の処理ステップ（４０）において得られた前記第１及び／または第２の最終画像を用いることによって検出される、第２の処理ステップ（４５）と、
を含むことを特徴とする、請求項１から３のいずれか一項に記載の方法。

【請求項5】

ａ）前記第２のシーケンスにおいて、前記第１の熱入力要素（５４）が、複数の連続する瞬間（ｔｉ）において、複数の連続する位置（Ｐ（ｔｉ））を占めつつ、前記第２の領域（５８）を走査し、前記第１の感光表面要素（５６）が前記複数の瞬間（ｔｉ）において前記第２の領域（５８）によって放出された赤外放射の複数の画像（Ｉ（ｔｉ））を取得すること、及び／または
ｂ）前記第１のシーケンスにおいて、前記第２の熱入力要素（６０）が、複数の連続する瞬間（ｔｉ）において、複数の連続する位置（Ｐ（ｔｉ））を占めつつ、前記第２の領域（５８）を走査し、前記第２の感光表面要素（６２）が、前記複数の瞬間（ｔｉ）において、前記第２の領域（５８）によって放出された赤外放射の複数の画像（Ｉ（ｔｉ））を取得すること、
を特徴とし、
前記第１の処理ステップ（４０）が以下の操作、
ｃ）前記第２のシーケンスにおいて取得された各画像（Ｉ（ｔｉ））について、前記画像（Ｉ（ｔｉ））が取得された前記複数の瞬間から所定の瞬間（ｔｉ）を決定し、前記画像（Ｉ（ｔｉ））から、所定の瞬間（ｔｉ）に所定の時間シフト（ΔＴ）を加えたものに等しい第２の所定の瞬間（ｔｉ２）において、第１の熱入力要素（５４）の位置（Ｐ（ｔｉ２））に対応する複数の第１の点を抽出し、前記第２のシーケンスにおいて取得された前記画像（Ｉ（ｔｉ））の全てから抽出された前記第１の点を重畳することによって、第１の最終画像を構成すること、及び／または
ｄ）前記第１のシーケンスにおいて取得された各画像（Ｉ（ｔｉ’））について、前記画像（Ｉ（ｔｉ’））が取得された複数の瞬間から所定の瞬間（ｔｉ’）を決定し、前記画像（Ｉ（ｔｉ’））から、前記所定の瞬間（ｔｉ’）に所定の時間シフト（ΔＴ’）を加えたものに等しい第２の所定の瞬間（ｔｉ２’）における前記第２の熱入力要素（６０）の位置に対応する複数の第２の点を抽出し、前記第１のシーケンスにおいて取得された前記画像（Ｉ（ｔｉ’））の全てから抽出された前記第２の点を重畳することによって、前記第２の画像を構成すること、
を含むことを特徴とする、請求項４に記載の方法。

【請求項6】

前記第１のシーケンスにおいて、前記第１の感光表面要素（５６）が、前記第１の領域（５０）を含む第１の対象フィールド（７４）によって放出された赤外放射の画像を取得し、前記第２の感光表面要素（６２）が、前記第２の領域（５８）を含む第２の対象フィールド（７６）によって放出された赤外放射の画像を取得し、前記第１及び第２の対象フィールド（７４、７６）が前記第１のシーケンスにおいて固定されることを特徴とする、請求項１から５のいずれか一項に記載の方法。

【請求項7】

前記第１のシーケンスにおいて、前記第１の感光表面要素（５６）が、前記第１の領域（５０）の少なくともすべてによって放出された赤外放射の画像を取得し、前記第２の感光表面要素（６２）が、前記第２の領域（５８）の少なくともすべてによって放出された赤外放射の画像を取得することを特徴とする、請求項６に記載の方法。

【請求項8】

前記部品の前記表面（５２）の各領域が、１つのシーケンスにおいて、前記第１の方向（Ｄ１）に対して平行な複数の直線に沿って、前記第１の熱入力要素（５４）で走査され、別のシーケンスにおいて、前記第２の方向（Ｄ２）に対して平行な複数の直線に沿って第２の熱入力要素（６０）で走査され、前記領域によって放出された赤外放射の画像が、前記シーケンスにおいて前記第１の感光表面要素（５６）によって取得され、前記別のシーケンスにおいて、前記第２の感光表面要素（６２）によって取得されることを特徴とする、請求項１から７のいずれか一項に記載の方法。

【請求項9】

前記第１及び第２の熱入力要素（５４、６０）が、画定された幾何形状を有するレーザー、連続的若しくはパルス発光バルブ、または誘導巻線によって発生することを特徴とする、請求項１から８のいずれか一項に記載の方法。

【請求項10】

前記第２の方向（Ｄ２）が前記第１の方向（Ｄ１）と実質的に平行であり、前記第１の熱入力要素（５４）が、前記第１の方向（Ｄ１）と、２０°から７０°の角度（β１）を成す直線であり、前記第２の熱入力要素（６０）が、前記第２の方向（Ｄ２）と、１１０°から１６０°の角度（β２）を成す直線であることを特徴とする、請求項１から８のいずれか一項に記載の方法。

【請求項11】

ａ）前記第２のシーケンスにおいて、前記第１の熱入力要素（５４）が、複数の連続する瞬間（ｔｉ）において、複数の連続する位置（Ｐ（ｔｉ））を占めつつ、前記第２の領域（５８）を走査し、前記第１の感光表面要素（５６）が、前記複数の瞬間（ｔｉ）において前記第２の領域（５８）によって放出された赤外放射の複数の第１の画像（Ｉ（ｔｉ））を取得することを特徴とし、
前記第１の処理ステップ（４０）が、以下の操作、
ｃ１）前記第２のシーケンスにおいて取得された第１の画像（Ｉ（ｔｉ））のそれぞれについて、前記第１の画像（Ｉ（ｔｉ））が取得された前記複数の瞬間から所定の瞬間（ｔｉ）を決定し、前記第１の画像（Ｉ（ｔｉ））から、第２の所定の瞬間（ｔｉ２）において前記第１の熱入力要素（５４）の位置（Ｐ（ｔｉ２））に対応する第１の点（Ｘｋ）の直線（Ｌ（ｔｉ））を抽出し、前記直線（Ｌ（ｔｉ））が、前記第１の方向（Ｄ１）に沿って最も遠くに配された第１の上流端点（Ｘ１）及び、前記第１の方向（Ｄ１）と反対に、前記第１の方向（Ｄ１）に対して垂直な第１の横断方向（Ｔ）に沿って、前記第１の上流端点（Ｘ１）に対してシフトされた第１の下流端点（Ｘｎ）と、を含み、各第１の点（Ｘｋ）が前記第１の点に対応する領域における前記部品の前記表面（５２）の温度を表す測定された強度を有する、操作と、
ｃ２）第１の点（Ｘｋ）それぞれに、前記測定強度から、前記第１の点（Ｘｋ）に対して前記第１の横断方向（Ｔ）に沿ってシフトされ、前記直線（Ｌ（ｔｉ））に対して前記第１の方向（Ｄ１）に沿ってシフトされた前記第１の画像（Ｌ（ｔｉ））の別の点の強度（Ｘｋ＊）を差し引いたものに等しい差分強度を割り当てることによって、第１の差分直線を確立する操作と、
ｃ３）前記第２のシーケンスにおいて取得された前記第１の画像（Ｉ（ｔｉ））の全てについて確立された前記第１の差分直線を重畳することによって、前記第１の最終画像を構成する操作と、
を含むことを特徴とする、請求項４に従属する請求項１０に記載の方法。

【請求項12】

ステップｃ２）において、前記別の点（Ｘｋ＊）が、前記直線（Ｌ（ｔｉ））の第１の点（Ｘｋ）の１つであることを特徴とする、請求項１１に記載の方法。

【請求項13】

ｂ）前記第１のシーケンスにおいて、前記第２の熱入力要素（６０）が、複数の連続する瞬間（ｔｉ’）において、複数の連続する位置（Ｐ（ｔｉ’））を占めつつ、前記第２の領域（５８）を走査し、前記第２の感光表面要素（６２）が、前記複数の瞬間（ｔｉ’）において、前記第２の領域（５８）によって放出された赤外放射の複数の第２の画像（Ｉ（ｔｉ’））を取得することと、
ｄ１）前記第１のシーケンスにおいて取得された各第２の画像（Ｉ（ｔｉ’））について、前記第２の画像（Ｉ（ｔｉ’））が取得された前記複数の瞬間から所定の瞬間（ｔｉ’）を決定し、前記第２の画像（Ｉ（ｔｉ’））から、第２の所定の瞬間（ｔｉ２’）において、前記第２の熱入力要素（６０）の位置（Ｐ（ｔｉ２’））に対応する第２の点（Ｘｋ’）の直線（Ｌ（ｔｉ’））を抽出し、前記直線Ｌ（ｔｉ’））が、前記第２の方向（Ｄ２）に沿って最も遠い位置に配された第２の上流端点（Ｘ１’）と、前記第２の方向（Ｄ２）と反対に、前記第２の方向（Ｄ２）に対して垂直な第２の横断方向（Ｔ’）に沿って、前記第１の上流端点（Ｘ１’）に対してシフトされた第２の下流端点（Ｘｎ’）と、を含み、各第２の点（Ｘｋ’）が、前記第２の点（Ｘｋ’）に対応する領域における前記部品の前記表面（５２）の温度を表す測定された強度を有することと、
ｄ２）前記測定された強度から、前記第２の点（Ｘｋ’）に対して前記第２の横断方向（Ｔ’）に沿ってシフトされ、前記直線（Ｌ（ｔｉ’））に対して、前記第２の方向（Ｄ２）に沿ってシフトされた前記第２の画像（Ｌ（ｔｉ’））の別の点（Ｘｋ＊’）の強度を差し引いたものに等しい差分強度を、各第２の点（Ｘｋ’）に割り当てることによって、第２の差分直線を確立することと、
ｄ３）前記第１のシーケンスにおいて取得された前記第２の画像（Ｉ（ｔｉ’））の全てについて確立された前記第２の差分直線を重畳することによって、前記第２の最終画像を構成することと、
を特徴とする、請求項４に従属する請求項１０に記載の方法。

【請求項14】

ステップｄ２）において、前記別の点（Ｘｋ＊’）が、前記直線（Ｌ（ｔｉ’））の前記第１の点（Ｘｋ’）の１つであることを特徴とする、請求項１３に記載の方法。

【請求項15】

前記第２の所定の瞬間（ｔｉ２）が、前記所定の瞬間（ｔｉ）に所定の時間シフト（ΔＴ）を加えたものに等しく、前記第２の所定の瞬間（ｔｉ２’）が、前記所定の瞬間（ｔｉ’）に所定の時間シフト（ΔＴ’）を加えたものに等しいことを特徴とする、請求項１１または１３に記載の方法。

【請求項16】

部品についての光熱試験ユニットであって、前記ユニット（８０）が、
−部品の表面（５２）の第１の領域（５０）を、第１の熱入力要素（５４）で走査するための、第１の方向（Ｄ１）に対して実質的に平行な複数の直線に沿って走査を行うように構成された第１の走査デバイス（８２）と、
−前記第１の領域（５０）によって放出された赤外放射の画像を取得するように構成された第１の感光表面要素（５６）を含む取得デバイス（７２）と、
−前記部品の表面（５２）の第２の領域（５８）を、第２の熱入力要素（６０）で走査するための、第２の方向（Ｄ２）に対して実質的に平行な複数の直線に沿って走査を行うように構成された第２の走査デバイス（８４）と、
−前記第２の領域（５８）によって放出された赤外放射の画像を取得するように構成された第２の感光表面要素（６２）を有する取得デバイス（７２）と、を含み、
前記第１及び第２の走査デバイス（８２、８４）が、前記第１及び第２の領域（５０、５８）を同時に走査するように構成され、前記第１及び第２の感光表面要素（５６、６２）が互いに分離され、
前記第２の方向（Ｄ２）が前記第１の方向（Ｄ１）と第１の非ゼロの角度（α）を成し、または、
前記第２の方向（Ｄ２）が、前記第１の方向（Ｄ１）と実質的に平行であり、前記第１及び第２の熱入力要素（５４、６０）が、それらの間で第２の非ゼロの角度（β）を成す直線であり、
−前記第１の走査デバイス（８２）が、前記部品の前記表面（５２）の前記第２の領域（５８）を前記第１の熱入力要素（５４）で走査することができ、前記第１の方向（Ｄ１）に対して実質的に平行な複数の直線に沿って走査を実施することができ、
−前記第１の感光表面要素（５６）が、前記第２の領域（５８）によって放出された赤外放射の画像を取得することができ、
−前記第２の走査デバイス（８４）が、前記部品の前記表面（５２）の第３の領域（６４）を前記第１の熱入力要素（６０）で走査することができ、前記第２の方向（Ｄ２）に対して実質的に平行な複数の直線に沿って走査を実施することができ、
−前記第２の感光表面要素（６２）が、前記第３の領域（６４）によって放出された赤外放射の画像を取得することができ、
前記第１及び第２の走査デバイス（８２、８４）が、前記第２及び第３の領域（５８、６４）を同時に走査するように構成された、
ことを特徴とする、ユニット。

【請求項17】

−前記第２の領域（５８）の第１及び／または第２の最終画像が、前記第２の領域（５８）によって放出され、それぞれ前記第１及び／または第２のシーケンスにおいて、前記第１及び／または第２の感光表面要素（５６、６２）によってそれぞれ収集された、赤外放射の画像からそれぞれ計算される、第１の処理ステップ（４０）と、
−前記第２の領域（５８）における任意の構造的欠陥が、前記第１の処理ステップ（４５）において得られた前記第１及び／または第２の最終画像を用いることによって検出される、第２の処理ステップ（４５）と、
を実行するようにプログラムされたコンピュータ（８８）を含むことを特徴とする、請求項１６に記載のユニット。

【請求項18】

ａ）前記第１の走査デバイス（８２）が、前記第１の熱入力要素（５４）が、複数の連続する瞬間（ｔｉ）において、複数の連続する位置（Ｐ（ｔｉ））を占めつつ、前記第２の領域（５８）を走査するように構成され、前記取得デバイス（７２）が、前記第１の感光表面要素（５６）が前記複数の瞬間（ｔｉ）において前記第２の領域（５８）によって放出された赤外放射の複数の画像（Ｉ（ｔｉ））を取得するようにプログラムされ、及び／または、
ｂ）前記第２の走査デバイス（８４）が、前記第２の熱入力要素（６０）が、複数の連続する瞬間（ｔｉ）において、複数の連続する位置（Ｐｔｉ’）を占めつつ、前記第２の領域（５８）を走査するように構成され、前記取得デバイス（７２）が、前記第２の感光表面要素（６２）が前記複数の瞬間（ｔｉ’）において前記第２の領域（５８）によって放出された赤外放射の複数の画像（Ｉ（ｔｉ’））を取得するようにプログラムされ、
前記コンピュータ（８８）が、前記第１の処理ステップ（４０）において、以下の操作、
ｃ）第１の感光表面要素（５６）によって取得された各画像（Ｉ（ｔｉ））について、前記画像（Ｉ（ｔｉ））が取得された前記複数の瞬間から所定の瞬間（ｔｉ）を決定し、前記画像（Ｉ（ｔｉ））から、前記所定の瞬間（ｔｉ）に所定の時間シフト（ΔＴ）を加えたものに等しい第２の所定の瞬間（ｔｉ２）において前記第１の熱入力要素（５４）の位置に対応する複数の第１の点を抽出し、前記第１の感光表面要素（５６）によって取得された前記画像（Ｉ（ｔｉ））の全てから抽出された前記第１の点を重畳することによって、第１の最終画像を構成し、及び／または
ｄ）前記第２の感光表面要素（６２）によって取得された各画像（Ｉ（ｔｉ’））について、前記画像（Ｉ（ｔｉ’））が取得された前記複数の瞬間から所定の瞬間（ｔｉ’）を決定し、前記画像（Ｉ（ｔｉ’））から、前記所定の瞬間（ｔｉ’）に所定の時間シフト（ΔＴ’）を加えたものに等しい第２の所定の瞬間（ｔｉ２’）において、前記第２の熱入力要素（６０）の位置に対応する複数の第２の点を抽出し、前記第２の感光表面要素（６２）によって取得された前記画像（Ｉ（ｔｉ’））の全てから抽出された前記第２の点を重畳することにより、前記第２の最終画像を構成する、
ことを実行するようにプログラムされたことを特徴とする、請求項１７に記載のユニット。

【請求項19】

前記第２の方向（Ｄ２）が前記第１の方向（Ｄ１）に対して実質的に平行であり、前記第１の熱入力要素（５４）が、前記第１の方向（Ｄ１）と、２０°から７０°の角度（β１）を成す直線であり、前記第２の熱入力要素（６０）が、前記第２の方向（Ｄ２）と、１１０°から１６０°の角度（β２）を成す直線であることを特徴とする、請求項１６から１８のいずれか一項に記載のユニット。

【請求項20】

ａ）前記第１の熱入力要素（５４）が、複数の連続する瞬間（ｔｉ）において、複数の連続する位置（Ｐ（ｔｉ））を占めつつ前記第２の領域（５８）を走査するように、前記第１の走査デバイス（８２）が構成され、前記第１の感光表面要素（５６）が、前記複数の瞬間（ｔｉ）において、前記第２の領域（５８）によって放出された赤外放射の複数の第１の画像（Ｉ（ｔｉ））を取得するように、取得デバイス（７２）がプログラムされることを特徴とし、
前記コンピュータ（８８）が、前記第１の処理ステップ（４０）において、以下の操作、
ｃ１）前記第１の感光表面要素（５６）によって取得された第１の画像（Ｉ（ｔｉ））のそれぞれについて、前記第１の画像（Ｉ（ｔｉ））が取得された前記複数の瞬間から所定の瞬間（ｔｉ）を決定し、前記第１の画像（Ｉ（ｔｉ））から、第２の所定の瞬間（ｔｉ２）における前記第１の熱入力要素（５４）の位置（Ｐ（ｔｉ２））に対応する第１の点（Ｘｋ）の直線（Ｌ（ｔｉ））を抽出し、前記直線（Ｌ（ｔｉ））が前記第１の方向（Ｄ１）に沿って最も遠くに配置された第１の上流端点（Ｘ１）と、前記第１の方向（Ｄ１）と反対の、前記第１の方向（Ｄ１）に対して垂直な第１の横断方向（Ｔ）に沿って前記第１の上流端点（Ｘ１）に対してシフトされた第１の下流端点（Ｘｎ）と、を含み、前記第１の点（Ｘｋ）のそれぞれが、前記第１の点（Ｘｋ）に対応する領域における前記部品の前記表面（５２）の温度を表す測定強度を有し、
ｃ２）前記測定された強度から、前記第１の点（Ｘｋ）に対して前記第１の横断方向（Ｔ）に沿ってシフトされ、前記直線（Ｌ（ｔｉ））に対して前記第１の方向（Ｄ１）に沿ってシフトされた前記第１の画像（Ｉ（ｔｉ））の別の点（Ｘｋ＊）の強度を差し引いたものに等しい差分強度を第１の点（Ｘｋ）のそれぞれに割り当てることによって第１の差分直線を確立し、
ｃ３）前記第１の感光表面要素（５６）によって取得された前記第１の画像（Ｉ（ｔｉ））の全てについて確立された前記第１の差分直線を重畳することによって前記第１の最終画像を構成する、
操作を実行するようにプログラムされたことを特徴とする、請求項１７を引用する請求項１９に記載のユニット。

【請求項21】

ステップｃ２）において、前記別の点（Ｘｋ＊）が前記直線（Ｌ（ｔｉ））の前記第１の点（Ｘｋ）の１つであることを特徴とする、請求項２０に記載のユニット。

【請求項22】

ｂ）前記第２の熱入力要素（６０）が、複数の連続する瞬間（ｔｉ）において、複数の連続する位置（Ｐ（ｔｉ’））を占めつつ、前記第２の領域（５８）を走査するように、前記第２の走査デバイス（８４）が構成され、前記第２の感光表面要素（６２）が、前記複数の瞬間（ｔｉ’）において前記第２の領域（５８）によって放出された赤外放射の複数の第２の画像（Ｉ（ｔｉ’））を取得するように、前記取得デバイス（７２）がプログラムされることを特徴とし、
前記コンピュータ（８８）が、前記第１の処理ステップ（４０）において、以下の操作、
ｄ１）前記第２の感光表面要素（６２）によって取得された第２の画像（Ｉ（ｔｉ’））のそれぞれについて、前記第２の画像（Ｉ（ｔｉ’））が取得された前記複数の瞬間から所定の瞬間（ｔｉ’）を決定し、前記第２の画像（Ｉ（ｔｉ’））から、第２の所定の瞬間（ｔｉ２’）において前記第２の熱入力要素（６０）の位置（Ｐ（ｔｉ２’））に対応する第２の点（Ｘｋ’）の直線（Ｌ（ｔｉ’））を抽出し、前記直線（Ｌ（ｔｉ’））が、前記第２の方向（Ｄ２）に沿って最も遠く離れた位置に配された第２の上流端点（Ｘ１’）及び、前記第２の方向（Ｄ２）と反対に、前記第２の方向（Ｄ２）に対して垂直な第２の横断方向（Ｔ’）に沿って、前記第２の上流端点（Ｘ１’）に対してシフトされた第２の下流端点（Ｘｎ’）を含み、第２の点（Ｘｋ’）のそれぞれが、前記第２の点（Ｘｋ’）に対応する領域における前記部品の前記表面（５２）の温度を表す測定強度を有し、
ｄ２）前記測定された強度から、前記第２の点（Ｘｋ’）に対して前記第２の横断方向（Ｔ’）に沿ってシフトされ、前記直線（Ｌ（ｔｉ’））に対して前記第２の方向（Ｄ２）に沿ってシフトされた前記第２の画像（Ｉ（ｔｉ’））の別の点（Ｘｋ＊’）の値を差し引いたものに等しい差分強度を、第２の点（Ｘｋ’）のそれぞれに割り当てることによって第２の差分直線を確立し、
ｄ３）前記第２のシーケンスにおいて取得された前記第２の画像（Ｉ（ｔｉ’））の全てについて確立された前記第２の差分直線を重畳することによって、前記第２の最終画像を構成する、
操作を実行するようにプログラムされたことを特徴とする、請求項１７に従属する請求項１９から２１のいずれか一項に記載のユニット。

【請求項23】

ステップｄ２）において、前記別の点（Ｘｋ＊’）が、前記直線（Ｌ（ｔｉ’））の前記第１の点（Ｘｋ’）の１つであることを特徴とする、請求項２２に記載のユニット。

【請求項24】

前記第２の所定の瞬間（ｔｉ２）が、前記所定の瞬間（ｔｉ）に所定の時間シフト（ΔＴ）を加えたものに等しく、前記第２の所定の瞬間（ｔｉ２’）が、前記所定の瞬間（ｔｉ’）に所定の時間シフト（ΔＴ’）を加えたものに等しいことを特徴とする、請求項２０または２２に記載のユニット。

【請求項25】

前記部品が、各シーケンスにおいて不動であることを特徴とする、請求項１から１５のいずれか一項に記載の方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、一般に産業機器における欠陥を探すことに関する。

【背景技術】

【0002】

より具体的には、第１の態様によれば、本発明は、部品の光熱試験方法に関し、以下のステップ、
−ステップ１１：第１の熱入力要素で部品の表面の第１の領域を走査するステップであって、走査が、第１の方向と実質的に平行な複数の直線に沿って行われる、ステップと、
−ステップ１２：第１の感光表面要素を用いて、第１の領域によって放出された赤外放射の画像を取得するステップと、
を有する第１のシーケンスを含む。

【0003】

そのような方法は、例えば国際公開第９８／０３９６４０号で知られている。

【0004】

本方法によれば、第１の熱入力要素はレーザーで生成された直線であり、部品の表面上を移動する。検出領域も、熱入力要素の軌跡をたどって、正または負の時間遅延で部品の表面上を移動する。検出領域は、第１の感光表面によって連続的に試験される。

【0005】

第１の領域を検査するためには、第１の方向における往路、第１の方向における復路、第１の方向とは垂直でありうる第２の方向における往路、及び第２の方向における復路、の４回の連続する走査を行うことが必要である。

【0006】

従って、試験方法は比較的長く、試験時間は検査する表面領域のｍ^２あたり約３から４時間である。

【0007】

そのため、本発明はより速い方法を提案することを目的とする。

【発明の概要】

【課題を解決するための手段】

【0008】

目的を達成するために、本発明は、前述の種類の光熱試験方法に関し、
本方法が、以下のステップ、
−ステップ１３：第２の熱入力要素で部品の表面の第２の領域を走査するステップであって、走査が、第２の方向と実質的に平行な複数の直線に沿って行われる、ステップと、
−ステップ１４：第２の感光表面要素を用いて第２の領域によって放出された赤外放射の画像を取得する段階と、
をさらに含み、
第１及び第２の領域が同時に走査され、第１及び第２の感光表面が互いに分離され、
第２の方向が第１の方向と第１の非ゼロの角度を成し、第１の角度が好適には３０°より大きく、または、
第２の方向が第１の方向と実質的に平行であり、第１及び第２の熱入力要素が、それらの間に第２の非ゼロの角度を成す直線であり、第２の角度が好適には３０°よりも大きい、
ことを特徴とする。

【0009】

従って本発明に従う方法において、部品の表面の少なくとも２つの領域が、２つの異なる熱入力要素で同時に走査される。

【0010】

さらに、同時取得の実施を可能にする２つの別個の感光表面要素の使用により、赤外放射画像の取得も加速される。

【0011】

第１及び第２の熱入力要素による走査が互いに対して傾斜した２つの方向において行われるという事実は、特に有用である。すなわち、第１のシーケンスにおいて、第１及び第２の領域を同時に、第１の熱入力要素及び第２の熱入力要素をそれぞれ用いて走査し、熱入力要素の生成を可能にする手段を移動させることが可能になり、第２の領域は第１の熱入力要素で走査され、第２の熱入力要素は第３の領域を走査する。そのため、第２の領域は第１のシーケンスにおいて第２の方向に走査され、第２のシーケンスにおいて第１の方向に走査される。２つの熱入力要素を生じさせることを可能にする手段の再配置は、第１から第２のシーケンスに移行する際に容易かつ高速である。すなわち、第１及び第２の熱入力要素によってなされる移動は、一般的に、常にシーケンスに関わらず同じであり、常に、それぞれ第１の方向及び第２の方向においてなされる。

【0012】

これはまた、第１及び第２の熱入力要素が、それらの間に第２の非ゼロの角度を成す直線であり、同じ方向に実質的に沿って移動する直線である場合にも成り立つ。第１のシーケンスは、第２の熱入力要素で第２の領域を、所定の傾斜を有して走査することを可能にし、第２のシーケンスは、第１の熱入力要素で第２の領域を、別の傾斜を有して走査することを可能にする。

【0013】

本方法はまた、個別にまたは任意の技術的に可能な組合せに従って考慮される、１つまたは複数の以下の特徴を有しうる。

【0014】

第１及び第２の感光表面要素が、マトリックスセンサの感光表面の２つの部分である。

【0015】

本方法がさらに、以下のステップ、
−ステップ２１：第１の熱入力要素で部品の表面の第２の領域を走査するステップであって、走査が第１の方向に対して実質的に平行な複数の直線に沿って行われる、ステップと、
−ステップ２２：第１の感光表面要素を用いて、第２の領域によって放出された赤外放射の画像を取得するステップと、
−ステップ２３：第２の熱入力要素で部品の表面の第３の領域を走査するステップであって、走査が第２の方向に対して実質的に平行な複数の直線に沿って行われる、ステップと、
−ステップ２４：第２の感光表面要素を用いて、第３の領域によって放出される赤外放射の画像を取得するステップと、
を有する少なくとも１つの第２のシーケンスをさらに含み、
第２及び第３の領域が同時に走査される。

【0016】

本方法は、第１のシーケンスと第２のシーケンスとの間に、部品に対して第１及び第２の感光表面要素を移動させるためのステップを含む。

【0017】

本方法は、第１及び第２のシーケンスの後に、
−第２の領域の第１及び／または第２の最終画像が、第２の領域によって放出され、それぞれ第２及び／または第１のシーケンスにおいて、第１及び／または第２の感光表面要素によって収集された赤外放射の画像からそれぞれ計算される、第１の処理ステップと、
−第２の領域における任意の構造的欠陥が、第１の処理ステップにおいて得られた第１及び／または第２の最終画像を用いることによって検出される、第２の処理ステップと、
を含む。

【0018】

本発明は、
ａ）第２のシーケンスにおいて、第１の熱入力要素が、複数の連続する瞬間において、複数の連続する位置を占めつつ、第２の領域を走査し、第１の感光表面要素が複数の瞬間において第２の領域によって放出された赤外放射の複数の画像を取得すること、及び／または
ｂ）第１のシーケンスにおいて、第２の熱入力要素が、複数の連続する瞬間において、複数の連続する位置を占めつつ、第２の領域を走査し、第２の感光表面要素が、複数の瞬間において、第２の領域によって放出された赤外放射の複数の画像を取得すること、で画定され、
第１の処理ステップが以下の操作、
ｃ）第２のシーケンスにおいて取得された各画像について、画像が取得された複数の瞬間から所定の瞬間を決定し、画像から、所定の瞬間に所定の時間シフトを加えたものに等しい第２の所定の瞬間において、第１の熱入力要素の位置に対応する複数の第１の点を抽出し、第２のシーケンスにおいて取得された画像の全てから抽出された第１の点を重畳することによって、第１の最終画像を構成すること、及び／または
ｄ）第１のシーケンスにおいて取得された各画像について、画像が取得された複数の瞬間から所定の瞬間を決定し、画像から、所定の瞬間に所定の時間シフトを加えたものに等しい第２の所定の瞬間における第２の熱入力要素の位置に対応する複数の第２の点を抽出し、第１のシーケンスにおいて取得された画像の全てから抽出された第２の点を重畳することによって、第２の最終画像を構成すること、
を含む。

【0019】

第１のシーケンスにおいて、第１の感光表面要素が、第１の領域を含む第１の対象フィールドによって放出された赤外放射の画像を取得し、第２の感光表面要素が、第２の領域を含む第２の対象フィールドによって放出された赤外放射の画像を取得し、第１及び第２の対象フィールドが第１のシーケンスにおいて固定される。

【0020】

第１のシーケンスにおいて、第１の感光表面要素が、第１の領域の少なくともすべてによって放出された赤外放射の画像を取得し、第２の感光表面要素が、第２の領域の少なくともすべてによって放出された赤外放射の画像を取得する。

【0021】

部品の表面の各領域が、１つのシーケンスにおいて、第１の方向に対して平行な複数の直線に沿って、第１の熱入力要素で走査され、別のシーケンスにおいて、第２の方向に対して平行な複数の直線に沿って第２の熱入力要素で走査され、領域によって放出された赤外放射の画像が、シーケンスにおいて第１の感光表面要素によって取得され、別のシーケンスにおいて、第２の感光表面要素によって取得される。

【0022】

第１及び第２の熱入力要素が、画定された幾何形状を有するレーザー、連続的若しくはパルス発光バルブ、または誘導巻線によって発生する。

【0023】

第２の方向が第１の方向と実質的に平行であり、第１の熱入力要素が、第１の方向と、２０°から７０°の角度を成す直線であり、第２の熱入力要素が、第２の方向と、１１０°から１６０°の角度を成す直線である。

【0024】

本発明は、以下のように画定される。
ａ）第２のシーケンスにおいて、第１の熱入力要素が、複数の連続する瞬間において、複数の連続する位置を占めつつ、第２の領域を走査し、第１の感光表面要素が、複数の瞬間において第２の領域によって放出された赤外放射の複数の第１の画像を取得し、
第１の処理ステップが、以下の操作、
ｃ１）第２のシーケンスにおいて取得された第１の画像のそれぞれについて、第１の画像が取得された複数の瞬間から所定の瞬間を決定し、第１の画像から、第２の所定の瞬間において第１の熱入力要素の位置に対応する第１の点の直線を抽出し、直線が、第１の方向に沿って最も遠くに配された第１の上流端点及び、第１の方向と反対に、第１の方向に対して垂直な第１の横断方向に沿って、第１の上流端点に対してシフトされた第１の下流端点と、を含み、各第１の点が第１の点に対応する領域における部品の表面の温度を表す測定された強度を有する、操作と、
ｃ２）第１の点それぞれに、測定強度から、第１の点に対して第１の横断方向に沿ってシフトされ、直線に対して第１の方向に沿ってシフトされた第１の画像の別の点の強度を差し引いた差分強度を割り当てることによって、第１の差分直線を確立する操作と、
ｃ３）第２のシーケンスにおいて取得された第１の画像の全てについて確立された第１の差分直線を重畳することによって、第１の最終画像を構成する操作と、を含む。

【0025】

ステップｃ２）において、別の点が、直線の第１の点の１つである。

【0026】

本発明は、以下のように画定される。
ｂ）第１のシーケンスにおいて、第２の熱入力要素が、複数の連続する瞬間において、複数の連続する位置を占めつつ、第２の領域を走査し、第２の感光表面要素が、複数の瞬間において、第２の領域によって放出された赤外放射の複数の第２の画像を取得し、
ｄ１）第１のシーケンスにおいて取得された第２の画像のそれぞれについて、第２の画像が取得された複数の瞬間から所定の瞬間を決定し、第２の画像から、第２の所定の瞬間において、第２の熱入力要素の位置に対応する第２の点の直線を抽出し、直線が、第２の方向に沿って最も遠い位置に配された第２の上流端点と、第２の方向と反対に、第２の方向に対して垂直な第２の横断方向に沿って、第１の上流端点に対してシフトされた第２の下流端点と、を含み、各第２の点が、第２の点に対応する領域における部品の表面の温度を表す測定された強度を有し、
ｄ２）測定された強度から、第２の点に対して第２の横断方向に沿ってシフトされ、直線に対して、第２の方向に沿ってシフトされた第２の画像の別の点の強度を差し引いたものに等しい差分強度を、各第２の点に割り当てることによって、第２の差分直線を確立し、
ｄ３）第１のシーケンスにおいて取得された第２の画像の全てについて確立された第２の差分直線を重畳することによって、第２の最終画像を構成する。

【0027】

ステップｄ２）において、別の点が、直線の第２の点の１つである。

【0028】

第２の所定の瞬間が、所定の瞬間に所定の時間シフトを加えたものに等しい。

【0029】

部品は、各シーケンスにおいて、不動である。

【0030】

第２の態様によれば、本発明は、部品についての光熱試験ユニットに関し、本ユニットが、
−部品の表面の第１の領域を、第１の熱入力要素で走査するための、第１の方向に対して実質的に平行な複数の直線に沿って走査を行うように構成された第１の走査デバイスと、
−第１の領域によって放出された赤外放射の画像を取得するように構成された第１の感光表面要素を含む取得デバイスと、
−部品の表面の第２の領域を、第２の熱入力要素で走査するための、第２の方向に対して実質的に平行な複数の直線に沿って走査を行うように構成された第２の走査デバイスと、
−第２の領域によって放出された赤外放射の画像を取得するように構成された第２の感光表面要素を有する取得デバイスと、を含み、
第１及び第２の走査デバイスが、第１及び第２の領域を同時に走査するように構成され、第１及び第２の感光表面要素が互いに分離され、
第２の方向が第１の方向と第１の非ゼロの角度を成し、第１の角度が好適には３０°より大きく、または、
第２の方向が、第１の方向と実質的に平行であり、第１及び第２の熱入力要素が、それらの間で第２の非ゼロの角度を成す直線であり、第２の角度が好適には３０°より大きい。

【0031】

本ユニットは、個別に、または任意の技術的に可能な組合せに従って考慮される、１つまたは複数の以下の特徴をさらに有しうる。

【0032】

本ユニットは、
−第１の走査デバイスが、部品の表面の第２の領域を第１の熱入力要素で走査することができ、第１の方向に対して実質的に平行な複数の直線に沿って走査を実施することができ、
−第１の感光表面要素が、第２の領域によって放出された赤外放射の画像を取得することができ、
−第２の走査デバイスが、部品の表面の第３の領域を第１の熱入力要素で走査することができ、第２の方向に対して実質的に平行な複数の直線に沿って走査を実施することができ、
−第２の感光表面要素が、第３の領域によって放出された赤外放射の画像を取得することができ、
第１及び第２の走査デバイスが、第２及び第３の領域を同時に走査するように構成される。

【0033】

本ユニットは、
−第２の領域の第１及び／または第２の最終画像が、第２の領域によって放出され、それぞれ第１及び／または第２のシーケンスにおいて、第１及び／または第２の感光表面要素によってそれぞれ収集された、赤外放射の画像からそれぞれ計算される、第１の処理ステップと、
−第２の領域における任意の構造的欠陥が、第１の処理ステップにおいて得られた第１及び／または第２の最終画像を用いることによって検出される、第２の処理ステップと、
を実行するようにプログラムされたコンピュータを含む。

【0034】

本ユニットは、
ａ）第１の走査デバイスが、第１の熱入力要素が、複数の連続する瞬間において、複数の連続する位置を占めつつ、第２の領域を走査するように構成され、取得デバイスが、第１の感光表面要素が複数の瞬間において第２の領域によって放出された赤外放射の複数の画像を取得するようにプログラムされ、及び／または、
ｂ）第２の走査デバイスが、第２の熱入力要素が、複数の連続する瞬間において、複数の連続する位置を占めつつ、第２の領域を走査するように構成され、取得デバイスが、第２の感光表面要素が複数の瞬間において第２の領域によって放出された赤外放射の複数の画像を取得するようにプログラムされ、
コンピュータが、第１の処理ステップにおいて、以下の操作、
ｃ）第１の感光表面要素によって取得された各画像について、画像が取得された複数の瞬間から所定の瞬間を決定し、画像から、所定の瞬間に所定の時間シフトを加えたものに等しい第２の所定の瞬間において第１の熱入力要素の位置に対応する複数の第１の点を抽出し、第１の感光表面要素によって取得された画像の全てから抽出された第１の点を重畳することによって、第１の最終画像を構成し、及び／または、
ｃ）第２の感光表面要素によって取得された各画像について、画像が取得された複数の瞬間から所定の瞬間を決定し、画像から、所定の瞬間に所定の時間シフトを加えたものに等しい第２の所定の瞬間において、第２の熱入力要素の位置に対応する複数の第２の点を抽出し、第２の感光表面要素によって取得された画像の全てから抽出された第２の点を重畳することにより、第２の最終画像を構成する、
ことを実行するようにプログラムされる。

【0035】

第２の方向が第１の方向に対して実質的に平行であり、第１の熱入力要素が、第１の方向と、２０°から７０°の角度を成す直線であり、第２の熱入力要素が、第２の方向と、１１０°から１６０°の角度を成す直線である。

【0036】

本方法は、
ａ）第１の熱入力要素が、複数の連続する瞬間において、複数の連続する位置を占めつつ第２の領域を走査するように、第１の走査デバイスが構成され、第１の感光表面要素が、複数の瞬間において、第２の領域によって放出された赤外放射の複数の第１の画像を取得するように、取得デバイスがプログラムされることを特徴とし、
コンピュータが、第１の処理ステップにおいて、以下の操作、
ｃ１）第１の感光表面要素によって取得された第１の画像のそれぞれについて、第１の画像が取得された複数の瞬間から所定の瞬間を決定し、第１の画像から、第２の所定の瞬間における第１の熱入力要素の位置に対応する第１の点の直線を抽出し、直線が第１の方向に沿って最も遠くに配置された第１の上流端点と、第１の方向と反対の、第１の方向に対して垂直な第１の横断方向に沿って第１の上流端点に対してシフトされた第１の下流端点と、を含み、第１の点のそれぞれが、第１の点に対応する領域における部品の表面の温度を表す測定強度を有し、
ｃ２）測定された強度から、第１の点に対して第１の横断方向に沿ってシフトされ、直線に対して第１の方向に沿ってシフトされた第１の画像の別の点の強度を差し引いたものに等しい差分強度を第１の点のそれぞれに割り当てることによって第１の差分直線を確立し、
ｃ３）第１の感光表面要素によって取得された第１の画像の全てについて確立された第１の差分直線を重畳することによって第１の最終画像を構成する、
操作を実行するようにプログラムされる。

【0037】

ステップｃ２）において、別の点が直線の第１の点の１つである。

【0038】

本方法において、
ｂ）第２の熱入力要素が、複数の連続する瞬間において、複数の連続する位置を占めつつ、第２の領域を走査するように、第２の走査デバイスが構成され、第２の感光表面要素が、複数の瞬間において第２の領域によって放出された赤外放射の複数の第２の画像を取得するように、取得デバイスがプログラムされ、
コンピュータが、第１の処理ステップにおいて、以下の操作、
ｄ１）第２の感光表面要素によって取得された第２の画像のそれぞれについて、第２の画像が取得された複数の瞬間から所定の瞬間を決定し、第２の画像から、第２の所定の瞬間において第２の熱入力要素の位置に対応する第２の点の直線を抽出し、直線が、第２の方向に沿って最も遠く離れた位置に配された第２の上流端点及び、第２の方向と反対に、第２の方向に対して垂直な第２の横断方向に沿って、第２の上流端点に対してシフトされた第２の下流端点を含み、第２の点のそれぞれが、第２の点に対応する領域における部品の表面の温度を表す測定強度を有し、
ｄ２）測定された強度から、第２の点に対して第２の横断方向に沿ってシフトされ、直線に対して第２の方向に沿ってシフトされた第２の画像の別の点の値を差し引いたものに等しい差分強度を、第２の点のそれぞれに割り当てることによって第２の差分直線を確立し、
ｄ３）第２のシーケンスにおいて取得された第２の画像の全てについて確立された第２の差分直線を重畳することによって、第２の最終画像を構成する、
操作を実行するようにプログラムされる。

【0039】

ステップｄ２）において、別の点が、直線の第２の点の１つである。

【0040】

第２の所定の瞬間が、所定の瞬間に所定の時間シフトを加えたものに等しい。

【0041】

本発明の他の特徴及び利点は、添付した図面を参照して、情報のために提供され、非限定的に、以下の詳細な説明から得られるであろう。

【図面の簡単な説明】

【0042】

【図1】本発明に従う方法の第１の実施形態のステップの図である。

【図2】本発明に従う光熱試験ユニットの簡略化された概略図である。

【図3】第１の実施形態について、３つの連続する測定シーケンスにおける対象フィールドを示す、試験される部品の表面の平面図である。

【図4】取得された画像から、領域の最終画像の構成を可能にする、第１の実施形態の第１の処理ステップの概略図である。

【図5】本発明に従う方法の第２の実施形態のステップの図である。

【図6】本発明の第２の実施形態について、図３と類似する図である。

【図7】Ａ型の欠陥の位置を示す。

【図8】Ｂ型の欠陥の位置及び対応するデジタル処理の方法を示す。

【図9】Ｂ型の欠陥の位置及び対応するデジタル処理の方法を示す。

【発明を実施するための形態】

【0043】

図１に示されたステップを有する方法は、活性光熱型の試験方法である。この方法は、特性決定されることとなる部品が熱にさらされるため、活性であるといわれる。この方法は、加熱された部品の赤外線画像の取得に基づくため、光熱であるといわれる。

【0044】

この方法は特に、産業機器のブロッキングまたは非ブロッキング欠陥を検出するのに適している。これは、金属部品、より具体的には原子力発電所の金属構成要素に特に適している。

【0045】

この試験方法は、製造時または保守管理において、そのような部品の機械化され、自動化され、ロボット化された検査を実施することを意図される。

【0046】

第１の実施形態は、図１及び２に示されている。本方法はさらに、以下の段階を有する第１のシーケンスを含む。
−ステップ１１：第１の熱入力要素５４で、試験されるべき部品の表面５２の第１の領域５０を走査し、この走査は第１の方向（図２のＤ１）に対してほぼ平行な複数の直線に沿って行われる。
−ステップ１２：第１の感光表面要素５６を用いて、第１の表面領域５０によって放出された赤外放射の画像を取得する。
−ステップ１３：第２の熱入力要素６０で表面５２の第２の領域５８を走査し、この走査は第１の方向と非ゼロの角度αを形成する第２の方向（図２のＤ２）とほぼ平行な複数の直線に沿って行われる。
−ステップ１４：第２の感光表面要素６２を用いて、第２の領域５８によって放出された赤外放射の画像を取得する。

【0047】

第１のシーケンスにおいて、第１及び第２の領域５０、５８は、同時に走査される。第１及び第２の感光表面要素５６、６２を用いて、第１及び第２の領域５０、５８によって放出された赤外放射の画像の取得も同時である。

【0048】

本方法は、典型的には、部品の表面全体の画像の取得を可能にする、第１のシーケンスと類似の１つまたは複数のその他のシーケンスを含む。これらの追加的なシーケンスは、重複を有してなされ、表面の領域のそれぞれが、、第１の感光表面要素によって画像の取得を行いつつ第１の方向にほぼ平行な直線に沿って第１の熱入力要素で１つのシーケンスにおいて走査され、次いで、別のシーケンスにおいて、第２の感光表面要素によって画像の取得を行いつつ第２の方向に平行な複数の直線に沿って、第２の熱入力要素によって走査される。

【0049】

部品は、各シーケンスの間は、具体的には赤外放射の画像の取得を可能にする手段に対して動かされない。

【0050】

走査の順序は重要ではない。各領域は最初に第１の熱入力要素によって走査され、次いで第２の熱入力要素によって走査されてもよく、反対に、まず第２の熱入力要素によって走査され、次いで第１の熱入力要素によって走査されてもよい。

【0051】

さらに具体的には、本方法はさらに、図１から３に示されるように、以下の段階を有する少なくとも１つの第２のシーケンスを含む。
−ステップ２１：第１の熱入力要素５４で部品の表面５２の第２の領域６０を走査し、走査は第１の方向Ｄ１とほぼ平行な複数の直線に沿って行われる。
−ステップ２２：第１の感光表面要素５６を用いて、第２の領域６０によって放出された赤外放射の画像を取得する。
−ステップ２３：第２の熱入力要素６０で部品の表面５２の第３の領域６４を走査し、走査は第２の方向Ｄ２とほぼ平行な複数の直線に沿って行われる。
−ステップ２４：第２の感光表面要素６２を用いて、第３の領域６３によって放出された赤外放射の画像を取得する。

【0052】

第２のシーケンスにおいて、第２及び第３の領域６０、６４は同時に走査される。第２及び第３の領域によって放出された赤外放射は、第１及び第２の感光表面要素５６、６２によって同時に取得される。

【0053】

本方法は、第１のシーケンスと第２のシーケンスとの間の、部品に対して第１及び第２の感光表面要素５６、６２を移動させるステップ１５を含む。

【0054】

第１のシーケンスにおいて、第１及び第２の感光表面要素５６、６２は、第１及び第２の感光表面要素５６、６２が、表面５２の第１の領域５０及び第２の領域５８によってそれぞれ放出された赤外放射を受け取るように配置される第１の位置を占める。感光表面要素５６、６２は、ステップ１５の間に、第１及び第２の感光表面要素５６、６２が、第２の領域５８及び第３の領域６４によってそれぞれ放出された赤外放射を受け取るように配置される第２の位置へ移動される。

【0055】

図３に示されるように、例えば本方法は第１及び第２のシーケンスと同一の第３のシーケンスを含み、そのシーケンスにおいて、第３の領域６４は、第１の熱入力要素５４によって走査され、走査は第１の方向Ｄ１とほぼ平行な複数の直線に沿って行われ、第１の感光表面要素５６は第３の領域６４によって放出された赤外放射の画像を取得する。同時に、表面５２の第４の領域６６が、第２の方向Ｄ２とほぼ平行な複数の直線に沿って、第２の熱入力要素６０によって走査され、第４の領域によって放出された赤外放射画像は、第２の感光表面要素６２を用いて取得される。第２のシーケンスと第３のシーケンスとの間に、本方法はもちろん、第１及び第２の感光表面要素５６、６２を移動させて、これらの感光表面要素５６、６２を、第３の領域６４の赤外放射及び第４の赤外放射６６をそれぞれ取得することができる位置に配置するステップ２５を含む。

【0056】

図に示された例において、同時に走査される、部品の表面５２の第１及び第２の領域５０、５８は、隣接している。同様に、第２及び第３の領域５８、６４も隣接している。そのため、各シーケンスにおいて、同時に走査される部品の表面の領域は隣接している。

【0057】

代替的に、これらの領域は隣接しておらず、互いに離隔している。

【0058】

第１の方向と第２の方向との間の角度αは、好適には４５°から１３５°であり、より好適には６０°から１２０°の間である。典型的には、角度αは９０°に近いか、それに等しい。これは、具体的には、走査されなければならない部品の領域のカーブに基づいて選択される。

【0059】

第１及び第２の熱入力要素５４、６０は、画定された幾何学的形状を有するレーザー、連続またはパルス発光バルブ、誘導巻線などを用いて得られる。代替的に、第１及び第２の熱入力要素５４、６０は、その機能に適した任意の他の種類のものである。

【0060】

レーザーは、部品の表面に、任意の形状を有することができる熱入力要素を生成する。図２に示された例において、第１及び第２の熱入力要素５４、５６は、熱入力要素の移動方向に対して垂直な方向に沿った細長い区画である。典型的には、第１及び第２の熱入力要素は、この場合、区画の形態において、部品の表面に渡って投影される。代替的に、第１及び第２の熱入力要素５４、６０は、区画の形態で熱入力要素を構成するように、高速で動かされる点の形態で部品の表面に渡って投影される。

【0061】

レーザーはまた、円形、楕円形、長方形またはその他任意の適切な形状を有する熱入力要素を生成することができる。

【0062】

１つの例示的な実施形態において、区画は１０から３０ｍｍの長さを有する。区画は１から３ｍｍの厚さを有する。

【0063】

図に示された例示的な実施形態において、表面５２の各領域５０、５８、６４、６６は正方形の形状である。図３に示されるように、これらの領域は、互いに対して平行であり、第３の方向Ｄ３に対して平行な第１のエッジ６８によって画定される。これらはまた、エッジ６８に対して垂直であり、そのため第４の方向Ｄ４に沿って延在する２つのエッジ６９によって画定される。第１及び第２の方向Ｄ１、Ｄ２は、方向Ｄ３、Ｄ４に対して、図示された例では４５°の角度を成す。代替的に、同じものの領域５０、５８、６４、６６は正方形の形状ではなく、その他任意の形状を有する。第１及び第２の方向はまた、方向Ｄ３、Ｄ４に対して４５度とは異なるその他の角度を成すこともできる。

【0064】

典型的には、図２に示されるように、第１及び第２の感光表面要素５６、６２は、マトリックスセンサ７２の同じ感光表面７０の２つの部品である。このセンサは典型的にはデジタル赤外線カメラである。代替的に、第１及び第２の感光表面要素５６、６２は同じ感光表面の一部ではない。これらは例えば、互いに対して分離し、独立な２つの線形デジタル赤外線カメラの感光表面である。

【0065】

各シーケンスにおいて、第１の感光表面要素５６は、検査される領域を含む第１の対象フィールド７４によって放出された赤外放射の画像を取得する。第２の感光表面要素６２は、検査される別の領域を含む第２の対象フィールド７６によって放出された赤外放射の画像を取得する。

【0066】

そのため、第１のシーケンスにおいて、第１の対象フィールド７４は第１の領域５０を含み、第２の対象フィールド７６は第２の領域５８を含む。第２のシーケンスにおいて、第１の対象フィールド７４は第２の領域５８を含み、第２の対象フィールド７６は第３の領域６４を含む。

【0067】

第１及び第２の対象フィールド７４、７６は、各シーケンスにおいて設定される。

【0068】

例示された例において、対象フィールド７４、７６は、領域５０、５８、６４，６６よりわずかに大きい。ここで、これらはそれぞれ長方形の形状を有し、第３の方向Ｄ３に沿った高さは、領域５０、５８、６４，６６のそれよりもわずかに大きい。反対に、第４の方向Ｄ４にそって、これらは領域５０、５８、６４、６６と同じ幅を有する。

【0069】

代替的に、第１及び第２の対象フィールド７４、７６は、検査される領域と正確に同じ形状を有する。他の代替例によれば、第１及び第２の対象フィールドは、その他任意の適切な円形、楕円形などの形状を有する。

【0070】

各シーケンスにおいて、第１の感光表面要素５６は、少なくとも検査される領域全体によって放出された赤外放射の画像を取得する。より具体的には、第１の感光表面要素５６は、第１の対象フィールド７４全体によって放出された赤外放射の画像を取得する。代替的に、第１の感光表面要素５６は、少なくとも検査される領域の一部のみによって放出される赤外放射の画像を取得する。

【0071】

同様に、各シーケンスにおいて、第２の感光表面要素６２は、第２の領域５８全体によって、典型的には第２の対象フィールド７６全体によって放出された赤外放射画像を取得する。代替的に、第２の感光表面要素６２は、検査される領域の一部のみの画像を取得する。

【0072】

図１に示されるように、本方法はさらに、前述の各シーケンスの後に、
−各領域の第１及び／または第２の最終画像が、各走査シーケンスにおいて各領域によって放出され、第１及び／または第２の感光表面要素５６、６２によってそれぞれ収集された赤外放射の画像から計算される、第１の処理ステップ４０、
−領域内の任意の構造的欠陥が、第１の処理ステップ４０において得られた第１及び／または第２の最終画像を用いることによって検出される、第２の処理ステップ４５、を含む。

【0073】

そのため、第１の処理ステップ４０において、第２の領域５８の第１及び／または第２の最終画像は、第２及び／または第１のシーケンスにおいて、第１及び／または第２の感光表面要素５６、６２によって取得された画像からそれぞれ計算される。第３の領域６４において、第１及び／または第２の最終画像は、第３及び第２のシーケンスにおいて、第１及び／または第２の感光表面要素５６，６２によってそれぞれ収集された画像から計算される。

【0074】

好適には、各領域の第１及び第２の最終画像は、第１の処理ステップ４０において計算される。これにより、第２の処理ステップ４５において、はるかに信頼性のある構造欠陥の検出が可能となる。しかし、第１または第２の最終画像のみを計算し、欠陥の存在を決定するために単一の最終画像を使用するのみであることを考えることも可能である。

【0075】

第１の処理ステップ４０をここで第２の領域５８について概説する。第１の処理ステップは、表面５２の他の領域についても同じである。

【0076】

まず、第２のシーケンスにおいて、第１の熱入力要素５４は、複数の連続する瞬間ｔｉにおいて、複数の連続する位置Ｐ（ｔｉ）を占めつつ、第２の領域５８を走査する。第１の感光表面要素５６は、複数の瞬間ｔｉにおいて第２の領域５８によって放出された赤外放射の複数の画像Ｉ（ｔｉ）を取得する。

【0077】

同様に、第１のシーケンスにおいて、第２の熱入力要素６０は、複数の連続する瞬間ｔｉ’において複数の連続する位置Ｐ（ｔｉ’）を占めつつ、第２の領域５８を走査する。第２の感光表面要素６２は、複数の瞬間ｔｉ’において、第２の領域５８によって放出された赤外放射の複数の画像Ｉ（ｔｉ’）を取得する。

【0078】

第１の処理ステップ４０は、第１のサブステップ４１を含み、そのサブステップにおいて、図４に示されるように以下の動作がなされる。
−第２のシーケンスにおいて取得された各画像Ｉ（ｔｉ）について、画像Ｉ（ｔｉ）が取得された複数の瞬間から、所定の瞬間ｔｉを決定する。
−画像Ｉ（ｔｉ）から、所定の瞬間ｔｉに所定の時間シフトを加えたものに等しい等しい第２の所定の瞬間ｔｉ_２における、第１の熱入力要素５４の位置Ｐ（ｔｉ２）に対応する複数の第１の点を抽出する。
−第２のシーケンスにおいて取得された画像Ｉ（ｔｉ）の全てから抽出された第１の点を重畳することによって、第１の最終画像を構成する。

【0079】

第１の処理ステップ４０はさらに、好適には第２のサブステップ４２を含み、そのサブステップにおいて以下の動作がなされる。
−第１のシーケンスにおいて取得された各画像Ｉ（ｔｉ’）について、画像Ｉ（ｔｉ’）が取得された複数の瞬間から所定の瞬間ｔｉを決定する。
−画像Ｉ（ｔｉ’）から、所定の瞬間ｔｉ’に所定の時間シフトΔＴ’を加えたものに等しい第２の所定の瞬間ｔｉ２’における第２の熱入力要素６０の位置に対応する複数の第２の点を抽出する。
−第１のシーケンスにおいて取得された画像Ｉ（ｔｉ’）の全てから抽出された第２の点を重畳することにより、第２の最終画像を構成する。

【0080】

第１の最終画像を確立するためのこれらの動作は、図４に概略的に示されている。

【0081】

部品の表面の他の領域について、第１の処理ステップは同様である。しかし、他のシーケンスから取得された画像が使用される。例えば、第３の領域６４について、第３のシーケンスにおいて第３の領域６４によって放出された赤外放射の画像が、第１の最終画像を確立するために使用される。第２のシーケンスにおいて取得された画像は、第２の最終画像を確立するために使用される。

【0082】

所定の時間シフトΔＴ、ΔＴ’は、同じシーケンスにおいて取得された画像の全ての処理について一定である。一般に、ΔＴ＝ΔＴ’となるように選択される。代替的に、ΔＴはΔＴ’とは異なる。

【0083】

一般的に、同じ時間シフトが、異なるシーケンスからの画像を処理するために選択される。

【0084】

このシフトは国際公開第９８／０３９６４０号に説明されるように、ゼロ、正または負であってもよい。

【0085】

第１及び第２の熱入力要素５４、５８は各領域の全体を走査するため、取得された画像６０から抽出された第１及び第２の点は、領域のほぼ全体を覆うこととなる。そのため各領域の全体を覆う最終画像が再構成される。

【0086】

各取得画像から抽出された第１の点は、第２の所定の瞬間ｔｉ’２における第１の熱入力要素５４の延在部分を厳密に覆う。代替的に、第１の点は、第２の所定の瞬間ｔｉ２における第１の熱入力要素の延在部分よりもわずかに大きな、またはわずかに小さな延在部分を覆う。同様に、第２の点は、第２の所定の瞬間ｔｉ’２における第２の熱入力要素６０の延在部分を厳密に覆う。代替的に、これらは第２の熱入力要素６０の延在部分よりわずかに大きな、またはわずかに小さな延在部分を覆う。

【0087】

第１の処理ステップ４０は計算によって実行される。

【0088】

第２の処理ステップ４５において、各領域の任意の構造的欠陥は、熱集中が第１及び／または第２の最終画像に存在するか否かを検出することによって特定される。すなわち、領域内のブロッキングまたは非ブロッキング欠陥の場合、第１または第２の熱入力要素に起因する熱エネルギーは欠陥を越えて（全体にまたは部分的に）広がることができず、そのため欠陥の縁の部分に（全体にまたは部分的に）蓄積する。

【0089】

この第２の処理ステップは、既知の種類のアルゴリズムを使用して、計算によって行われる。

【0090】

図２は、部品の光熱試験について提供されるユニット８０を示している。ユニット８０は、前述の、本発明の光熱試験方法を実行するように提供される。

【0091】

ユニット８０は、
−第１の熱入力要素５４で表面５２の第１の領域５０を走査するための第１の走査デバイス８２であって、第１の方向Ｄ１とほぼ平行な複数の直線に沿った走査を実施するように構成された、第１の走査デバイス８２と、
−第１の感光表面要素５６を含む取得デバイス（図示された例では赤外線カメラ７２）であって、この第１の感光表面要素５６が、第１の領域５０によって放出された赤外放射の画像を取得するように配置された、取得デバイスと、
−第２の熱入力要素６０で表面５２の第２の領域５８を走査するための第２の走査デバイス８４であって、第２の方向Ｄ２とほぼ平行な複数の直線に沿った走査を実施するように構成された、第２の走査デバイス８４と、
−取得デバイスの一部であり、第２の領域５８によって放出された赤外放射の画像を取得するように構成された、第２の感光表面要素６２と、を含む。

【0092】

第１及び第２の走査デバイス８２、８４は、第１及び第２の領域を同時に走査するように構成される。第１及び第２の感光表面要素５６、６２は、前述のように、互いに分離される。これらは、第１及び第２の領域５０、５８によって放出された赤外放射の画像を同時に取得することができるように構成される。

【0093】

ユニット８０はさらに、試験される部品に対して第１及び第２の感光表面要素５６、６２を移動させるデバイス８６と、コンピュータ８８と、を含む。

【0094】

第１の走査デバイス８２は、第１の領域５０を走査するだけでなく、第２の領域５８及び表面５２のその他の領域の全ても、第１の方向Ｄ１にほぼ平行な複数の直線に沿って、第１の熱入力要素５４で走査することができる。

【0095】

そのために、図示された例では、レーザービーム９２を放出するレーザー源９０と、レーザービーム９２を表面５２に向けて反射するのに適したゴニオメータ９４と、を含む。ゴニオメータ９４は、反射表面９６と、反射表面９６の配向を調整するためのデバイス９８とを含む。デバイス９８はコンピュータ８８によって駆動される。代替的に、ゴニオメータ９４は鏡またはその他任意の適切なデバイスで置き換えられる。

【0096】

レーザービーム９２は、表面９６によって反射され、表面５２の第１の熱入力要素５４を生成する反射ビーム１００を形成する。

【0097】

コンピュータ８８は、各走査シーケンスにおいて、試験される領域全体を走査することができるように、方向Ｄ１に対してほぼ平行な複数の直線に沿って第１の熱入力要素５４を移動させるように、配向デバイス９８を制御するようにプログラムされる。コンピュータ８８はまた、２つのシーケンスの間に、第１の熱入力要素が次のシーケンスにおいて走査されることとなる領域に移動するように、表面９６の配向を調整するようにプログラムされる。

【0098】

第２の走査デバイス８４は、典型的には第１の走査デバイスと類似している。図示された例では、これは、レーザービーム１０４を放出するレーザー源１０２と、配向デバイス１０５と、を含む。配向デバイス１０５は、反射表面１０６と、反射表面１０６の配向の調整を可能にする配向部材１０８と、を含む。配向部材１０８はコンピュータ８８によって駆動される。レーザービーム１０４は反射部材１０６によって反射され、表面５２上に第２の熱入力要素６０を生成する反射ビーム１１０を形成する。コンピュータ８８は、各シーケンスにおいて、試験される領域の完全な走査を確実に行うために、第２の方向Ｄ２とほぼ平行な複数の直線に沿って配向デバイス１０８を制御するようにプログラムされる。これはまた、２つのシーケンスの間に、第２の熱入力要素を、次のシーケンスで試験される必要のある領域に移動するようにプログラムされる。

【0099】

図示された例において、第１及び第２の感光表面５６、６２は、デジタル赤外線カメラ７２のマトリックス感光表面７０の２つの並置された領域である。

【0100】

取得デバイス７２は、第１の感光表面要素５６が、複数の瞬間ｔｉにおける複数の画像Ｉ（ｔｉ）、例えば第２の領域５８またはその他任意の領域の画像を取得するようにプログラムされる。

【0101】

取得デバイス７２はまた、第２の感光表面要素６２が複数の瞬間ｔｉ’において複数の画像Ｉ（ｔｉ’）、例えば第２の領域５８またはその他任意の領域の画像を取得するようにプログラムされる。

【0102】

デバイス８６は、シーケンスの間に、部品に対して感光表面要素５６、６２を移動させる。

【0103】

そのため、第１のシーケンスにおいて、第１及び第２の感光表面要素は第１の領域５０及び第２の領域５８によってそれぞれ放出された赤外放射を受け取ることができるように選択された第１のそれぞれの位置にある。第２のシーケンスにおいて、第１及び第２の感光表面要素５６及び６２は、第２の領域５８及び第３の領域５８によってそれぞれ放出された赤外放射を受け取ることができる第２のそれぞれの位置にある。その他のシーケンスにおいて、第１及び第２の感光表面要素５６及び６２は、表面６２の領域の１つによって放出された赤外放射をそれぞれが受け取ることができる、さらにその他の位置にある。デバイス８６は、第１及び第２の感光表面要素を１つの位置から別の位置へ並進させるように、取得デバイスを移動させるように構成される。

【0104】

デバイス８６は、コンピュータ８８によって駆動される。

【0105】

デバイス８６は、例えばレールまたはボールジョイント、またはその他任意の適切な機械的デバイスである。

【0106】

代替的に、第１及び第２の感光表面要素５６、６２は固定される。反対に、取得デバイスは、表面５２の領域から第１及び第２の感光表面要素５６、６２まで赤外放射を反射するのに適した１つまたは複数の可動部材を含む。この反射デバイスは、各シーケンスの間に配置され、必要な領域から第１及び第２の感光表面要素まで赤外放射を反射するように選択された位置に配置される。

【0107】

反射デバイスはコンピュータ８８によって駆動される。

【0108】

さらに、コンピュータは、前述の第１の処理ステップ４０及び第２の処理ステップ４５を実行するようにプログラムされる。

【0109】

これから、本発明の第２の実施形態を、図５から９を参照して説明する。第２の実施形態と第１の実施形態との差は、以下に概説するもののみである。２つの実施形態の同一の要素または同じ機能を実施する要素は、同じ参照符号を付される。

【0110】

第２の実施形態において、第１及び第２の熱入力要素５４及び６０は、それらの間に第２の非ゼロの角度βを成す直線である。

【0111】

第２の角度βは好適には３０°より大きく、好適には４５°から１３５°の間であり、典型的には６０°から１２０°の間である。典型的には、２つの直線の間の中間方向Ｉは、第１及び第２の方向Ｄ１及びＤ２に対して平行（またはほぼ平行）である（図７を参照）。

【0112】

第２の方向Ｄ２は第１の方向Ｄ１とほぼ平行である。これは、第１及び第２の方向が、その間に１０°より小さく、好適には５度より小さく、理想的には０に等しい（特に平面の場合）角度を成すことを意味する。

【0113】

例えば図７に示されるように、第１の熱入力要素５４は、第１の方向Ｄ１と、２０°から７０°、好適には３０°から６０°、典型的には４５°に等しい角度β１を成す直線である。第２の熱入力要素６０は、第２の方向Ｄ２と、１１０°から１６０°、好適には１２０°から１５０°、典型的には１３５°に等しい角度β２を成す直線である。角度β、β１及びβ２は、本明細書では三角法の方向において特定される。

【0114】

第２の実施形態は、第１の実施形態と同じ走査及び画像取得シーケンス１からｎを実装し、各シーケンスにおいて同じステップを有する。第１の実施形態と比較して、相違点は、方向Ｄ１及びＤ２が、第２の実施形態については互いにほぼ平行である一方で、第１の実施形態では互いに対して傾斜しているという事実にあるのみである。走査及び画像取得シーケンス１からｎは、第１の実施形態と同じ移動ステップ１５、２５などによって分離される。

【0115】

しかし、第２の実施形態の処理ステップ４０は、第１の実施形態のそれとは異なっている。

【0116】

ステップ４０において、図５に示すように、２つの異なる処理操作が、同じ画像について適用される。

【0117】

第１の処理操作は、第１及び第２の熱入力要素の移動方向、すなわち第１及び第２の方向Ｄ１及びＤ２に対してほぼ垂直である欠陥１２０を特定しようとする（図７を参照）。

【0118】

この第１の処理操作は、第１の実施形態において実装されるものと同じ第１及び第２のサブステップ４１及び４２を実装する。

【0119】

第２の処理操作は、第１及び第２の熱入力要素の移動方向、すなわち第１及び第２の方向Ｄ１及びＤ２に対してほぼ平行な欠陥１２２を特定しようとする（図８及び９を参照）。

【0120】

この第２の処理操作を、第２の領域５８に関して以下に説明する。第２の処理ステップは、他の領域についても同じである。

【0121】

第１の実施形態に関して、第２のシーケンスにおいて、第１の熱入力要素５４は、複数の連続する瞬間ｔｉにおいて、複数の連続する位置Ｐ（ｔｉ）を占めながら、第２の領域５８を走査する。第１の感光表面要素５６は、複数の瞬間ｔｉにおいて第２の領域５８によって放出された赤外放射の複数の第１の画像Ｉ（ｔｉ）を取得する。

【0122】

同様に、第１のシーケンスにおいて、第２の熱入力要素６０は、複数の連続する瞬間ｔｉにおいて、複数の連続する位置Ｐ（ｔｉ）を占めながら、第２の領域５８を走査する。第２の感光表面要素６２は、複数の瞬間ｔｉ’において第２の領域５８によって放出された赤外放射の複数の第２の画像Ｉ（ｔｉ’）を取得する。

【0123】

第１の処理ステップ４０は、以下の操作を行う第１のサブステップ４３を含む。

【0124】

第２のシーケンスにおいて取得された第１の画像Ｉ（ｔｉ）のそれぞれについて、最初に、第１の画像Ｉ（ｔｉ）が取得された複数の瞬間から所定の瞬間ｔｉを決定し、この第１の画像Ｉ（ｔｉ）から、第２の所定の瞬間ｔｉ２において第１の熱入力要素５４の位置Ｐ（ｔｉ２）に対応する第１の点Ｘｋの直線Ｌ（ｔｉ）を抽出する。

【0125】

各点は、典型的には画素、または画素群に対応する。

【0126】

第２の所定の瞬間ｔｉ２は、第１の実施形態を参照して説明したように、所定の瞬間ｔｉに所定の時間シフトΔＴを加えたものに等しい。ΔＴは典型的にはゼロまたは負である。

【0127】

図８に示されるように、直線Ｌ（ｔｉ）は、第１の方向Ｄ１に沿って最も遠い位置に配された第１の上流端点Ｘ１及び第１の方向Ｄ１と反対方向に、第１の上流端点Ｘ１に対してシフトされた第１の下流端点Ｘｎを含む。第１の熱入力要素５４は第１の方向Ｄ１に対して傾斜した直線であるので、第１の下流端点Ｘｎもまた、第１の方向Ｄ１に対して垂直な第１の横断方向Ｔに沿ってシフトされる。

【0128】

他の第１の点Ｘｋは、Ｘ１からＸｎに向かう直線において互いに隣接して並置される。

【0129】

各第１の点Ｘｋは、この点に対応する領域内の部品の表面５２の温度を表す、測定された強度を有する。

【0130】

次に、第１の差分直線は、各第１の点Ｘｋに、測定された強度から第１の画像Ｉ（ｔ）の別の点Ｘｋ＊の強度を差し引いたものに等しい差分強度を割り当てることによって確立される（図８を参照）。点Ｘｋ＊は、第１の点Ｘｋに対して第１の横断方向Ｔに沿ってシフトされ、直線Ｌ（ｔｉ）に対して第１の方向Ｄ１に沿ってシフトされる。

【0131】

本明細書において、直線Ｌ（ｔｉ）に対して第１の方向Ｄ１に沿ってシフトされるとは、他の点Ｘｋ＊が直線Ｌ（ｔｉ）上または直線Ｌ（ｔｉ）から上流にあること、すなわち、直線Ｌ（ｔｉ）によってまだ横断されていない領域にあることを意味している。

【0132】

ＸｋとＸｋ＊との間のシフトは、第１の方向及び第１の横断方向に沿った第１の点Ｘｋの全てについて同じである。

【0133】

第１の代替例によれば、他の点Ｘｋ＊は、直線Ｌ（ｔｉ）の第１の点Ｘｋの１つである。例えば、Ｘｋ＊は、下流端点Ｘｎの側にあるＸｋに隣接する点である。代替的に、Ｘｋ＊は、直線の点、直線の２つの点または直線の２つを超える点によって第１の点Ｘｋから分離される。

【0134】

第２の代替例によれば、Ｘｋ＊は直線に属しない。図示された例において、図８では、Ｘｋ＊は第１の方向Ｄ１においてゼロ画素だけシフトされ、第１の横断方向Ｔにおいて２画素だけシフトされる。

【0135】

Ｘｋ＊は、典型的には第１の横断方向における厳密に正の数の画素だけ、具体的には直線Ｌ（ｔｉ）から上流を残すように、Ｘｋに対してシフトされる。代替的に、Ｘｋ＊は、第１の横断方向における厳密に負の数の画素だけ、直線Ｌ（ｔｉ）から下流を残すように、Ｘｋに対してシフトされる。

【0136】

次に、第１の最終画像が、第２のシーケンスにおいて取得された第１の画像Ｉ（ｔｉ）のすべてについて確立された第１の差分直線を重畳することによって構成される。

【0137】

同じ操作は、好適には第２の画像についても行われる。

【0138】

第１のシーケンスにおいて取得された第２の画像Ｉ（ｔｉ’）のそれぞれについて、まず、第２の画像Ｉ（ｔｉ’）が取得された複数の瞬間から所定の瞬間ｔｉ’を決定し、この第２の画像Ｉ（ｔｉ’）から、第２の所定の瞬間ｔｉ２’において第２の熱入力要素６０の位置Ｐ（ｔｉ２’）に対応する第２の点Ｌ（ｔｉ’）の直線Ｌ（ｔｉ）を抽出する。

【0139】

各点は、典型的には画素、または画素群に対応する。

【0140】

第２の所定の瞬間ｔｉ２’は、第１の実施形態を参照して説明されたように、所定の瞬間ｔｉに所定の時間シフトΔＴ’を加えたものに等しい。ΔＴは、典型的にはゼロまたは負である。

【0141】

図９に示されるように、直線は、第２の方向Ｄ２に沿って最も遠く離れた位置に配された第２の上流端点Ｘ１’と、第１の方向Ｄ２と反対に第２の上流端点Ｘ１’に対してシフトされた第２の下流端点Ｘｎ’と、を含む。第２の熱入力要素６０は、第２の方向Ｄ２に対して傾斜した直線であるため、第２の下流端点Ｘｎ’は、図９において第１の横断方向Ｔと反対の方向Ｔ’である、第１の第２Ｄ１に対して垂直な第２の横断方向Ｔ’に沿って第２の上流端点Ｘ１’に対してシフトされる。

【0142】

他の第２の点Ｘｋは、Ｘ１からＸｎへの直線において互いに隣接して並置される。

【0143】

第２の点Ｘｋ’はそれぞれ、第２の点Ｘｋ’に対応する領域内の部品５２の表面の温度を表す、測定された強度を有する。

【0144】

次に、第２の差分直線は、第２の点Ｘｋ’のそれぞれに、測定された強度から第２の画像Ｉ（ｔｉ’）の他の点Ｘｋ＊’の強度を差し引いたものに等しい差分強度を割り当てることによって確立される（図９を参照）。他の点Ｘｋ＊は、第２の点Ｘｋ’に対して第２の横断方向Ｔ’に沿ってシフトされ、直線Ｌ（ｔｉ’）に対して第２の方向Ｄ２に沿ってシフトされる。

【0145】

本明細書において、直線Ｌ（ｔｉ’）に対して第２の方向に沿ってシフトされるとは、他の点Ｘｋ＊’が直線Ｌ（ｔｉ）上または直線Ｌ（ｔｉ’）から上流側にあること、すなわち直線Ｌ（ｔｉ’）によってまだ横断されていない領域にあることを意味する。

【0146】

ＸｋとＸｋ＊’との間のシフトは、第２の方向Ｄ２及び第２の横断方向Ｔ’に沿った第２の点Ｘｋ’の全てについて同じである。

【0147】

第１の代替例によれば、別の点Ｘｋ＊’は、直線Ｌ（ｔｉ’）の第２の点Ｘｋ’の１つである。例えば、Ｘｋ＊は、下流端点Ｘｎ’の側においてＸｋ’に隣接する点である。代替的に、Ｘｋ＊’は、第１の点Ｘｋ’から直線の点、直線の２つの点、または直線の２つを超える点によって分離される。

【0148】

第２の代替例によれば、Ｘｋ＊’は直線に属しない。図示された例において、図９では、Ｘｋ＊’は第１の方向Ｄ２においてゼロ画素、第２の横断方向Ｔ’において１画素だけシフトされる。

【0149】

Ｘｋ＊’は、第２の横断方向において厳密に正の数の画素だけ、具体的には直線Ｌ（ｔｉ’）から上流を残すように、Ｘｋに対してシフトされる。代替的に、Ｘｋ＊’は、第２の横断方向において厳密に負の数の画素だけ、直線Ｌ（ｔｉ’）から下流を残すように、Ｘｋ’に対してシフトされる。

【0150】

次に、第１のシーケンスにおいて取得された第２の画像Ｉ（ｔｉ’）の全てについて確立された第２の差分直線を重畳することによって第２の最終画像を構成する。

【0151】

１つの好適でない代替例において、前述の走査は第１の画像についてのみ行われ、または第２の画像についてのみ行われる。

【0152】

第２の処理ステップ４５において、第１及び第２の方向Ｄ１及びＤ２に対してほぼ垂直な任意の構造的欠陥は、第１の処理操作（サブステップ４１、４２）を用いて得られた最終画像を検査することによって特定される。欠陥は、熱集中が第１及び／または第２の最終画像に存在するか否かを検出することによって特定される。すなわち、領域内にブロッキングまたは非ブロッキング欠陥がある場合、第１または第２の熱入力要素に起因する熱エネルギーは、欠陥を越えて（全体的にまたは部分的に）広がることができず、そのため、欠陥の縁の部分に（全体的にまたは部分的に）蓄積する。第２の処理ステップ４５において、第１及び第２の方向Ｄ１及びＤ２に対してほぼ平行な任意の構造的欠陥は、第２の処理操作（サブステップ４３、４４）を用いて得られた最終画像を試験することによって特定される。これらの画像は、移動方向に対してほぼ垂直な方向における温度勾配を示す。移動方向に対して平行な欠陥が存在する場合、熱入力要素によって形成された直線の傾斜のために、熱は反対のエッジよりも欠陥の１つのエッジにおいてより蓄積することとなる。図８の例において、熱は、図８の上部に向かって配された欠陥１２２のエッジと熱入力要素によって形成された直線との間の閉じた角度のために、このエッジにおいてまず蓄積することとなる。反対に、熱は、図８の下部に向かって配されたエッジと熱入力要素によって形成された直線との間のより開いた角度のために、このエッジにおいて最後に蓄積することになる。状況は、図９では反対となる。そのため、瞬間ｔにおいて、移動方向に対して垂直に、欠陥のいずれかの側に温度勾配が生成される。

【0153】

第１及び第２の方向Ｄ１及びＤ２に対して平行でも垂直でもない構造的欠陥、例えばクラックは、第１及び第２の処理操作から分かる最終画像において、それらの配向に基づいて検出される。

【0154】

この第１及び第２の処理ステップは、既知のアルゴリズムを用いて、計算によって行われる。

【0155】

第２の実施形態は、第１の実施形態と同じ光熱試験ユニットで実装されるが、コンピュータ８８のプログラミングのみが変更される。コンピュータは、第２の実施形態に従う方法を実行するようにプログラムされる。

【0156】

本発明の両実施形態が、各走査及び画像取得シーケンスにおいて、固定されたマトリックスセンサ７２を有して実装されるものとして説明されたことに注意すべきである。代替的に、本発明の両実施形態は、熱入力要素と同じ回数だけ、試験される表面を走査する１つまたは２つの可動センサを有して実装される。

【符号の説明】

【0157】

４０ 第１の処理ステップ
４５ 第２の処理ステップ
５０ 第１の領域
５２ 部品の表面
５４ 第１の熱入力要素
５６ 第１の感光表面要素
５８ 第２の領域
６０ 第２の熱入力要素
６２ 第２の感光表面要素
６４ 第３の領域
６６ 第４の領域
６８ エッジ
７０ 感光表面
７２ マトリックスセンサ
７４ 第１の対象フィールド
７６ 第２の対象フィールド
８０ ユニット
８２ 第１の走査デバイス
８４ 第２の走査デバイス
８６ デバイス
８８ コンピュータ
９０ レーザー源
９２ レーザービーム
９４ ゴニオメータ
９６ 反射表面
９８ デバイス
１００ 反射ビーム
１０２ レーザー源
１０４ レーザービーム
１０５ 配向デバイス
１０６ 反射表面
１０８ 配向部材

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】