特許第6556056号(P6556056)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】6556056
(24)【登録日】2019年7月19日
(45)【発行日】2019年8月7日
(54)【発明の名称】磁気分極光子素子
(51)【国際特許分類】
   H01L 31/08 20060101AFI20190729BHJP
【FI】
   H01L31/08 Z
【請求項の数】35
【全頁数】35
(21)【出願番号】特願2015-547986(P2015-547986)
(86)(22)【出願日】2013年12月13日
(65)【公表番号】特表2016-501450(P2016-501450A)
(43)【公表日】2016年1月18日
(86)【国際出願番号】US2013075003
(87)【国際公開番号】WO2014093816
(87)【国際公開日】20140619
【審査請求日】2016年12月8日
(31)【優先権主張番号】61/737,073
(32)【優先日】2012年12月13日
(33)【優先権主張国】US
【前置審査】
(73)【特許権者】
【識別番号】515056990
【氏名又は名称】ティーエーイー テクノロジーズ, インコーポレイテッド
(74)【代理人】
【識別番号】100078282
【弁理士】
【氏名又は名称】山本 秀策
(74)【代理人】
【識別番号】100113413
【弁理士】
【氏名又は名称】森下 夏樹
(74)【代理人】
【識別番号】100181674
【弁理士】
【氏名又は名称】飯田 貴敏
(74)【代理人】
【識別番号】100181641
【弁理士】
【氏名又は名称】石川 大輔
(74)【代理人】
【識別番号】230113332
【弁護士】
【氏名又は名称】山本 健策
(72)【発明者】
【氏名】マーシャル, ダニエル スコット
【審査官】 山本 元彦
(56)【参考文献】
【文献】 特公昭42−007492(JP,B1)
【文献】 米国特許第05051804(US,A)
【文献】 米国特許第03496024(US,A)
【文献】 特開昭47−021087(JP,A)
【文献】 特開昭61−013673(JP,A)
【文献】 米国特許出願公開第2010/0096003(US,A1)
【文献】 米国特許出願公開第2011/0287578(US,A1)
(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
H01L 31/00−31/20
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
磁気分極光子素子であって、
第1の表面および前記第1の表面と反対の第2の表面を有する、基板であって、前記第1の表面および前記第2の表面は、3次元座標系におけるx−y平面に対して略平行である、基板と、
z軸に平行な第1の方向に延在する第1の厚さ、第3の表面、前記第3の表面と反対の第4の表面、第5の表面、第6の表面、前記第5の表面と反対の第7の表面、および前記第6の表面と反対の第8の表面を有する、消滅層であって、前記消滅層の第3および第4の表面は、前記x−y平面に対して略平行であり、前記消滅層の第5および第7の表面は、x−z平面に対して略平行であり、前記x−z平面は、前記x−y平面に直交し、前記消滅層の第6および第8の表面は、y−z平面に対して略平行であり、前記y−z平面は、前記x−y平面およびx−z平面に直交し、前記第5、第6、第7、および第8の表面は、前記第3および第4の表面に略垂直であり、その間に位置付けられ、前記第5および第7の表面は、前記第6および第8の表面に略垂直であり、前記消滅層の第4の表面は、前記基板の第1の表面上に配置される、消滅層と、
第2の厚さおよび前記z軸に平行な前記第1の方向に延在する勾配を有し、第9の表面、前記第9の表面と反対の第10の表面、第11の表面、第12の表面、前記第11の表面と反対の第13の表面、および前記第12の表面と反対の第14の表面を有する、勾配付きバンドギャップ層であって、前記勾配付きバンドギャップ層の第9および第10の表面は、前記x−y平面に対して略平行であり、前記第11のおよび第13の表面は、前記x−z平面に対して略平行であり、前記第12および第14の表面は、前記y−z平面に対して略平行であり、前記第11、第12、第13、および第14の表面は、前記第9および第10の表面に略垂直であり、その間に位置付けられ、前記第11および第13の表面は、前記第12および第14の表面に略垂直であり、その間に位置付けられ、前記勾配付きバンドギャップ層の第10の表面は、前記消滅層の第3の表面上に配置され、これにより、前記勾配付きバンドギャップ層および前記消滅層を前記z軸に平行な前記第1の方向に積層する、勾配付きバンドギャップ層と、
y軸に平行な第2の方向に延在する厚さ方向を有する第3の厚さを有し、前記厚さ方向に略直交する第15の表面および第16の表面を有する、第1の接点であって、前記第15の表面および第16の表面は、前記x−z平面に対して略平行であり、前記第1の接点の前記第16の表面は、前記消滅層の第5の表面および前記勾配付きバンドギャップ層の前記第11の表面の少なくとも一部に電気的に結合される、第1の接点と、
前記y軸に平行な前記第2の方向に延在する厚さ方向を有する第4の厚さを有し、前記厚さ方向に略直交する第17の表面および第18の表面を有する、第2の接点であって、前記第17の表面および第18の表面は、前記x−z平面に対して略平行であり、前記第2の接点の前記第17の表面は、前記消滅層の第7の表面および前記勾配付きバンドギャップ層の前記第13の表面の少なくとも一部に電気的に結合される、第2の接点と、
を備え、
前記消滅層は、複数の光子が前記勾配付きバンドギャップ層に衝打するときに発生する自由電子および自由正孔を収集および再結合するように構成された材料の層を備え、前記消滅層は、前記勾配付きバンドギャップ層の勾配付きバンドギャップのバンドギャップ値よりも低い低下していくバンドギャップ値を有する勾配付きバンドギャップを有し、
x軸に平行かつ前記勾配付きバンドギャップ層における勾配の前記方向に略直交する第3の方向に延在する磁場線を有する磁場が前記勾配付きバンドギャップ層および前記消滅層に印加されると、電流が、前記第1の接点と前記第2の接点との間で、前記y軸に平行かつ前記磁場線および前記勾配付きバンドギャップ層における勾配の前記方向に略直交する前記第2の方向に流れる、磁気分極光子素子。
【請求項2】
前記基板は、半導体材料から作製される、請求項1に記載の磁気分極光子素子。
【請求項3】
前記基板は、絶縁材料から作製される、請求項1に記載の磁気分極光子素子。
【請求項4】
前記消滅層は、テルル化カドミウム水銀(HgCdTe)、セレン化カドミウム水銀(HgCdSe)、テルル化水銀(HgTe)、アンチモン化インジウム(InSb)、テルル化カドミウム(CdTe)、セレン化水銀(HgSe)、ヒ化インジウム(InAs)、アンチモン化アルミニウムガリウム(AlGaSb)、アンチモン化ヒ化インジウム(InAsSb)、セレン化カドミウム水銀(HgCdSe)、セレン化テルル化カドミウム亜鉛(CdZnSeTe)、およびテルル化カドミウムマンガン(CdMnTe)、アンチモン化テルル化亜鉛ガリウム(ZnGaSbTe)、アンチモン化テルル化亜鉛アルミニウム(ZnAlSbTe)、アンチモン化ガリウム(GaSb)、テルル化亜鉛(ZnTe)、アンチモン化アルミニウム(AlSb)、テルル化マンガン(MnTe)、ガリウムヒ素(GaAs)、ならびにそれらの組み合わせおよび混合物から成る群から作製される、請求項1に記載の磁気分極光子素子。
【請求項5】
前記勾配付きバンドギャップ層は、テルル化カドミウム水銀(HgCdTe)、セレン化カドミウム水銀(HgCdSe)、テルル化水銀(HgTe)、アンチモン化インジウム(InSb)、テルル化カドミウム(CdTe)、セレン化水銀(HgSe)、ヒ化インジウム(InAs)、アンチモン化アルミニウムガリウム(AlGaSb)、アンチモン化ヒ化インジウム(InAsSb)、セレン化カドミウム水銀(HgCdSe)、セレン化テルル化カドミウム亜鉛(CdZnSeTe)、およびテルル化カドミウムマンガン(CdMnTe)、アンチモン化テルル化亜鉛ガリウム(ZnGaSbTe)、アンチモン化テルル化亜鉛アルミニウム(ZnAlSbTe)、アンチモン化ガリウム(GaSb)、テルル化亜鉛(ZnTe)、アンチモン化アルミニウム(AlSb)、テルル化マンガン(MnTe)、ガリウムヒ素(GaAs)、ならびにそれらの組み合わせおよび混合物から成る群から作製される、請求項1に記載の磁気分極光子素子。
【請求項6】
前記消滅層の前記勾配付きバンドギャップは、バンドギャップ値8.0eV〜0.0eVを有する、請求項1に記載の磁気分極光子素子。
【請求項7】
前記勾配付きバンドギャップ層の前記勾配付きバンドギャップは、バンドギャップ値8.0eV〜0.0eVを有する、請求項1に記載の磁気分極光子素子。
【請求項8】
前記消滅層は、勾配付きバンドギャップを有するように作製される、請求項1に記載の磁気分極光子素子。
【請求項9】
前記消滅層は、欠陥を含む、請求項1に記載の磁気分極光子素子。
【請求項10】
欠陥をさらに含む、請求項8に記載の磁気分極光子素子。
【請求項11】
前記勾配付きバンドギャップ層にわたって配置される層をさらに含む、請求項1に記載の磁気分極光子素子。
【請求項12】
前記勾配付きバンドギャップ層にわたって配置される前記層は、光の波長のフィルタである、請求項11に記載の磁気分極光子素子。
【請求項13】
前記勾配付きバンドギャップ層にわたって配置される前記層は、保護コーティングである、請求項11に記載の磁気分極光子素子。
【請求項14】
前記勾配付きバンドギャップ層にわたって配置される前記層は、レンズである、請求項11に記載の磁気分極光子素子。
【請求項15】
前記勾配付きバンドギャップ層は、第1の部分および第2の部分を有し、最大バンドギャップ値を伴って配列される第1の部分は、前記第9の表面を中心として配置され、バンドギャップ値は前記第2の部分へと低下し、前記第2の部分は、前記第1の部分からのバンドギャップ値の低下を伴い、前記勾配付きバンドギャップ層の第10の表面に最小バンドギャップ値を伴って配列され、前記第2の部分におけるバンドギャップ値の低下割合は、前記第1の部分におけるものより大きい、請求項7に記載の磁気分極光子素子。
【請求項16】
前記勾配付きバンドギャップ層は、厚さを含み、前記厚さは、0.1ミクロン〜50.0ミクロンである、請求項11に記載の磁気分極光子素子。
【請求項17】
前記勾配付きバンドギャップ層の厚さは、厚さ5.0ミクロン〜30.0ミクロンを有する、請求項16に記載の磁気分極光子素子。
【請求項18】
前記勾配付きバンドギャップ層の厚さは、厚さ10.0ミクロン〜20.0ミクロンを有する、請求項16に記載の磁気分極光子素子。
【請求項19】
複数の磁場線を有する磁場であって、少なくとも1つの磁場線は、前記勾配付きバンドギャップ層の第12の表面を通して入射する、磁場をさらに備える、請求項1に記載の磁気分極光子素子。
【請求項20】
少なくとも1つの磁場線は、前記勾配付きバンドギャップ層の第14の表面を通して射出する、請求項19に記載の磁気分極光子素子。
【請求項21】
少なくとも1つの磁場線は、前記消滅層の第6の表面を通して入射する、請求項19に記載の磁気分極光子素子。
【請求項22】
少なくとも1つの磁場線は、前記消滅層の第8の表面を通して射出する、請求項19に記載の磁気分極光子素子。
【請求項23】
前記磁場は、0.1テスラ〜50.0テスラの範囲である、請求項19に記載の磁気分極光子素子。
【請求項24】
前記磁場は、0.5テスラ〜10.0テスラの範囲である、請求項23に記載の磁気分極光子素子。
【請求項25】
磁気分極光子素子であって、
z軸に平行な第1の方向に延在する第1の厚さを有し、第1の表面、前記第1の表面と反対の第2の表面、第3の表面、第4の表面、前記第3の表面と反対の第5の表面、および前記第4の表面と反対の第6の表面を有する、消滅層であって、前記第1の表面および前記第2の表面は、3次元座標系におけるx−y平面に対して略平行であり、前記第3の表面および前記第5の表面は、x−z平面に対して略平行であり、前記x−z平面は、前記x−y平面に直交し、前記第4の表面および前記第6の表面は、y−z平面に対して略平行であり、前記y−z平面は、前記x−y平面およびx−z平面に直交し、前記第3、第4、第5、および第6の表面は、前記第1および第2の表面に垂直であり、その間に位置付けられ、前記第3および第5の表面は、前記第4および第6の表面に垂直であり、その間に位置付けられ、前記消滅層は、z軸に平行な第1の方向に延在するバンドギャップ値勾配を有する材料の層を備え、前記材料の層は、複数の光子が前記消滅層に衝打するときに発生する自由電子および自由正孔を収集および再結合するように構成されている、消滅層と、
y軸に平行な第2の方向に延在する厚さ方向を有する第2の厚さを有し、第7の表面、前記第7の表面と反対の第8の表面、第9の表面、第10の表面、前記第9の表面と反対の第11の表面、および前記第10の表面と反対の第12の表面を有する、第1の接点であって、前記第7の表面および前記第8の表面は、前記x−y平面に対して略平行であり、前記第9の表面および前記第11の表面は、前記x−z平面に対して略平行であり、前記厚さ方向に略直交し、前記第10の表面および前記第12の表面は、前記y−z平面に対して略平行であり、前記第9、第10、第11、および第12の表面は、前記第7および第8の表面に略垂直であり、その間に位置付けられ、前記第9および第11の表面は、前記第10および第12の表面に略垂直であり、その間に位置付けられ、前記第1の接点の前記第11の表面は、前記消滅層の前記第3の表面に電気的に結合される、第1の接点と、
y軸に平行な第2の方向に延在する厚さ方向を有する第3の厚さを有し、第13の表面、前記第13の表面と反対の第14の表面、第15の表面、第16の表面、前記第15の表面と反対の第17の表面、および前記第16の表面と反対の第18の表面を有する、第2の接点であって、前記第13の表面および前記第14の表面は、前記x−y平面に対して略平行であり、前記第15の表面および前記第17の表面は、前記x−z平面に対して略平行であり、前記厚さ方向に略直交し、前記第16の表面および前記第18の表面は、前記y−z平面に対して略平行であり、前記第15、第16、第17、および第18の表面は、前記第13および第14の表面に略垂直であり、その間に位置付けられ、前記第16および第18の表面は、前記第15および第17の表面に略垂直であり、その間に位置付けられ、前記第2の接点の前記第15の表面は、前記消滅層の前記第5の表面に電気的に結合され、前記第1および第2の接点は、実質的に、相互に対向して位置している、第2の接点と、
を備え、
前記消滅層は、前記消滅層にわたって配置された勾配付きバンドギャップ層の勾配付きバンドギャップのバンドギャップ値よりも低い低下していくバンドギャップ値を有する勾配付きバンドギャップを有し、
勾配の前記方向およびx軸に平行な第2の方向に延在する方向に直交する磁場線を有する磁場が前記消滅層に印加されると、電流が、前記第1の接点と前記第2の接点との間で、y軸に平行な第3の方向に流れる、磁気分極光子素子。
【請求項26】
磁気分極光子素子であって、
第1の表面および前記第1の表面と反対の第2の表面を有する、基板であって、前記第1の表面および前記第2の表面は、3次元座標系におけるx−y平面に対して略平行である、基板と、
第1の厚さおよびz軸に平行な第1の方向に延在する勾配、第3の表面、前記第3の表面と反対の第4の表面、第5の表面、第6の表面、前記第5の表面と反対の第7の表面、および前記第6の表面と反対の第8の表面を有する、勾配付きバンドギャップ層であって、前記勾配付きバンドギャップ層の第3および第4の表面は、前記x−y平面に対して略平行であり、前記勾配付きバンドギャップ層の前記第5および第7の表面は、x−z平面に対して略平行であり、前記x−z平面は、前記x−y平面に直交し、前記勾配付きバンドギャップ層の第6および第8の表面は、y−z平面に対して略平行であり、前記y−z平面は、前記x−y平面およびx−z平面に直交し、前記第5、第6、第7および第8の表面は、前記第3および第4の表面に略垂直であり、その間に位置付けられ、前記第5および第7の表面は、前記第6および第8の表面に略垂直であり、前記勾配付きバンドギャップ層の第4の表面は、前記基板の第1の表面上に配置される、勾配付きバンドギャップ層と、
第2の厚さを有し、第9の表面、前記第9の表面と反対の第10の表面、第11の表面、第12の表面、前記第11の表面と反対の第13の表面、および前記第12の表面と反対の第14の表面を有する、消滅層であって、前記消滅層の第9および第10の表面は、前記x−y平面に対して略平行であり、前記第11のおよび第13の表面は、前記x−z平面に対して略平行であり、前記第12および第14の表面は、前記y−z平面に対して略平行であり、前記第11、第12、第13、および第14の表面は、前記第9および第10の表面に略垂直であり、その間に位置付けられ、前記第11および第13の表面は、前記第12および第14の表面に略垂直であり、その間に位置付けられ、前記消滅層の第10の表面は、前記勾配付きバンドギャップ層の第3の表面上に配置され、これにより、前記勾配付きバンドギャップ層および前記消滅層を前記z軸に平行な前記第1の方向に積層し、材料の層が、複数の光子が前記消滅層に衝打するときに発生する自由電子および自由正孔を収集および再結合するように構成されている、消滅層と、
y軸に平行な第2の方向に延在する厚さ方向を有する第3の厚さを有し、前記厚さ方向に略直交する第15の表面および第16の表面を有する、第1の接点であって、前記第15の表面および第16の表面は、前記x−z平面に対して略平行であり、前記第1の接点の前記第16の表面は、前記勾配付きバンドギャップ層の第5の表面の少なくとも一部に電気的に結合される、第1の接点と、
前記y軸に平行な前記第2の方向に延在する厚さ方向を有する第4の厚さを有し、前記厚さ方向に略直交する第17の表面および第18の表面を有する、第2の接点であって、前記第17の表面および第18の表面は、前記x−z平面に対して略平行であり、前記第2の接点の前記第17の表面は、前記勾配付きバンドギャップ層の第7の表面の少なくとも一部に電気的に結合される、第2の接点と、
を備え、
前記消滅層は、前記勾配付きバンドギャップ層の勾配付きバンドギャップのバンドギャップ値よりも低い低下していくバンドギャップ値を有する勾配付きバンドギャップを有し、
x軸に平行かつ前記勾配付きバンドギャップ層における勾配の前記方向に略直交する第3の方向に延在する磁場線を有する磁場が前記勾配付きバンドギャップ層および前記消滅層に印加されると、電流が、前記第1の接点と前記第2の接点との間で、前記y軸に平行かつ前記磁場線および前記勾配付きバンドギャップ層における勾配の前記方向に略直交する前記第2の方向に流れる、磁気分極光子素子。
【請求項27】
前記基板は、半導体材料から作製される、請求項26に記載の磁気分極光子素子。
【請求項28】
前記基板は、絶縁材料から作製される、請求項26に記載の磁気分極光子素子。
【請求項29】
前記勾配付きバンドギャップ層は、テルル化カドミウム水銀(HgCdTe)、セレン化カドミウム水銀(HgCdSe)、テルル化水銀(HgTe)、アンチモン化インジウム(InSb)、テルル化カドミウム(CdTe)、セレン化水銀(HgSe)、ヒ化インジウム(InAs)、アンチモン化アルミニウムガリウム(AlGaSb)、アンチモン化ヒ化インジウム(InAsSb)、セレン化カドミウム水銀(HgCdSe)、セレン化テルル化カドミウム亜鉛(CdZnSeTe)、およびテルル化カドミウムマンガン(CdMnTe)、アンチモン化テルル化亜鉛ガリウム(ZnGaSbTe)、アンチモン化テルル化亜鉛アルミニウム(ZnAlSbTe)、アンチモン化ガリウム(GaSb)、テルル化亜鉛(ZnTe)、アンチモン化アルミニウム(AlSb)、テルル化マンガン(MnTe)、ガリウムヒ素(GaAs)、ならびにそれらの組み合わせおよび混合物から成る群から作製される、請求項26に記載の磁気分極光子素子。
【請求項30】
前記消滅層は、テルル化カドミウム水銀(HgCdTe)、セレン化カドミウム水銀(HgCdSe)、テルル化水銀(HgTe)、アンチモン化インジウム(InSb)、テルル化カドミウム(CdTe)、セレン化水銀(HgSe)、ヒ化インジウム(InAs)、アンチモン化アルミニウムガリウム(AlGaSb)、アンチモン化ヒ化インジウム(InAsSb)、セレン化カドミウム水銀(HgCdSe)、セレン化テルル化カドミウム亜鉛(CdZnSeTe)、およびテルル化カドミウムマンガン(CdMnTe)、アンチモン化テルル化亜鉛ガリウム(ZnGaSbTe)、アンチモン化テルル化亜鉛アルミニウム(ZnAlSbTe)、アンチモン化ガリウム(GaSb)、テルル化亜鉛(ZnTe)、アンチモン化アルミニウム(AlSb)、テルル化マンガン(MnTe)、ガリウムヒ素(GaAs)、ならびにそれらの組み合わせおよび混合物から成る群から作製される、請求項26に記載の磁気分極光子素子。
【請求項31】
前記基板にわたって配置される層をさらに含む、請求項26に記載の磁気分極光子素子。
【請求項32】
前記印加される磁場は、複数の磁場線を有し、少なくとも1つの磁場線は、前記消滅層の第12の表面を通して入射する、磁場をさらに備える、請求項26に記載の磁気分極光子素子。
【請求項33】
少なくとも1つの磁場線は、前記消滅層の第14の表面を通して射出する、請求項32に記載の磁気分極光子素子。
【請求項34】
少なくとも1つの磁場線は、前記勾配付きバンドギャップ層の第6の表面を通して入射する、請求項32に記載の磁気分極光子素子。
【請求項35】
磁気分極光子素子内の電荷を捕捉するための方法であって、前記素子は、
z軸に平行な第1の方向に延在する第1の厚さを有し、第1の表面、前記第1の表面と反対の第2の表面、第3の表面、第4の表面、前記第3の表面と反対の第5の表面、前記第4の表面と反対の第6の表面、および、3次元座標系におけるz軸に平行な第1の方向におけるバンドギャップ勾配力を有する、勾配付きバンドギャップ層であって、前記第1の表面および前記第2の表面は、x−y平面に対して略平行であり、前記第3の表面および前記第5の表面は、x−z平面に対して略平行であり、前記x−z平面は、前記x−y平面に直交し、前記第4の表面および前記第6の表面は、y−z平面に対して略平行であり、前記y−z平面は、前記x−y平面およびx−z平面に直交し、前記第3、4、5および第6の表面は、第1および第2の表面に略垂直であり、その間に位置付けられ、前記第3および第5の表面は、前記第4および第6の表面に略垂直であり、その間に位置付けられ、前記勾配付きバンドギャップ層は、複数の材料を有し、各材料は、特定のバンドギャップエネルギー(eV)を有し、前記複数の材料は、その間に位置する最大から最小へと動的に配列され、最大バンドギャップ値は、前記第1の表面を中心として位置し、最小バンドギャップ値は、前記第2の表面を中心として位置する、勾配付きバンドギャップ層と、
前記z軸に平行な第1の方向に延在する第2の厚さ、第3の表面、前記第3の表面と反対の第4の表面、第5の表面、第6の表面、前記第5の表面と反対の第7の表面、および前記第6の表面と反対の第8の表面を有する、消滅層であって、前記消滅層の第3および第4の表面は、前記x−y平面に対して略平行であり、前記消滅層の第5および第7の表面は、x−z平面に対して略平行であり、前記x−z平面は、前記x−y平面に直交し、前記消滅層の第6および第8の表面は、y−z平面に対して略平行であり、前記y−z平面は、前記x−y平面およびx−z平面に直交し、前記第5、第6、第7、および第8の表面は、前記第3および第4の表面に略垂直であり、その間に位置付けられ、前記第5および第7の表面は、前記第6および第8の表面に略垂直であり、前記消滅層の第4の表面は、前記基板の第1の表面上に配置される、消滅層と、
y軸に平行な第2の方向に延在する厚さ方向を有する第3の厚さを有し、前記x−z平面に略平行かつ前記厚さ方向に略直交する第7の表面および第8の表面を有する、第1の接点であって、前記第1の接点の前記8の表面は、前記勾配付きバンドギャップ層の第3の表面上に配置され、かつ前記第3の表面に電気的に結合される、第1の接点と、
前記y軸に平行な前記第2の方向に延在する厚さ方向を有する第4の厚さを有し、前記前記x−z平面に略平行かつ前記厚さ方向に略直交する第9の表面および第10の表面を有する、第2の接点であって、前記第2の接点の前記第9の表面は、前記勾配付きバンドギャップ層の第5の表面上に配置され、かつ前記第5の表面に電気的に結合される、第2の接点と
を備え、
前記消滅層は、前記勾配付きバンドギャップ層の勾配付きバンドギャップのバンドギャップ値よりも低い低下していくバンドギャップ値を有する勾配付きバンドギャップを有し、
前記方法は、
前記勾配付きバンドギャップ層に、x軸に平行な第2の方向に延在する複数の磁気線を有する磁場を適用することであって、少なくとも1つの磁場線は、前記勾配付きバンドギャップ層の第4の表面を通過する、ことと、
前記勾配付きバンドギャップ層の前記第1の表面を光子源からの光子に暴露し、前記光子の光子エネルギーを電圧および電流に変換することであって、光子は、前記勾配付きバンドギャップ層によって吸収され、自由電子および自由正孔を発生させ、前記自由電子および自由正孔は、前記バンドギャップ勾配力によって、前記勾配付きバンドギャップ層の第2の表面の方に引っ張られ、同時に、前記自由電子および自由正孔は、前記磁場によって作用され、前記自由電子およびその関連付けられた電荷を前記第1の接点に移動させ、前記自由正孔およびその関連付けられた電荷を前記第2の接点に移動させる、ことと
前記消滅層に到達するが前記第1および第2の接点に到達しない自由電子および自由正孔を収集および再結合することと
を含む、方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、概して、エネルギー生成、光子感知、および磁気分極光子素子に関し、より具体的には、磁気分極光子素子およびそれを作製するための方法に関する。
【背景技術】
【0002】
過去数年にわたって、再生可能かつ持続可能なエネルギー資源への関心が高まり、多くのエネルギー資源の研究および開発に拍車をかけている。特に、実質的研究および開発は、太陽光エネルギーおよびその発生に集中している。概して、Bell Laboratoriesによって1958年に最初に開発された従来の太陽電池は、拡散型シリコンp−n接合が使用されている。これらの従来の拡散型シリコンp−n接合素子の効率は、過去数十年にわたって改良されたが、最良の従来の拡散型シリコンp−n接合素子は、23%を超えていない。過去数年にわたるこれらの従来の拡散型シリコンp−n接合素子の効率は、確実に改良されているが、拡散型シリコンp−n接合素子によって達成され得る効率に根本的限界があることは明白である。また、従来の太陽電池を作製するために使用されるシリコンウエハのコストは、高いままであって、従来の太陽電池のコストを代替技術と比較して非競合的にする。
【0003】
1976年頃の従来の多重接合太陽光素子の導入は、過去数十年にわたって改良されたものより有意に優れた効率を示し、最大約43.0%の効率を達成した。これは、従来の拡散型シリコンp−n接合素子より有意に優れているが、多重接合太陽光素子は、依然として、いくつかの用途には、効率的ではない。より重要なこととして、従来の拡散型シリコンp−n接合素子および従来の多重接合太陽光素子の両方の効率は、少なくとも、過去10年の間、プラトー状態に到達しているため、近い将来、有意に優れた効率が、従来の素子から生み出され得るとは考えにくい。
【0004】
従来の拡散型シリコンp−n接合素子および多重接合太陽光素子は両方とも、いくつかの共通問題を共有する。但し、ある場合には、各タイプの素子は、その独自のいくつかの特定の問題を有する。問題または不利点の1つは、両方のタイプの従来の素子が、離散素子として構築されていることである。例えば、バンドギャップ1.1eVを有するように構築される、従来の拡散型シリコンp−n接合素子は、事実上、1.1eVエネルギーを有する光を捕捉するであろう。1.1eVエネルギーバンドギャップを下回る光のいかなるエネルギーも、捕捉されない。また、1.1eVエネルギーバンドギャップを上回る光のいかなるエネルギーも、廃棄され、生成のために利用されない。より具体的には、1.2eV光子を吸収する、1.1eVバンドギャップ太陽電池は、事実上、1.2eV光子エネルギーの1.1eVを変換し、0.1eVの差分を廃棄するであろう。同様に、2.2eV光子を吸収する、1.1eVバンドギャップ太陽電池は、事実上、2.2eV光子エネルギーの1.1eVを変換し、光子エネルギーの付加的1.1eVを廃棄するであろう。これと同一の原理は、所与のエネルギーバンドギャップの任意の単一接合素子にも該当する。本影響に加え、シリコンは、概して、排他的ではないが、直接バンドギャップ材料であるIII/V材料とは対照的に、間接バンドギャップ材料として周知である。間接バンドギャップ材料を用いて作製される太陽光素子はさらに、その材料バンドギャップ以上のエネルギーを伴う光子を完全に吸収することができないため、エネルギーを廃棄する。
【0005】
従来の複数の接合素子もまた、離散素子である。しかしながら、従来の複数の接合素子は、典型的には、III/V材料およびゲルマニウム基板を使用して構築されるため、複数の接合素子が、相互の上部に垂直に積層され、それによって、シリコン基板の使用によって可能にされない、エネルギーバンドギャップの垂直積層を可能にすることができる。しかしながら、前述のように、接合のバンドギャップが、1.1eVエネルギー光子を捕捉するように加工および構築される場合、接合は、事実上、1.1eVエネルギー光子を捕捉するが、より低い他のエネルギー光子を捕捉せず、1.1eVを上回る光子エネルギーを廃棄するであろう。他のエネルギー光子を効率的に捕捉するために、他のバンドギャップ接合が、基板上に構築および積層される。典型的には、これらの他の接合は、1.5eVエネルギーバンドギャップ、1.2eVエネルギーバンドギャップ、および0.8eVエネルギーバンドギャップのために調整され、それによって、1.5eVを上回るエネルギーを有する光子を1.5eV素子内で捕捉し、1.2eV〜1.5eVのエネルギーを有する光子を1.2eV素子内に捕捉し、0.8eV〜1.2eVのエネルギーを有する光子を0.8eV素子内に捕捉可能な三重接合素子を与える。しかしながら、0.8eV未満のエネルギーレベルを有する光子は、全く捕捉されず、廃棄され、使用されない。また、前述のように、吸収される接合のエネルギーバンドギャップを上回る各光子の付加的エネルギーもまた、廃棄される。実施例として、1.2eVバンドギャップ接合内に吸収される1.4eV光子は、廃棄物として、直ちに、そのエネルギーの0.2eVを損失し、エネルギーの残りの1.2eVのみ、事実上、変換される。複数の接合素子に特有の別の弱点は、素子内の電流が、隣接する積層された接合間の遷移において、従来のダイオード電流の流動と逆方向に進行するという要件である。これは、ダイオード構造が、電流を逆方向に搬送可能なトンネルダイオードとなるように、これらの遷移領域内の半導体材料を非常に高濃度のn−型およびp−型元素でドープすることによって遂行される。これらのトンネルダイオードは、電気の完全な導体ではなく、複数の接合素子に特有の損失機構を導入する。
【0006】
したがって、従来の拡散型シリコンp−n接合タイプの素子および多重接合太陽光タイプの素子は両方とも、その基本設計に固有の問題を有するため、その中に捉えられた全光子を捕捉し、自由電子および自由正孔に変換することが不可能であるという、根本的問題を設計に有することが分かる。本質的に、素子を作製するために使用される材料およびこれらの素子が加工および設計される方法を原因とする、固有の非効率問題がある。
【0007】
両タイプの太陽光素子、すなわち、従来の多重接合太陽電池および従来の拡散型シリコンp−n接合タイプの素子は、高濃度数の光子または光子の強度の増加がいずれかの素子タイプの受容表面にもたらされるとき、より効率的である。しかしながら、これもまた、高濃度光子が、光子を素子自体の上に集中させるインフラストラクチャを加工することを要求するため、問題となる。本インフラストラクチャは、加工、材料、設計、および精度を要求する。これらは全て、太陽光素子を作製し、市場に実装する複雑性およびコストを増加させる。さらに、別の問題は、光子が、雲量または影等によって遮蔽されるとき、完全に停止しないまでも、効率が、著しく減少されることである。
【0008】
多重接合素子に関する別の問題は、光子を捕捉し、使用可能自由電子および自由正孔に変換する機会を増加させるように、素子内に無数の接合を投入することが不可能なことである。さらに、太陽光素子を任意の厚さに作製することは、不可能である。実際の接合の外側の太陽光素子の厚さは、約1拡散長を有し、拡散長は、電荷キャリアが再結合事象を有する前に、電荷キャリアが、電場を伴わずに、ある体積の結晶格子内を進行することができる、経路の概算長である。拡散長は、概して、使用される半導体材料、半導体材料のドーピング、半導体材料の完全性に依存する。概して、全係数に対して完全に最適な設定条件は存在しない。条件は、特定の用途のためにケース毎に選択される。しかしながら、ドーピングを介して自由電子の数を減少させる場合、抵抗は、増加し、ドーピングを介して自由電子の数を増加させる場合、抵抗は、低下するが、拡散長は、短縮されるということがトレードオフの平衡であると言えるであろう。したがって、従来の太陽光素子では、係数の理想的設定に到達することができないが、むしろ、最良の性能が目の前にある半導体材料および環境に与えられるように、完全性能を与えないが、係数が妥協される素子をもたらす、設定および/または係数の妥協に到達する。
【0009】
故に、従来の太陽光素子の設計および製造は、いくつかの固有の問題を有し、その全ては、従来の太陽光素子が市場におけるその真の潜在性ならびに物理学の期待を達成することを阻む。根本的設計限界、根本的材料限界、および製造限界のため、従来の太陽光素子を製造するコストは、高い。製造、材料、および固有の根本的問題は、従来の太陽電池の性能を著しく制限し、かつシステム構築上の設計の柔軟性を低下させる。太陽光素子の向上した最適化、設計、効率、および性能増加ならびに構築上の設計の柔軟性を可能にするために、新しい太陽光アーキテクチャおよび設計が、必要とされる。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【0010】
概略すると、種々の代表的側面では、本発明は、勾配付きバンドギャップを使用する磁気分極光子素子を提供する。磁気分極光子素子は、第1、第2、第3、および第4の表面を有する。第1および第2の表面は、略平行であって、第3および第4の表面は、第3および第4の表面と略平行であって、第1の表面に略垂直である。第5および第6の表面を伴う第1の接点要素は、半導体素子の第4の表面に電気的に結合され、第2の接点要素は、第7の表面および第8の表面を有し、第2の接点は、半導体素子の第3の表面に電気的に結合される。
【0011】
本発明の付加的利点は、以下の発明を実施するための形態に記載され、発明を実施するための形態から明白となり得る、または本発明の例示的実施形態の実践によって習得され得る。本発明のさらに他の利点は、特に、請求項に指摘される、器具類、方法、または組み合わせのいずれかを用いて実現されてもよい。
本発明は、例えば、以下を提供する。
(項目1)
磁気分極光子素子であって、
第1の表面、第2の表面、第3の表面、第4の表面、第5の表面、および第6の表面を有する、勾配付きバンドギャップ材料であって、前記第1の表面および前記第2の表面は、略平行であって、前記第3の表面および前記第5の表面は、略平行であって、前記第4の表面および前記第6の表面は、略平行であって、前記第3、第4、第5、および第6の表面は、前記第1および第2の表面に垂直であって、その間に位置付けられ、前記第3および第5の表面は、前記第4および第6の表面に垂直であって、その間に位置付けられ、前記勾配付きバンドギャップ材料は、より大きいバンドギャップ値が前記第1の表面から延在し、前記第2の表面に向かって進行するにつれてバンドギャップ値が減少する、バンドギャップ値を有する、勾配付きバンドギャップ材料と、
第7の表面、第8の表面、第9の表面、第10の表面、第11の表面、および第12の表面を有する、第1の接点であって、前記第7の表面および前記第8の表面は、略平行であって、前記第9の表面および前記第11の表面は、略平行であって、前記第10の表面および前記第12の表面は、略平行であって、前記第9、第10、第11、および第12の表面は、前記第7および第8の表面に略垂直であって、その間に位置付けられ、前記第9および第11の表面は、前記第10および第12の表面に略垂直であって、その間に位置付けられ、前記第1の接点は、前記勾配付きバンドギャップ材料に電気的に結合される、第1の接点と、
第13の表面、第14の表面、第15の表面、第16の表面、第17の表面、および第18の表面を有する、第2の接点であって、前記第13の表面および前記第14の表面は、略平行であって、前記第15の表面および前記第17の表面は、略平行であって、前記第16の表面および前記第18の表面は、略平行であって、前記第15、第16、第17、および第18の表面は、前記第13および第14の表面に略垂直であって、その間に位置付けられ、前記第16および第18の表面は、前記第15および第17の表面に略垂直であって、その間に位置付けられ、前記第2の接点は、前記勾配付きバンドギャップ材料に電気的に結合され、前記第1および第2の接点は、実質的に、相互に対向して位置している、第2の接点と、
を備える、磁気分極光子素子。
(項目2)
前記勾配付きバンドギャップ材料は、テルル化カドミウム水銀(HgCdTe)、セレン化カドミウム水銀(HgCdSe)、テルル化水銀(HgTe)、アンチモン化インジウム(InSb)、テルル化カドミウム(CdTe)、セレン化水銀(HgSe)、ヒ化インジウム(InAs)、アンチモン化アルミニウムガリウム(AlGaSb)、アンチモン化ヒ化インジウム(InAsSb)、セレン化カドミウム水銀(HgCdSe)、セレン化テルル化カドミウム亜鉛(CdZnSeTe)、およびテルル化カドミウムマンガン(CdMnTe)、アンチモン化テルル化亜鉛ガリウム(ZnGaSbTe)、アンチモン化テルル化亜鉛アルミニウム(ZnAlSbTe)、アンチモン化ガリウム(GaSb)、テルル化亜鉛(ZnTe)、アンチモン化アルミニウム(AlSb)、テルル化マンガン(MnTe)、ガリウムヒ素(GaAs)、ならびにそれらの組み合わせおよび混合物から成る群から作製される、項目1に記載の磁気分極光子素子。
(項目3)
前記勾配付きバンドギャップ材料は、バンドギャップ値8.0eV〜0.0eVを有する、項目1に記載の磁気分極光子素子。
(項目4)
勾配付きバンドギャップ層にわたって配置される層をさらに備える、項目1に記載の磁気分極光子素子。
(項目5)
前記層は、光の波長のフィルタを含む、項目4に記載の磁気分極光子素子。
(項目6)
前記層は、保護コーティングを含む、項目4に記載の磁気分極光子素子。
(項目7)
前記層は、レンズを含む、項目4に記載の磁気分極光子素子。
(項目8)
前記層は、光子素子を含む、項目4に記載の磁気分極光子素子。
(項目9)
前記層は、光の選択的波長の反射体を含む、項目4に記載の磁気分極光子素子。
(項目10)
前記層は、反射防止層を含む、項目4に記載の磁気分極光子素子。
(項目11)
前記第1の接点の第11の表面は、前記勾配付きバンドギャップ材料の第3の表面に電気的に結合される、項目1に記載の磁気分極光子素子。
(項目12)
前記第2の接点の第15の表面は、前記勾配付きバンドギャップ材料の第5の表面に電気的に結合される、項目1に記載の磁気分極光子素子。
(項目13)
前記勾配付きバンドギャップ材料は、第1の部分および第2の部分を有するように作製され、前記第1の部分は、前記第1の表面を中心とする最大バンドギャップ値を伴って配置され、前記バンドギャップ値は、前記第2の部分へと若干勾配し、前記第2の部分は、前記第2の表面に、前記バンドギャップエネルギーが著しく低下した最小バンドギャップ値を伴って配列される、項目3に記載の磁気分極光子素子。
(項目14)
前記勾配付きバンドギャップ材料は、厚さを含み、前記厚さは、0.1ミクロン〜50.0ミクロンである、項目1に記載の磁気分極光子素子。
(項目15)
前記勾配付きバンドギャップ材料の厚さは、厚さ5.0ミクロン〜30.0ミクロンを有する、項目14に記載の磁気分極光子素子。
(項目16)
前記勾配付きバンドギャップ材料の厚さは、厚さ10.0ミクロン〜20.0ミクロンを有する、項目15に記載の磁気分極光子素子。
(項目17)
複数の磁場線を有する磁場であって、少なくとも1つの磁場線は、前記勾配付きバンドギャップ材料の第4の表面を通して入射する、磁場をさらに備える、項目1に記載の磁気分極光子素子。
(項目18)
前記少なくとも1つの磁場線は、前記勾配付きバンドギャップ材料の第6の表面を通して射出する、項目17に記載の磁気分極光子素子。
(項目19)
前記磁場は、0.1テスラ〜50.0テスラの範囲である、項目17に記載の磁気分極光子素子。
(項目20)
前記磁場は、0.5テスラ〜10.0テスラの範囲である、項目19に記載の磁気分極光子素子。
(項目21)
磁気分極光子素子であって、
第1の表面および第2の表面を有する、基板であって、前記第1の表面および前記第2の表面は、略平行である、基板と、
第1の厚さ、第3の表面、第4の表面、第5の表面、第6の表面、第7の表面、および第8の表面を有する、消滅層であって、前記消滅層の第3および第4の表面は、略平行であって、前記消滅層の第5および第7の表面は、略平行であって、前記消滅層の第6および第8の表面は、略平行であって、前記第5、第6、第7、および第8の表面は、前記第3および第4の表面に略垂直であって、その間に位置付けられ、前記第5および第7の表面は、前記第6および第8の表面に略垂直であって、前記消滅層の第4の表面は、半導体基板の第1の表面上に配置される、消滅層と、
第2の厚さを有し、第9の表面、および第10の表面、第11の表面、第12の表面、第13の表面、および第14の表面を有する、勾配付きバンドギャップ層であって、前記勾配付きバンドギャップ層の第9および第10の表面は、相互に略平行であって、前記第11のおよび第13の表面は、略平行であって、前記第12および第14の表面は、略平行であって、前記第11、第12、第13、および第14の表面は、前記第9および第10の表面に略垂直であって、その間に位置付けられ、前記第11および第13の表面は、前記第12および第14の表面に略垂直であって、その間に位置付けられ、前記勾配付きバンドギャップ層の第10の表面は、前記消滅層の第3の表面上に配置される、勾配付きバンドギャップ層と、
第15の表面および第16の表面を有する、第1の接点であって、前記消滅層の第5の表面の少なくとも一部に電気的に結合される、第1の接点と、
第17の表面および第18の表面を有する、第2の接点であって、前記消滅層の第7の表面の少なくとも一部に電気的に結合される、第2の接点と、
を備える、磁気分極光子素子。
(項目22)
前記基板は、半導体材料から作製される、項目21に記載の磁気分極光子素子。
(項目23)
前記基板は、絶縁材料から作製される、項目21に記載の磁気分極光子素子。
(項目24)
前記消滅層は、テルル化カドミウム水銀(HgCdTe)、セレン化カドミウム水銀(HgCdSe)、テルル化水銀(HgTe)、アンチモン化インジウム(InSb)、テルル化カドミウム(CdTe)、セレン化水銀(HgSe)、ヒ化インジウム(InAs)、アンチモン化アルミニウムガリウム(AlGaSb)、アンチモン化ヒ化インジウム(InAsSb)、セレン化カドミウム水銀(HgCdSe)、セレン化テルル化カドミウム亜鉛(CdZnSeTe)、およびテルル化カドミウムマンガン(CdMnTe)、アンチモン化テルル化亜鉛ガリウム(ZnGaSbTe)、アンチモン化テルル化亜鉛アルミニウム(ZnAlSbTe)、アンチモン化ガリウム(GaSb)、テルル化亜鉛(ZnTe)、アンチモン化アルミニウム(AlSb)、テルル化マンガン(MnTe)、ガリウムヒ素(GaAs)、ならびにそれらの組み合わせおよび混合物から成る群から作製される、項目21に記載の磁気分極光子素子。
(項目25)
前記勾配付きバンドギャップ層は、テルル化カドミウム水銀(HgCdTe)、セレン化カドミウム水銀(HgCdSe)、テルル化水銀(HgTe)、アンチモン化インジウム(InSb)、テルル化カドミウム(CdTe)、セレン化水銀(HgSe)、ヒ化インジウム(InAs)、アンチモン化アルミニウムガリウム(AlGaSb)、アンチモン化ヒ化インジウム(InAsSb)、セレン化カドミウム水銀(HgCdSe)、セレン化テルル化カドミウム亜鉛(CdZnSeTe)、およびテルル化カドミウムマンガン(CdMnTe)、アンチモン化テルル化亜鉛ガリウム(ZnGaSbTe)、アンチモン化テルル化亜鉛アルミニウム(ZnAlSbTe)、アンチモン化ガリウム(GaSb)、テルル化亜鉛(ZnTe)、アンチモン化アルミニウム(AlSb)、テルル化マンガン(MnTe)、ガリウムヒ素(GaAs)、ならびにそれらの組み合わせおよび混合物から成る群から作製される、項目21に記載の磁気分極光子素子。
(項目26)
前記消滅層は、バンドギャップ値8.0eV〜0.0eVを有する、項目21に記載の磁気分極光子素子。
(項目27)
前記勾配付きバンドギャップ層は、バンドギャップ値8.0eV〜0.0eVを有する、項目21に記載の磁気分極光子素子。
(項目28)
前記消滅層は、勾配付きバンドギャップを有するように作製される、項目21に記載の磁気分極光子素子。
(項目29)
前記消滅層は、欠陥を含む、項目21に記載の磁気分極光子素子。
(項目30)
欠陥をさらに含む、項目28に記載の磁気分極光子素子。
(項目31)
前記勾配付きバンドギャップ層にわたって配置される層をさらに含む、項目21に記載の磁気分極光子素子。
(項目32)
前記層は、光の波長のフィルタである、項目31に記載の磁気分極光子素子。
(項目33)
前記層は、保護コーティングである、項目31に記載の磁気分極光子素子。
(項目34)
前記層は、レンズである、項目31に記載の磁気分極光子素子。
(項目35)
前記第1の接点の第16の表面は、前記勾配付きバンドギャップ層の第5の表面に電気的に結合される、項目21に記載の磁気分極光子素子。
(項目36)
前記第1の接点の第16の表面は、前記勾配付きバンドギャップ層の第5の表面上に配置される、項目35に記載の磁気分極光子素子。
(項目37)
前記第2の接点の第17の表面は、前記勾配付きバンドギャップ層の第7の表面に電気的に結合される、項目21に記載の磁気分極光子素子。
(項目38)
前記第2の接点の第17の表面は、前記勾配付きバンドギャップ層の第7の表面上に配置される、項目37に記載の磁気分極光子素子。
(項目39)
前記勾配付きバンドギャップ層は、第1の部分および第2の部分を有するように作製され、最大バンドギャップ値を伴って配列される第1の部分は、前記第3の表面を中心として配置され、バンドギャップ値は前記第2の部分へと徐々に低下し、前記第2の部分は、前記勾配付きバンドギャップ層の第4の表面に最小バンドギャップ値を伴って配列され、前記第2の部分におけるバンドギャップ値の低下は、急速である、項目27に記載の磁気分極光子素子。
(項目40)
前記勾配付きバンドギャップ層は、厚さを含み、前記厚さは、0.1ミクロン〜50.0ミクロンである、項目21に記載の磁気分極光子素子。
(項目41)
前記勾配付きバンドギャップ層の厚さは、厚さ10.0ミクロン〜20.0ミクロンを有する、項目40に記載の磁気分極光子素子。
(項目42)
前記勾配付きバンドギャップ層の厚さは、厚さ10.0ミクロン〜20.0ミクロンを有する、項目40に記載の磁気分極光子素子。
(項目43)
複数の磁場線を有する磁場であって、少なくとも1つの磁場線は、前記勾配付きバンドギャップ層の第12の表面を通して入射する、磁場をさらに備える、項目21に記載の磁気分極光子素子。
(項目44)
少なくとも1つの磁場線は、前記勾配付きバンドギャップ層の第14の表面を通して射出する、項目43に記載の磁気分極光子素子。
(項目45)
少なくとも1つの磁場線は、前記消滅層の第6の表面を通して入射する、項目43に記載の磁気分極光子素子。
(項目46)
少なくとも1つの磁場線は、前記消滅層の第8の表面を通して射出する、項目43に記載の磁気分極光子素子。
(項目47)
前記磁場は、0.1テスラ〜50.0テスラの範囲である、項目43に記載の磁気分極光子素子。
(項目48)
前記磁場は、0.5テスラ〜10.0テスラの範囲である、項目47に記載の磁気分極光子素子。
(項目49)
磁気分極光子素子であって、
第1の表面、第2の表面、第3の表面、第4の表面、第5の表面、および第6の表面を有する、消滅材料であって、前記第1の表面および前記第2の表面は、略平行であって、前記第3の表面および前記第5の表面は、略平行であって、前記第4の表面および前記第6の表面は、略平行であって、前記第3、第4、第5、および第6の表面は、前記第1および第2の表面に垂直であって、その間に位置付けられ、前記第3および第5の表面は、前記第4および第6の表面に垂直であって、その間に位置付けられ、前記消滅材料は、少なくとも1つのバンドギャップ値を有する、消滅材料と、
第7の表面、第8の表面、第9の表面、第10の表面、第11の表面、および第12の表面を有する、第1の接点であって、前記第7の表面および前記第8の表面は、略平行であって、前記第9の表面および前記第11の表面は、略平行であって、前記第10の表面および前記第12の表面は、略平行であって、前記第9、第10、第11、および第12の表面は、前記第7および第8の表面に略垂直であって、その間に位置付けられ、前記第9および第11の表面は、前記第10および第12の表面に略垂直であって、その間に位置付けられ、前記第1の接点は、前記消滅材料に電気的に結合される、第1の接点と、
第13の表面、第14の表面、第15の表面、第16の表面、第17の表面、および第18の表面を有する、第2の接点であって、前記第13の表面および前記第14の表面は、略平行であって、前記第15の表面および前記第17の表面は、略平行であって、前記第16の表面および前記第18の表面は、略平行であって、前記第15、第16、第17、および第18の表面は、前記第13および第14の表面に略垂直であって、その間に位置付けられ、前記第16および第18の表面は、前記第15および第17の表面に略垂直であって、その間に位置付けられ、前記第2の接点は、前記消滅材料に電気的に結合され、前記第1および第2の接点は、実質的に、相互に対向して位置している、第2の接点と、
を備える、磁気分極光子素子。
(項目50)
前記消滅材料は、テルル化カドミウム水銀(HgCdTe)、セレン化カドミウム水銀(HgCdSe)、テルル化水銀(HgTe)、アンチモン化インジウム(InSb)、テルル化カドミウム(CdTe)、セレン化水銀(HgSe)、ヒ化インジウム(InAs)、アンチモン化アルミニウムガリウム(AlGaSb)、アンチモン化ヒ化インジウム(InAsSb)、セレン化カドミウム水銀(HgCdSe)、セレン化テルル化カドミウム亜鉛(CdZnSeTe)、およびテルル化カドミウムマンガン(CdMnTe)、アンチモン化テルル化亜鉛ガリウム(ZnGaSbTe)、アンチモン化テルル化亜鉛アルミニウム(ZnAlSbTe)、アンチモン化ガリウム(GaSb)、テルル化亜鉛(ZnTe)、アンチモン化アルミニウム(AlSb)、テルル化マンガン(MnTe)、ガリウムヒ素(GaAs)、ならびにそれらの組み合わせおよび混合物から成る群から作製される、項目49に記載の磁気分極光子素子。
(項目51)
前記消滅材料は、バンドギャップ値8.0eV〜0.0eVを有する、項目49に記載の磁気分極光子素子。
(項目52)
前記消滅材料は、前記第1の表面を中心として最大バンドギャップ材料を有し、前記第2の表面を中心として最小バンドギャップを有するように勾配が付けられる、バンドギャップ値を有する、項目49に記載の磁気分極光子素子。
(項目52)
前記消滅材料にわたって配置される層をさらに備える、項目49に記載の磁気分極光子素子。
(項目53)
前記勾配付きバンドギャップ材料は、第1の部分および第2の部分を有するように作製され、前記第1の部分は、前記第1の表面を中心とする最大バンドギャップ値を伴って配置され、前記バンドギャップ値は、前記第2の部分へと若干勾配し、前記第2の部分は、前記第2の表面に、前記バンドギャップエネルギーが著しく低下する、最小バンドギャップ値を伴って配列される、項目51に記載の磁気分極光子素子。
(項目54)
磁気分極光子素子であって、
第1の表面および第2の表面を有する、基板であって、前記第1の表面および前記第2の表面は、略平行である、基板と、
第1の厚さ、第3の表面、第4の表面、第5の表面、第6の表面、第7の表面、および第8の表面を有する、勾配付きバンドギャップ層であって、前記勾配付きバンドギャップ層の第3および第4の表面は、略平行であって、前記勾配付きバンドギャップ層の前記第5および第7の表面は、略平行であって、前記勾配付きバンドギャップ層の第6および第8の表面は、略平行であって、前記第5、第6、第7および第8の表面は、前記第3および第4の表面に略垂直であって、その間に位置付けられ、前記第5および第7の表面は、前記第6および第8の表面に略垂直であって、前記勾配付きバンドギャップ層の第4の表面は、前記半導体基板の第1の表面上に配置される、勾配付きバンドギャップ層と、
第2の厚さを有し、第9の表面、および第10の表面、第11の表面、第12の表面、第13の表面、および第14の表面を有する、消滅層であって、前記消滅層の第9および第10の表面は、相互に略平行であって、前記第11のおよび第13の表面は、略平行であって、前記第12および第14の表面は、略平行であって、前記第11、第12、第13、および第14の表面は、前記第9および第10の表面に略垂直であって、その間に位置付けられ、前記第11および第13の表面は、前記第12および第14の表面に略垂直であって、その間に位置付けられ、前記消滅層の第10の表面は、前記勾配付きバンドギャップ層の第3の表面上に配置される、消滅層と、
第15の表面および第16の表面を有する、第1の接点であって、前記勾配付きバンドギャップ層の第5の表面の少なくとも一部に電気的に結合される、第1の接点と、
第17の表面および第18の表面を有する、第2の接点であって、前記勾配付きバンドギャップ層の第7の表面の少なくとも一部に電気的に結合される第2の接点と、
を備える、磁気分極光子素子。
(項目55)
前記基板は、半導体材料から作製される、項目54に記載の磁気分極光子素子。
(項目56)
前記基板は、絶縁材料から作製される、項目54に記載の磁気分極光子素子。
(項目57)
前記勾配付きバンドギャップ層は、テルル化カドミウム水銀(HgCdTe)、セレン化カドミウム水銀(HgCdSe)、テルル化水銀(HgTe)、アンチモン化インジウム(InSb)、テルル化カドミウム(CdTe)、セレン化水銀(HgSe)、ヒ化インジウム(InAs)、アンチモン化アルミニウムガリウム(AlGaSb)、アンチモン化ヒ化インジウム(InAsSb)、セレン化カドミウム水銀(HgCdSe)、セレン化テルル化カドミウム亜鉛(CdZnSeTe)、およびテルル化カドミウムマンガン(CdMnTe)、アンチモン化テルル化亜鉛ガリウム(ZnGaSbTe)、アンチモン化テルル化亜鉛アルミニウム(ZnAlSbTe)、アンチモン化ガリウム(GaSb)、テルル化亜鉛(ZnTe)、アンチモン化アルミニウム(AlSb)、テルル化マンガン(MnTe)、ガリウムヒ素(GaAs)、ならびにそれらの組み合わせおよび混合物から成る群から作製される、項目54に記載の磁気分極光子素子。
(項目58)
前記消滅層は、テルル化カドミウム水銀(HgCdTe)、セレン化カドミウム水銀(HgCdSe)、テルル化水銀(HgTe)、アンチモン化インジウム(InSb)、テルル化カドミウム(CdTe)、セレン化水銀(HgSe)、ヒ化インジウム(InAs)、アンチモン化アルミニウムガリウム(AlGaSb)、アンチモン化ヒ化インジウム(InAsSb)、セレン化カドミウム水銀(HgCdSe)、セレン化テルル化カドミウム亜鉛(CdZnSeTe)、およびテルル化カドミウムマンガン(CdMnTe)、アンチモン化テルル化亜鉛ガリウム(ZnGaSbTe)、アンチモン化テルル化亜鉛アルミニウム(ZnAlSbTe)、アンチモン化ガリウム(GaSb)、テルル化亜鉛(ZnTe)、アンチモン化アルミニウム(AlSb)、テルル化マンガン(MnTe)、ガリウムヒ素(GaAs)、ならびにそれらの組み合わせおよび混合物から成る群から作製される、項目54に記載の磁気分極光子素子。
(項目59)
前記基板にわたって配置される層をさらに含む、項目54に記載の磁気分極光子素子。
(項目60)
複数の磁場線を有する磁場であって、少なくとも1つの磁場線は、前記消滅層の第12の表面を通して入射する、磁場をさらに備える、項目54に記載の磁気分極光子素子。
(項目61)
少なくとも1つの磁場線は、前記消滅層の第14の表面を通して射出する、項目60に記載の磁気分極光子素子。
(項目62)
少なくとも1つの磁場線は、前記勾配付きバンドギャップ層の第6の表面を通して入射する、項目60に記載の磁気分極光子素子。
(項目63)
磁気分極光子素子内の電荷を捕捉するための方法であって、
第1の表面、第2の表面、第3の表面、第4の表面、およびバンドギャップ勾配力を有する、勾配付きバンドギャップ層を提供するステップであって、前記第1の表面および前記第2の表面は、略平行であって、前記第3の表面および第5の表面は、略平行であって、前記第2の表面および第6の表面は、第1の表面に略垂直であって、前記勾配付きバンドギャップ層は、複数の材料を有し、各材料は、特定のバンドギャップエネルギー(eV)を有し、前記複数の材料は、動的に配列され、最大バンドギャップ材料は、前記第1の表面を中心として位置し、最小バンドギャップ材料は、前記第2の表面を中心として位置し、前記複数の材料はそれぞれ、その間に最大から最小へと動的に位置する、その独自のバンドギャップエネルギー(eV)を有する、ステップと、
前記勾配付きバンドギャップ層の第4の表面上に位置し、かつそこに電気的に結合される、第1の接点を提供するステップと、
前記勾配付きバンドギャップ層の第3の表面上に位置し、かつそこに電気的に結合される、第2の接点を提供するステップと、
前記勾配付きバンドギャップ層を複数の磁気線を有する磁場の中に配置するステップであって、磁場線の少なくとも一部は、前記勾配付きバンドギャップ層の第4の表面を通して通過する(射出する必要がある?)、ステップと、
前記勾配付きバンドギャップ層の前記第1の表面を光子源に暴露するステップであって、光子は、前記勾配付きバンドギャップ材料によって吸収され、続いて、自由電子および自由正孔に分割され、前記自由電子および自由正孔は、前記バンドギャップ勾配力によって、前記勾配付きバンドギャップ層の第2の表面に引っ張られ、同時に、前記自由電子および自由正孔は、前記磁場によって作用され、前記自由電子およびその関連付けられた電荷を前記第1の接点に移動させ、前記自由正孔およびその関連付けられた電荷を前記第2の接点に移動させる、ステップと、
を含む、方法。
【図面の簡単な説明】
【0012】
本発明の代表的要素、動作特徴、用途、および/または利点は、とりわけ、本明細書の一部を形成する付随の図面(同一番号は、全体を通して同一部品を指す)を参照して、以下により完全に描写、説明、および請求されるような構造および動作の詳細に帰する。他の要素、動作特徴、用途、および/または利点は、発明を実施するための形態に列挙されるある例示的実施形態に照らして、当業者に明白となるであろう。
図1図1は、磁気分極光子素子を通して延在する磁場線を伴う、磁気分極光子素子の非常に拡大され、簡略化された断面斜視図である。
図2図2は、種々の半導体材料のエネルギーバンドギャップ(eV)、格子パラメータ(ナノメートル)、および波長(ナノメートル)の非常に簡略化されたグラフである。
図3図3は、材料組成物集合のエネルギーバンドギャップ(eV)、格子パラメータ(ナノメートル)、および波長(ナノメートル)の非常に簡略化されたグラフである。
図4図4は、光子源ならびに自由電子および自由正孔の形成をさらに含む、概して、図1に描写されるような、磁気分極光子素子の非常に拡大され、簡略化された斜視図である。
図5図5は、自由電子および自由正孔の形成を含む、概して、図1および4に描写されるような、光子源をさらに含む、磁気分極光子素子の非常に拡大され、簡略化された斜視反転図である。
図6図6は、磁気分極光子素子の勾配付きバンドギャップ内の自由電子および自由正孔の移動を図示する、概して、図1、4、および5に描写されるような、磁気分極光子素子の非常に拡大され、簡略化された斜視図である。
図7図7は、磁気分極光子素子の電荷捕捉および発生を図示する、概して、図1、4、5、6に描写されるような、磁気分極光子素子の非常に拡大され、簡略化された斜視図である。
図8図8は、磁気分極光子素子の簡略化された断面図を伴う、バンドギャップ図の非常に拡大され、簡略化された概略図である。
【発明を実施するための形態】
【0013】
当業者は、図中の要素が、図示される便宜上および明確にするために、必ずしも、正確な縮尺で描かれていないことを理解するであろう。例えば、図中の要素のいくつかの寸法は、本発明の種々の実施形態の理解を深めるのに役立てるために、他の要素に対して誇張され得る。さらに、本明細書における用語「第1」、「第2」、および同等物は、該当する場合、とりわけ、類似要素間を区別するために使用され、必ずしも、連続的または時系列の順序を説明するものではない。さらに、説明および/または請求項における用語「正面」、「背面」、「上面」、「底面」、「上」、「下」、および同等物は、該当する場合、概して、説明目的のために採用され、必ずしも、排他的相対的位置を包括的に説明するためではない。当業者は、したがって、そのように使用される前述の用語のいずれも、本明細書に説明される本発明の種々の実施形態が、例えば、明示的に図示または別様に説明されるもの以外の他の方向性においても動作可能であり得るように、適切な状況下において交換されてもよいことを理解するであろう。
【0014】
以下の説明は、本発明の例示的実施形態および最良の形態の発明者らの概念であって、本発明の範囲、可用性、または構成をいかようにも限定することを意図するものではない。むしろ、以下の説明は、本発明の種々の実施形態を実装するための便宜的例証を提供することが意図される。明白となるであろうように、変更が、本発明の精神および範囲から逸脱することなく、開示される例示的実施形態に説明される要素のいずれかの機能および/または配列に行われてもよい。
【0015】
以下に説明される本発明の実施形態の詳細を述べる前に、いくつかの用語が、定義および/または明確化される。
【0016】
用語「欠陥」は、材料の結晶格子構造の何らかの中断または変化を意味するように意図される。一例にすぎないが、限定ではないが、点欠陥、線欠陥、含有、および平面欠陥等、結晶材料に見出され得る、いくつかの異なる種類の欠陥が存在する。典型的には、これらの欠陥は、立方センチメートルあたりの欠陥の観点から計数および考慮され得る。
【0017】
用語「バンドギャップ」は、電子状態が存在し得ない半導体材料内のエネルギー範囲を意味するように意図される。バンドギャップは、概して、価電子帯の上限と伝導帯の下限との間のエネルギー差を指す。典型的には、本エネルギー差は、約1.0eV〜2.0eVであるが、約0.0eV〜約8.0eVであることもできる。大バンドギャップを伴う材料は、絶縁体であって、より小さいバンドギャップを伴う材料は、半導体であって、非常に小さいまたは無バンドギャップを伴う材料は、導体または半金属であることを理解されたい。さらに、各材料は、その独自の特性バンドギャップおよびエネルギー帯構造を有する。
【0018】
用語「勾配付きバンドギャップ」は、材料のバンドギャップが、依然として、概して、材料の構造結晶性を維持しながら、動的に変化される、材料の構造を意味するように意図される。また、勾配付きバンドギャップは、バンドギャップが、約数ミクロンの距離にわたって、あるバンドギャップエネルギーから異なるバンドギャップエネルギーまで変化する、素子内ゾーンを指す。最高効率は、継続勾配付きバンドギャップから生じる可能性が高いであろうが、用語「勾配付きバンドギャップ」は、効率を低下させるが、依然として、自由電子および自由正孔を誘発し、より大きいバンドギャップを伴う領域からより小さいバンドギャップを伴う領域に向かって移動するように全体的に動作され得る、一定バンドギャップまたはバンドギャップ不連続の区分を含み得る、全バンドギャップ遷移ゾーンを含むように意図される。傾きが、減少され得る、すなわち、曲線が変化され得ると、勾配付きバンドギャップが徐々に変化し、バンドギャップエネルギーが、光子の大部分が吸収される距離を通して、ゆっくりと、約数%変化し得ることを理解されたい。勾配付きバンドギャップ値は、移動する。
【0019】
用語「格子パラメータ」は、結晶格子内の単位セル間の一定距離を意味するように意図される。概して、格子寸法は、3つの定数を有する(a、b、およびc、典型的には、ナノメートルで測定される)。しかしながら、材料の集合が、類似または同じ結晶構造を有するとき、単数が、原子間隔を表すために選定される。図3に示されるように、格子パラメータは、これらの材料が全て、類似結晶構造または単位セルを有するため、単数のみを使用して、格子構造を説明する。しかしながら、他の結晶構成および幾何学的パターンも同様に使用され得ることを理解されたい。
【0020】
用語「波長」は、任意の光子または光波の連続ピークまたは頂点間の距離を意味するように意図される。典型的には、波長は、図2に示されるように、ナノメートルで測定される。図2に識別される波長は、限定ではないが、太陽光、発光素子、発光ダイオード(LED)、または同等物等の任意の発光源から放出される、光の波長である。さらに、光の波長(光子)は、関係:E=hc/λによって、そのエネルギーに関連することを理解されたい(式中、Eは、エネルギーであって、hは、Plankの定数であって、cは、光速であって、λは、光の波長である)。
【0021】
用語「III−V」は、周期表の第3列目の略等量の元素(バロン、アルミニウム、ガリウム、インジウム、およびタリウム)と周期表の第5列目の元素(窒素、リン、ヒ素、アンチモン、およびビスマス)を組み合わせることによって形成される、半導体材料の集合を示すように意図される。半導体を形成するこれらの組み合わせとして、限定ではないが、ガリウムヒ素、アンチモン化インジウム、アンチモン化ガリウム、およびリン酸アルミニウム、および同等物が挙げられる。
【0022】
用語「II−VI」は、周期表の第2列目の略等量の元素(亜鉛、カドミウム、および水銀)と周期表の第6列目の元素(酸素、硫黄、セレン、およびテルル)を組み合わせることによって形成される、半導体材料の集合を示すように意図される。半導体を形成するためのこれらの組み合わせとして、限定ではないが、テルル化カドミウム、テルル化亜鉛、セレン化カドミウム、およびセレン化水銀、および同等物が挙げられる。マンガンおよびマグネシウムは、周期表の第II列目にはないが、我々は、好ましいバンドギャップおよび格子定数を伴う半導体を形成するためのセレンおよびテルルとのその相溶性のため、それらをII−VI材料集合に含める。
【0023】
図1は、長さ164および幅166および高さ168を有する、磁気分極光子素子100の非常に拡大され、簡略化された斜視図である。磁気分極光子素子100は、表面104および105を有する基板102と、表面108、109、110、111、112、および114を有する消滅層106と、それぞれ、表面118、119、120、121、122、および124と表面130、131、132、133、134、および136を有する接点116および128と、表面144、145、146、147、148、および150を有する勾配付きバンドギャップ層142とを含む。矢印157、158、160、161、および162によって示される個々に識別された磁場線を有する、複数の磁場線159によって示される磁場は、基板102を通して横断する磁場線157、勾配付きバンドギャップ層142を通して横断する磁場線160、消滅層106を通して横断する磁場線162、磁気分極光子素子100にわたって横断する磁場線158、および磁気分極光子素子100下を横断する磁場線161とともに示される。負荷176は、電気トレース188、186、178、180、182、および184によって、接点116および128に結合される。
【0024】
基板102は、表面104を有する任意の好適な材料から作製されることができる。典型的には、基板102は、限定ではないが、シリコン(Si)、アンチモン化ガリウム(GaSb)、ヒ化インジウム(InAs)、セレン化カドミウム(CdSe)、アンチモン化インジウム(InSb)、ガリウムヒ素(GaAs)、テルル化カドミウム水銀(HgCdTe)、セレン化カドミウム(CdSe)、イオン塩、金属酸化物、セラミック、ガラス、または同等物等、任意の好適な半導体材料または絶縁材料から作製される。概して、基板102は、電流の流動が阻害されるように十分に広いバンドギャップを有する材料を使用する。
【0025】
図1に示されるように、消滅層106は、基板102の表面104上に配置される。概して、消滅層106は、限定ではないが、テルル化カドミウム水銀(HgCdTe)、セレン化カドミウム水銀(HgCdSe)、アンチモン化ヒ化インジウム(InAsSb)、または同等物等、任意の好適な材料または材料の組み合わせから作製されることができる。さらに、消滅層106は、勾配付きバンドギャップ層142を作製するために使用される、同一の元素材料から作製されることができる。しかしながら、消滅層106は、高度な結晶欠陥性、誤配向、および/または不完全性を伴って作製され、それによって、図4、5、6、および7に示されるように、複数の光子404から発生され、本明細書に後述されるように、衝打し、続いて、勾配付きバンドギャップ層142内に自由電子および自由正孔を発生させる、自由電子および自由正孔の収集および再結合を促進することを理解されたい。
【0026】
典型的には、消滅層106は、基板102上に堆積される。消滅層106は、限定ではないが、エピタキシ、分子線エピタキシャル成長法(MBE)、化学ビームエピタキシ(CBE)、化学蒸着(CVD)、物理的化学堆積(PCD)、物理的蒸着(PVD)、または同等物等、任意の好適な方法または技法によって作製されることができる。前述の手段は、動的様式において、ある材料から別の材料に堆積される材料の組成物を変化させるように、堆積される材料の組成物を細かく変化させることが可能であることを理解されたい。高度な結晶欠陥性を伴う消滅層106の作製は、好適な方法または技法によって達成されることができる。典型的には、欠陥性は、反応材料の温度、圧力、ガス流量比率または同等物等のプロセスパラメータが、優れた結晶成長のために、若干、管理限界から外れるときに増加する。一例として、成長プロセスパラメータが優れた結晶成長のために設定された状態で、プロセス温度を最適管理限界より50%低く変化させると、概して、再結合部位として作用するために十分な不完全性および欠陥を有する、消滅層106を生成する。
【0027】
概して、欠陥性の測定は、限定ではないが、欠陥の光学的計数、X線回折測定値の測定、および/または光子誘発キャリア寿命の測定等、任意の好適な方法または技法によって達成されることができる。欠陥の光学的計数に関して、典型的には、測定される材料の表面は、欠陥を装飾し、欠陥が存在する穴を発生させる、エッチング溶液に曝される。光学方法を使用すると、結果は、単位面積あたりの欠陥密度として提示されるが、これは、立方センチメートルあたりの欠陥密度数に関連し得る。本素子のための欠陥性の最も正確な測定値は、光子誘発キャリア寿命である。本方法論における選好の理由は、光子誘発キャリア寿命方法が、消滅層106の具体的素子設計および意図される動作を考慮および含有するためである。
【0028】
概して、任意の好適な欠陥量が、使用されることができるが、欠陥は、用途特有であって、幾分、材料集合に応じて、可変であることを理解されたい。結晶欠陥および誤配向は、表面148に衝打し、勾配付きバンドギャップ層142において使用される材料と類似材料である、消滅層106に移動する、複数の光子404(図4に図示される)によって生成される、自由電子および自由正孔の再結合を補助する。典型的には、消滅層106は、限定ではないが、欠陥充填HgCdTe、HgCdSe、InAsSb、または同等物等、任意の好適な材料から作製されることができる。しかしながら、消滅層106のために使用される材料は、個別の帯から容易に自由電子および自由正孔を受け取る、すなわち、自由正孔を価電子帯から、自由電子を伝導帯から受け取り、自由正孔および自由電子の再結合を促す、材料であるべきである。
【0029】
消滅層106の厚さ107は、任意の好適な厚さ107に作製されることができる。消滅層106の厚さは、用途特有であって、広範な多様性を有し得ることを理解されたい。しかしながら、概して、消滅層106は、わずか0.5ミクロン〜5.0ミクロンの範囲である、好ましくは、0.8ミクロン〜1.2ミクロンの範囲である、単層〜10.0ミクロンの範囲であり得る、厚さ107を有することができる。
【0030】
また、消滅層106を作製するために使用される材料の選択に応じて、消滅層106は、自由電子および自由正孔が勾配付きバンドギャップ層142を通して通過した後、自由電子および自由正孔の再結合を促進するような方法で、バンドギャップエネルギーが、調整または構成され得るように、本明細書に後述されるように勾配が付けられることができる。
【0031】
図1に示されるように、勾配付きバンドギャップ層142は、消滅層106の表面112上に配置される。概して、勾配付きバンドギャップ層142は、限定ではないが、HgCdTe、HgCdSe、InAsSb、テルル化水銀(HgTe)、InSb、テルル化カドミウム(CdTe)、セレン化水銀(HgSe)、ヒ化インジウム(InAs)、またはアンチモン化アルミニウムガリウム(AlGaSb)、アンチモン化ヒ化インジウム(InAsSb)、HgCdSe、セレン化テルル化カドミウム亜鉛(CdZnSeTe)、テルル化カドミウムマンガン(CdMnTe)、および同等物等、類似格子パラメータおよび異なるバンドギャップエネルギー(eV)を有する、任意の好適な材料または材料の組み合わせから作製されることができる。
【0032】
図1および5に示されるように、層190は、限定ではないが、フィルタ、保護コーティング、レンズ、および同等物等のいくつかの目的を有し得る、磁気分極光子素子100にわたって配置されることができる。より具体的には、図1を参照すると、層190は、勾配付きバンドギャップ層142の表面148上に配置されることができ、図5では、層190は、勾配付きバンドギャップ層142の上方の基板501の表面504上に配置されることができる。基板102の表面104および105と基板501の表面504および505の選択は、関わる材料および素子の具体的設計に依存することを理解されたい。例えば、図5に示されるように、勾配付きバンドギャップ層142をある波長を有する光子と相互作用させることが所望されるとき、基板501は、その波長に対して透過性である必要がある。故に、層190は、他の波長を除外しながら、選択的に、ある波長を通過するように作製され、それによって、選択的フィルタを提供することができる。加えて、層190は、光子のある波長を勾配付きバンドギャップ層142の中に通過させ、光子の他の波長を反射させるように作製されることができることを理解されたい。さらに、層190は、種々の目的のために利用され得る、複数の層を有し得ることを理解されたい。層190は、限定ではないが、本明細書で論じられるもの等、当技術分野において周知の任意の好適な方法または技術によって、勾配付きバンドギャップ層142の上またはそれにわたって配置されることができる。加えて、ある場合には、層が、勾配付きバンドギャップ層142の上またはそれにわたってラミネートされることができる。
【0033】
選択される具体的用途、設計、および材料に応じて、層190は、限定ではないが、反射防止層、選択的ミラー、集束層、反射体、または同等物等、任意の好適な光子素子であることができる。
【0034】
ここで図1および2の両方を参照すると、図2は、種々の半導体材料のエネルギーバンドギャップ(eV)202、格子パラメータ(ナノメートル)204、および光子波長(ナノメートル)205の非常に簡略化されたグラフである(エネルギーバンドギャップ(eV)は、左Y軸上にあって、光子波長は、右Y軸上にあって、格子パラメータは、X軸上にある)。図2に示されるように、具体的半導体材料(数値的に識別されたドットとして表される)は、格子パラメータを表す、具体的数と関連付けられることができる。加えて、その具体的半導体材料は、バンドギャップエネルギー(eV)を表す、具体的数と関連付けられることができる。また、その具体的半導体材料は、光子がその具体的半導体材料によって吸収され得る、具体的光の波長と関連付けられることができる。
【0035】
明確にするために、利用可能な半導体材料の多くが、識別されていない。しかしながら、これらの材料および将来的材料が本発明によって検討されることは、当業者によって理解されるはずである。
【0036】
一例として、図2は、限定数の材料を図示し、206によって数値的に表されるドットは、テルル化水銀(HgTe)であって、210によって数値的に表されるドットは、アンチモン化インジウム(InSb)であって、212によって数値的に表されるドットは、テルル化カドミウム(CdTe)であって、214によって数値的に表されるドットはセレン化水銀(HgSe)であって、216によって数値的に表されるドットは、ヒ化インジウム(InAs)であって、218によって数値的に表されるドットは、アンチモン化ガリウム(GaSb)であって、220によって数値的に表されるドットは、アンチモン化アルミニウム(AlSb)であって、222によって数値的に表されるドットは、カドミウムセレン化(CdSe)であって、224によって数値的に表されるドットは、テルル化亜鉛(ZnTe)であって、226によって数値的に表されるドットは、テルル化マンガン(MnTe)であって、228によって数値的に表されるドットは、マンガンセレン化(MnSe)であって、230によって数値的に表されるドットは、硫化カドミウム(CdS)であって、232によって表されるドットは、リン化インジウム(InP)であって、234によって表されるドットは、セレン化亜鉛(ZnSe)であって、236によって表されるドットは、ガリウムヒ素(GaAs)であって、238によって表されるドットは、ゲルマニウム(Ge)であって、240によって表されるドットは、硫化亜鉛(ZnS)であって、242によって表されるドットは、リン化アルミニウム(AlP)であって、244によって表されるドットは、リン化ガリウム(GaP)であって、246によって表されるドットは、シリコン(Si)である。
【0037】
図2に示されるように、材料のいくつかの垂直パターンが、見られ得、種々の材料は、類似格子パラメータを有する。一例にすぎないが、材料HgSe214、InAs216、GaSb218、AlSb220、CdSb222、およびZnTe224は、格子パラメータ約またはおよそ0.61nmを有し、それによって、これらの異なる材料が、類似結晶格子構造を有し、これらの異なる材料のいくつかの潜在的積層および/または整合が相互に堆積され、小量の不完全性または欠陥を有することを可能にすることを示す。
【0038】
ここで図3を参照すると、図3は、格子パラメータ特性を維持しながら、バンドギャップを調節するための材料組成物の勾配を図示する、ある材料組成物集合のエネルギーバンドギャップ(eV)、格子パラメータ(ナノメートル)、および波長(ナノメートル)の非常に簡略化されたグラフである。一例にすぎないが、限定数の材料を使用すると、214によって数値的に表されるドットは、セレン化水銀(HgSe)であって、ドット222は、セレン化カドミウム(CdSe)であって、ドット224は、テルル化亜鉛(ZnTe)であって、ドット226は、テルル化マンガン(MnTe)であって、ドット228は、セレン化マンガン(MnSe)である。加えて、図3に見出される材料は、全含有リストであることを意図するものではないことを理解されたい。図3に示されるように、いくつかの材料は、垂直方向に非常に類似した格子パラメータを有する。
【0039】
一例にすぎないが、格子パラメータ約0.645ナノメートル(nm)を使用すると、材料の垂直群化は、0.647nm内およびその周囲にある。群化は、HgTe、InSb、およびCdTeを含む。さらに別の実施例では、格子パラメータ約0.610nmを使用すると、垂直群化は、0.610nm内およびその周囲にある。群化は、HgSe、InAs、GaSb、AlSb、CdSe、およびZnTeを含む。本明細書に記載されない他の垂直群化も、使用されることができることを理解されたい。
【0040】
図2または類似グラフを使用して、かつ材料を垂直群に群化することによって、材料集合が、勾配付きバンドギャップ層142を作製するために開発される。また、図2に示されるように、波長(nm)およびそれらの波長に対する対応するエネルギーバンドギャップが、示される。したがって、正しい材料選択を行うことによって、正しいバンドギャップを伴う材料の正しい群化が、自由電子および自由正孔(図4および5参照)が、捕捉され、接点116および128に駆動され得るように行われることができる。それに応じて、捕捉された自由電子および自由正孔は、有用作業のために、負荷176に印加されることができる。
【0041】
概して、勾配付きバンドギャップ層142は、垂直群化内で継続的に修正される材料組成物の層を成長させることによって発生されることができる。ある程度の柔軟性が、勾配付きバンドギャップ層142および消滅層106を作製するために使用される材料の選択に存在することは、当業者によって理解されるはずである。
【0042】
ここで図1、2、および3を参照すると、一例にすぎないが、勾配付きバンドギャップ層142は、ドット214および222によって示されるセレン系の材料内に、継続的に修正される材料組成物の層を成長させることによって発生されることができる。図3に示されるように、ドット214によって示されるHgSe214は、バンドギャップ約−0.1eVおよび格子パラメータ約0.61nmを有する。また、図3では、CdSe(222)は、バンドギャップ約1.7eVおよび格子パラメータ約0.61nmを有することが示される。中間バンドギャップ材料は、CdSeおよびHgSeを混合することによって生成されることができる。一例として、半カドミウムおよび半水銀(CdHgSe)を伴うセレン材料は、バンドギャップ約0.8eVおよび格子パラメータ約0.61nmを有し、図3においてドット395によって表される。同様に、90%CdSeおよび10%HgSe(CdHgSe)の混合物は、バンドギャップ約1.52eVを有し、図3においてドット394によって示される。同様に、ドット396は、CdHgSeを表し、バンドギャップ約0.44eVを有し、ドット397は、Cd25Hg75Seを表し、バンドギャップ約0.35eVを有し、ドット398は、Cd05Hg95Seを表し、バンドギャップ約0.19eVを有する。これらの材料組成物は全て、格子パラメータ約0.61nmを有する。
【0043】
例えば、勾配付きバンドギャップ層142は、最初に、5%カドミウムCd05Hg95Seの組成物を有し、カドミウムおよび水銀が反応し、格子パラメータ約0.61nmを伴う略完全な結晶材料を形成することができる、十分なセレンを維持しながら、成長の間、カドミウムの原子フラックスを増加させる一方、水銀の原子フラックスを減少させることによって、カドミウム含有量が100%(CdSe)まで継続的に増加する、一連の継続的に変化する組成物材料を成長させることによって生成されることができる。一例にすぎないが、本継続的に変化する組成物は、3つの前駆体ガス(1つの前駆体は、セレンを含有し、1つは、カドミウムを含有し、1つは、水銀を含有する)を使用する、化学蒸着機械内に勾配付きバンドギャップ層を成長させることによって遂行され得る。一例にすぎないが、5%カドミウム前駆体および95%水銀前駆体であるガス流を略完全な結晶成長を誘発するために十分なセレン前駆体を伴う成長面積の中に生成することによって、Cd05Hg95Seの層が、成長されることができる。次いで、カドミウム前駆体流を増加させる一方、水銀前駆体流を減少させる(これは、略完全な結晶成長のために十分なセレン前駆体を維持する)ことによって、成長層内のカドミウムの原子含有量は、継続的に増加するであろう一方、成長層内の水銀の原子含有量は、減少するであろう。カドミウム前駆体流が25%であって、水銀前駆体含有量が75%であるとき、勾配付きバンドギャップ層142の上部に成長する材料は、Cd25Hg75Seであって、図3においてドット397によって表されるであろう。成長が継続し、前駆体含有量が変化し続けるにつれて、成長は、いくつかの組成物396、395、および394を通して継続的に通過し、最終的に、水銀前駆体含有量がゼロ%になるとき、変化を停止し、組成物は、バンドギャップ約1.7eVを伴う、純CdSe(222)となるであろう。
【0044】
一例にすぎないが、勾配付きバンドギャップ層142を生成するプロセスは、CdSe(222)の含有量が減少するにつれて、増加量のZnTe(224)を含むように組成物を継続的に変化させることによって、より高いバンドギャップエネルギーに継続されることができる。これは、亜鉛およびテルルを含有する2つの付加的前駆体を使用することによって遂行され得る。中間組成物393は、略等量のZnTeおよびCdSeが、膜の中に組み込まれ、化学組成物Zn0.5Cd0.5Te0.5Se0.5を有し、バンドギャップ約20eVを有するときの点を表す。本組成物はさらに、バンドギャップ約2.2eVを伴う100%ZnTe(ドット224)および0%CdSeの点まで継続的に変化されることができる。
【0045】
本プロセスはさらに、MnSeTe0.5(ドット391)とZnTe(224)を混合することによって、より高いバンドギャップに継続されることができる。一例として、再び、本経路に沿った中間組成物は、ZnMnTe75Se25の組成物を伴うドット392である。本組成物は、(ZnTe)(MnSeTeとして、等分の組成物224および391から派生されることができる。
【0046】
本素子を作製するために使用され得る別の材料システムは、テルル化カドミウム水銀(HgCd(1−x)Te)である。テルル化カドミウム材料システムは、テルル化水銀とテルル化カドミウムの比率を改変することによって、バンドギャップが継続的に修正され得るという点において、以前のシステムに類似する。格子パラメータがより大きいという点において異なり、したがって、本システムは、概して、過剰欠陥を防止するために異なる基板上に成長されなければならないが、継続的に変動されると、テルル化水銀とテルル化カドミウムの分画含有量が、可変バンドギャップをもたらすという点において類似する。他のシステムも同様に識別および使用され得ることは、当業者によって理解されるはずである。
【0047】
本明細書に説明される本構造のバージョンの1つは、一次基板格子パラメータと異なり、かつ勾配付きバンドギャップの大部分の一次格子パラメータと異なる格子パラメータを有する、より小さいバンドギャップ材料の成長である。基板または部分的成長層上に、成長される新しい材料と異なる格子パラメータを有する、略完全結晶材料を成長させることが可能である。一例にすぎないが、反転構造(図5)では、勾配付きバンドギャップ層のより広いバンドギャップ部分は、AlSbから開始し、AlSbの代わりに、GaSbを増加させ、バンドギャップを減少させることによって、0.61nm格子パラメータを伴う材料の集合を使用して、III−V系内に成長されることができる。バンドギャップはさらに、InAsの含有量を増加させ、GaSbの含有量を低下させることによって、GaSbのものからInAsのものに勾配付き様式で減少されることができる。本遷移は、100%InAsまで継続することができる。さらに、バンドギャップは、III−V系では、0.61nm格子パラメータにおいて低下し、これは、公知の材料では不可能である。しかしながら、InAsのバンドギャップは、理想的消滅層のものより若干のみ大きいため、勾配付きバンドギャップ層の最終部分は、InAs層上に異なる格子パラメータを伴う材料を成長させることによって、不完全に作製されることができる。勾配付きバンドギャップ層の本新しい部分は、不完全であるため、同時に、勾配付きバンドギャップ層および消滅層の組み合わせとして作用するであろう。構造をこのように構築することからの性能の修正は、非常にわずかであるが、このように構築することは、より小さいバンドギャップおよび消滅層への完全な遷移を可能にしないであろう、勾配付きバンドギャップ層のバルクのための材料の使用を可能にする。また、消滅層は、一般に、キャリアの消滅が、キャリアを素子の底部へと付勢するバンドギャップ勾配と組み合わせられるように、勾配付きバンドギャップ層のより小さいバンドギャップ領域と組み合わせられることができることを理解されたい。
【0048】
非連続または中断または区画化として説明される勾配付きバンドギャップ層をもたらし得る、成長組成物中のわずかな中断は、素子の性能にほとんど影響を及ぼさず、また、約数ミクロンの距離にわたって、あるバンドギャップから別のバンドギャップへの遷移の我々の一般的説明によって網羅されることを理解されたい。また、厚さの関数として、バンドギャップの異なる変化率を含む構造も、本明細書に想定および請求される。厚さに伴うバンドギャップ変化率が、ギャップが吸収される(非常に厚い層を用いて、最も完全に遂行される)光のエネルギーと略等しい、勾配付きバンドギャップの領域内における実質的完全吸収と、流動に対する抵抗を減少させるための厚さおよびキャリアが構造内に生成される場所から消滅層に遷移するためにかかる時間の最小限化との間のトレードオフであることに留意することは重要である。概して、限定ではないが、勾配付きバンドギャップ層142、消滅層106、および同等物等の過剰に厚い層は、より完全に吸収するが、過剰な抵抗を有する一方、薄層は、最小抵抗を有するが、あまり完全には吸収しない。より完全に吸収するための若干の勾配を伴う1つの区分と、キャリアを消滅層に向かって加速させるためのより急勾配を伴う第2の区分との2つの区分に、勾配付きバンドギャップ層を生成することは有利であり得る。本構造変動は、光源が、若干の勾配を伴う層内で吸収され、次いで、急勾配を伴う第2の区分内の短距離にわたって加速され得る、光子エネルギーに対して限定された範囲を含有する状況において、性能を改善するであろう。
【0049】
加えて、光子は、消滅層内に吸収され、磁気分極光子素子の電力出力をさらに増加させることに寄与し得ることを理解されたい。
【0050】
図1を参照すると、消滅層106に関して前述のように、時として、勾配付きバンドギャップ層142のために選択された材料を検討し、消滅層106において使用するために、それらの同一の材料選択を利用することが有用である。本技法を利用して、材料集合を選択することによって、時として、依然として、消滅層106内に高欠陥密度を維持しながら、材料層全体を通して、結晶構造にかかる応力を減少させることが可能である。
【0051】
典型的には、勾配付きバンドギャップ層142は、エピタキシャルに堆積される材料である。エピタキシャルに堆積される材料は、結晶格子構造が形成されることを可能にする。堆積される層は、消滅層106を参照して前述のような任意の好適な方法または技法によって作製されることができる。堆積手段は、前述されているため、関連部分を除き、以下では繰り返される必要はないものとする。しかしながら、勾配付きバンドギャップ層142の堆積は、勾配付きバンドギャップ層142のために堆積される材料の結晶構造が重要であって、欠陥、不完全性、および同等物の数が、可能な限り少なくあるべきであるという点において、消滅層106のものと異なることを理解されたい。
【0052】
勾配付きバンドギャップ材料は、消滅層106上で厚さ143までエピタキシャルに堆積される。典型的には、同一の化学成分が使用されるように、消滅層106と類似または同一である、少量の材料が、エピタキシャルに堆積される。典型的には、勾配付きバンドギャップ層のための本初期材料は、わずか5.0ミクロン〜30.0ミクロンの厚さ、好ましくは、10.0ミクロン〜20.0ミクロンの厚さである、0.1ミクロン〜50.0ミクロンの厚さの範囲であり得る。前の材料が、依然として、堆積されたまま、格子整合された動的勾配付き材料を得るように、堆積のために使用される新しいガスが、反応チャンバにゆっくりと進入され、したがって、第2の新しい材料が、先行する動的勾配付き材料上にゆっくりと堆積される。典型的には、本第2の新しい材料は、わずか5.0ミクロン〜30.0ミクロンの範囲、好ましくは、10.0ミクロン〜20.0ミクロンの範囲の厚さである、0.1ミクロン〜50.0ミクロンの厚さの範囲である。本プロセスは、所望に応じて、または具体的用途に必要とされる限り、継続されることができる。堆積される材料が動的に堆積されることを可能にすることによって、かつ堆積のための正しい材料を選択することによって、動的に勾配付きバンドギャップ層142が、堆積されることが可能である。
【0053】
ここで図1を参照すると、表面118、120、122、および124を有する接点116と、表面130、132、134、および136を有する接点128とが、それぞれ、勾配付きバンドギャップ層142の表面146および150と、それぞれ、消滅層106の表面114および110との上に位置する。典型的には、接点116および128は、限定ではないが、単独で、組み合わせて、または磁気分極光子素子100の一部においてのいずれかによって、勾配付きバンドギャップ層142、消滅層106の端部192および194の表面146および150を共形化させること等、任意の好適な構成で作製されることができる。接点116および128は、それぞれ、厚さ189および191まで作製される。当技術分野における電気接点の典型的厚さに関しては、当業者によって把握されているはずである。典型的には、接点116および128は、勾配付きバンドギャップ層142の表面146および150と消滅層106の表面114および110とに共形化される。しかしながら、ある場合には、接点116および128は、図1に示される以外の形状を有することができることを理解されたい。一例にすぎないが、ある場合には、接点116および128は、サイズが異なることができ、接点116は、接点128より大きい表面積を有する。加えて、端部192および194の点線196および198によって示されるドーピング領域は、消滅層106および勾配付きバンドギャップ層142への電気伝導性を向上させるために使用されることができる。典型的には、ドーピング領域196および198は、任意の好適なドーパントでドープされる。接点116に向かって移動する自由電子には、N−型ドーパントが使用され得、接点128に向かって移動する自由正孔には、P−型ドーパントが使用され得る。当業者は、具体的材料組成物および素子タイプに対してドーピング濃度を判定することが可能であるはずである。
【0054】
加えて、勾配付きバンドギャップ層142を作製するものと同じ組成物の材料の平面は、ドーピング領域192によって画定される平面に対して約90度の角度である一方、従来の素子では、同じ組成物のこれらの平面は、ドーパントの平面に対して同一平面または平行のいずれかであることを理解されたい。接点116および128は、限定ではないが、金属、金属層の組み合わせ、合金、半導体材料、および/または前述の任意の組み合わせ等、任意の好適な伝導性または半導体材料から作製されることができる。
【0055】
磁場線157、158、160、161、および162によって表される複数の磁場線159は、磁気分極光子素子100を通して、かつその周囲を通過するように示される。より具体的には、図1は、磁場線159の方向を示し、磁場線158は、勾配付きバンドギャップ層142の上部上面にわたって通過し、磁場線160は、勾配付きバンドギャップ層142を通して通過し、磁場線162は、消滅層106を通して通過し、磁場線157は、基板102を通して通過し、磁場線161は、基板102下を通過する。磁場線159は、線157、158、160、161、および162によって表される力であることを理解されたい。磁場線159は、磁気分極光子素子100の断面表面に垂直であるように示されるが、磁場線159の配向は、それぞれ、要素172および174によって図示される、水平平面および垂直平面内に任意の好適な角度で設定されることができる。図4の説明において後述されるように、磁場方向は、バンドギャップ勾配力方向に直交に配向される。これは、最大素子効率のための配向であって、好適な水平角度172および垂直角度174の交差点に示されるが、本理想的配向からのわずかな変動は、理想的配向が提供するであろうものに若干のみ満たない性能をもたらすであろうことを理解されたい。バンドギャップ勾配の一意の特性は、自由電子をある方向に、および自由正孔を別の方向に引っ張る、電場(外部から印加されるか、または従来の太陽光素子のダイオード構造内で内部から発生されるかのいずれかである)とは対照的に、自由電子および自由正孔の両方を同一の方向に強制的に駆動させることである。
【0056】
磁場線159は、限定ではないが、棒磁石、希土類磁石、電磁石、超伝導電磁石、または同等物等、任意の好適な方法または技術によって発生されることができる。概して、磁場159は、0.1テスラ〜50.0テスラの範囲であることができ、公称値は、0.5テスラ〜10.0テスラの範囲である。
【0057】
図4は、概して、識別番号406、408、410、および412を有する例示的光子を伴う、複数の光子404を有する光子源402をさらに含む、図1に描写されるような磁気分極光子素子100の非常に拡大され、簡略化された斜視図である。図4に示されるように、光子源402は、磁気分極光子素子100の平坦表面148に向かって、複数の光子404を放出する。複数の光子404が、勾配付きバンドギャップ層142の表面148に衝打すると、複数の光子404のエネルギーの少なくとも一部は、勾配付きバンドギャップ層142を構成する結晶格子構造内の自由電子に伝達される。材料のタイプ、勾配付きバンドギャップ層142材料の構造、およびバンドギャップエネルギーに応じて、自由電子416、418、420、および422ならびに自由正孔425、428、430、および432として個々に識別される複数の自由電子414および複数の自由正孔424は、その結果、勾配付きバンドギャップ層142内で発生され、勾配付きバンドギャップ層142の結晶格子内で移動可能である。
【0058】
例えば、勾配付きバンドギャップ層142は、大エネルギーバンドギャップを有するバンドギャップ材料が、表面148の上またはそれを中心として位置し、連続してより小さいエネルギーバンドギャップを有する他のバンドギャップ材料が、最小エネルギーバンドギャップ材料が消滅層106の表面112の上またはそれを中心として位置して、エネルギーバンドギャップ層142を通して勾配が付けられるように配置される。一例として、勾配付きバンドギャップ層142は、2.5eV〜0.8eVのエネルギーバンドギャップを有し得、2.5eVバンドギャップ材料は、勾配付きバンドギャップ層142の上部の表面148またはその近傍に位置し、0.8eV材料は、消滅層106の表面112に近接して位置し、他の好適なバンドギャップ材料は、2.5eVと0.8eV材料との間で勾配が付けられる。加えて、光子406、408、410、および412は、それぞれ、光子エネルギー2.5eV、2.0eV、1.7eV、および0.8eVを有し得る。図4に示されるように、光子406は、表面148に衝打し、表面148の近傍で吸収される。勾配付きバンドギャップ層142の結晶格子構造の中への光子406の吸収は、自由電子422および自由正孔425を発生させ、結晶格子材料バンドギャップおよび光子406は、同一のエネルギー、この場合、2.5eVを有するため、自由電子422および自由正孔425は、ここで、消滅層106に向かって、勾配付きバンドギャップ層142の結晶格子構造内で移動可能となる。
【0059】
しかしながら、図6に示されるように、自由電子422および自由正孔425は、磁場159によって影響され、自由電子422は、矢印602によって示されるように、消滅層106に向かって移動するにつれて、接点116に向かって移動し、自由正孔425もまた、矢印610によって示されるように、消滅層106に向かって移動するにつれて、接点128に向かって移動する。
【0060】
図4に示されるように、光子408は、表面148に衝打し、勾配付きバンドギャップ層142の結晶格子材料構造によって吸収される。しかしながら、光子408は、光子408が、光子408と同一のエネルギーバンドギャップを有する勾配付きバンドギャップ層142内の材料によって吸収されるまで、勾配付きバンドギャップ層142を通して進行する。本特定の場合、光子408は、エネルギー2.0eVを有し、勾配付きバンドギャップ内の材料もまた、エネルギーバンドギャップ2.0eVを有する。光子408は、続いて、捕捉され、勾配付きバンドギャップ層142の結晶格子構造内で可動性を有する、自由電子420および自由正孔428を発生させる。しかしながら、自由電子422および自由正孔425を参照して前述のように、磁場159は、それぞれ、矢印604および612によって示されるように、自由電子420を接点116に向かって移動させ、自由正孔428を接点128に向かって移動させる。
【0061】
光子410は、表面148に衝打し、勾配付きバンドギャップ層142の結晶格子構造の材料の中に吸収される。しかしながら、光子410は、光子410が、光子410のエネルギーと同一のエネルギーバンドギャップを有する勾配付きバンドギャップ層142内のバンドギャップ材料によって吸収されるまで、勾配付きバンドギャップ層142の中に、光子408より遠くまで進行する。本特定の場合、光子410は、エネルギー1.7eVを有し、勾配付きバンドギャップ内の材料もまた、エネルギーバンドギャップ1.7eVを有する。光子410は、続いて、捕捉され、自由電子418および自由正孔430を発生させ、両方とも、勾配付きバンドギャップ層142の結晶格子構造の材料中で可動性を有する。しかしながら、自由電子420および422ならびに自由正孔425および428を参照して前述のように、磁場159は、それぞれ、矢印606および614によって示されるように、自由電子418を接点116に向かって移動させ、自由正孔430を接点128に向かって移動させる。
【0062】
光子412が、表面148に衝打すると、光子412は、勾配付きバンドギャップ層142の結晶格子構造の中にすぐに吸収されず、ある距離および時間の間、勾配付きバンドギャップ層142内を進行する。しかしながら、光子412は、光子412が、光子412のエネルギーと同一のエネルギーバンドギャップを有する勾配付きバンドギャップ層142内の材料によって吸収されるまで、勾配付きバンドギャップ層142を通して進行する。本特定の場合、光子412は、エネルギーバンドギャップ0.8eVを有し、勾配付きバンドギャップ層142内の材料もまた、エネルギー0.8eVを有する。光子412は、続いて、捕捉され、勾配付きバンドギャップ層142の結晶格子構造内で可動性を有する、自由電子416および自由正孔432を発生させる。しかしながら、自由電子418、420、および422ならびに自由正孔425、428、430を参照して前述のように、磁場159は、それぞれ、矢印608および616によって示されるように、自由電子416を接点116に向かって移動させ、自由正孔432を接点128に向かって移動させる。
【0063】
自由電子422、420、418、および416ならびに自由正孔425、428、430、および432と磁場159の相互作用のため、自由電子422、420、418、および416ならびに自由正孔425、428、430、および432は、それぞれ、接点116および接点128に向かって移動される。したがって、複数の自由電子および自由正孔414および424のエネルギーが、捕捉されることが可能である。4つの光子406、408、410、および412のみ、複数の光子を表すが、表面148に衝打する光子の数は、非常に大きいことを理解されたい。したがって、複数の自由電子414および複数の自由正孔424の数もまた、非常に大きいことをさらに理解されたい。
【0064】
図4を参照すると、いくつかの力方向426、436、および440が、二重矢印によって示され、いくつかの運動方向434、438、および442が、単一矢印によって示される。力方向426は、反対キャリアと再結合する(自由電子が自由正孔と結合し、相互に消滅し合い、二次光子、または多くの場合、熱を生成するエネルギー損失事象のいずれかを形成する)まで、光子の吸収によって生成される、モーメントから自由正孔および自由電子にかかるバンドギャップ勾配力である。キャリアの大部分は、消滅層に到達するまで、その反対キャリアタイプと再結合しないであろうが、両タイプの多くのキャリアを伴う任意の実際の素子では、いくつかの再結合は、素子内の任意の点で時期尚早に生じ得ることを理解されたい。キャリアが消滅層に到達するのに先立った再結合は、変換効率の低下をもたらすであろうことを理解されたい。矢印434によって示される運動方向は、バンドギャップ勾配力426に応答した、自由正孔および自由電子の両方の運動の方向である。自由正孔および自由電子の両方の運動方向434はまた、同様にバンドギャップ勾配力によって誘発される、速度の成分を有することを理解されたい。前述のように、素子全体は、線159によって表される磁場内に位置する。本磁場からの磁場線は、矢印157、158、160、161、および162として個々に表されるが、素子全体は、あらゆる場所において全体を通して貫通する磁場線を含む、略均一磁場を有することを理解されたい。素子内のあらゆる点において、移動するキャリアは、速度ベクトルと電荷を乗算した磁場の交差積と等しい磁気分極力を被るであろう。本力の方程式は、FMP=qvxBであって、式中、FMPは、移動する電荷キャリアにかかる磁気分極力であって、「v」は、速度であって、「q」は、電荷であって、「B」は、磁場強度であって、「x」は、ベクトル交差積演算子を示す。図4に見られるように、磁場方向は、バンドギャップ勾配力方向に直交して配向される。これは、最大素子効率のための配向であるが、本理想的配向からのわずかな変動は、理想的配向が提供するであろうものに若干満たない性能をもたらすであろうことを理解されたい。バンドギャップ勾配の一意の特性は、自由電子をある方向に、および自由正孔を別の方向に引っ張る、電場(外部から印加されるか、または従来の太陽光素子のダイオード構造内で内部から発生されるかのいずれかである)とは対照的に、自由電子および自由正孔の両方を同一の方向に強制的に駆動させることである。バンドギャップ勾配力は、磁気分極光子素子100内で非分極性である。磁気分極光子素子100では、自由電子および自由正孔は、バンドギャップ勾配力426の方向に矢印434によって示される運動および速度の両方を取得する。方向434に移動する運動を有する、負に帯電された自由電子および正に帯電された自由正孔は両方とも、図4では、それぞれ、自由電子を左(方向438)に移動させ、自由正孔を右(方向442)に移動させる、自由電子のための磁気分極力436および自由正孔のための磁気分極力440を被り、それによって、図7の電流751が図7の電場750に対して流動するにつれて、その個別のエネルギー帯内の自由電子および自由正孔のエネルギーの電気エネルギーへの伝達を促進する。本エネルギー伝達は、従来の太陽電池より有意に高い効率で遂行される。自由電子および自由正孔は、バンドギャップ勾配層142全体を通して共存し、図4では自由正孔は、電極128の方向に移動し、自由電子は、電極116の方向に移動する。
【0065】
図5は、反転構造を示し、同一項目は、同一番号で識別される。前述のように、基板501は、選択される光子が、基板501の表面505上に配置される、勾配付きバンドギャップ層142内に吸収されるよう基板を通して通過するように選定される。
【0066】
図6を参照すると、自由電子422の運動は、湾曲運動矢印602によって示される。自由正孔425の運動は、湾曲運動矢印610によって示される。同様に、バンドギャップ勾配全体を通して生成されるキャリアは、各帯電キャリアにかかるバンドギャップ勾配力によって誘発される運動から生じる、各帯電キャリアにかかる個別の磁気分極力から生じる、その関連付けられた運動矢印で示される。
【0067】
ここで図7を参照すると、図4、5、および6における各自由電子および自由正孔によって進行される一般的経路が、示される。経路702は、図7に示される自由電子422の最終位置とともに、自由電子422によってとられる経路を示す。経路710は、図7に示される自由正孔425の最終位置とともに、自由正孔425によってとられる経路である。同様に、経路704は、自由電子420によってとられる経路であって、経路712は、自由正孔428によってとられる経路であって、経路706は、自由電子418によってとられる経路であって、経路714は、自由正孔430によってとられる経路であって、経路708は、自由電子416によってとられる経路であって、経路716は、自由正孔432によってとられる経路である。本発明では、本素子の一意の側面の1つは、その出力電圧(電極128と116との間の電位)が、各キャリアによって被られる総バンドギャップ勾配降下より有意に大きくあり得ることである。本電位は、電極128と116との間に側方電場750を確立し、勾配付きバンドギャップ層および消滅層全体を通して存在する。本素子の出力電圧は、概して、その長さ(電極116と128との間の距離)の線形関数である。これは、出力電圧が、ダイオード構造が生成される材料のバンドギャップに正比例し、その値に限定される、従来の太陽光素子には該当しない。実施例として、シリコン太陽電池の典型的出力は、約0.7eVであって、ほぼ総バンドギャップ1.1eVに限定される。図7から分かるように、キャリアの大部分は、それらが光子の吸収によって生成される点から、勾配付きバンドギャップを辿って、反対タイプのキャリアに衝突し、消滅される(対で再結合し、消滅層のバンドギャップのエネルギーを消耗する)、消滅層まで移動する。各キャリアが、バンドギャップ勾配を辿って移動するにつれて、それらは、大バンドギャップエネルギーからより低いバンドギャップエネルギーに移動することによって、電位エネルギーを損失する。本エネルギーは、電場に対する電荷運動として側方電場750の中に伝達される(電場に対する電流は、電力発生である)。図7の縦横比は、正確な縮尺で示されておらず、接点116と128との間の距離は、概して、バンドギャップ勾配付き層の上部からその底部までの距離の数倍(50〜1000倍)である。この高い縦横比の結果、一般に、大量の自由電子および自由正孔が、同時に、バンドギャップ勾配を辿って移動し、その反対電荷を見つけ、素子の底部に到達するにつれて消滅する(図示せず)。各キャリア対は、約1eVのバンドギャップエネルギーを辿って移動するため、各対は、電場750の電位の約1ボルトに対して移動する。これらのキャリアは、小電流を伴うわずか1ボルトの電源の直列接続として作用し、小電流において大電圧を生成するように作用する。本素子は、単に、光子エネルギーを電圧および電流に変化し、これが生じる効率は、100%未満であることを理解されたい。実施例として、1クーロンの電荷は、6.25×1018電荷である。6.25×1018光子/秒の1eVエネルギー(1ワットの入射電力)が、1cmの電極116と128との間の距離を有する本タイプの磁気分極光子素子の勾配付きバンドギャップの1eVバンドギャップ部分に完全に吸収される場合、負荷下の最適出力電圧は、約.01アンペアの電流を伴う、約50ボルトとなるであろう。これは、50%電力変換に対応する、0.5ワットの出力電力となるであろう。本変換効率は、限定ではないが、キャリアの移動度(素子の抵抗に関連する)、消滅層の最小バンドギャップ、磁場強度、および素子の物理的厚さを含む、多くの要因に依存する。本タイプの構造において、最適条件下で50〜75%変換効率を超えることが可能である。
【0068】
図8は、勾配付きバンドギャップ層142、消滅層106、および基板層102を識別する、エネルギー対深度図を示す。本図では、消滅層106は、一例にすぎないが、アンチサイト欠陥(セレン原子が、水銀またはカドミウムが完全な結晶内に位置するであろう場所に位置付けられる)を誘発する温度で堆積され得る、バンドギャップ約0.19eVを伴うCd0.05Hg0.95Seの欠陥充填層である。本図における勾配付きバンドギャップ層142は、材料が優れた品質および少ない欠陥を有するように成長される。これは、一例にすぎないが、成長温度をアンチサイト欠陥を伴わない略完全な結晶成長のための理想的成長温度まで増加させることによって、遂行されることができる。勾配付きバンドギャップの初期組成物は、図3におけるドット398に対応する破線898として図8に示される、Cd0.05Hg0.95Seである。さらに、勾配付きバンドギャップ層142の組成物は、バンドギャップが、Cd0.25Hg0.75Seにおいて約0.19eV〜約0.35eVに増加するように、HgSeと比較して、増加量のCdSeを含むように継続的に修正される(図3におけるドット397に対応する図8上の破線897)。本成長は、継続し、CdSe含有量をバンドギャップ約0.44eVを有するCdHgSeまで増加させる(図3におけるドット396に対応する図8上の破線896)。本成長はさらに、継続し、CdSe含有量をバンドギャップ約0.8eVを有するCdHgSeまで増加させる(図3におけるドット395に対応する図8上の破線895)。本成長はさらに、継続し、CdSe含有量をバンドギャップ約1.52eVを有するCdHgSeまで増加させる(図3におけるドット394に対応する図8上の破線894)。本成長はさらに、継続し、CdSe含有量をバンドギャップ約1.7eVを有する略純CdSeまで増加させる(図3におけるドット222)。
【0069】
前述の明細書では、本発明は、具体的な例示的実施形態を参照して説明された。しかしながら、種々の修正および変更が、以下の請求項に記載の本発明の範囲から逸脱することなく、行われてもよいことを理解されるであろう。明細書および図は、制限ではなく、例証的様式と見なされ、そのような修正は全て、本発明の範囲内に含まれることが意図される。故に、本発明の範囲は、前述の単なる実施例によってではなく、本明細書に添付の請求項およびその法的均等物によって判定されるべきである。例えば、任意の方法またはプロセス請求項に列挙されるステップは、任意の順序で実行されてもよく、請求項に提示される具体的順序に限定されない。加えて、任意の装置請求項に列挙される構成要素および/または要素は、本発明と実質的に同一の結果を生じる種々の順列において組み立てられる、または別様に、動作可能に構成されてもよく、故に、請求項に列挙される具体的構成に限定されない。
【0070】
利点、他の有利点、および問題の解決策が、特定の実施形態に関して前述された。しかしながら、任意の利点、有利点、問題の解決策、または任意の特定の利点、有利点、あるいは解決策を生じさせる、もしくはより明白となる、任意の要素は、あらゆる請求項の重要な、要求される、または必須の特徴あるいは構成要素として解釈されないものとする。
【0071】
本明細書で使用されるように、用語「comprises(備える)」、「comprising」、またはその任意の変形例は、要素のリストを備えるプロセス、方法、物品、組成物、または装置が、列挙されたそれらの要素のみを含むのではなく、また、明示的に列挙されていない、あるいはそのようなプロセス、方法、物品、組成物または装置に固有の他の要素を含み得るように、非排他的含有を指すものと意図される。本発明の実践において使用される前述の構造、配列、用途、割合、要素、材料または構成要素の他の組み合わせおよび/または修正は、具体的に列挙されていないものに加え、当業者によって、その一般的原理から逸脱することなく、具体的環境、製造仕様、設計パラメータ、または他の動作要件に対して、変動される、または別様に、特に適合されてもよい。

図1
図2
図3
図4
図5
図6
図7
図8