特許6556813バック・メタルを有する基板をダイシングするための方法

発明の名称　バック・メタルを有する基板をダイシングするための方法

出願人　プラズマ　−　サーム、エルエルシー　（識別番号 513232288）

　　　　特許公開件数ランキング 14468 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12296 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6556813

公報発行日　2019年8月7

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6556813

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