特許 6557413 構成部品操作装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6557413

(24)【登録日】2019年7月19日

(45)【発行日】2019年8月7日

(54)【発明の名称】構成部品操作装置

(51)【国際特許分類】

   B65G 47/86 20060101AFI20190729BHJP

   G01N 21/84 20060101ALI20190729BHJP

   G01N 21/956 20060101ALI20190729BHJP

   B07C 5/10 20060101ALI20190729BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20190729BHJP

   H01L 21/67 20060101ALI20190729BHJP

【ＦＩ】

   B65G47/86 H

   G01N21/84 C

   G01N21/956 A

   B07C5/10

   H01L21/68 A

   H01L21/68 E

【請求項の数】10

【全頁数】28

(21)【出願番号】特願2018-519272(P2018-519272)

(86)(22)【出願日】2016年9月22日

(65)【公表番号】特表2019-505453(P2019-505453A)

(43)【公表日】2019年2月28日

(86)【国際出願番号】EP2016072481

(87)【国際公開番号】WO2017063837

(87)【国際公開日】20170420

【審査請求日】2018年8月21日

(31)【優先権主張番号】102015013494.9

(32)【優先日】2015年10月16日

(33)【優先権主張国】DE

(73)【特許権者】

【識別番号】513144257

【氏名又は名称】ミュールバウアー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディトゲゼルシャフト

(74)【代理人】

【識別番号】100099759

【弁理士】

【氏名又は名称】青木 篤

(74)【代理人】

【識別番号】100123582

【弁理士】

【氏名又は名称】三橋 真二

(74)【代理人】

【識別番号】100147555

【弁理士】

【氏名又は名称】伊藤 公一

(74)【代理人】

【識別番号】100160705

【弁理士】

【氏名又は名称】伊藤 健太郎

(74)【代理人】

【識別番号】100174942

【弁理士】

【氏名又は名称】平方 伸治

(72)【発明者】

【氏名】ヘンリ ユンカー

(72)【発明者】

【氏名】マルクス フェルシュトル

【審査官】 土田 嘉一

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００５−０２９３８６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−１８６５０５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２００５−５１７２８９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭６２−０２６８３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−１５４８８９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ６５Ｇ ４７／８６

Ｂ６５Ｂ １５／０４

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｈ０１Ｌ ２１／６０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

構造化された構成部品ストックから構成部品を取り出して、受け取り装置（２００）へ置くための構成部品操作装置（１００）であって、
−複数の引取部（１３２）を備えた第１の転向装置（１３０）を有し、前記第１の転向装置が、
・提供箇所（ＳＰＳ）において、前記構造化された構成部品ストックから構成部品（Ｂ）を受け取り、かつ
・受け取った構成部品（Ｂ）をその長手軸又は横軸（ＬＡ、ＱＡ）を中心に第１のあらかじめ定められた角度だけ転向させて、引き渡し箇所（ＵＳ）へ移送する、
ように適合されており、
−複数の引取部（１５２）を備えた第２の転向装置（１５０）を有し、前記第２の転向装置が、
・前記構成部品（Ｂ）を前記引き渡し箇所（ＵＳ）において前記第１の転向装置（１３０）の引取部（１３２）から受け取り、
・受けとった構成部品（Ｂ）をその長手軸又は横軸（ＬＡ、ＱＡ）を中心に第２のあらかじめ定められた角度だけ転向させて、置き場所（ＡＳ）へ移送するように、
適合されており、かつ、
−前記第１及び第２の転向装置（１３０、１５０）に対応づけられた位置及び特性センサ（Ｋ１、．．．Ｋ５）を有し、前記位置及び特性センサが、
・前記第１及び第２の転向装置（１３０、１５０）の位置データ、
・前記引取部（１３２、１５２）にある構成部品（Ｂ）の位置データ、及び／又は
・前記第１及び第２の転向装置（１３０、１５０）の前記引取部（１３２、１５２）にある構成部品（Ｂ）の特性
を検出して制御装置（ＥＣＵ）へ提供する、ように適合されており、
−前記制御装置（ＥＣＵ）が、
・第１の回転ドライブ（ＤＡ１）によって、前記第１の転向装置（１３０）を第１の軸線（Ｘ軸）を中心に管理して回転させ、
・第１のリニアドライブ（ＬＡ１）によって、前記第１の転向装置（１３０）を前記第１の軸線（Ｘ軸）に沿って管理して走行させ、
・第２の回転ドライブ（ＤＡ２）によって、前記第２の転向装置（１５０）を、前記第１の軸線（Ｘ軸）に対して同一直線上にない第２の軸線（Ｙ軸）を中心に管理して回転させ；かつ
・第２のリニアドライブ（ＬＡ２）によって、前記第２の転向装置（１５０）を前記第２の軸線（Ｙ軸）に沿って管理して走行させる、
ように適合されている、構成部品操作装置。

【請求項2】

−放出装置（１１０）を有し、前記放出装置が、前記構造化された構成部品ストック（ウェハ）から構成部品（Ｂ）を、制御装置によってしかるべく位置決めされた前記第１の転向装置（１３０）の引取部（１３２）へ放出するように、適合されており、
−前記放出装置（１１０）に対応づけられた位置及び／又は特性センサ（Ｋ１）を有し、前記位置及び／又は特性センサが、放出すべき構成部品（Ｂ）に対する前記放出装置（１１０）の位置、及び／又は、放出すべき構成部品（Ｂ）の位置データ、及び／又は、放出すべき構成部品（Ｂ）の特性を検出して、前記放出装置（１１０）を操作するために前記制御装置（ＥＣＵ）へ提供するように、適合されている、
請求項１に記載の構成部品操作装置（１００）。

【請求項3】

−前記置き場所（ＡＢＳ）に対応づけられた、そこへ移送される構成部品（Ｂ）のための受け取り装置（２００）を有し、前記受け取り装置（２００）に
−位置及び特性センサ（Ｋ４、Ｋ５）が対応づけられており、前記位置及び特性センサが、
・前記置き場所（ＡＳ）へ移送された構成部品（Ｂ）の位置データ、
・前記受け取り装置（２００）内の受け取り箇所（ＥＳ１、ＥＳ２）及び／又はその中にある構成部品（Ｂ）の位置データ及び／又は特性データ
を検出して制御装置（ＥＣＵ）に提供するように、適合されており、
−前記制御装置（ＥＣＵ）が、
・第３の回転ドライブ（ＤＡ３）によって、前記受け取り装置（２００）を、前記置き場所（ＡＢＳ）を含む第３の軸線（Ｚ軸）を中心に少なくとも部分的に管理して回転させ、及び／又は
・少なくとも第３及び／又は第４のリニアドライブ（ＬＡ３、ＬＡ４）によって、前記受け取り装置（２００）を、前記第１、第２及び／又は第３の軸線（Ｘ、Ｙ、Ｚ軸）のいずれかに沿って少なくとも部分的に管理して走行させ、及び／又は
・第４の回転ドライブ（ＤＡ４）によって、前記受け取り装置（２００）によって案内される支持体（３２０）を前記第１及び／又は第２の軸線（Ｘ、Ｙ軸）のいずれかに沿って管理して走行させる、
ように適合されている、請求項１又は２に記載の構成部品操作装置（１００）。

【請求項4】

前記第１及び／又は第２の転向装置（１３０、１５０）の前記引取部（１３２、１５２）が、
−そのそれぞれの回転軸（Ｘ、Ｙ軸）に対して径方向に管理されて出入りし、及び／又は
−移送すべき構成部品（Ｂ）を受け取って載置するために、負圧及び過圧を管理されて供給され、及び／又は
−そのそれぞれの径方向の運動軸線を中心に移動せず、又は
−そのそれぞれの径方向の運動軸線を中心に、ある回転角度だけ管理されて回転する、
ように適合されている、請求項１から３のいずれか１項に記載の構成部品操作装置（１００）。

【請求項5】

前記第１及び／又は第２の転向装置（１３０、１５０）の前記引取部（１３２、１５２）に、前記提供箇所（ＳＰＳ）、前記第１及び第２の転向装置（１３０、１５０）の間の前記引き渡し箇所（ＵＳ）において径方向に出入りするために、リニアドライブが対応づけて設けられており、前記リニアドライブが、しかるべく位置決めされた引取部（１３２、１５２）にそれぞれ外側から係合して、それぞれの引取部（１３２、１５２）を出入りさせる、又は、それぞれの引取部（１３２、１５２）を出す一方で、復帰ばねがそれぞれの引取部（１３２、１５２）を入らせる、又は、前記引取部（１３２、１５２）の各々にラジアルドライブが対応づけられている、請求項１から４のいずれか１項に記載の構成部品操作装置（１００）。

【請求項6】

以下の機能：
（ｉ）前記構成部品（Ｂ）の吸い付け、
（ｉｉ）前記構成部品（Ｂ）の保持、
（ｉｉｉ）前記構成部品（Ｂ）を置くこと、
を、制御された吹き払いパルスによって若しくはそれなしで、及び／又は、前記構成部品（Ｂ）の自由な吹き払いを
自由に又は位置制御して実現するために、
弁が、個々の引取部（１３２、１５２）の各々に対して、個別かつ正しい位置で、負圧及び過圧を提供する、請求項１から５のいずれか１項に記載の構成部品操作装置（１００）。

【請求項7】

前記提供箇所（ＳＰＳ）と前記引き渡し箇所（ＵＳ）との間で前記第１の転向装置（１３０）に、及び／又は、前記引き渡し箇所（ＵＳ）と前記置き場所（ＡＳ）との間で前記第２の転向装置（１５０）に、位置及び特性センサ（Ｋ２、Ｋ３）が対応づけられており、前記位置及び特性センサ（Ｋ２、Ｋ３）が、移送される構成部品（Ｂ）の位置データ及び／又は特性を検出して、前記制御装置（ＥＣＵ）に提供するように、適合されており、及び／又は
前記位置及び特性センサ（Ｋ１、．．．Ｋ４、Ｋ５）の少なくともいくつかが、その位置データ及び／又は特性を検出して、前記制御装置（ＥＣＵ）に提供するために、移送される構成部品（Ｂ）の少なくとも１つの端面（Ｄ１、Ｄ２）及び／又は１つ又は複数の側面（Ｓ１−Ｓ４）を検査するように、適合されており、及び／又は
−受け取るべき構成部品（Ｂ）又は受け取り箇所の特性エラー及び／又は位置エラーがある場合に前記制御装置（ＥＣＵ）によって補正する目的で、前記第１の転向装置（１３０）の中心に及び／又は前記第２の転向装置（１５０）の中心に、受け取るべき構成部品（Ｂ）の特性及び／又は位置を求めるために、又は、前記受け取り装置（２００）内の受け取り箇所（ＥＳ１、ＥＳ２）及び／又はその中にある前記構成部品（Ｂ）の位置を求めるために、画像を形成する特性及び／又は位置センサが設けられており、画像を形成する１つ／複数の位置センサが、前記第１又は第２の転向装置の転向運動中に隣接する引取部（１３２、１５２）の間で画像キャプチャーを実施しかつしかるべき補正運動を促すために前記制御装置（ＥＣＵ）に提供するように、適合されており、及び／又は
−受け取るべき構成部品（Ｂ）又は前記受け取り箇所の特性エラー及び／又は位置エラーがある場合に前記制御装置（ＥＣＵ）によって補正するために、受け取るべき構成部品（Ｂ）の特性及び／又は位置を求めるために、又は、前記受け取り装置（２００）内の受け取り箇所（ＥＳ１、ＥＳ２）及び／若しくはその中にある構成部品（Ｂ）の位置を求めるために、前記第１及び第２の転向装置（１３０、１５０）に対して外部に、画像を形成する特性及び／又は位置センサが設けられている、
請求項１から６のいずれか１項に記載の構成部品操作装置（１００）。

【請求項8】

前記引き渡し箇所（ＵＳ）及び／又は前記置き場所（ＡＢＳ）の前段又は後段に排出箇所（３３５）が接続されており、前記排出箇所が、前記制御装置（ＥＣＵ）の制御のもとで、前記制御装置（ＥＣＵ）によって前記位置及び特性センサの少なくとも１つを用いて欠陥部品として認識された構成部品（Ｂ）を排出し、かつ、前記受け取り装置（２００）内へ置かないように、適合されており、及び／又は
前記第１及び／又は第２の転向装置（１３０、１５０）に整数ｎの引取部（１３２、１５２）が対応づけられており、その場合にｎ＞２であり、かつ、前記第１の転向装置（１３０）の引取部（１３２）の数と、前記第２の転向装置（１５０）の引取部（１５２）の数とが、等しく又は異なっており、及び／又は、
前記第１、第２及び／又は第３の軸線（Ｘ、Ｙ、Ｚ軸）が互いに対してそれぞれ９０°プラス／マイナス最大１０°の角度を形成し、及び／又は
前記位置及び特性センサが、互いに対応する又は異なる検出スペクトルを有する画像を形成する位置及び特性センサ、又は、接触若しくは非接触で距離を測定する位置センサ、又は、接触若しくは非接触で検出する特性センサであって、及び／又は
前記位置及び特性センサが、直線的又は屈曲した光学軸を有する、画像を形成するセンサである、
請求項１から７のいずれか１項に記載の構成部品操作装置（１００）。

【請求項9】

−前記第１及び／又は第２の転向装置（１３０、１５０）が、少なくともほぼスター形状又はホィール形状に形成されており、かつ
−それぞれの引取部（１３２、１５２）が、径方向外側を向いた、移送すべき構成部品（Ｂ）のための吸引接触箇所を有している、
請求項１から８のいずれか１項に記載の構成部品操作装置（１００）。

【請求項10】

構造化された構成部品ストックから構成部品を取り出して、受け取り装置に置くための方法であって、以下のステップを有する：
−複数の引取部（１３２）を有する第１の転向装置（１３０）によって、提供箇所（ＳＰＳ）において前記構造化された構成部品ストックから構成部品（Ｂ）を受け取り、
−受け取った構成部品（Ｂ）をその長手軸又は横軸（ＬＡ、ＱＡ）を中心に第１のあらかじめ定められた角度だけ転向させて、引き渡し箇所（ＵＳ）へ移送し、
−複数の引取部（１５２）を有する第２の転向装置（１５０）によって、前記引き渡し箇所（ＵＳ）において前記構成部品（Ｂ）を前記第１の転向装置（１３０）の引取部（３２）から受け取り、
−受け取った構成部品（Ｂ）をその長手軸又は横軸（ＬＡ、ＱＡ）を中心に第２のあらかじめ定められた角度だけ転向させて、置き場所（ＡＢＳ）へ移送し、
−前記第１及び第２の転向装置（１３２、１５２）に対応づけられた位置及び特性センサ（Ｋ１、．．．Ｋ５）によって、前記第１及び第２の転向装置（１３０、１５０）の位置データ、前記引取部（１３２、１５２）にある構成部品（Ｂ）の位置データ、及び／又は、前記第１及び第２の転向装置（１３０、１５０）の前記引取部（１３２、１５２）にある構成部品（Ｂ）の特性を検出して、制御装置（ＥＣＵ）に提供し；
−第１の回転ドライブ（ＤＡ１）によって、前記第１の転向装置（１３０）を第１の軸線（Ｘ軸）を中心に管理して回動させ、
−第１のリニアドライブ（ＬＡ１）によって、前記第１の転向装置（１３０）を前記第１の軸線（Ｘ軸）に沿って管理して走行させ、
−第２の回転ドライブ（ＤＡ２）によって、前記第２の転向装置（１５０）を、前記第１の軸線（Ｘ軸）に対して同一直線上にない第２の軸線（Ｙ軸）を中心に管理して回動させ、かつ
−第２のリニアドライブ（ＬＡ２）によって、前記第２の転向装置（１５０）を前記第２の軸線（Ｙ軸）に沿って管理して走行させる、
方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

ここでは、構成部品操作装置が記述される。この構成部品操作装置は、受け取り装置及び画像を形成するセンサとの協働において説明されている。

【0002】

構成部品は、ここでは、たとえば「チップ」又は「ダイ」とも称される、（電子的な）半導体構成部品である。この種の構成部品は、通常、角柱状の形態を有しており、実質的に多角形の、たとえば四角形の（矩形又は方形の）横断面と、複数の横側面並びに上面及び端面と、を有している。構成部品の横側面及び２つの（下方と上方の）端面は、以下で一般に側面と称される。構成部品は、４つとは異なる数の横側面を有することもできる。構成部品は、光学的構成部品（プリズム、ミラー、レンズなど）であってもよい。全体として構成部品は、幾何学的な各形状を有することができる。

【0003】

出願人の操作実務から、いわゆる引取載置装置が知られており、その中で構成部品が吸引器又は把持器によって構成部品テーブルから引き取られて、次に、支持体上又は移送容器又は同種のものの中に置かれる。構成部品を置く前に、通常、構成部品の検査が行われる。そのために構成部品の１つ又は複数の側面の画像が１つ又は複数のカメラによって記録されて、自動的な画像処理によって評価される。

【背景技術】

【0004】

この種の把持器は、移送の間、及び、構成部品のたとえば下方の端面の画像を検出する間、構成部品をしっかりと把持する。例えば、独国特許出願公開第１０２００８０１８５８６号は、第１の作業ステーションから第２の作業ステーションへ移送される構成部品の表面を検出するための光学的な検出装置、構成部品の少なくとも第１の表面へ向けられたカメラ、第１の表面へ短波の光ビームを送信する光源を示している。第２の光源が、構成部品の少なくとも第２の表面へ長波の光ビームを送信する。カメラは、表面から反射された第１及び第２の光ビームを受信する。たとえば、下側の表面と、全部で４つの側方の表面と、を有する直方体形状の構成部品の場合がそうであるように、第２の表面（単数又は複数）は、第１の表面（単数又は複数）とは異なるように方位付けされている。

【0005】

欧州特許第１４７０７４７号は、チップ取り出し装置、チップ取り出しシステム、装填システム及びチップを取り出してさらに加工する方法に関する。チップは、ウェハから取り出されて、引き渡し位置へ移送され、同時に転向される。構造化された半導体ウェハからチップを取り出す、このチップ取り出し装置は、ウェハからチップを取り出して、取り出したチップをその長手軸又は横軸を中心に１８０°転向させるための回転可能な取り出し工具と、取り出したチップをその長手軸又は横軸を中心に１８０°あらたに転向させるための、取り出し工具と協働する、回転可能な転向工具と、を搭載している。取り出し工具は第１の引き渡し位置を有し、転向工具は第２の引き渡し位置を有しており、そこにおいてチップをさらに加工するために装填ヘッドへ引き渡すことができる。

【0006】

欧州特許出願公開第０９０６０１１号は、電気的な構成部品を取り出して基板上に装着する装置に関する。装置は、回転可能な引き渡し装置を有しており、引き渡し装置は、引取位置において電気的な構成部品を供給モジュールから取り出して、第１の引き渡し位置において、さらに処理するために吸引バンドへ引き渡す。回転可能な装填ヘッドによって、構成部品が吸引ベルトから引き取られて、第２の引き渡し位置へ移送される。

【0007】

国際公開第０２／０５４４８０号は、取り付けるべきチップの種々の表面を光学的に検査する装置に関する。装置は、第１の上方の移送ディスクを有しており、その移送ディスクは、チップを供給ユニットから取り出して、第１の引き渡し位置へ移送するように、適合されている。チップは、上方の移送ディスクの横側面に形成された吸引開口部内に保持され、上方の移送ディスクの回転によって移動される。装置は、さらに、上方の移送ディスクに対応して形成された第２の下方の移送ディスクを有しており、第２の下方の移送ディスクは、取り出したチップを第１の引き渡し位置において引き取って、第２の引き渡し位置へ移送する。装置は、移送ディスクの側方隣に、チップの上側と下側とを検査するカメラが配置されていることによって、チップの検査を可能にする。チップは、さらに、最初の方向付けに対して転向されずに、さらに処理するために分類装置へ引き渡される。

【0008】

米国特許第４６１９０４３号は、電子構成部品、特にチップを取り出してプリント基板上に取り付ける装置と方法を開示している。装置は、引取ユニット内のチップを引き取って、引き取られたチップを第１の引き渡し位置へ移送する移送手段を有している。その場合に移送手段は、互いに係合し合う、移送チェーンと回転可能なチェーンホィールとを有している。装置はさらに、第１の引き渡し位置においてチップを引き取るための装填ヘッドを備えた、回転可能な固定工具を有している。固定工具は、さらに、引き取られたチップを回転運動によって第２の引き渡し位置へ移送するように適合されており、その場合にチップは転向される。

【0009】

特開平２−１９３８１３号公報は、電子構成部品を引き取って転向させるための装置を有しており、その電子構成部品は試験装置によって検査される。装置は、供給ユニットを有しており、その供給ユニットからチップ形状の電子構成部品が第１の回転するボディによって取り出されて、その周面に配置される。回転するボディの回転運動によって、電子構成部品が第１の引き渡し位置へ移送され、それによって構成部品はその長手軸又は横軸を中心に転向される。装置は、さらに、第２の回転するボディを有しており、第２の回転するボディは、取り出された電子構成部品を第１の引き渡し位置において引き取って、第２の引き渡し位置へ移送する。その場合に電子構成部品はその長手軸又は横軸を中心にさらに転向される。したがって装置は、構成部品の様々な側を検査することを可能にする。

【0010】

米国特許第６０７９２８４号は、タブレットの広範なビジュアル検査をする装置に関する。装置は、第１の検査ドラムを有しており、それが横側面に形成された吸引孔によってタブレットを供給装置から取り出して、それを回転によって第２の検査ドラムへ移送する。第２の検査ドラムには、第１のドラムと同様に吸引孔が形成されており、吸引孔は、引き渡し位置においてタブレットを引き取る。装置は、さらに、検査ユニットを有しており、その検査ユニットがタブレットの広範な検査を可能にする。

【0011】

他の技術的背景は、特開２００１−７４６６４号公報、特開平１−１９３６３０号公報、米国特許第５７５０９７９号、国際公開第８５／０４３８５号、独国特許出願公開第１９９１３１３４号、特開平８−２２７９０４号公報から読み取ることができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0012】

【特許文献1】独国特許出願公開第１０２００８０１８５８６号

【特許文献2】欧州特許第１４７０７４７号

【特許文献3】欧州特許出願公開第０９０６０１１号

【特許文献4】国際公開第０２／０５４４８０号

【特許文献5】米国特許第４６１９０４３号

【特許文献6】特開平２−１９３８１３号公報

【特許文献7】米国特許第６０７９２８４号

【特許文献8】特開２００１−７４６６４号公報

【特許文献9】特開平１−１９３６３０号公報

【特許文献10】米国特許第５７５０９７９号

【特許文献11】国際公開第８５／０４３８５号

【特許文献12】独国特許出願公開第１９９１３１３４号

【特許文献13】特開平８−２２７９０４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0013】

構成部品操作装置は、高い装入量において構成部品の正確な操作とその検査を可能にしなければならない。

【課題を解決するための手段】

【0014】

この課題を、構造化された構成部品ストックから角柱状の構成部品を取り出して、取り出した構成部品を受け取り装置へ置く、装置が解決する。複数の引取部を有する第１の転向装置は、提供箇所において構造化された構成部品ストックから構成部品を受け取って、受け取った構成部品をその長手軸又は横軸を中心に第１のあらかじめ定められた角度だけ転向させて、引き渡し箇所へ移送するように、適合されている。複数の引取部を有する第２の転向装置は、引き渡し箇所において第１の転向装置の引取部から構成部品を受け取って、受け取った構成部品をその長手軸又は横軸を中心に第２のあらかじめ定められた角度だけ転向させて、置き場所へ移送するように、適合されている。第１及び第２の転向装置に対応づけられた位置及び特性センサは、第１及び第２の転向装置の位置データ、引取部にある構成部品の位置データ及び／又は引取部にある構成部品の特性を検出して、制御装置に提供するように、適合されている。制御装置は、第１の回転ドライブによって第１の転向装置を第１の軸線を中心に管理して回転させ、第１のリニアドライブによって第１の転向装置を第１の軸線に沿って管理して走行させ、第２の回転ドライブによって第２の転向装置を第１の軸線に対して同一直線上にない第２の軸線を中心に管理して回転させ、第２のリニアドライブによって第２の転向装置を第２の軸線に沿って管理して走行させるように、適合されている。

【0015】

すなわち、ここで提示される配置は、統合された操作／検査装置を形成する。画像を形成するセンサは、構成部品のすべての又はほぼすべての端面／側面（複数）を検査して、その場合にマニピュレータ（引取部）及び受け取り装置を位置決めするための重要なデータも供給する。したがってこの装置は、必要なプロセス技術的周辺、たとえば、構成部品（たとえばウェハテーブル）を準備して構成部品を置く場所（たとえばポケットバンド又は支持体バンド）を有する、閉じられた機械システムのコアを形成する。ここで提示される構成部品操作装置は、たとえば構成部品操作装置の上方の領域内に水平に配置されている構成部品ストック（ウェハディスク）から固定配置の放出ユニットによって、構成部品を受け取る。この固定配置の放出ユニットに対して構成部品ストックが平面内で移動する。放出ユニットは、ニードルにより又は非接触で（たとえばレーザービームによって）、構成部品ストックから構成部品を個別化して、引取部によって引き取られるようにする。放出された構成部品は、全部で６以上の検査プロセスへ供給されて、最後にポケットバンド又は支持体バンドの受け取り箇所（ポケット）内へ移送される。受け取り箇所及び（載置）テーブルという概念は、ここでは同じ意味で使用される。その場合に不良品は、排出することができる。引き渡し箇所に統合された光学的調査は、複数の調査プロセスに分割される。調査は、構成部品の端面及び／又は横側面（複数）、並びに、引き渡し／受け取り箇所における引取部の位置を、光学的に検出するために１つ又は複数の画像を形成するセンサを利用する。これらの画像を形成するセンサは、複数の調査プロセスにおいて、構成部品の端面及び／又は横側面のうちの１つの少なくとも１つの画像を検出するように、適合されている。構成部品の送り／移送は、転向装置の引取部がそれぞれ構成部品を保持している間に、行われる。保持されている構成部品は、移送の間、個々の調査プロセスを通過する。その場合に、画像を形成するセンサの検出された（画像）データは、マニピュレータ（引取部）及び受け取り箇所の位置決めを調整するためにも用いられる。構成部品移送は、構成部品をパスに沿って実質的に連続して又は周期的に移送するように、適合されている。

【0016】

ここで提示される完全なアッセンブリは、２つの視点を機能的に合体させる：操作と検査。これら２つの機能は、構成部品が構成部品ストックから個別化して取り出されて、検査により良品として分類されて、１つ又は複数の受け取り箇所に正確に置かれる間、構成部品の複数の（６以上までの）側を迅速かつ正確に品質的に判断するために、互いに関連しあう。

【0017】

構成部品操作装置は、２つの、好ましくは制御して駆動される、好ましくは互いに対して実質的に直交して（９０°プラスマイナス１５°まで）配置された、ほぼスター形状又はホィール形状の転向装置を有している。転向装置は、矩形の形状を有することもできる。転向装置の各々は、複数の引取部を支持しており、複数の引取部は、それぞれ引取部上に固定される構成部品を、構成部品受け取りと引き渡しとの間の揺動角度内で、検査、欠陥部品排出のための１つ又は複数のプロセスステーション及び場合によっては他のステーションへ移送するために、転向装置の回転軸に対して径方向に走行可能である。

【0018】

ここに提示される構成部品操作装置において、スター形状又はホィール形状の転向装置は、２つの転向装置の（仮想の）周面に配置された、径方向外側を向いた引取部に構成部品を支持する。これは、１つ又は２つの転向装置の引取部が共平面又はその回転軸に対して平行に方位付けされている、構成部品操作装置とは異なっている。

【0019】

上では、複数の調査プロセスが述べられているが、それによって時間的推移又は順序（最初に第１の調査プロセスにおける画像検出、そしてその後に更なる調査プロセスにおける画像検出）を固定しようとするものではない。むしろ、逆の順序が好ましい場合も考えられる。個々の転向装置における引取部の数に従って、同時に転向装置の各々において複数の構成部品を引き取ることもできるので、別の構成部品上でも、調査プロセスは同時に行われる。

【0020】

個々の調査プロセスにおいて画像を形成するセンサにより検出される、構成部品の（上方／下方の）端面及び／又は（側方の）横側面は、構成部品の互いに異なる端面及び／又は横側面であってもよい。

【0021】

光学的調査の視点において、構成部品を有する構成部品移送装置が、実質的に停止時間なしで、又はほぼなしで、構成部品パスを完成させる。移動の間又は最小限の停止時間の間に、構成部品の１つ又は複数の端面及び／又は横側面が画像を形成するセンサによって検出される。これらの画像が、次に、画像処理の方法によって評価される。この光学的検出／調査の変形例において、画像を形成するセンサとして、１つ又は複数のカラーカメラ又は白黒カメラが設けられている。

【0022】

その場合に画像を形成するセンサは、１つ又は複数のミラー、光学的プリズム又はレンズなどを有することができる。

【0023】

画像を形成するセンサに、放射源又は光源を対応づけることができる。その場合に各源は、構成部品の少なくとも１つのセクションを照明するために、異なるスペクトル領域又は波長領域を有する光／放射を放出するように、適合されることができる。波長領域は、少なくとも部分的に互いに異なり、重なり合い又は一致することができる。すなわち、たとえば、第１の光源の光は赤で、第２の光源の光は青とすることができる。しかしまた逆の対応づけ又は他の波長ペアリング（たとえば赤外線と可視光）を選択することもできる。

【0024】

光源は、構成部品を有する引取部がそれぞれ検出領域内にあるときに、制御配置によってそれぞれ短くオンにすることができ、それによって、それぞれの画像を形成するセンサによって検出するために、構成部品の端面及び／又は横側面を短いフラッシュライトによって露光することができる。代替的に、永続的な照明を使用することもできる。

【0025】

変形例において、構成部品操作装置には放出装置が対応づけられており、その放出装置は、それぞれ構成部品を構造化された構成部品ストックから、制御装置によってしかるべく位置決めされた第１の転向装置の引取部へ放出するように、適合されている。これは、ニードルによってウェハキャリアフィルムを通して構成部品を排出させる構成部品排出器（ダイエジェクタ）又はレーザーパルス発生器とすることができ、そのレーザーパルス発生器は、キャリアフィルムにおける構成部品の接着剤を所望に溶融させる。放出装置には、位置及び／又は特性センサが対応づけられており、それは、放出すべき構成部品に対する放出装置の位置及び／又は放出すべき構成部品の位置データ及び／又は放出すべき構成部品の特性を検出して、放出装置を操作するために制御装置へ提供するように、適合されている。

【0026】

変形例において、構成部品操作装置には、置き場所に対応づけられた、そこへ移送される構成部品のための受け取り装置が設けられている。その場合に受け取り装置には、位置及び／又は特性センサが対応づけられており、それは、置き場所へ移送される構成部品の位置データ、受け取り装置内の受け取り箇所及び／又はその中にある構成部品の位置データ及び／又は特性を検出して、制御装置に提供するように、適合されている。制御装置は、第３の回転ドライブによって受け取り装置を少なくとも部分的に、置き場所を含む第３の軸線を中心に管理して回転させるように、適合されている。制御装置は、少なくとも１つの第３のリニアドライブによって受け取り装置を少なくとも部分的に、軸線に沿って管理して走行させるように、適合されることもできる。そして、制御装置は、リニアドライブによって、受け取り装置によって案内される支持体を、第１及び／又は第２の軸線のいずれかに沿って管理して走行させるように、適合されることもできる。この支持体は、個別化された形式の構成部品を引き取るために用いられる。

【0027】

変形例では、構成部品操作装置において、第１及び／又は第２の転向装置の引取部は、それぞれの転向装置の回転軸又は回転中心に対して径方向に管理されて出入りするために、並びに／又は、移送すべき構成部品を受け取って放出するために管理されて負圧及び／若しくは過圧を供給されるために、並びに／又は、そのそれぞれの径方向の運動軸を中心に移動しないように、若しくは、そのそれぞれの径方向の運動軸を中心にある回転角度だけ管理されて回転するように、適合されている。

【0028】

この種の構成部品操作装置の変形例では、第１及び／又は第２の転向装置の引取部には、提供箇所、第１及び第２の転向装置の間の引き渡し箇所において径方向に出入りするために、対応づけられたリニアドライブが設けられている。これらのリニアドライブは、それぞれの転向装置の外部からしかるべく位置決めされた引取部と係合して、それぞれの引取部を径方向に出入りさせる。他の変形例において、これらのリニアドライブは、それぞれの引取部を出るようにのみ走行させ、一方で復帰ばねがそれぞれの引取部を入るように走行させる。他の変形例において、引取部の各々に、双方向又は単方向のラジアルドライブが対応づけられている。

【0029】

構成部品操作装置の変形例において、自由に又は位置制御されて：（ｉ）構成部品の吸い付け、（ＩＩ）構成部品の保持、（ｉｉｉ）制御された吹き払いパルスによって又はそれなしで構成部品を置き及び／又は構成部品の自由な吹き払い、機能を実現するために、弁が、個々の引取部の各々に個別かつ正確な位置で負圧及び過圧を供給する。

【0030】

構成部品操作装置の変形例において、提供箇所及び引き渡し箇所の間において第１の転向措置に、及び／又は、引き渡し箇所及び置き場所の間において第２の転向装置に、それぞれ、位置及び特性センサが対応づけられている。これらのセンサは、移送される構成部品の位置データ及び／若しくは特性、並びに／又は、マニピュレータ（引取部）及び受け取り箇所の位置を制御するための位置データを検出するように、及び、それらを制御装置へ提供するように、適合されている。

【0031】

構成部品操作装置の変形例において、位置及び特性センサの少なくともいくつかは、移送される構成部品のそれぞれ少なくとも１つの端面及び／又は１つ又は複数の横側面を検査し、その位置データ及び／又は特性を検出し、かつ制御装置に提供するように、適合されている。

【0032】

構成部品操作装置の変形例において、第１の転向装置の中心及び／若しくは第２の転向装置の中心に、それぞれ、受け取るべき構成部品の特性及び／若しくは位置を求めるため、又は、受け取り装置内の受け取り箇所若しくはその中にある構成部品の位置を求めるために、画像を形成する特性及び／又は位置センサが設けられている。この／これらのセンサの特性データ及び／又は位置データに基づいて、その後、受け取るべき構成部品又は受け取り箇所に特性エラー及び／又は位置エラーがある場合に、制御装置によって補正を行うことができる。その場合にこの／これらの画像を形成するセンサは、それぞれ第１又は第２の転向装置の転向運動の間に隣接する引取部の間で画像キャプチャーを実施し、かつ放出ユニット、構成部品ストック若しくはウェハ、転向装置及び／又は受け取り装置のしかるべき補正運動を促すために画像を制御装置に提供するように、適合されている。他の変形例において、放出ユニットは固定されている。

【0033】

これらの画像を形成する特性及び／又は位置センサに加えて又はその代わりに、第１及び第２の転向装置に対して外部に設けられた、受け取るべき構成部品の特性及び／又は位置を求めるために、又は、受け取り装置内の受け取り箇所及び／又はその中にある構成部品の特性及び／又は位置を求めるために、画像を形成する特性及び／又は位置センサを設けることができる。この／これらのセンサの特性データ及び／又は位置データに基づいて、その後、受け取るべき構成部品又は受け取り箇所の特性エラー及び／又は位置エラーがある場合に、制御装置によって補正を行うことができる。上述した検査システムとは関係なくかつ機能的に構成要素として操作システムに対応づけて、それぞれ２つの転向装置の中心に、上方へ向けた構成部品ストックカメラ（９０°ミラーシステムと照明を有する）、又は、等しい構造であることが好ましいが必ずしもそうである必要のない下方へ向けられた載置カメラとしてのアッセンブリを配置することができる。それらは、構成部品又は受け取り箇所の位置エラーが発生した場合に、位置補正を行うために、構成部品又は受け取り箇所の位置を検出するために用いられる。画像キャプチャーは、それぞれ２つの転向装置の揺動運動の間に、引取部の間の窓領域を通して行われ、次にウェハ又は受け取り装置の補正運動が行われる。ここでは、外部に支承されたウェハカメラ又は載置カメラを有する代替策も、可能である。

【0034】

構成部品操作装置の変形例において、引き渡し箇所及び／又は置き場所の前段又は後段に排出箇所が配置されており、その排出箇所は、制御装置によって制御されて、位置及び特性センサの少なくとも１つによって制御装置により欠陥部品として認識された構成部品を排出し、かつ良品として受け取り装置内へ置かないように、適合されている。

【0035】

構成部品操作装置の変形例において、第１及び／又は第２の転向装置に、それぞれ整数ｎの引取部が対応づけられている。その場合にｎ＞２である。その場合に第１の転向装置の引取部の数と第２の転向装置の引取部の数は、等しくても又は異なっていてもよい。

【0036】

構成部品操作装置の変形例において、第１、第２及び／又は第３の軸線は、互いに対してそれぞれ９０°プラス／マイナス最大１０°又は１５°の角度を形成する。

【0037】

構成部品操作装置の変形例において、位置／特性センサは、互いに一致する若しくは互いに異なる検出スペクトルを有する画像を形成するセンサ、接触若しくは非接触で距離を測定するセンサ、又は、接触若しくは非接触で検出する特性センサである。

【0038】

位置及び特性センサは、直線的又は屈曲した光学軸を有する、画像を形成するセンサとすることができる。

【0039】

ミラー及び照明ユニットを含めた位置及び特性センサのカメラシステムは、その空間的配置によって、それぞれ向き合った構成部品面及び２つのその横側面の構成部品検査が唯一のプロセス位置において並行して実現可能であるように、組み合わせることができる。全体として、たとえば直方体形状の構成部品の６つすべての側面を完全に検査するために、２つのプロセス位置で充分である。そのために、２つのプロセス位置の各々において、構成部品の６つの側面の３つが検出される。その場合に各転向装置の検査位置として、変形例においては、それぞれ第３のプロセス位置を、回転軸又は揺動軸の高さにおいてほぼ水平に定めることができる。

【0040】

付加的な位置を測定する課題は、２つの他のカメラシステム（前側／後ろ側カメラ）に対応づけることができる。

【0041】

構成部品操作装置の変形例において、第１及び／又は第２の転向装置は、少なくともほぼスター形状又はホィール形状に形成されている。転向装置は、正確に支承することができ、かつ、それぞれの軸線に沿った又はそれぞれの軸線を中心とするその位置決めは、高解像度の（たとえば回転又は線形の）エンコーダと組み合わせて、軸方向に配置された線形又は回転作用するドライブによって行うことができる。それぞれの引取部は、外周に分配して配置することができ、かつ、移送すべき構成部品のために径方向外側を向いた吸引接触箇所を有することができる。

【0042】

転向装置を互いに対して軸方向に約９０°変位して配置することの利点は、１つの転向装置から次の転向装置へ引き渡す場合の移送プロセスの間、構成部品の位置が、引取部のそれぞれの移動平面に対して引取部軸（又は転向装置軸）を中心に９０°回転を実施し、そのために引取部自体を回転運動可能に支承する必要がないことにある。構成部品のこの方位変化が、４つの構成部品切断面（＝構成部品側面）のずっと簡略化された検査を可能にする。この目的のために、構成部品切断面へ向けられかつ引取部移動平面に対して直交して（すなわち転向装置の軸方向に）配置された、構成部品切断面（＝構成部品の横側面）自体に対して好ましくはきわめてわずかな間隔を有するカメラシステムが用いられる。

【0043】

引取部及び構成部品の互いに対する、又は、引き渡し及び検査位置に対する、エラー位置の検出は、引取部位置又は構成部品位置検出測定システムとしてのカメラシステムを利用して行われる。精度要請がきわめて高い場合には、付加的にボンドツール位置検出のための、転向装置あたりそれぞれ３つの距離を測定するセンサを設けることができる。

【0044】

カメラの光学軸が、検査される構成部品表面を「貫通する」。それは、引取部位置のための参照システムを形成する。そこから導き出して、回転する転向装置の理想的な引取部移動平面に対して平行の平面内に配置された距離測定センサによって、目標運動軌跡からの引取部運動軌跡の偏差が求められる。そこから、引き渡し位置において発生する位置エラーを定めることができ、かつ、制御装置によって補償することができる。

【0045】

それぞれ付加的な位置センサの機能原理に従って、プロセスの進行中又は（たとえば走査接触する測定センサによって必要とされる）サイクリックに繰り返される参照走行の間にも、引取部位置についての参照測定が実現される。そのために、プロセス開始時に空間的な位置エラーを検出するためにも、プロセスの間に熱によってもたらされる変位を算入するためにも、サイクリックな参照走行（接触するセンサの場合には、短時間のプロセス中断を伴う）必要であって、その場合に後者は、比較的長くかかることがあり得る。

【0046】

変形例において、転向装置の位置エラー、特に、構成部品引き渡し位置における位置エラー及び（引き渡し位置及び検査位置において）そこに固定されている構成部品の位置エラー、を補償するために、ロータドライブの回転補正運動及び直交する軸方向における線形の補正運動を実施する。そのために、変形例において、ロータ駆動アッセンブリを、走行キャリッジ上に配置することができ、かつ、位置制御されるドライブ、たとえば偏心ドライブによって限定された距離セグメントだけ走行させることができる。

【0047】

構成部品操作装置の変形例において、複数の引取部を転向装置に堅固に結合することは、構成部品引き渡し位置又は検査位置から順序において次の位置へ補正値を伝達することを必要とする。この補正は、固定の引き渡し位置において開始されて、最後に構成部品を受け取り箇所へ引き渡す場合に終了する。その場合に、３つまでの軸線に沿った大まかな位置エラー及び３つまでの軸線を中心とする回転が、受け取り装置によって補償される。

【0048】

構成部品操作装置の変形例において、引取部は、それぞれの転向装置に回転可能に軸承されていない。すなわち構成部品の方位エラー補償は、移送自体の間は行うことができない。したがって変形例においては、後段に配置された周辺領域内で、特に受け取り領域内で、軸位置補正の他に、回転的な補正の可能性も設けられる。

【0049】

構成部品操作装置の他の変形例において、回転補正は、回転可能に軸承された引取部によって行われる。したがって構成部品の方位エラーの補償は、移送自体の間に行うことができる。その場合に方位エラーは、上方及び／又は下方の転向装置の回転可能に軸承された引取部によって、好ましくは下方の転向装置の引取部によって、補正される。

【0050】

ここで提示される変形例は、従来技術に比較して、コスト的により好ましく、より高い構成部品装入量、検査のためのより多い時間を提供し、かつ移動される質量はより少ない。

【0051】

より正確には、特に上述した種類の構成部品操作装置のための、受け取り装置のための解決が提示され、その受け取り装置は、置き場所に対して回転ドライブによって少なくとも部分的に、置き場所を含む第３の軸線を中心に管理されて回転するように、及び／又は、少なくとも１つのリニアドライブによって少なくとも部分的に、第１、第２及び／又は第３の軸線のいずれかに沿って管理されて走行するように、及び／又は、回転ドライブによって、受け取り装置により案内される支持体を第１及び／又は第２の軸線のいずれかに沿って管理して走行させるように、適合されている。

【0052】

ここで提示される解決は、転向装置の位置及び姿勢を、受け取り装置の位置及び／又は回転によって実時間で補償することを許す。したがって機械の構成部品装入量は、従来技術に比較して、増大されることができる。載置バンドのバンド駆動におけるあそびを回避するために、従来技術においては、ドライブは互いに対して調節されなければならない。ここで提示される解決は、それを回避する。というのは、移送は常に１方向にのみ行われるからである。これは特に、支持体バンドのポケットが、接着するカバーバンドによって次々と閉鎖される適用において役立つ。支持体バンドを再び戻るように移送しようとする場合には、カバーバンドが再び剥がされる場合に、問題が生じることがある。その場合に駆動におけるあそびは、無視することができる。

【0053】

他の変形例においては、逆方向に移送することもできる。

【0054】

構成部品の位置の補正は、受け取り装置において行われる。すなわちそのためにより多くの時間が提供される。構成部品が載置されるバンドを戻るように移送することは、もはや不要である。したがって受け取り装置の構造を、より簡単にすることができる。従来技術におけるような、バンドを逆移送するための第２の駆動ホィールは、もはや不要である。むしろ、必要な状況において、受け取り装置全体が載置バンドの移送方向とは逆に移動される。利点は、移送バンドの移送のみを介して位置決めが行われる、すでに知られている変形例に比較して、バンドのより高い位置決め精度が得られることである。その場合に移送バンド上に（自己接着する）カバーバンドを後から取り付けることも、より容易に行うことができる。

【0055】

変形例において、受け取り装置は、固定配置のベースプレートの上方に配置されており、３つのドライブのモータは、ベースプレートの下方に配置されている。受け取り装置の位置は、Ｘ、Ｙ方向に、かつ、Ｚ軸を中心に回転させて、調整することができる。受け取り装置の各移動方向に、専用のドライブが設けられている。個々のドライブの位置は、固定されていない。Ｚ補正のための回転軸は、構成部品置き場所の近傍に位置する又はその中心と一致する。

【0056】

受け取り装置の変形例において、受け取り装置には２つの受け取り箇所が設けられており、それらは、回転ドライブ及び／又はリニアドライブの管理された操作によって、置き場所に対して少なくともほぼ整合するように方向付けされる。２つの受け取り箇所は、支持体の隣接する構成部品収容部の間隔に従って互いに対して位置決めされる。

【0057】

受け取り装置の変形例において、受け取るべき構成部品の特性及び／又は位置を、受け取り装置内の受け取り箇所の少なくとも１つに対するその特性及び／又は位置に関して求めるために、画像を形成する特性及び／又は位置センサが設けられている。この画像を形成する特性及び／又は位置センサは、下方の転向装置の中心内又は中心に配置されている。このセンサからの画像データによって、受け取るべき構成部品又は受け取り箇所に特性エラー及び／又は位置エラーがある場合に、制御装置によってしかるべき補正運動を促すために補正指示を形成することができる。

【0058】

他の変形例において、受け取り装置において２つの他の画像を形成する特性及び／又は位置センサが設けられている。一方のセンサは、品質エラーを調査するために、上から第２の窓へ向けられている。他方のセンサは、上で説明したセンサに対して構成部品の傾きをより良好に検出することができるようにするために、第１の窓の側方に配置されている。

【0059】

受け取り装置の変形例において、第４の回転ドライブは、制御装置からの制御信号によって駆動されて、機械的トラクションを用いて、受け取り装置によって案内される支持体を、支持体の隣接する構成部品収容部の間隔の約８０−１２０％、好ましくは約１００％プラスマイナス最大３％だけ、第１及び／又は第２の軸線のいずれかに沿って管理して走行させるように、適合されている。その場合に回転ドライブも、制御装置からの制御信号によって駆動されて、画像を形成する特性及び／又は位置センサからの信号に従って、受け取り箇所の少なくとも１つをそこにある支持体の構成部品収容部と共に、置き場所を含む第３の軸線を中心に管理して、プラスマイナス６°まで、好ましくはプラスマイナス３°まで回動させるように、適合されることができる。さらに、追加的に又は代替的に、少なくとも１つのリニアドライブは、制御装置からの制御信号によって駆動されて、受け取り装置を、管理して、支持体の隣接する構成部品収容部の間隔の約プラスマイナス最大２０％だけ、好ましくはプラスマイナス最大３％だけ、第１、第２及び／又は第３の軸線のいずれかに沿って管理して走行させるように、適合されることができる。

【0060】

受け取り装置の変形例において、第４の回転ドライブは、受け取り装置によって案内される支持体を、支持体の隣接する構成部品収容部の間隔に従って、第１及び／又は第２の軸線の１つに沿って前進させるように、適合されている。

【0061】

受け取り装置の変形例において、受け取り装置内の受け取り箇所の少なくとも１つから、及び／又は、受け取り装置内で案内されている支持体から、損傷があると及び／又は誤って位置決めされがと認識された構成部品を除去するために、吸い出し及び／又は吹き出し装置が設けられている。

【0062】

受け取り装置の変形例の駆動において、第４の回転ドライブによって駆動されるスプロケットが、載置バンドの移送穴内へそれを移送方向に移送するために嵌入する。その場合に、スプロケットは、好ましくは前進方向のみに回転する。載置バンドは、規則的な間隔で構成部品のための載置ポケットを有している。スプロケットは、各載置ポケットに対して、固定の角度量だけ（たとえば３０°、６０°、９０°、１８０°、．．．３６０°）回転する。第２の転向装置の中心のカメラによる画像記録から、構成部品が載置された載置ポケットの位置が認識される。さらに、第２の転向装置の外周に設けられたカメラによって、次に置くべき構成部品が引取部において位置がずれていないか、が認識される。これらの位置情報から、制御装置において、受け取り装置をどの距離量及び／又は角度量だけ位置決めし直さなければならないか、が計算される。さらに、受け取り装置を位置決めする際に、構成部品を引き渡し位置において上方の転向装置から下方の転向装置へ正しく引き渡すために、転向装置がｘ及びｙ方向にそれに応じて移動されることも、考慮される。その場合に、受け取り装置は、構成部品の載置の微調整を保証するために、必要な限りにおいて、（Ｘ−、Ｙ−）軸に沿って線形に走行され、場合によっては回転される。

【0063】

構成部品が置き場所に置かれている場合に、その上方に配置されている第２の転向装置の中心のカメラが、構成部品が欠陥を有しているか、すなわち置くことによって損傷されたか又はその前にすでに損傷を有していたか、も検出している。その前に構成部品が損傷していると認識されている限りにおいて、それは置かれない。

【0064】

受け取り装置内の置き場所が、同時に第１の吸い出し位置であってもよい。そのために、受け取り装置において、置き場所に負圧を有する吸い出し器が配置されている。移送バンドの送り方向に、第２の代替的な吸い出し位置がある。すなわち。受け取り装置には、２つの窓が設けられている：置き場所を有する第１の窓と吸い出し位置を有する第２の窓。２つの窓の間の間隔は、支持体バンドの間隔に相当し、かつ、間隔に対して調節することができる。構成部品が正しく置かれず、それによって、斜め位置にある又はまだ部分的に張り出している場合には、それは、第２の転向装置の中心のカメラによって認識される。支持体バンドは、構成部品が正しく載置されなかったことに基づいて、さらに移送することはできない。したがって構成部品は置き場所において吸い出されて、次に置くべき構成部品に代えられる。構成部品が損傷している場合には、この位置において同様に除去して、次に置くべき構成部品に代えることができる。第２の窓の位置において、（場合によって他のカメラによって）エラーについて検査することができる。構成部品が欠陥品であると認識された場合に、受け取り装置が全体として戻るように移動されて、欠陥があると認識された構成部品が置き場所において吸い出される。

【0065】

代替的に、欠陥品であると認識された構成部品を除去するために、第２の吸い出し位置を使用することもできる。

【0066】

ここで提示される配置によって、欠陥を認識するために構成部品を検査することが、可能である。構成部品は、第１及び第２の転向装置によって置かれて、欠陥があると認識された構成部品が置き場所において除去される。これは、共通の位置で行われる。

【0067】

受け取り装置は、３つの方向に移動する：Ｘ及びＹ方向に、及び、置き場所の中心／その近傍においてその垂直軸（Ｚ軸）を中心に。これも、移送バンドが移送方向に移送されてかつ受け取り装置が構成部品を置き場に対して位置決めするためにバンド移送方向に対して垂直に移動される、従来の配置とは異なるとみなされる。置き場所は、シェル（トレイ、たとえばＪｅｄｅｃトレイ）の形式で又はアンテナトラックとして存在することもできる。

【0068】

代替的な変形例において、受け取り装置には、受け取り装置内の受け取り箇所の少なくとも１つ及び／又は受け取り装置内で案内される支持体から、損傷があると及び／又は誤って位置決めされたと認識された構成部品を除去するために、吸い出し及び／又は吹き出し装置が対応づけられている。

【0069】

受け取り装置は、変形例において、構成部品を、その回転軸が受け取り装置の移送方向に対して実質的に平行に方位付けされた転向装置から受け取ることができ、又は、受け取り装置は、他の変形例において、構成部品を、その回転軸が受け取り装置の移送方向に対して実質的に横方向に方位付けされた転向装置から受け取ることができる。

【0070】

変形例において、転向装置の中心に、受け取るべき構成部品の特性及び／又は位置を求めるために、又は、受け取り装置内の受け取り箇所及び／若しくはその中にある構成部品の位置を求めるために、画像を形成する特性及び／又は位置センサが設けられている。この画像を形成する特性及び／又は位置センサは、転向装置の周面に配置された隣接する引取部の間を通して、受け取り装置内の少なくとも１つの受け取り箇所の画像キャプチャーを実施するように、適合されている。

【0071】

代替的な変形例において、転向装置の中心に方向変換ミラー又はプリズムが配置されており、それは、受け取るべき構成部品の特性及び／又は位置を求めるために、又は、受け取り装置内の受け取り箇所及び／又はその中にある構成部品の位置を求めるために、転向装置の外部に配置された画像を形成する特性及び／又は位置センサに対応づけられている。方向変換ミラー又はプリズムは、転向装置の外部に配置された画像を形成する特性及び／又は位置センサと共に、転向装置の周面に配置された隣接する引取部の間を通して、受け取り装置内の少なくとも１つの受け取り箇所の画像キャプチャーを実施するように、適合されている。

【0072】

受け取り装置は、置き場所に対して、リニアドライブによって、少なくとも部分的に、第１の軸に沿って管理されて両方向へ走行する。回転ドライブを用いて、受け取り装置によって案内される支持体が、第１及び／又は第２の軸線のいずれかに沿って支持体の移送方向に管理されて走行する。受け取り装置によって案内される支持体には２つの受け取り箇所が設けられており、それらの受け取り箇所は、構成部品のための置き場所に対して、ドライブの管理された操作によって少なくともほぼ整合するように方向付けされる。画像を形成する特性及び／又は位置センサは、受け取り装置内の少なくとも１つの受け取り箇所における、その特性及び／又はその位置に関して、調査すべき構成部品の特性及び／又は位置を供給する。特性及び／又は位置センサからの画像データに基づいて、構成部品の特性エラー及び／又は位置エラーがある場合に、制御装置によって、受け取り装置及び／又はその中で案内される支持体のしかるべき補正運動を促すための補正指示が行われる。受け取り装置内の少なくとも１つの受け取り箇所から、及び／又は、受け取り装置内で案内される支持体から、損傷があると及び／又は誤って位置決めされがと認識された構成部品を除去するために、受け取り装置に、吸い出し及び／又は吹き出し装置が対応づけられている。

【0073】

特に、上述した構造／機能方法の、受け取り装置から欠陥のある構成部品を除去する方法は、以下のステップを有している：
第１の受け取り箇所における構成部品のための支持体のポケット内に正しく置かれなかった構成部品を検出し、
リニアドライブを用いて受け取り装置を移送方向に沿って移動させ、これによって、正しく置かれなかった構成部品は第２の受け取り箇所に位置し、その場合に、受け取り装置内で案内される支持体は移送されず、
正しく置かれなかった構成部品を第２の受け取り箇所において構成部品のためのポケットから吸い出し、
リニアドライブによって受け取り装置を移送方向とは逆に移動させ、これによって、第１の受け取り箇所には構成部品のための空のポケットが存在し、その場合に、受け取り装置内で案内される支持体は移送されず、
第１の受け取り箇所において、支持体のポケット内に構成部品が置かれる。

【0074】

電子的な構成部品に対する品質要請が増大する一方で、電子的な構成部品の寸法は減少していることに基づいて、かつ、電子的な構成部品は常に削減されるプロセス時間において加工すべきであるため、従来のセンサ配置は充分でないことが認識されている。

【0075】

したがって変形例として、特に上で開示した種類の構成部品操作装置内で、構成部品の位置及び／又は特性を検出するのに適しており、かつそのように定められている、画像を形成するセンサが提案される。この画像を形成するセンサには、少なくとも２つの互いに異なる検出スペクトルが設けられている。このセンサは、特に受け取り装置の受け取り箇所内にある構成部品の特性エラー及び／又は位置エラーを検出するのに適しており、かつそのように定められている。この画像を形成するセンサは、放射源と協働するのに適しており、かつそのように定められており、その放射源は、画像を形成するセンサに対する放射スペクトル並びに放射入射角度及び／又は放射反射角度に関して、このセンサに合わせられている。画像を形成するセンサは、その検出スペクトルの各々について、その後段に配置されている画像評価装置に、個別の画像を提供するのに適しておりかつそのように適合されている。

【0076】

この画像を形成するセンサにおいて、たとえば、少なくとも２つの互いに異なる検出スペクトルは、可視領域及び不可視領域において形成されている。それらは、カラーセンサの赤のカラー領域（６３０ｎｍプラスマイナス３０ｎｍ）、及び／又は、緑のカラー領域（５３０ｎｍプラスマイナス６０ｎｍ）、及び／又は、青のカラー領域（４６０ｎｍプラスマイナス５０ｎｍ）で形成することもできる。

【0077】

画像を形成するセンサの変形例において、光学的に有効なエレメントが設けられており、そのエレメントは、センサを、受け取り装置内の少なくとも１つの受け取り箇所内の構成部品と、及び／又は、受け取り装置内で案内される支持体と、光学的に結合するように、適合されている。

【0078】

画像を形成するセンサの変形例において、光学的に有効なエレメントは、方向変換ミラー、プリズム、カラーフィルタ及び／又はレンズを含んでいる。

【0079】

光学的に有効なエレメント及び／又は放射源の各々は、他のものとは関係なく能動化し、方向付けし、及び／又は、調整／合焦されるように、適合されることができる。

【0080】

ここで開示される統合された操作／検査装置は、画像を形成するセンサを使用し、そのセンサは、一方で、構成部品のすべての又はほぼすべての端面及び／又は側面を検査し、また他方では、第１及び／又は第２の転向装置並びに受け取り箇所においてマニピュレータ（引取部）を位置決めするための重要なデータを供給する。

【0081】

変形例において、第１（上方）の転向装置の画像を形成するセンサは、転向装置の中心のカラーカメラである。代替的に、カメラは白黒カメラであってもよく、そのカメラが他の変形例において、横方向にかつ転向装置の中心の４５°方向変換ミラーと協働する。変形例において、このカメラは、上方の転向装置が回転する間に、２つの引取部の間の隙間を通して、次のステップにおいて構成部品放出器によって構成部品ストックから個別化される構成部品を検出する。その際に獲得された画像キャプチャーから、構成部品の検査も、構成部品ストック内のその正確な位置決定も、可能である。画像キャプチャーは、上方の転向装置が回転する間に、覗き窓と称される期間内に行われる。

【0082】

ここで開示される統合された操作／検査装置は、さらに、上方の転向装置における側方の複数のカメラの形式の画像を形成するセンサを使用する。これらのカメラは、構成部品の前面がその円形経路上で中央のカメラによって正面で検出され、かつ、互いに対向する横側面が中央のカメラの両側で検出されるように、上方の転向装置の径方向外側に約９０°で配置されている。これらのカメラは、必ずしもカラーカメラである必要はない。複数の画像キャプチャーを形成することができる、何故ならば、上方の転向装置は短時間（１０ｍｓから６０ｍｓ、たとえば４０ｍｓ）、それぞれ後続の構成部品引き渡しのために１８０°位置に静止するからである。この短い停止時間は、検査のために十分である。この目的のために、白黒カメラを使用することもできる。２つの側方のカメラによる側方検査によって、構成部品の端面が損傷について調査される。中央のカメラによる後側検査によって、構成部品後側が損傷について調査される。後側検査のために、複数の画像キャプチャーを実施して、種々の欠陥を強調することができる。ここで使用されるカメラは、同様にカラーカメラであってもよい。しかしこれは、必ずしも必要ではない、何故ならば、上で説明したように、静止時間に基づいて充分な時間が提供されるからである。

【0083】

ここで開示される統合された操作／検査装置は、さらに、下方の転向装置における側方の複数のカメラの形式の画像を形成するセンサを使用する。これらのカメラは、構成部品の前面がその円形経路上で中央のカメラによって検出され、かつ、互いに対向する横側面が中央のカメラの両側にあるカメラによって検出されるように、下方の転向装置の径方向外側に約９０°で配置されている。これらのカメラは、必ずしもカラーカメラである必要はない。代わりに、白黒カメラを使用することもできる。この位置において、構成部品がエラーについて検査され、そしてまた画像データが位置データについても評価される。２つの側方のカメラによる側方検査によって、構成部品の切断面が損傷について調査される。中央のカメラによる後側検査によって、構成部品後側が損傷について検査される。後側検査のために、種々の欠陥を強調するために、複数の画像キャプチャーが実施することができる。次に構成部品を受け取り装置内へ置くために、構成部品の位置データ（ｘ、ｙ、回動）を側方検査によって求めることができる。この目的のために、他の変形例においては、後側検査が使用される。これらの情報は、制御装置によって、必要な場合に補正を実施するために使用される。ここで使用されるカメラは、同様にカラーカメラであってもよい。しかしこれは、必ずしも必要ではない、何故ならば、静止時間の間、時間が十分に提供されるからである。

【0084】

ここで開示される統合された操作／検査装置は、さらに、下方の転向装置の中心のカメラの形式の画像を形成するセンサを使用する。このカメラは、３つの個々のチャネルＲ、Ｇ、Ｂを有するカラーカメラとすることができる。その場合に３チップカラーカメラが使用されるか１チップカラーカメラが使用されるかは、重要ではない。３チップカメラは、各カラーＲ、Ｇ、Ｂのために別体の画像センサを有し、１チップカメラは画像センサの前で交互に能動化されるフィルタを使用する。ここで使用される白黒カメラは、たとえば２５５グレイ段階を備えた１つのチャネルを有し、カラーカメラの場合には、３つのチャネルの各々がたとえば１色の２５５の輝度段階を有している。重要なことは、カメラの３つのカラーチャネルが互いに分離して応答可能／読み出されること、又は、少なくとも制御装置において３つのカラーチャネルの分解を行うことができることである。各チャネルのために、異なる露光時間が可能である。ここでは、たとえば、以下の露光時間を使用することができる：５ｍｓ（緑）、１２ｍｓ（赤）、１５ｍｓ（青）。ここで開示される統合された操作／検査装置においては、それぞれ能動化されたカラーチャネルに応じて、異なる照明色が使用される。白色光は、特にすべての色の混合であるので、この露光色によってすべてのチャネルに同時に作用することができる。しかしこれは、得ることのできる画像品質が要請に適合しない場合には、絶対に行われない。

【0085】

変形例において、画像を形成するセンサに半透明のミラーが対応づけられており、そのミラーは、カメラチップの光学軸に対して約４５°の角度で配置されており、かつ該当する光源からの、２つ、より多くの、又は、任意の数の異なる検出スペクトルのカラー光を光学的に取り入れて、検査領域へ向けるために、用いられる。検査領域へ、したがって構成部品端面又は側面及び場合によってはポケット内のその周囲へ向けられたこの光は、そこで反射されて、画像を形成するセンサの少なくとも１つのカメラチップによって検出される。

【0086】

さらに、変形例において、画像を形成するセンサに、検査箇所を中心とするリング光源としての光源が対応づけられている。このリング光源は、第３のカラー領域内で約５°−４５°の角度で散乱光を供給する。検査領域へ向けられたこの光も、そこで反射されて、画像を形成するセンサの少なくとも１つのカメラチップによって検出される。光又は種々の色の光源は、任意に配置することができる又は同じ放射角度を有することもできる。

【0087】

ここで開示される統合された操作／検査装置は、下方の転向装置の中心で、受け取り装置の同軸の照明を取り入れるために方向変換ミラーを使用する。もっと正確には、受け取り装置によって案内される、構成部品のための載置ポケットを有する載置バンドの形式の支持体が、カメラによって検出される。唯一の画像記録によって、エラー、たとえば構成部品が斜めに置かれたことに起因してその載置ポケット内で正しく位置決めされていないことについて、又は、品質欠陥について、検査が行われる。さらに、この唯一の画像記録によって、次の構成部品を置くための載置バンドの載置ポケットの位置データが検出される。個々のカラーチャネルから獲得すべき情報は、調査すべき課題設定に従って任意に、たとえば以下のように、分割することができる：照明タイプ１を有する画像チャネル１：次の構成部品を位置決めするための載置バンドの載置ポケットの位置。照明タイプ２を有する画像チャネル２：構成部品の品質検査（亀裂、レーザーマーク、欠けなど）。照明タイプ３を有する画像チャネル３：特殊な構成部品又は顧客固有のエラーのための付加検査。

【0088】

構成部品は、統合された操作／検査装置の変形例において、「ブラインド」置きされる。すなわち、本来の置くプロセスは、置くプロセスの前に、先行する構成部品に対応づけられた画像記録から獲得された、情報又は位置データに基づいている。置くプロセスの瞬間には、第２の転向装置の中心のカメラは、その時に載置する引取部が視野を遮るので、置き場所を見ていない。

【0089】

変形例において、構成部品がねじれているか、についての情報又は位置データは、下方の転向装置の外周に設けられたカメラが供給する。情報又は位置データは、受け取り装置の制御装置へさらに伝えられる。載置バンドの載置ポケット内に以前に置かれた構成部品の画像記録から、受け取り装置の位置が認識されている。２つのポケットの間の間隔も、同様にわかっている。それらから、次に置くべき構成部品のために、受け取り装置をどの角度並びにｘ及びｙ量だけ移動させなければならないか、を計算することができる。

【0090】

更なる装置の視点から、対応する追加的又は代替的な方法ステップが得られる。

【0091】

ここで提示される、画像を形成するセンサシステムの配置は、従来のセンサ配置よりも少ない画像キャプチャーで間に合わせることができる。獲得された画像データは、欠陥部品排出のためにも、操作／検査装置のアクチュエータを位置決めするためにも、評価される。この統合されたアーキテクチャ及びそれによって可能なやり方が、プロセス時間を削減し、増大された装入量において検査品質の向上を提供する。

【0092】

他の特徴、特性、利点及び可能な変形が、以下の説明を用いて当業者に明らかにされ、その説明において添付の図面が参照される。図は、構成部品のための光学的な調査装置を図式的に示している。

【図面の簡単な説明】

【0093】

【図1】構造化された構成部品ストックから角柱状又は円柱状の構成部品を取り出して、受け取り装置に置くための構成部品操作装置を図式的に示す側面図である。

【図2】図１の構成部品操作装置の様々な位置及び特性センサを、構成部品の側面に関して方向付けすることを図式的に示している。

【図3】構成部品操作装置の１つ又は両方の転向装置の周面に配置された位置及び特性センサの１つを図式的に示す上面図である。

【図4】構成部品操作装置と共に使用するための受け取り装置を図式的に示す斜視図である。

【図5】構成部品操作装置と共に使用するための、対応づけられた照明装置を有する位置及び特性センサの１つを図式的に示している。

【発明を実施するための形態】

【0094】

図１には、構造化された構成部品ストックから電子半導体チップの形式の角柱状の構成部品Ｂを取り出して、受け取り装置２００に置くための構成部品操作装置１００が示されている。ここに提示される構成部品操作装置１００は、構成部品操作装置の上方の領域内に水平に配置されている構成部品ストック、ここではウェハディスク、から、固定位置の放出ユニット１１０によって、構成部品Ｂを受け取る。

【0095】

放出ユニット１１０は、図示の変形例においては、構成部品ストックから構成部品を個別に解放するために、制御装置ＥＣＵによって管理されるニードルによって作動し、又は、たとえばレーザービームによって非接触で作動し、それによって構成部品は第１の転向装置１３０へ供給される。この第１の転向装置１３０は、スター又はホィールの形状を有し、その周面に個別化された構成部品Ｂのための複数の（図示の例においては８つの）引取部１３２を有している。引取部１３２の各々は、第１の転向装置１３０の０°位置において放出ユニット１１０にもっとも近くなった場合に、提供箇所ＳＰＳにおいて構造化された構成部品ストックから構成部品Ｂを受け取るように、適合されている。

【0096】

引取部１３２は、スター形状又はホィール形状の第１の転向装置１３０の（仮想の）周面に径方向外側を向くように配置されており、構成部品Ｂを支持する。第１の転向装置１３０の引取部１３２は、回転軸（ここではＸ軸）に対して径方向に走行可能である。したがって、これらの引取部１３２は、それぞれ引取部１３２の１つに固定された、構成部品Ｂを、揺動角度−ここでは０°と１８０°の間−内で構成部品受け取りと構成部品引き渡しの間で移送することができる。

【0097】

第１の転向装置１３０は、詳しく示されない制御装置ＥＣＵによって制御されて、構成部品Ｂを第１の軸線、ここではＸ軸を、中心に第１の引き渡し箇所ＵＳへ第１のあらかじめ定められた角度、ここでは１８０°だけ回転させる。その場合に構成部品Ｂは、その長手軸又は横軸を中心に転向される。第１の転向装置１３０に類似した、複数の、ここでは同様に８つの、第２の引取部１５２を有する第２の転向装置１５０は、構成部品Ｂが第２の転向装置１３０の０°位置において引き渡し箇所ＵＳにもっとも近い場合に、引き渡し箇所ＵＳにおいて構成部品Ｂを第１の転向装置１３０の引取部１３２から受け取るように、適合されている。

【0098】

第２の転向装置１５０は、制御装置ＥＣＵによって制御されて、受け取った構成部品Ｂを、第２の軸線、ここではＹ軸を中心に第２のあらかじめ定められた角度、ここでは約１８０°だけ、その長手軸又は横軸を中心に転向させ、それを置き場所ＡＢＳへ移送する。

【0099】

第１、第２及び／又は第３の軸線は、互いにそれぞれ９０°プラス／マイナス最大１０°又は１５°の角度を形成し、三次元の直交する座標系において方位付けされる。

【0100】

２つのスター形状又はホィール形状の転向装置１３０、１５０は、互いに直交して配置されており、その他においてその構造は一致している。図１の表示とは異なり、２つの転向装置１３０、１５０の配置は、受け取り装置２００の移送方向に関してＺ軸を中心に９０°回動させることもできる。この場合において下方の転向装置１５０は、受け取り装置２００の移送方向に対して少なくともほぼ横方向に方位付けされる。

【0101】

第１及び第２の転向装置１３０、１５０には、位置及び特性センサＫ１．．．Ｋ４が対応づけられている。図１に示すように、これらのセンサは、配置全体の複数の箇所に配置されている。それらは、第１及び第２の転向装置１３０、１５０の位置データ、引取部１３２、１５２にある構成部品Ｂの位置データ及び引取部１３２、１５２にある構成部品Ｂの特性を検出するように、適合されている。その場合に獲得されたデータは、制御装置へ提供される。ここに示す形態において、第１のカメラ配置Ｋ１は、第１の転向装置１３０の中心において垂直上方へ向かって構成部品ストックへ向けられている。３つのカメラ−図１では見られない−を有する第２のカメラ配置Ｋ２は、第１の転向装置１３０の周辺において、そのそばを案内される構成部品Ｂへ９０°で向けられている。この第２のカメラ配置Ｋ２についての詳細が、図３に関連して説明される。第２のカメラ配置Ｋ２に相当する、３つのカメラを有する第３のカメラ配置Ｋ３が、第２の転向装置１５０の周辺において、そのそばを案内される構成部品Ｂへ９０°で向けられている。第４のカメラ配置Ｋ４は、第２の転向装置１５０の中心において、置き場所ＡＢＳへ又は受け取り装置２００内の第１の受け取り箇所ＥＳ１へ向けられている。

【0102】

制御装置ＥＣＵは、第１の回転ドライブＤＡ１を用いて第１の転向装置１３０を第１の軸線（ここではＸ軸）を中心に管理して回転させ、かつ第１のリニアドライブＬＡ１を用いて第１の転向装置１３０を第１の軸線に沿って管理して走行させるように、適合されている。

【0103】

制御装置ＥＣＵは、さらに、第２の回転ドライブＤＡ２を用いて第２の転向装置１５０を、第１の軸線（ここではＸ軸）に対して同一直線上にない第２の軸線（ここではＹ軸）を中心に管理して回転させ、かつ第２のリニアドライブＬＡ２を用いて第２の転向装置１５０を第２の軸線に沿って管理して走行させるように、適合されている。

【0104】

画像を形成するセンサは、構成部品Ｂの端面及び／又は側面を検査して、その場合に第１及び第２の転向装置１３０、１５０をその軸に沿って、かつその軸を中心に位置決めし、かつ引取部１３２、１５２とそれに設けられた構成部品Ｂ及び受け取り箇所を位置決めするための重要なデータも提供する。

【0105】

構成部品操作装置１００には、置き場所ＡＢＳに対応づけられた、そこへ移送される構成部品Ｂのための受け取り装置２００が搭載されている。その場合に受け取り装置２００には、位置及び特性センサＫ４、Ｋ５が対応づけられており、それらは、置き場所ＡＢＳへ移送された構成部品Ｂの位置データ、受け取り装置２００内の受け取り箇所ＥＳ１、ＥＳ２及びそこにある構成部品Ｂの位置データと特性を検出して、制御装置ＥＣＵへ提供するように、適合されている。その場合に位置及び特性センサＫ５は、第５のカメラ配置であって、それは第２の受け取り箇所ＥＳ２における第２の窓へ向けられている。制御装置ＥＣＵは、第３の回転ドライブＤＡ３を用いて受け取り装置２００を、置き場所ＡＢＳを含む第３の軸線（ここではＺ軸）を中心に管理して回転させ、かつ第３及び第４のリニアドライブＬＡ３、ＬＡ４を用いて受け取り装置を第１及び第２の軸線に沿って管理して走行させるように、適合されている。制御装置ＥＣＵは、第４の回転ドライブＤＡ４を用いて、受け取り装置２００によって案内される支持体３２０を第１の軸線（ここではＸ軸）に沿って管理して走行させる。この支持体３２０は、構成部品Ｂを個別化された形式で第２の転向装置１５０から引き取るために用いられる。転向装置１３０、１５０と回転ドライブＤＡ１、ＤＡ２．．．は、そのそれぞれの回転位置を定めるために、それぞれ制御装置ＥＣＵと接続された、詳しくは示されない高解像度の回転角度エンコーダを有している。

【0106】

受け取り装置２００内で、第４の回転ドライブＤＡ４は、制御装置ＥＣＵからの制御信号の制御のもとで、受け取り装置２００によって案内される支持体３２０を第１の軸線（ここではＸ軸）に沿って、支持体３２０の隣接する構成部品収容部（ポケット）の間隔の約１００％プラスマイナス最大３％だけ管理して走行させるために用いられる。間隔は、２つの互いに連続するポケットの中心間隔から得られる。第３の回転ドライブＤＡ３は、制御装置ＥＣＵからの制御信号の制御のもとで、第２の転向装置１５０の中心にある画像を形成する特性及び位置センサからの信号に従って、受け取り箇所ＥＳ１の１つをそこにある支持体３２０の構成部品収容部と共に、置き場所を含むＺ軸を中心に管理してプラスマイナス６°まで回転させるように、適合されている。

【0107】

受け取り装置２００の第４の回転ドライブＤＡ４は、図４に示す変形例において、スプロケットを有し、そのスプロケットが、支持体３２０（載置バンド）をその移送方向に移送するために、支持体の移送穴３２５内へ嵌入する。その場合にスプロケットは、好ましくは前進方向にのみ回転する。

【0108】

この変形例では、受け取り装置２００において、受け取り箇所ＥＳ１に対して下流側に吸い出し及び／又は吹き出し装置３４０が設けられている。しかしこれは、選択的である。したがって、制御装置ＥＣＵからの制御信号によって駆動されて、損傷があると又は誤って位置決めされたと認識された構成部品がそのポケットから除去される。

【0109】

構成部品Ｂを引取部１３２、１５２内へ吸い込むため、構成部品Ｂを引取部１３２、１５２内に保持するため、制御される吹き払い衝撃をもって又はそれなしで構成部品Ｂを置くため、及び、引取部１３２、１５２から構成部品Ｂを吹き払うために、これらには、詳しく示されないニューマチックユニットが接続されている。ニューマチックユニットは、構成部品を個々に収容し、保持し、そして再び放出するために、制御装置ＥＣＵによって管理されて、個々の引取部１３２、１５２へそれぞれ必要な時点または期間に、弁制御されて過圧又は負圧を供給する。

【0110】

制御装置ＥＣＵと位置及び特性センサを用いて個々のステーションにおいて獲得された検査結果がポジティブである限りにおいて、それぞれの構成部品Ｂはその時に置き場所ＡＢＳにある受け取り箇所ＥＳ１内へ、したがって支持体３２０のポケット内へ置かれる。獲得された検査結果がネガティブである限りにおいて、構成部品Ｂは次の位置だけ第１の吸い出し器３３０へさらに回動されて、そこで第２の転向装置１５０におけるその引取部１５２から吸い出される。この受け取り箇所ＥＳ１を監視する位置及び特性センサ（図５も参照）によって、置かれた構成部品Ｂが置かれた後に位置又は特性エラーを有することが、明らかにされた限りにおいて、その構成部品は、受け取り箇所ＥＳ１に対して下流側に位置する第２の吸い出し器３４０によって支持体３２０のポケットから吸い出される。この場合において次に、制御装置ＥＣＵによって管理されて、受け取り装置２００全体が支持体３２０と共に、第３のリニアドライブＬＡ３によって支持体３２０の２つのポケットの中心間隔だけ、支持体３２０の移送方向とは逆に戻される。その後、第２の転向装置１５０における次の構成部品Ｂが、支持体３２０の空になったポケット内へ挿入される。

【0111】

他の変形例において、受け取り箇所ＥＳ１において斜めになった構成部品を吸い出すために、第１の受け取り箇所ＥＳ１に、付加的な、詳しく図示されない吸い出し装置が対応づけられている。位置及び特性センサＫ４により、又は第２の窓における位置及び特性センサＫ５によって、品質エラーがあれば、それを検出することができる。位置及び特性センサＫ５が品質エラーを検出した限りにおいて、受け取り装置２００が支持体３２０と共に戻されて、その後、置き場所において構成部品Ｂが支持体３２０のポケットから吸い出される。受け取り箇所ＥＳ１に斜めに置かれた構成部品の傾きは、受け取り箇所ＥＳ１に対応づけられた、詳しく示されない位置及び特性センサＫ６によって認識することができる。この位置及び特性センサＫ６は、支持体３２０に対して側方に配置されており、受け取り箇所ＥＳ１を直接、又は、支持体３２０の上端縁の上方の方向変換ミラーを介して、検出する。すなわち、正しく置かれなかった構成部品の傾き又は張り出しがあれば、それを認識することができる。

【0112】

図１との組み合わせにおいて図２に明らかなように、カメラ配置Ｋ１は、位置及び特性センサとして第１の転向装置１３０の中心で構成部品ストックへ向けられている。したがって、構成部品Ｂの端面Ｄ２が位置とエラーについて検査される。その場合にカメラ配置Ｋ１は、それぞれ第１の転向装置１３０の転向運動の間に２つの隣接する引取部１３２の間を通して画像キャプチャーを実施するように、適合されている。これらの画像データから制御装置は、放出ユニットの、構成部品ストック又はウェハの、及び、第１の転向装置１３０の、しかるべき補正運動を生じさせる。

【0113】

第２のカメラ配置Ｋ２は、位置及び特性センサとしてその３つのカメラを、第１の転向装置１３０の周辺において構成部品Ｂの３つの側Ｓ２、Ｓ４及びＤ１へ約９０°で向けている。カメラ配置Ｋ２のその３つのカメラＫ２−１、Ｋ２−２及びＫ２−３の上面図が、図３に示されている。その場合に中央のカメラＫ２−２が構成部品Ｂの端面Ｄ１を、そして２つの側方のカメラＫ２−１とＫ２−３がそれぞれのミラーＳＰ１とＳＰ２を介して構成部品Ｂの側面ＳＰＳ２とＳ４を検査する。その場合に検出された画像キャプチャーから、構成部品Ｂのこれらの面に場合によって生じるエラーの他に、構成部品Ｂのその引取部１３２における正確な位置と回転も定められる。これらの情報は、制御装置ＥＣＵにおいて、検査された構成部品Ｂが引き渡し箇所ＵＳにおいて第１の転向装置１３０から第２の転向装置１５０へ引き渡される場合に、第１の転向装置１３０と第２の転向装置１５０のその軸線に沿った方向付けと回転方位を変化させるために、使用される。

【0114】

第３のカメラ配置Ｋ３は、位置及び特性センサとしてその３つのカメラを、第２の転向装置１５０の周辺の外部において、構成部品Ｂの３つの側Ｓ１、Ｓ３及びＤ２へ約９０°で向けている。このカメラ配置Ｋ３は、その構造とその配置において、図３に示す３つのカメラと２つのミラーを有するカメラ配置Ｋ２に相当する。その場合に検出された画像キャプチャーから、構成部品Ｂのこれらの面に場合によっては生じるエラーの他に、第２の転向装置１５０のその引取部１５２における構成部品Ｂの正確な位置と回転も定められる。これらの情報は制御装置ＥＣＵ内で、検査された構成部品Ｂが引き渡し箇所ＵＳにおいて第２の転向装置１５０から、置き場所ＡＢＳにある受け取り箇所ＥＳ１内へ、したがって支持体３２０のポケット内へ置かれる場合に、第２の転向装置１５０と受け取り装置２００のその軸線に沿った方向付けと回転方位を変化させるために、使用される。

【0115】

第４のカメラ配置Ｋ４は、位置及び特性センサとして、第２の転向装置１５０の中心において受け取り装置２００内の受け取り箇所Ｅ１へ向けられている。このカメラ配置Ｋ４も、それぞれ第２の転向装置１５０の転向運動の間に２つの隣接する引取部の間を通して画像キャプチャーを実施するように、適合されている。その場合に制御装置ＥＣＵは、第２の転向装置１５０と受け取り装置２００のしかるべき補正運動を促す。

【0116】

図５に示す位置及び特性センサ４００は、画像を形成するセンサとしてカメラ配置Ｋ１−Ｋ５の変形例である。このセンサ４００は、可視光スペクトルを記録するカメラチップ４１０を有している。この画像を形成するセンサ４００において、３つの互いに異なる検出スペクトルは、カラーセンサの赤のカラー領域−６３０ｎｍプラスマイナス３０ｎｍ−として、緑のカラー領域−５３０ｎｍプラスマイナス６０ｎｍ−として、及び青のカラー領域−４６０ｎｍプラスマイナス５０ｎｍ−として形成されている。

【0117】

画像を形成するセンサ４００には、半透明のミラー４２０が対応づけられており、そのミラーは、カメラチップ４１０の光学軸に対して約４５°の角度で配置されている。半透明のミラー４２０は、しかるべき光源４４０から２つの検出スペクトルの、ここでは緑のカラー領域と青のカラー領域の、カラー光を光学的に取り込んで、構成部品Ｂの端面へ向けるために、用いられる。構成部品Ｂへ向けられた緑と青のカラー領域内のこの光を、カメラチップ４１０が検出する。それぞれ空間的な条件に応じて、他の方向変換ミラー、プリズム、カラーフィルタ又はレンズを設けることもできる。

【0118】

他の光源４５０がリング光源としての形態で、置き場所ＡＢＳにある受け取り箇所ＥＳ１を中心に配置されており、かつ構成部品Ｂの端面へ散乱光を赤のカラー領域内で約５°−４５°の角度で供給する。構成部品Ｂへ向けられた、赤のカラー領域内のこの光も、カメラチップ４１０が検出する。

【0119】

光学的に有効な部材及び／又は放射源の各々は、他のものとは関係なく方向付けし、及び／又は調整／合焦するように、適合されることができる。

【0120】

カメラチップ４１０は、この変形例において、３つの個別のチャネルＲ、Ｇ、Ｂを有するカラーカメラである。しかしまた、より多いチャネルを有するカメラであってもよい。カメラの３つのカラーチャネルは、互いに分離して応答可能／読み出される。唯一の画像記録によって、構成部品Ｂがエラーについて、たとえば構成部品Ｂが斜めに置かれたことに起因して支持体３２０の定められたポケット内に正しく位置決めされていないことについて、又は、品質の欠陥について、検査される。さらに、この唯一の画像記録によって、次の構成部品Ｂを置くための支持体３２０のポケットの正確な位置データが検出される。個々のカラーチャネルから獲得すべき情報は、以下のように分割される：照明タイプ１を有する画像チャネル１：次の構成部品を位置決めするための載置バンドの載置ポケットの位置。照明タイプ２を有する画像チャネル２：構成部品の品質検査（亀裂、レーザーマーク、欠けなど）。照明タイプ３を有する画像チャネル３：特殊な構成部品又は顧客固有のエラーについての付加検査。

【0121】

ここで提示される画像を形成するセンサ技術によって、欠陥部品排出及びアクチュエータの位置決めを実現するために、従来のセンサ配置よりも少ない画像キャプチャーしか必要とされない。

【0122】

なお、ここで数値領域及び数値が開示されているが、上述した領域内部の開示された値と各数値のサブ領域の間のすべての数値は、同様に開示されたものとみなされる。

【0123】

装置の上述した変形例及びその構造と駆動の視点は、ただ、構造、機能方法及び特性を理解しやすくするために用いられるものである；それらは開示を、たとえば実施例に限定するものではない。図は部分的に図式的であり、その場合に機能、作用原理、技術的形態及び特徴を明らかにするために、重要な特性及び効果は、部分的に著しく拡大して示されている。その場合に図又はテキストに開示されている、各機能方法、各原理、各技術的形態及び各特徴は、この開示に含まれ、又はそれから得られるすべての請求項、テキスト内及び他の図内の各特徴、他の機能方法、原理、技術的形態及び特徴と、自由かつ任意に組み合わせることができるので、すべての考えられる組み合わせは、記載したやり方に対応づけられる。その場合にテキスト内の、すなわち明細書の各部分内、請求項内のすべての個々の形態の間の組み合わせ、及びテキスト内、請求項内及び図内の種々の変形例の間の組み合わせも含まれる。また、請求項は開示及びそれに伴ってすべての示された特徴を互いに組み合わせる可能性を限定するものではない。すべての開示された特徴は、個々に、かつすべての他の特徴との組み合わせにおいて、ここに明白に開示されている。

【符号の説明】

【0124】

ＡＢＳ 置き場所
Ｂ 構成部品
Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４ 構成部品の側面
Ｄ１、Ｄ２ 構成部品の端面
ＤＡ１ 第１の軸（Ｘ軸）を中心に第１の転向装置を回転させるための第１の回転ドライブ
ＤＡ２ 第２の軸（Ｙ軸）を中心に第２の転向装置を回転させるための第２の回転ドライブ
ＤＡ３ 置き場所ＡＢＳを含む第３の軸（Ｚ軸）を中心に受け取り装置を回転させるための第３の回転ドライブ
ＤＡ４ 支持体を移送方向に移送する、受け取り装置の第４の回転ドライブ
ＬＡ１ 第１の転向装置を第１の軸（Ｘ軸）に沿って走行させる、第１のリニアドライブ
ＬＡ２ 第２の転向装置を第２の軸（Ｙ軸）に沿って走行させる、第２のリニアドライブ
ＬＡ３ 受け取り装置を第１の軸に沿って走行させるための、第３のリニアドライブ
ＬＡ４ 受け取り装置を第２の軸に沿って走行させるための、第４のリニアドライブ
ＬＡ５ 受け取り装置によって案内される支持体を第１の軸（Ｘ軸）に沿って走行させるための、第５のリニアドライブ
ＥＳ１ 第１の受け取り箇所
ＥＳ２ 第２の受け取り箇所
ＥＣＵ 制御
Ｋ１．．．Ｋ４、Ｋ５ 位置及び特性センサ
Ｋ１ 第１の転向装置の中心において垂直上方へ向けられた、第１のカメラ配置
Ｋ２ 第１の転向装置の周辺においてそのそばを通過する構成部品へ９０°で向けられている、３つのカメラを有する第２のカメラ配置
Ｋ３ 第２の転向装置の周辺において、そのそばを通過する構成部品へ９０°で向けられている、３つのカメラを有する第３のカメラ配置
Ｋ４ 第２の転向装置の中心において、置き場所又は受け取り装置の第１の受け取り箇所へ向けられている、第４のカメラ配置
Ｋ５ 第２の受け取り箇所における第２の窓へ向けられた第５のカメラ
ＳＰ１、ＳＰ２ ミラー
ＳＰＳ 提供箇所
ＵＳ 引き渡し箇所
１００ 構成部品操作装置
１１０ 放出ユニット
１３０ 第１の転向装置
１３２ 第１の引取部
１５０ 第２の転向装置
１５２ 第２の引取部
２００ 受け取り装置
３２０ 支持体
３２５ 移送穴
３３０ 第１の吸い出し器
３３５ 排出箇所
３４０ 吸い出し及び／又は吹き出し装置
４００ センサ
４１０ カメラチップ
４２０ 半透明のミラー
４４０ 光源
４５０ 他の光源

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】