特許 6559986 搬送装置および搬送方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6559986

(24)【登録日】2019年7月26日

(45)【発行日】2019年8月14日

(54)【発明の名称】搬送装置および搬送方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/68 20060101AFI20190805BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20190805BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 G

   H01L21/68 C

【請求項の数】4

【全頁数】10

(21)【出願番号】特願2015-58305(P2015-58305)

(22)【出願日】2015年3月20日

(65)【公開番号】特開2016-178241(P2016-178241A)

(43)【公開日】2016年10月6日

【審査請求日】2018年2月8日

(73)【特許権者】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000637

【氏名又は名称】特許業務法人樹之下知的財産事務所

(72)【発明者】

【氏名】杉下 芳昭

【審査官】 山口 大志

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００３−２１８１８３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭６２−０４５１４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２００３−５１５９４７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６８

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

所定領域における不特定の位置にある被搬送物を保持して搬送する搬送装置において、
前記被搬送物を保持面で保持する保持手段と、
前記保持手段を移動させる移動手段と、
前記被搬送物の外縁が当接することで、前記保持手段に対する当該被搬送物の直交２軸方向の位置決めを行う位置決め手段とを備え、
前記保持手段は、前記被搬送物を位置決めするときは当該被搬送物を前記保持面に非接触で吸着保持し、前記被搬送物を搬送するときは当該被搬送物を前記保持面に当接させて吸着保持し、
前記移動手段は、前記保持手段を傾斜させることで、当該保持手段で保持した前記被搬送物の外縁を前記位置決め手段に当接させて位置決めすることを特徴とする搬送装置。

【請求項2】

所定領域における不特定の位置にある被搬送物を保持して搬送する搬送装置において、
前記被搬送物を保持面で保持する保持手段と、
前記保持手段を移動させる移動手段と、
前記被搬送物の外縁が当接することで、前記保持手段に対する当該被搬送物の直交２軸方向の位置決めを行う位置決め手段とを備え、
前記保持手段および位置決め手段の少なくとも一方が、前記被搬送物に対して直接的または間接的に振動を付与する振動付与手段を備え、
前記移動手段は、前記保持手段を傾斜させることで、当該保持手段で保持した前記被搬送物の外縁を前記位置決め手段に当接させて位置決めすることを特徴とする搬送装置。

【請求項3】

所定領域における不特定の位置にある被搬送物を保持して搬送する搬送方法において、
前記被搬送物を保持手段の保持面で保持する工程と、
前記保持手段を傾斜させることで、当該保持手段で保持した前記被搬送物の外縁を位置決め手段に当接させ、当該保持手段に対する前記被搬送物の直交２軸方向の位置決めを行う工程と、
前記被搬送物を搬送する工程とを有し、
前記被搬送物を位置決めするときは当該被搬送物を前記保持面に非接触で吸着保持し、前記被搬送物を搬送するときは当該被搬送物を前記保持面に当接させて吸着保持することを特徴とする搬送方法。

【請求項4】

所定領域における不特定の位置にある被搬送物を保持して搬送する搬送方法において、
前記被搬送物を保持手段の保持面で保持する工程と、
前記保持手段を傾斜させることで、当該保持手段で保持した前記被搬送物の外縁を位置決め手段に当接させ、当該保持手段に対する前記被搬送物の直交２軸方向の位置決めを行う工程と、
前記保持手段および位置決め手段の少なくとも一方が備えている振動付与手段によって、前記被搬送物に対して直接的または間接的に振動を付与する工程と、
前記被搬送物を搬送する工程とを有することを特徴とする搬送方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、搬送装置および搬送方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体製造工程において、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という場合がある）をカセットから取り出し、取り出したウエハをロボットを用いて搬送することが行われている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載された搬送方法は、ウエハ把持装置でウエハの外周からその面方向中心に向けて把持力を付与し、当該ウエハを位置決めして搬送するようになっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００３−２１８１８３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に記載されたような従来の方法では、ウエハを把持する把持力が大きいと、ウエハを破損させてしまうし、把持力が小さいと、ウエハを搬送中に落下させてしまうという不都合がある。

【0005】

本発明の目的は、被搬送物に与える負荷を極力小さくして当該被搬送物の位置決めをして搬送することができる搬送装置および搬送方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

前記目的を達成するために、本発明の搬送装置は、定領域における不特定の位置にある被搬送物を保持して搬送する搬送装置において、前記被搬送物を保持面で保持する保持手段と、前記保持手段を移動させる移動手段と、前記被搬送物の外縁が当接することで、前記保持手段に対する当該被搬送物の直交２軸方向の位置決めを行う位置決め手段とを備え、前記保持手段は、前記被搬送物を位置決めするときは当該被搬送物を前記保持面に非接触で吸着保持し、前記被搬送物を搬送するときは当該被搬送物を前記保持面に当接させて吸着保持し、前記移動手段は、前記保持手段を傾斜させることで、当該保持手段で保持した前記被搬送物の外縁を前記位置決め手段に当接させて位置決めするという構成を採用している。
また、本発明の搬送装置は、所定領域における不特定の位置にある被搬送物を保持して搬送する搬送装置において、前記被搬送物を保持面で保持する保持手段と、前記保持手段を移動させる移動手段と、前記被搬送物の外縁が当接することで、前記保持手段に対する当該被搬送物の直交２軸方向の位置決めを行う位置決め手段とを備え、前記保持手段および位置決め手段の少なくとも一方が、前記被搬送物に対して直接的または間接的に振動を付与する振動付与手段を備え、前記移動手段は、前記保持手段を傾斜させることで、当該保持手段で保持した前記被搬送物の外縁を前記位置決め手段に当接させて位置決めするという構成を採用している。

【0007】

本発明の搬送装置において、前記位置決め手段は、前記被搬送物を回転可能な回転手段と、当該被搬送物の回転方向の位置を検出可能な検出手段とを備え、当該検出結果を基に前記被搬送物の回転方向の位置決めを行うことが好ましい。
本発明の搬送装置において、前記保持手段は、前記被搬送物側に気体を吹き付けることで当該被搬送物を吸引して保持可能に設けられていることが好ましい。

【0008】

一方、本発明の搬送方法は、所定領域における不特定の位置にある被搬送物を保持して搬送する搬送方法において、前記被搬送物を保持手段の保持面で保持する工程と、前記保持手段を傾斜させることで、当該保持手段で保持した前記被搬送物の外縁を位置決め手段に当接させ、当該保持手段に対する前記被搬送物の直交２軸方向の位置決めを行う工程と、前記被搬送物を搬送する工程とを有し、前記被搬送物を位置決めするときは当該被搬送物を前記保持面に非接触で吸着保持し、前記被搬送物を搬送するときは当該被搬送物を前記保持面に当接させて吸着保持するという構成を採用している。
また、本発明の搬送方法は、所定領域における不特定の位置にある被搬送物を保持して搬送する搬送方法において、前記被搬送物を保持手段の保持面で保持する工程と、前記保持手段を傾斜させることで、当該保持手段で保持した前記被搬送物の外縁を位置決め手段に当接させ、当該保持手段に対する前記被搬送物の直交２軸方向の位置決めを行う工程と、前記保持手段および位置決め手段の少なくとも一方が備えている振動付与手段によって、前記被搬送物に対して直接的または間接的に振動を付与する工程と、前記被搬送物を搬送する工程とを有するという構成を採用している。

【発明の効果】

【0009】

以上のような本発明によれば、被搬送物を把持する必要がないので、被搬送物に与える負荷を極力小さくして当該被搬送物の位置決めをして搬送することができる。
また、位置決め手段が回転手段と検出手段とを備えれば、被搬送物の回転方向の位置決めも行うことができる。
さらに、被搬送物側に気体を吹き付けることで当該被搬送物を吸引して保持する構成を採用すれば、被搬送物を位置決めするときに、当該被搬送物の被保持面が負傷することを防止することができる上、円滑に位置決めを行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明の第１実施形態に係る搬送装置を示す側面図

【図2】図１の搬送装置の動作説明図。

【図3】図１の搬送装置の別の動作説明図。

【図4】本発明の変形例を示す平面図。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、本発明の第１実施形態および第２実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、各実施形態において、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な矢印Ｄ１方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」が紙面手前方向であるＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向、「後」がその逆方向とする。

【0012】

図１ないし図３において、搬送装置１０は、所定領域としてのカセットＣＴ内における不特定の位置にある被搬送物としてのウエハＷＦを保持して搬送する装置であって、ウエハＷＦを保持する保持手段２０と、保持手段２０を移動させる移動手段３０と、ウエハＷＦの外縁が当接することで、保持手段２０に対する当該ウエハＷＦの直交２軸方向の位置決めを行う位置決め手段４０とを備え、カセットＣＴから取り出したウエハＷＦを位置決めし、当該搬送装置１０に対して所定の位置にある図示しない作業テーブル上に載置するようになっている。なお、カセットＣＴは、開口部ＣＴ１と、ウエハＷＦの左右両側を支持して当該ウエハＷＦを上下方向に多段積み可能な複数のリブＣＴ２とを備え、当該搬送装置１０に対して所定の位置にある載置台５０上の所定の位置に位置決めして載置されるようになっている。

【0013】

保持手段２０は、ウエハＷＦを保持する保持面２１Ａを有する保持アーム２１と、保持面２１Ａに開口した吸排気孔２１Ｂに、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段または、コンプレッサやタービン等の図示しない加圧手段を連通可能な電磁弁や切換バルブ等の切換手段２２とを備えている。保持アーム２１には、保持面２１Ａ上の所定の位置である基準位置ＨＣから放射状に延びる２本の放射直線ＲＬ方向に沿った長孔２１Ｃが形成されている。なお、吸排気孔２１Ｂに加圧手段を連通させると、気体が保持面２１Ａ上を外側に向けて吹き出され、その内側に減圧領域を形成する所謂ベルヌーイ吸着が行われるようになっている。また、切換手段２２は、吸排気孔２１Ｂを減圧手段および加圧手段から遮断することも可能になっている。

【0014】

移動手段３０は、作業アーム３１Ａで保持手段２０を支持し、その作業範囲内において支持した保持手段２０を何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての所謂６軸ロボットである多関節ロボット３１を備えている。

【0015】

位置決め手段４０は、ウエハＷＦの外縁が当接する当接部材としての一対の位置決めローラ４１と、各位置決めローラ４１をそれぞれ保持面２１Ａと平行な方向に移動可能な位置決めローラ移動手段４２と、ウエハＷＦを回転可能な回転手段４３と、ウエハＷＦの回転方向の位置を検出可能な光学センサや撮像手段等の検出手段４４とを備えている。
各位置決めローラ４１は、円柱状に設けられた当接部４１Ａと、当接したウエハＷＦが保持面２１Ａから離れる方向へ移動することを規制する鍔部４１Ｂを備えている。
各位置決めローラ移動手段４２は、保持アーム２１における保持面２１Ａの反対側の面に支持され、放射直線ＲＬ方向に延設された駆動機器としてのリニアモータ４２Ａと、各リニアモータ４２Ａのスライダ４２Ｂにそれぞれ支持された支持板４２Ｃとを備えている。各リニアモータ４２Ａは、保持アーム２１の基準位置ＨＣを通って当該保持アーム２１の延出方向に延びる基準線ＨＬに対して線対称に配置されている。
各回転手段４３は、支持板４２Ｃに支持され、長孔２１Ｃを貫通する出力軸４３Ｂで位置決めローラ４１を支持する駆動機器としての一対の回動モータ４３Ａを備えている。

【0016】

以上の搬送装置１０を用いて、ウエハＷＦの搬送手順を説明する。
先ず、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送機器がリブＣＴ２上の不特定の位置にウエハＷＦが収納されたカセットＣＴを載置台５０上に載置する。次いで、オペレータが操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない入力手段を介してウエハＷＦの円周部の直径寸法等を入力した後、自動運転開始の信号を入力する。すると、位置決め手段４０がリニアモータ４２Ａを駆動し、保持アーム２１の基準位置ＨＣと位置決めローラ４１の当接部４１Ａとの最短距離がウエハＷＦの円周部の半径寸法と同じになるように位置決めローラ４１を移動させる。

【0017】

次いで、移動手段３０が多関節ロボット３１を駆動し、保持アーム２１をウエハＷＦの下方に差し入れて当該ウエハＷＦをリブＣＴ２から離間させた後、保持手段２０が切換手段２２を駆動し、吸排気孔２１Ｂに図示しない減圧手段を連通させ、図２（Ａ）に示すように、保持面２１ＡにウエハＷＦを当接させて吸着保持する。その後、移動手段３０が多関節ロボット３１を駆動し、ウエハＷＦをカセットＣＴから取り出した後、保持手段２０が切換手段２２を駆動し、吸排気孔２１Ｂに図示しない加圧手段を連通させ、図２（Ｂ）に示すように、保持面２１Ａに対して非接触な状態でウエハＷＦを吸着保持（ベルヌーイ吸着）する。

【0018】

次に、移動手段３０が多関節ロボット３１を駆動し、保持アーム２１の基準位置ＨＣ側が位置決めローラ４１側よりも上方に位置するように保持アーム２１を傾斜させる。すると、図２（Ｂ）中二点鎖線で示すように、保持アーム２１で保持したウエハＷＦが自重によって保持面２１Ａ上を移動し、当該ウエハＷＦにおける外縁の２点がそれぞれ位置決めローラ４１の当接部４１Ａに当接する。これにより、ウエハＷＦの中心ＷＣが保持アーム２１の基準位置ＨＣの上方に位置し、保持手段２０に対するウエハＷＦの直交２軸方向の位置決めが行われる。このとき、保持手段２０は、保持面２１Ａに対して非接触な状態でウエハＷＦを吸着保持しているので、保持面２１Ａ上をウエハＷＦが接触して移動することがなく、当該ウエハＷＦの被保持面が負傷することを防止することができる上、保持面２１Ａ上を円滑に移動させてウエハＷＦの位置決めを行うことができる。

【0019】

その後、位置決め手段４０が回動モータ４３Ａを駆動し、図３に示すように、検出手段４４の検出結果を基に、ウエハＷＦの外縁に設けられたＶノッチＶＮの谷部ＶＶが当該検出手段４４の上方であって、基準線ＨＬ上に位置するようにウエハＷＦを回転させる。これにより、ウエハＷＦの回転方向の位置決めが行われる。このときも、保持手段２０は、保持面２１Ａに対して非接触な状態でウエハＷＦを吸着保持しているので、保持面２１Ａ上をウエハＷＦが接触して回転することがなく、当該ウエハＷＦの被保持面が負傷することを防止することができる上、保持面２１Ａ上を円滑に回転させてウエハＷＦの位置決めを行うことができる。また、ウエハＷＦの外縁が位置決めローラ４１の当接部４１Ａに当接している間、当該ウエハＷＦは、鍔部４１Ｂによって保持面２１Ａから離れる方向へ移動することが規制されているので、保持アーム２１から脱落することはない。
次に、保持手段２０が切換手段２２を駆動し、吸排気孔２１Ｂに図示しない減圧手段を連通させて直交２軸方向の位置決めと、回転方向の位置決めとが完了したウエハＷＦを保持面２１Ａに当接させて吸着保持する。つまり、中心ＷＣを基準位置ＨＣ上に配置し、ＶノッチＶＮの谷部ＶＶを基準線ＨＬ上に配置した状態で、ウエハＷＦを保持アーム２１で保持する。

【0020】

そして、移動手段３０が多関節ロボット３１を駆動し、保持アーム２１の基準位置ＨＣ、すなわち、ウエハＷＦの中心ＷＣを図示しない作業テーブルの所定の位置に合わせて載置した後、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0021】

以上のような実施形態によれば、ウエハＷＦを把持する必要がないので、ウエハＷＦに与える負荷を極力小さくして当該ウエハＷＦの位置決めをして搬送することができる。

【0022】

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

【0023】

保持アーム２１の形状は、図４（Ａ）に示すような一部が離間した円環型でもよいし、Ｉ型、Ｙ型、丸型等でもよく何ら限定されることはない。また、吸排気孔２１Ｂの数や位置は、適宜決定することができる。
吸排気孔２１Ｂの代わりにまたは、吸排気孔２１Ｂと併用して、減圧手段に連通された吸気孔と、加圧手段に連通された排気孔とをそれぞれ独立して設けてもよい。
保持手段２０は、ウエハＷＦを保持面２１Ａに当接させる吸着およびベルヌーイ吸着のいずれか一方で保持してもよい。
保持手段２０は、吸排気孔２１Ｂおよび減圧手段の代わりに、磁着、接着、粘着、静電チャック等でウエハＷＦを保持してもよい。
保持手段２０は、加圧手段の代わりに、磁着、静電チャック等を採用し、吸排気孔２１Ｂから吹き出した気体で保持面２１Ａから離間させてウエハＷＦを引き付けて保持してもよい。
保持手段２０は、ウエハＷＦの位置決めを行うときに、保持アーム２１で保持したウエハＷＦが自重で移動して位置決め手段４０に当接する場合や、当該ウエハＷＦが回転手段４３の回転によって回転できるのであれば、切換手段２２を駆動し、吸排気孔２１Ｂを減圧手段および加圧手段から遮断してもよいし、減圧手段でウエハＷＦを吸着保持しながら、位置決めを行ってもよい。
保持手段２０は、加圧手段で吹き出す気体として、大気、空気、単体ガス、混合ガス等でもよく何ら限定されることはない。
保持手段２０は、保持アーム２１で保持したウエハＷＦにおける外縁の２点がそれぞれ位置決めローラ４１の当接部４１Ａに当接したときに、ウエハＷＦの中心ＷＣが保持アーム２１の基準位置ＨＣの上方に位置していなくてもよく、例えば、基準位置ＨＣと中心ＷＣとが、基準線ＨＬ方向および当該基準線ＨＬに直交する方向の少なくとも一方の方向に所定距離ずれた状態で、保持面２１ＡでウエハＷＦを保持してもよい。このような場合でも、ずれて保持したウエハＷＦの中心ＷＣが基準位置ＨＣに対してどの方向にどれだけずれているかが解るように、ウエハＷＦを基準位置ＨＣに関連付けて保持できていれば、搬送先でウエハＷＦを所定の位置に載置することができる。
保持手段２０の基準位置ＨＣは、どのような位置でもよく、支持面２１Ａの内部でもよいし、支持面２１Ａの外部でもよい。
保持手段２０は、ウエハＷＦの中心ＷＣ以外の位置（例えば１つの角部等）を基準位置ＨＣに関連付けて保持してもよい。

【0024】

移動手段３０は、カセットＣＴから取り出したウエハＷＦを作業テーブルに移動させながら当該ウエハＷＦの位置決めを行ってもよい。
移動手段３０は、保持手段２０で保持したウエハＷＦに対する位置決め手段４０の位置に応じて、保持手段２０の傾斜方向を決定することができる。すなわち、保持手段２０で保持したウエハＷＦに対して位置決め手段４０が重力方向下側に位置するように当該保持手段２０を傾斜させればよい。
移動手段３０が保持手段２０を傾斜させる傾斜角度は、保持したウエハＷＦが重力で下方移動する角度であれば、どんな角度でもよい。
移動手段３０は、例えば、三角形や四角形以上の多角形の被搬送物における１つの角部や、被搬送物に形成された目印等を基準位置ＨＣに関連付けて保持手段２０で保持するようにしてもよい。

【0025】

回転手段４３は、図４（Ｂ）に示すように、回動モータ４３Ａによって回転する駆動プーリ４５と、基準線ＨＬを挟んだ左右対称位置に配置された一対の従動プーリ４６と、駆動、従動プーリ４５、４６に巻回された無端ベルト４７とで構成してもよい。
位置決め手段４０は、各位置決めローラ４１を電気的に絶縁させておき、それらの導通を検出する導通チェッカや抵抗器等の導通検出手段を採用し、各ローラ４１にウエハＷＦが当接したか否かをローラ４１間の抵抗の変化によって判定し、当接したことの判定をもってウエハＷＦの直交２軸方向の位置決めを完了させてもよい。
位置決め手段４０は、移動手段３０に支持されていてもよいし、保持手段２０および移動手段３０のいずれにも支持されることなく他の部材に支持されていてもよい。
回転手段４３は、被搬送物が例えば球状のものの場合、当該搬送物を上下、左右、それらと交差する斜め方向に回転させてもよい。
位置決め手段４０は、検出手段４４の検出結果を基に、谷部ＶＶが当該検出手段４４の上方でない基準線ＨＬ上に位置するようにウエハＷＦを回転させたり、基準線ＨＬに対して９０度や４５度といった所定角度回転した位置にウエハＷＦを回転させたりしてもよい。
位置決め手段４０は、ウエハＷＦの外縁に設けられたオリエンテーションフラットを検出手段４４で検出させ、当該オリエンテーションフラットの位置を所定の位置に配置させたりしてもよいし、被搬送物がウエハＷＦ以外のものの場合は、そのものの特徴部を検出させて所定の位置に配置させてもよい。
位置決め手段４０は、位置決めローラ移動手段４２を備えていなくてもよい。このような場合、被搬送物の形状に合わせて位置決めローラ４１を支持させる位置を決定してもよいし、位置決めローラ４１に被搬送物が当接したときに、当該被搬送物における所定の位置（例えば中心位置）がどの位置に配置されるかを予め調べておいたり、計算で求めたりしてもよいし、位置決め手段４０が保持手段２０および移動手段３０のいずれにも支持されることなく他の部材に支持されている場合は、移動手段３０が位置決め手段４０との相対距離を調整し、当該位置決め手段４０に当接した被搬送物の所定の位置が保持アーム２１の基準位置ＨＣ上に配置されるようにしてもよい。

【0026】

カセットＣＴは、ウエハを１体だけまたは、複数体収納できるものでもよい。
所定領域は、カセットＣＴ以外の部材の中や載置台５０の上面等でもよい。
保持手段２０および位置決め手段の少なくとも一方に振動付与手段を設けてもよい。振動付与手段は、ウエハＷＦの大きさや重量等に応じて振動の振幅を調整可能な振幅調整手段を備えてもよい。このようにすることで、ウエハＷＦを所定の位置に配置させ易くなる。
振動子は、所定の振幅および周波数でウエハＷＦに振動を付与可能に設けられ、例えば、圧電素子を利用した圧電型や、回転型の電動モータの回転軸に偏心錘を取り付けたアンバランスマス型、駆動コイルに電流を流すことで発生する力を利用した動電型、さらには公知の超音波振動発生装置、電動モータやエアを利用した公知のバイブレータなど、任意の原理で振動するものを採用することができ、ウエハＷＦに対して直接的または間接的に振動を付与できるものであればよい。
移動手段３０が保持手段２０および位置決め手段４０の少なくとも一方を介してウエハＷＦに振動を付与するようにしてもよく、この場合、移動手段３０が振動付与手段となる。

【0027】

被搬送物は、材質、種別、形状等何ら限定されることはなく、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。

【0028】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、保持手段は、被搬送物を保持可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。

【0029】

また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的または間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

【符号の説明】

【0030】

１０ 搬送装置
２０ 保持手段
３０ 移動手段
４０ 位置決め手段
４３ 回転手段
４４ 検出手段
ＣＴ カセット（所定領域）
ＷＦ ウエハ（被搬送物）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】