特許 6564227 樹脂成形金型、樹脂成形装置および樹脂成形方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6564227

(24)【登録日】2019年8月2日

(45)【発行日】2019年8月21日

(54)【発明の名称】樹脂成形金型、樹脂成形装置および樹脂成形方法

(51)【国際特許分類】

   B29C 43/36 20060101AFI20190808BHJP

   B29C 43/18 20060101ALI20190808BHJP

   H01L 21/56 20060101ALI20190808BHJP

【ＦＩ】

   B29C43/36

   B29C43/18

   H01L21/56 T

【請求項の数】10

【全頁数】22

(21)【出願番号】特願2015-80581(P2015-80581)

(22)【出願日】2015年4月10日

(65)【公開番号】特開2016-198945(P2016-198945A)

(43)【公開日】2016年12月1日

【審査請求日】2017年12月8日

(73)【特許権者】

【識別番号】000144821

【氏名又は名称】アピックヤマダ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001726

【氏名又は名称】特許業務法人綿貫国際特許・商標事務所

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 寿

(72)【発明者】

【氏名】池田 正信

【審査官】 酒井 英夫

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１２−０６１７２８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２００７−５３３５０９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−０４３０５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−０２７０９８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２９Ｃ ４３／３６，

Ｈ０１Ｌ ２１／５６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

樹脂が充填されて成形されるキャビティ凹部の底面の少なくとも一部を構成し、前記キャビティ凹部内の前記樹脂を押圧する樹脂押圧面を有するキャビティ駒と、前記キャビティ凹部の側面の少なくとも一部を構成し、前記キャビティ駒が挿入される貫通孔を有するクランパと、が相対的に摺動可能に構成され、前記貫通孔内において前記キャビティ駒と前記クランパとの隙間に設けられるシール材を備える樹脂成形金型であって、
前記キャビティ駒の樹脂押圧面における外周位置により前記隙間が相違し、
前記貫通孔の内周面と対向する前記キャビティ駒の外周面に全周に渡って形成され、前記シール材となる前記樹脂が充填される周溝と、
前記周溝と連通するよう前記キャビティ駒の樹脂押圧面から外周面にかけて摺動方向と平行に延在する溝状に形成され、前記シール材となる前記樹脂が流れる複数の連通溝と、
を備えることを特徴とする樹脂成形金型。

【請求項2】

請求項１記載の樹脂成形金型において、
前記キャビティ駒の外周面における前記連通溝が、前記キャビティ駒の樹脂押圧面側で狭く、前記周溝側で広い幅の末広がり状であることを特徴とする樹脂成形金型。

【請求項3】

請求項１または２記載の樹脂成形金型において、
前記キャビティ駒の樹脂押圧面から前記周溝よりも離れて前記キャビティ駒の外周面に形成され、摺動方向に対して交差する方向に延在する交差溝を備えることを特徴とする樹脂成形金型。

【請求項4】

請求項３記載の樹脂成形金型において、
前記交差溝が、摺動方向に対して斜めに延在していることを特徴とする樹脂成形金型。

【請求項5】

樹脂が充填されて成形されるキャビティ凹部の底面の少なくとも一部を構成し、前記キャビティ凹部内の前記樹脂を押圧する樹脂押圧面を有するキャビティ駒と、前記キャビティ凹部の側面の少なくとも一部を構成し、前記キャビティ駒が挿入される貫通孔を有するクランパと、が相対的に摺動可能に構成され、前記貫通孔内において前記キャビティ駒と前記クランパとの隙間に設けられるシール材を備える樹脂成形金型であって、
前記キャビティ駒の樹脂押圧面における外周位置により前記隙間が相違し、
前記貫通孔の内周面と対向する前記キャビティ駒の外周面に全周に渡って形成され、前記貫通孔の内周面に向かって押し付けられるよう弾性体で構成される前記シール材が設けられる周溝を備え、
前記シール材が、同心の内リングと外リングとを含んで構成され、
前記内リングの熱膨張係数が、前記外リングの熱膨張係数よりも大きいこと
を特徴とする樹脂成形金型。

【請求項6】

請求項５記載の樹脂成形金型において、
前記外リングが、切り欠かれた切欠部を有し、摺動方向に複数重なって前記周溝に設けられ、
重なった互いの前記外リングの切欠部が非連続であることを特徴とする樹脂成形金型。

【請求項7】

請求項６記載の樹脂成形金型において、
前記外リングが、波形状の肉薄部を有することを特徴とする樹脂成形金型。

【請求項8】

請求項５記載の樹脂成形金型において、 前記周溝の一部を構成し、前記シール材を押圧するシール材押圧面を有し、前記キャビティ駒の外周面に全周に渡って設けられる貫通筒状のブロック材と、
摺動方向において前記ブロック材を往復動させるブロック材可動部と、
を備えることを特徴とする樹脂成形金型。

【請求項9】

請求項１〜８のいずれか一項に記載の樹脂成形金型を備えることを特徴とする樹脂成形装置。

【請求項10】

樹脂が充填されて成形されるキャビティ凹部の底面の少なくとも一部を構成し、前記キャビティ凹部内の前記樹脂を押圧する樹脂押圧面を有するキャビティ駒と、前記キャビティ凹部の側面の少なくとも一部を構成し、前記キャビティ駒が挿入される貫通孔を有するクランパと、が相対的に摺動可能に構成され、前記貫通孔内において前記キャビティ駒と前記クランパとの隙間に設けられるシール材と、前記貫通孔の内周面と対向する前記キャビティ駒の外周面に全周に渡って形成され、前記シール材となる前記樹脂が充填される周溝と、前記周溝と連通するよう前記キャビティ駒の樹脂押圧面から外周面にかけて摺動方向と平行に延在する溝状に形成され、前記シール材となる前記樹脂が流れる複数の連通溝と、を備え、前記キャビティ駒の樹脂押圧面における外周位置により前記隙間が相違している樹脂成形金型を用いた樹脂成形方法であって、
（ａ）前記キャビティ凹部内に前記樹脂を供給する工程と、
（ｂ）前記キャビティ凹部内の前記樹脂を前記キャビティ駒の樹脂押圧面で押圧する工程と、
を含み、
前記（ｂ）工程では、前記連通溝を介して前記周溝を充填するよう前記樹脂を流し込むことを特徴とする樹脂成形方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、樹脂成形金型、樹脂成形装置および樹脂成形方法に適用して有効な技術に関する。

【背景技術】

【0002】

特開２０１４−４３０５８号公報（以下、「特許文献１」という。）には、圧縮成形においてキャビティ駒とクランパとの隙間で樹脂漏れを防止するために、リリースフィルムを用いずにその隙間にシール材を設ける技術が記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１４−４３０５８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

圧縮成形用の樹脂成形金型では、樹脂が充填されるキャビティ凹部の底面を構成するキャビティ駒と、これが挿入される貫通孔を有し、キャビティ凹部の側面を構成するクランパとが相対的に摺動可能に構成される。このため、その貫通孔内におけるキャビティ駒とクランパとの隙間（可動部材の摺動箇所）で樹脂漏れが発生し、摺動不良の原因となって連続成形において問題となるおそれがある。

【0005】

この解決策としては、弾性体からなるシール材を可動部材の摺動箇所に用いることが考えられる。しかしながら、キャビティ駒をクランパの貫通孔に挿入する組み立て工程において、キャビティ駒とクランパとの隙間を無くすように貫通孔より大きめ（締まりバメ）のシール材を用いると挿入することができないおそれもあり、かといって小さめのものを用いると樹脂漏れが発生し、摺動不良となってしまう。なお、特許文献１に記載の樹脂からなるシール材を用いる技術では、シール材が形成される周溝に連なる隙間に対応して成形品の周縁部において樹脂突出部が形成されてしまう（特にその請求項３、段落［００２７］参照）。

【0006】

本発明の目的は、可動部材の摺動性を確保することのできる技術を提供することにある。本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。本発明の一解決手段に係る樹脂成形金型は、樹脂が充填されて成形されるキャビティ凹部の底面の少なくとも一部を構成し、前記キャビティ凹部内の前記樹脂を押圧する樹脂押圧面を有するキャビティ駒と、前記キャビティ凹部の側面の少なくとも一部を構成し、前記キャビティ駒が挿入される貫通孔を有するクランパと、が相対的に摺動可能に構成され、前記貫通孔内において前記キャビティ駒と前記クランパとの隙間に設けられるシール材を備える樹脂成形金型であって、前記キャビティ駒の樹脂押圧面における外周位置により前記隙間が相違し、前記貫通孔の内周面と対向する前記キャビティ駒の外周面に全周に渡って形成され、前記シール材となる前記樹脂が充填される周溝と、前記周溝と連通するよう前記キャビティ駒の樹脂押圧面から外周面にかけて摺動方向と平行に延在する溝状に形成され、前記シール材となる前記樹脂が流れる複数の連通溝と、を備えることを特徴とする。これによれば、例えば平面視矩形状のキャビティ凹部の角部と辺部のようにキャビティ駒とクランパとの隙間が相違している場合であっても、周溝に対して均一に樹脂を充填してシール材を構成することができる。したがって、可動部材となるキャビティ駒とクランパの摺動箇所において、シール材によって樹脂漏れを防止することができ、摺動性を確保することができる。また、樹脂成形後のワークをキャビティ凹部から取り出す際に、キャビティ凹部と摺動方向と平行に延在する溝状の連通溝との境界の応力集中により分離されるため、成形品（樹脂成形部）の周縁部において樹脂突出部が形成されるのを防止することができる。

【0008】

また、前記一解決手段に係る樹脂成形金型において、前記キャビティ駒の外周面における前記連通溝が、前記キャビティ駒の樹脂押圧面側で狭く、前記周溝側で広い幅の末広がり状であることがより好ましい。これによれば、樹脂成形後の型開きした際に、キャビティ駒の樹脂押圧面において、キャビティ凹部に充填された樹脂と連通溝に充填されたアンダーカット状の樹脂とに分断させることができる。

【0009】

また、前記一解決手段に係る樹脂成形金型において、前記キャビティ駒の樹脂押圧面から前記周溝よりも離れて前記キャビティ駒の外周面に形成され、摺動方向に対して交差する方向に延在する交差溝を備えることがより好ましい。これによれば、樹脂成形後の型開きした際に、クランパの貫通孔の内周面に樹脂が付着していた場合であっても、キャビティ駒の交差溝によって掻き落とすことができる。

【0010】

また、前記一解決手段に係る樹脂成形金型において、前記交差溝が、摺動方向に対して斜めに延在していることがより好ましい。これによれば、掻き落とされた樹脂が交差溝内で付着しようとしても、摺動の動きによって交差溝の延在方向に樹脂を排出させることができる。

【0011】

本発明の他の解決手段に係る樹脂成形金型は、樹脂が充填されて成形されるキャビティ凹部の底面の少なくとも一部を構成し、前記キャビティ凹部内の前記樹脂を押圧する樹脂押圧面を有するキャビティ駒と、前記キャビティ凹部の側面の少なくとも一部を構成し、前記キャビティ駒が挿入される貫通孔を有するクランパと、が相対的に摺動可能に構成され、前記貫通孔内において前記キャビティ駒と前記クランパとの隙間に設けられるシール材を備える樹脂成形金型であって、前記キャビティ駒の樹脂押圧面における外周位置により前記隙間が相違し、前記貫通孔の内周面と対向する前記キャビティ駒の外周面に全周に渡って形成され、前記貫通孔の内周面に向かって押し付けられるよう弾性体で構成される前記シール材が設けられる周溝を備え、前記シール材が、同心の内リングと外リングとを含んで構成され、前記内リングの熱膨張係数が、前記外リングの熱膨張係数よりも大きいことを特徴とする。これによれば、例えば平面視矩形状のキャビティ凹部の角部と辺部のようにキャビティ駒とクランパとの隙間が相違している場合であっても、クランパ（貫通孔の内周面の全周）に対して均一にシールすることができる。したがって、可動部材となるキャビティ駒とクランパの摺動箇所において、シール材によって樹脂漏れを防止することができ、摺動性を確保することができる。

【0012】

また、例えば、型閉じした際の金型温度によって内リングを熱膨張させることで外リングを拡大させてクランパ（貫通孔の内周面）に押し付けることができる。

【0013】

ここで、前記外リングが、切り欠かれた切欠部を有し、摺動方向に複数重なって前記周溝に設けられ、重なった互いの前記外リングの切欠部が非連続であることがより好ましい。これによれば、内リングの拡大によって切欠部が拡がって外リングを拡大させることができる。また、切欠部が拡がっても重なる外リングでは非連続であるため、仮に、キャビティ駒の樹脂押圧面側の外リング（上リング）の切欠部に樹脂が進入しても、キャビティ駒の樹脂押圧面から遠い外リング（下リング）の切欠部まで樹脂が進入するのを防止することができる。また、前記外リングが、波形状の肉薄部を有することがより好ましい。これによれば、内リングの拡大によって波形状の肉薄部が延びて外リングを拡大させることができる。

【0014】

また、前記他の解決手段に係る樹脂成形金型において、前記周溝の一部を構成し、前記シール材を押圧するシール材押圧面を有し、前記キャビティ駒の外周面に全周に渡って設けられる貫通筒状のブロック材と、摺動方向において前記ブロック材を往復動させるブロック材可動部とを備えることがより好ましい。これによれば、ブロック材可動部によってブロック材のシール材押圧面でシール材を押圧することで、シール材が押し付けられ（潰され）、周溝からシール材がクランパ（貫通孔の内周面）側へはみ出し、シール材をクランパに押し付けることができる。

【発明の効果】

【0015】

本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次のとおりである。本発明の一解決手段に係る樹脂成形金型によれば、可動部材の摺動性を確保することができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】本発明の実施形態１に係る樹脂成形金型の模式的断面図である。

【図2】図１に続く動作過程における樹脂成形金型の模式的断面図である。

【図3】図２に続く動作過程における樹脂成形金型の模式的断面図である。

【図4】図３に続く動作過程における樹脂成形金型の模式的断面図である。

【図5】図４に続く動作過程における樹脂成形金型の模式的断面図である。

【図6】図５に続く動作過程における樹脂成形金型の模式的断面図である。

【図7】図６に続く動作過程における樹脂成形金型の模式的断面図である。

【図8】本発明の実施形態１に係るキャビティ駒の模式的斜視図である。

【図9】本発明の実施形態１に係るキャビティ凹部の模式的平面図である。

【図10】本発明の実施形態２に係るキャビティ駒の模式的斜視図である。

【図11】本発明の実施形態３に係るキャビティ駒の模式的斜視図である。

【図12】本発明の実施形態４に係る樹脂成形金型の模式的断面図である。

【図13】図１２に示す樹脂成形金型の拡大模式的断面図である。

【図14】図１３に続く動作過程における樹脂成形金型の拡大模式的断面図である。

【図15】本発明の実施形態４に係るシール材の一例の模式的斜視図である。

【図16】本発明の実施形態４に係るシール材の他例の模式的斜視図である。

【図17】本発明の実施形態５に係る樹脂成形金型の模式的断面図である。

【図18】図１７に続く動作過程における樹脂成形金型の拡大模式的断面図である。

【図19】図１８に続く動作過程における樹脂成形金型の拡大模式的断面図である。

【図20】本発明の実施形態５に係る樹脂成形金型の変形例の模式的断面図である。

【図21】本発明の実施形態６に係る樹脂成形金型の拡大模式的断面図である。

【図22】図２１に続く動作過程における樹脂成形金型の拡大模式的断面図である。

【図23】本発明の実施形態７に係る樹脂成形金型の拡大模式的断面図である。

【図24】図２３に続く動作過程における樹脂成形金型の拡大模式的断面図である。

【図25】本発明の実施形態８に係る樹脂成形金型の拡大模式的断面図である。

【図26】図２５に続く動作過程における樹脂成形金型の拡大模式的断面図である。

【図27】本発明の実施形態９に係る樹脂成形金型の模式的断面図である。

【図28】図２７に続く動作過程における樹脂成形金型の模式的断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下の本発明における実施形態では、必要な場合に複数のセクションなどに分けて説明するが、原則、それらはお互いに無関係ではなく、一方は他方の一部または全部の変形例、詳細などの関係にある。このため、全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。また、構成要素の数（個数、数値、量、範囲などを含む）については、特に明示した場合や原理的に明らかに特定の数に限定される場合などを除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも良い。また、構成要素などの形状に言及するときは、特に明示した場合および原理的に明らかにそうではないと考えられる場合などを除き、実質的にその形状などに近似または類似するものなどを含むものとする。

【0018】

（実施形態１）
本発明の実施形態１に係る圧縮成形用の樹脂成形金型１０（樹脂成形機構）を備えた樹脂成形装置について図１〜図９を参照して説明する。図１〜図７は動作過程における樹脂成形金型１０の模式的断面図である。図８は樹脂成形金型１０が備えるキャビティ駒２４の模式的斜視図である。図９はキャビティ凹部１８の模式的平面図である。樹脂成形金型１０は、平面視矩形状のキャビティ凹部１８を備えるが、図１〜図７に示す断面図ではキャビティ凹部１８の中心で対称となる樹脂成形金型１０の左側を示している。なお、その他の本願における樹脂成形金型１０の模式的断面図でも同様である。

【0019】

まず、樹脂成形金型１０へ成形対象（処理対象）として供給されるワークＷは、複数の実装部品Ｐ（例えば、半導体チップなどの能動部品や受動部品であってこれらが混在してもよい）が主面（表面）に実装された基板Ｓ（例えば、配線を有する有機基板やセラミック基板）である（図１参照）。ワークＷ（被成形品）に対して成形処理を行うことで、複数の実装部品Ｐを樹脂封止する樹脂成形部が基板Ｓの主面上に成形されたワークＷ（成形品）となる（図５参照）。この樹脂成形部を構成する樹脂Ｒは、例えば、顆粒状、液状、粉状、シート状などの熱硬化性樹脂（例えば、エポキシ系樹脂）が用いられ、樹脂成形金型１０に供給される。なお、ワークＷとしては、配線構造が表面に配置されたキャリア（基板）であってもよい。

【0020】

次に、樹脂成形金型１０の構造について説明する。樹脂成形金型１０は、対向して配置され、型開閉可能な上型１２および下型１４（一対の金型）を備える。樹脂成形金型１０は、型開閉のために公知のプレス部（図示せず）を備える。プレス部は、対向して配置される一対のプラテンと、一方または他方の少なくともいずれかのプラテンを可動させる可動部（モータおよびこの駆動をプラテンへ伝達するトグルリンクやボールネジによる可動機構）とを備える。一対のプラテンの間でそれぞれに上型１２および下型１４が組み付けられ、上型１２および下型１４が離隔（型開き）したり、近接（型閉じ）したりする。

【0021】

樹脂成形金型１０は、ワークＷがセットされるセット部１６を備える。セット部１６は、上型１２のクランプ面１２ａ（パーティング面、金型面ともいう）から突き出るチャック爪２０（図１参照、その他の図面では図示せず）と、型閉じの際にチャック爪２０を収納する下型１４のクランプ面１４ａから窪む逃げ部（図示せず）とを備え、チャック爪２０によってワークＷの外周部を把持して、ワークＷをクランプ面１２ａで保持する。また、セット部１６は、図示しないクランプ面１２ａで開口するエア回路およびこれと接続される吸引装置（例えば、真空ポンプ）を備え、エア回路によってワークＷを吸引吸着して、ワークＷをクランプ面１２ａで保持してもよい。

【0022】

また、樹脂成形金型１０は、樹脂Ｒが充填されて成形されるキャビティ凹部１８を備える。キャビティ凹部１８は、クランプ面１４ａから窪むように奥まった位置にある底面（奥面）およびクランプ面１４ａから底面までの側面を備え、開口側（クランプ面１４ａ側）で広く、底面側で狭くなるような四角錐台状であって、平面視（クランプ面視）矩形状に構成される。すなわち、四角錐台状のキャビティ凹部１８は、この内部が開口側で広く、底面側で狭くなるテーパ状の側面（テーパ面）を有する。このようなテーパ面によって、樹脂成形後のワークＷ（基板Ｓの主面上の樹脂成形部）をキャビティ凹部１８から取り出し易くなる。

【0023】

下型１４は、ベース２２（ベースブロック）と、キャビティ駒２４（キャビティブロック）と、クランパ２６（クランパブロック）とを備え、これらが組み付けられて構成される。ベース２２の上面（上型１２側の面）には、キャビティ駒２４が組み付けられる。また、ベース２２の上面には、キャビティ駒２４が挿入される平面視矩形状の貫通孔２８（駒挿入部）を有するクランパ２６が組み付けられる。本実施形態では、下型１４に四角錐台状のキャビティ凹部１８が設けられるが、キャビティ凹部１８の底面がキャビティ駒２４で構成され、キャビティ凹部１８の側面がクランパ２６で構成される。具体的には、平面視矩形状の貫通孔２８に挿入された平面視矩形状のキャビティ駒２４の平坦状の端面２４ａ（すなわち、樹脂Ｒを押圧する押圧面２４ａ）がキャビティ凹部１８の底面となる。このため、貫通孔２８内においてキャビティ駒２４とクランパ２６との隙間Ｇ（図９参照）が、押圧面２４ａにおける外周位置（角部と辺部）によっては相違している。また、クランパ２６の開口側内周面２８ａがキャビティ凹部１８の側面（テーパ面）となる。

【0024】

そして、下型１４は、可動部材としてキャビティ駒２４とクランパ２６とが相対的に摺動可能に構成され、キャビティ駒２４の外周面と貫通孔２８の内周面が摺動面となる。本実施形態では、下型１４は、ベース２２の上面とクランパ２６の下面（クランプ面１４ａとは反対側の面）との間に挟まれ、クランパ２６を支持する弾性部材３０（例えば、バネ）を備え、ベース２２に対してクランパ２６が弾性部材３０の伸縮によって型開閉方向に往復動可能に組み付けられる。他方、ベース２２に対してキャビティ駒２４が固定して組み付けられる。また、弾性部材３０の伸縮は、型開閉動作に伴って型開きする際に伸び、型閉じする際（より具体的にはワークＷをクランプしてキャビティ凹部１８内の樹脂Ｒをキャビティ駒２４で押圧する際）に縮む。すなわち、型開閉動作に伴ってキャビティ駒２４とクランパ２６とが相対的に摺動可能に構成される。

【0025】

また、樹脂成形金型１０は、摺動箇所となる貫通孔２８内においてキャビティ駒２４とクランパ２６との隙間Ｇに設けられるシール材３２（図４参照）を備える。本実施形態では、シール材３２として、樹脂成形の過程（樹脂成形金型１０の動作過程）によって成形される樹脂リングを用いる。そこで、樹脂リングを成形するために、樹脂成形金型１０は、貫通孔２８の内周面と対向するキャビティ駒２４の外周面に全周に渡って形成される周溝３４（全周溝）と、周溝３４と連通するようキャビティ駒２４の押圧面２４ａから外周面にかけて摺動方向（型開閉方向）と平行に延在する溝状に形成される連通溝３６（連通路となる縦溝）とを備える。本実施形態では、図８に示すように、連通溝３６は、一定の幅（ストレート）の溝状で型開閉方向に延在しており、平面視矩形状の押圧面２４ａの外周に沿って複数設けられている。

【0026】

そして、キャビティ駒２４とクランパ２６とを相対的に摺動させて、キャビティ凹部１８内の樹脂Ｒをキャビティ駒２４で押圧することで、連通溝３６を介して周溝３４を充填するよう樹脂Ｒを流し込み、その後熱硬化させることでシール材３２としての樹脂リングを成形することができる。これによれば、図９に示す平面視矩形状のキャビティ凹部１８の角部の隙間Ｇ１と辺部の隙間Ｇ２のようにキャビティ駒２４とクランパ２６との隙間Ｇが相違している不均一な状態（隙間Ｇ１＞隙間Ｇ２）であっても、クランパ２６（貫通孔２８の内周面の全周）に対して均一にシールするよう樹脂Ｒが周溝３４に充填されたシール材３２を形成することができる。したがって、可動部材となるキャビティ駒２４とクランパ２６の摺動箇所において、シール材３２によって樹脂漏れを防止することができ、摺動性を確保することができる。また、連通溝３６が摺動方向と平行に延在する溝状であるため、樹脂成形後のワークＷをキャビティ凹部１８から取り出す際に、キャビティ凹部１８と連通溝３６との境界の応力集中により成形樹脂が分離される。したがって、成形品（樹脂成形部）の周縁部において樹脂突出部が形成されるのを防止することができる。

【0027】

また、樹脂成形金型１０は、キャビティ駒２４の押圧面２４ａから周溝３４よりも離れたキャビティ駒２４の外周面において、摺動方向（型開閉方向）に対して交差する方向に延在する交差溝３８を備える（図１参照）。本実施形態では、交差溝３８は、キャビティ駒２４の外周面に周溝３４と平行して形成された周溝である。この交差溝３８によれば、樹脂成形後の型開きした際に、貫通孔２８の内周面に不要樹脂が付着していた場合であっても掻き落とすことができる。また、周溝３４と平行する交差溝３８を摺動方向に多重に設けることで、貫通孔２８の内周面に付着する不要樹脂をより掻き落とすことができる。貫通孔２８の内周面に不要樹脂を付着させないことで、可動部材となるキャビティ駒２４とクランパ２６の摺動箇所において、摺動性を確保することができる。

【0028】

また、樹脂成形金型１０は、型閉じして密閉空間（チャンバ）とされた金型内部の圧力を調節する圧調節部４０（圧調節機構）を備える。圧調節部４０は、対向して配置されるチャンバブロック４２、４４（一対の環状筒状のブロック）と、チャンバブロック４２、４４の間をシールするシール材４６（例えば、Ｏリング）と、一端が密閉空間に開口し、他端が図示しない圧調節装置（例えば、真空ポンプ）と接続されるエア回路４８とを備える。チャンバブロック４２は上型１２の外壁として設けられ、またチャンバブロック４４は下型１４の外壁として設けられる。また、シール材４６は、下型１４のチャンバブロック４４の端面（チャンバブロック４２側）に設けられる。また、エア回路４８は、下型１４のチャンバブロック４４に穿孔されて設けられる。このような圧調節部４０によれば、例えば、密閉空間が形成された状態で減圧（陰圧）することで、成形品の樹脂成形部にボイドや未充填が発生するのを防止して、成形品の品質を向上させることができる。特に、樹脂Ｒとして顆粒状のものを用いた場合には、各粒間のエアを排出するのに有効である。なお、圧調節部４０は、圧調節装置として例えばコンプレッサを備えて、エア回路４８を介して密閉空間内を加圧（陽圧）とすることもできる。

【0029】

次に、樹脂成形金型１０を用いた樹脂成形方法（樹脂成形金型１０を備える樹脂成形装置の動作方法）について説明する。まず、図１に示すように、型開きした状態（シール材３２のない状態）において、ワークＷおよび樹脂Ｒを金型内部にセットする。具体的には、図示しない搬送部によって金型外部から金型内部にワークＷが搬送され、上型１２のクランプ面１２ａにワークＷがセット（供給）される。このとき、ワークＷはチャック爪２０によって外周部が把持され、クランプ面１２ａに保持される。また、図示しない搬送部によって金型外部から金型内部に樹脂Ｒが搬送され、下型１４のキャビティ凹部１８内に樹脂Ｒがセット（供給）される。樹脂成形金型１０は、上型１２および下型１４に設けられたヒータを備え、このヒータによって金型内部が加熱されているため、樹脂Ｒはキャビティ凹部１８にセットされると溶融し始める。また、型閉じしてすぐに金型内部（密閉空間）を減圧するよう圧調節部４０はエア回路４８を介して吸引を開始する。

【0030】

続いて、型閉じ動作によって上型１２と下型１４とを近接させていき、図２に示すように、チャンバブロック４２の下端面と、チャンバブロック４４の上端面に設けられているシール材４６とを当接（シーリングタッチ）させる。これにより、キャビティ凹部１８を含む金型内部が密閉空間となる。この密閉空間はエア回路４８を介して吸引されるため、減圧チャンバ（減圧空間）となる。

【0031】

続いて、更に上型１２と下型１４とを近接させていき、図３に示すように、上型１２のクランプ面１２ａにセットされているワークＷと、クランパ２６の上端面（下型１４のクランプ面１４ａ）とを当接させる。すなわち、上型１２と下型１４とでワークＷをクランプする（型閉じする）。これにより、キャビティ凹部１８は、ワークＷによって閉塞されて実装部品Ｐを収容するキャビティとなる。なお、クランパ２６の上端面に図示しないエア溝を設けておくことで、圧調節部４０は、エア溝を介して閉塞されたキャビティ凹部１８内のエアを吸引することができる。

【0032】

続いて、更に上型１２と下型１４（ベース２２）とを近接させていき、図４に示すように、キャビティ凹部１８内を樹脂Ｒで充填する。具体的には、型閉じ動作によって、上型１２にセットされたワークＷに対してキャビティ駒２４の距離が縮められる一方、ワークＷに対してクランパ２６が当接したまま（距離が変わらず）、クランパ２６を支持する弾性部材３０が縮められる。これにより、キャビティ駒２４とクランパ２６とが相対的に摺動し、キャビティ凹部１８内の樹脂Ｒをキャビティ駒２４の押圧面２４ａで押圧することになる。また、押圧面２４ａから周溝３４へ連通する連通溝３６を介して周溝３４を充填するよう樹脂Ｒを流し込むことになる。その後、樹脂Ｒに一定の圧力を加えた状態（圧縮させた状態）でキャビティ凹部１８内の樹脂Ｒを熱硬化させてワークＷに樹脂成形部（成形品）を成形する。また、周溝３４内の樹脂Ｒも熱硬化させてシール材３２としての樹脂リングを成形する。このとき、連通溝３６内の樹脂Ｒも熱硬化され、キャビティ凹部１８、連通溝３６および周溝３４内の樹脂Ｒが一体に成形されることとなる。

【0033】

続いて、図５に示すように、型開き動作によって上型１２と下型１４とを離隔させる。このとき、上型１２ではセット部１６でワークＷ（樹脂成形部）が保持され、下型１４ではシール材３２（樹脂リング）が周溝３４で保持されている（埋め込まれている）ため、樹脂成形部と樹脂リングとが分断される。より具体的には、キャビティ凹部１８と連通溝３６との境界で成形された樹脂部分での応力集中により分離される。そして、連通溝３６が摺動方向と平行に延在する溝状であるため、成形品（樹脂成形部）の周縁部において樹脂突出部が形成されるのを防止することができる。また、周溝３４においては、連通溝３６を介して流れ込んだ樹脂Ｒが熱硬化されたシール材３２としての樹脂リングを成形することができる。このように、シール材３２として専用部材（例えば、Ｏリング）を用いなくとも成形品の樹脂成形部を構成する樹脂Ｒを用いることで、シール材３２を容易に設けることができる。また、連通溝３６がキャビティ駒２４の外周面で周溝３４のように全周に設けられていないため、周溝３４が連通溝３６の樹脂Ｒに引っ張られて抜けてしまうようなこともなく、シール材３２としての樹脂リングを周溝３４内に確実に保持することができる。また、連通溝３６を介して周溝３４に樹脂Ｒを流入させる構成であるため、連通溝３６分だけ連通路（樹脂路）を厚くする（拡げる）ことができ、樹脂Ｒ内のフィラーの堆積などによって周溝３４までの連通路が塞がれてしまうこともなく、確実にシール材３２としての樹脂リングを成形することができる。

【0034】

次いで、シール材３２としての樹脂リングを残したまま、成形後のワークＷを金型内部から取り出した後、図６に示すように、型開きした状態（シール材３２がある状態）において、図１を参照して説明したように、成形前のワークＷおよび樹脂Ｒを金型内部へセットする。その後、図２、図３を参照して説明した工程を経て、図７に示すように、キャビティ凹部１８内を樹脂Ｒで充填する。すなわち、キャビティ駒２４とクランパ２６とが相対的に摺動し、キャビティ凹部１８内の樹脂Ｒをキャビティ駒２４の押圧面２４ａで押圧する。このとき、平面視矩形状のキャビティ凹部１８の角部と辺部のようにキャビティ駒２４とクランパ２６との隙間Ｇが相違している場合であっても（図９参照）、その隙間Ｇに対応したシール材３２としての樹脂リングが成形されているため、隙間Ｇにおいての樹脂漏れを防止することができる。したがって、可動部材であるキャビティ駒２４とクランパ２６の摺動性を確保することができる。

【0035】

その後、樹脂Ｒに一定の圧力を加えた状態（圧縮させた状態）でキャビティ凹部１８内の樹脂Ｒを熱硬化させてワークＷに樹脂成形部（成形品）を成形し、シール材３２としての樹脂リングを残したまま、成形後のワークＷを金型内部から取り出す。連続成形する場合には、図６を参照して説明した工程に戻り、同様の工程が繰り返される。

【0036】

（実施形態２）
前記実施形態１では、連通溝３６が一定幅（ストレート）の場合について説明した。本発明の実施形態２では、図１０に示すように、キャビティ駒２４の上端面の外周端辺が面取りされ、キャビティ駒２４の外周面における連通溝３６が、キャビティ駒２４の押圧面２４ａ側で狭く、周溝３４側で広い幅の末広がり状（アンダーカット状）の場合について説明する。図１０は本実施形態に係るキャビティ駒２４の模式的斜視図である。これによれば、樹脂成形後の型開きした際に、キャビティ駒２４の押圧面２４ａにおいて、キャビティ凹部１８に充填された樹脂Ｒと連通溝３６に充填されたアンダーカット状の樹脂Ｒとに分断させることができる。また、キャビティ駒２４の上端面の外周端辺が面取りされ、キャビティ駒２４の安定的な昇降を容易としている。

【0037】

（実施形態３）
前記実施形態１では、交差溝３８が周溝３４と平行する周溝の場合について説明した。本発明の実施形態３では、図１１に示すように、交差溝３８が、摺動方向（キャビティ駒２４の厚み方向）に対して斜めに延在している場合について説明する。図１１は本実施形態に係るキャビティ駒２４の模式的斜視図である。これによれば、交差溝３８によって掻き落とされた樹脂Ｒが交差溝３８内で付着しようとしても、摺動の動きによって交差溝３８の延在方向に樹脂Ｒを排出させることができる。すなわち、交差溝３８が斜めに設けられているため、掻き出された樹脂Ｒを下方に落下させることで排出して交差溝３８の中に残ってしまうようなことを防止することができる。

【0038】

（実施形態４）
前記実施形態１では、シール材３２として樹脂成形された樹脂リングを用いた場合について説明した。本発明の実施形態４では、図１２〜図１６に示すように、シール材３２としてリング状の弾性体（弾性を有するもの）を用いる場合について説明する。図１２は本実施形態に係る樹脂成形金型１０の模式的断面図である。図１３および図１４は動作過程における図１２に示す樹脂成形金型１０の拡大模式的断面図であり、図１３に貫通孔２８の内周面にシール材３２が非接触の状態、図１４に貫通孔２８の内周面にシール材３２が接触した状態を示す。図１５および図１６はシール材３２を構成する外リング５２の模式的斜視図である。

【0039】

樹脂成形金型１０は、周溝３４を備えるが、この周溝３４に内リング５０および外リング５２で構成されたシール材３２が設けられる。本実施形態に係るシール材３２は、周溝３４において同心の内リング５０と外リング５２とを含んで構成されている。本実施形態では、シール材３２は、内リング５０の熱膨張係数が外リング５２の熱膨張係数よりも大きい弾性体（弾性を有するもの）として構成されている。また、周溝３４にシール材３２を設けるために、キャビティ駒２４は、周溝３４の一部を構成し、シール材３２と接する端面５４ａを有し、キャビティ駒２４の外周面に全周に渡って設けられる貫通筒状のブロック材５４を備える。すなわち、ブロック材５４を取り外した状態では押圧面２４ａとは反対側でキャビティ駒２４は細くなる（断面視Ｔ字状となる）ため、その反対側から挿入するようにして内リング５０および外リング５２を周溝３４に組み付けることができる。

【0040】

内リング５０として、金型温度において所定の強度を有し、樹脂成形金型１０を構成する金型ブロックの材質に比べてより大きな熱膨張係数を有する弾性体（例えば、フッ素系樹脂などの可撓性部材）が用いられる。また、外リング５２には、クランパ２６の貫通孔２８内で摺動しても摩耗量の少ない硬質な材質として、鋼材（例えば、ステンレス鋼やバネ鋼）などの金属が用いられる。このような外リング５２は、図１５に示すように、周方向の一部が切り欠かれた切欠部５６を有する。すなわち、外リング５２は、切欠部５６の幅を狭めることで小さくなり、切欠部５６の幅を拡げることで大きくなるような弾性を有することとなる。本実施形態では、同じ外リング５２を複数（２つ）組み合わせて用い、上下の外リング５２を重ねたときに、一方の外リング５２の内周段部（凹部）に他方の外リング５２の内周段部（凸部）を差し込むようにして、互いに外れてしまうのを防止している。なお、外リング５２における内周段部（凸部）を金型側の溝部などに差し込むことで、固定可能とすることもできる。

【0041】

これによれば、型閉じした際の金型温度によって内リング５０を熱膨張（拡大）させることで外リング５２を拡大させてクランパ２６（貫通孔２８の内周面）に押し付けることができる。金型温度において熱膨張係数が異なる内リング５０と外リング５２を用いて、クランパ２６の貫通孔２８の内周面に向かって押し付けられるよう弾性体で構成されるシール材３２を周溝３４に設けている。また、外リング５２は、摺動方向に複数重なって周溝３４に設けられ、重なった互いの外リング５２の切欠部５６が非連続である。これによれば、切欠部５６が拡がっても重なる外リング５２では非連続であるため、仮に、キャビティ駒２４の押圧面２４ａ側の外リング５２（上リング）の切欠部５６に樹脂Ｒが進入しても、キャビティ駒２４の押圧面２４ａから遠い外リング５２（下リング）の切欠部５６まで樹脂Ｒが進入するのを防止することができる。

【0042】

このような内リング５０と外リング５２から構成されるシール材３２を用いることで、例えば平面視矩形状のキャビティ凹部１８の角部と辺部のようにキャビティ駒２４とクランパ２６との隙間Ｇが相違している場合であっても（図９参照）、クランパ２６に対して均一にシールすることができる。したがって、可動部材となるキャビティ駒２４とクランパ２６の摺動箇所において、シール材３２によって樹脂漏れを防止することができ、摺動性を確保することができる。

【0043】

なお、外リング５２は、切欠部５６に限らず、図１６に示すように、また、外リング５２が、波形状の肉薄部５８を有してもよい。この場合でも、内リング５０の拡大によって波形状の肉薄部５８が延びて外リング５２を拡大させることができる。

【0044】

（実施形態５）
前記実施形態４では、弾性体のシール材３２として、熱膨張係数の異なる同心の内リング５０および外リング５２を含んで構成される場合について説明した。本発明の実施形態５では、図１７〜図２０に示すように、１つのシール材３２としてリング状の可撓性部材（例えば、フッ素系樹脂）を用いる場合について説明する。図１７は本実施形態に係る樹脂成形金型１０の模式的断面図である。図１８および図１９は動作過程における図１７に示す樹脂成形金型１０の拡大模式的断面図であり、図１８に貫通孔２８の内周面にシール材３２が非接触の状態（シール材３２が加圧される前の状態）、図１９に貫通孔２８の内周面にシール材３２が接触した状態（シール材３２が加圧された状態）を示す。図２０は樹脂成形金型１０の変形例の模式的断面図である。

【0045】

樹脂成形金型１０は、周溝３４の一部を構成し、シール材３２と接する端面５４ａを有し、キャビティ駒２４の外周面に全周に渡って設けられる貫通筒状のブロック材５４を備える。このブロック材５４の端面５４ａは、シール材３２を潰すようにシール材３２を押圧するシール材押圧面である。本実施形態では、ブロック材５４の端面５４ａやこれと接するシール材３２の端面はキャビティ駒２４の押圧面２４ａや下型１４のクランプ面１４ａと平行な面であるが、後述の実施形態６と同様にテーパ面であってもよい。また、樹脂成形金型１０は、シール材３２の潰し量を調節するため、キャビティ駒２４とクランパ２６の摺動方向（キャビティ駒２４の厚み方向）においてブロック材５４を往復動させるブロック材可動部６０を備える。ブロック材可動部６０は、キャビティ駒２４とクランパ２６の摺動方向から調節可能に設けられ、例えば、ベース２２の厚み方向に延在してブロック材５４に当接して設けられた調節部６２（例えば、ボルト）を備える。このようなブロック材可動部６０によれば、樹脂成形金型１０を簡易に組み立てることができる。なお、調節部６２としては、ボルトのような人力による締め込み構成のみならず、機械的な駆動を用いてもよい。

【0046】

本実施形態では、樹脂成形金型１０を組み立て後にシール材３２を押し潰すために、適宜のトルクで調節部６２（ボルト）を締めることで、シール材３２のクランパ２６への密着が完了する。このようなシール材３２のクランパ２６への押し付けにより、キャビティ駒２４とクランパ２６との間に均一な隙間Ｇを構成することができることとなり、隙間Ｇの幅の偏りを防止することができる。また、貫通筒状のブロック材５４が例えば矩形状の場合、ブロック材可動部６０としての調節部６２を一辺に２個ずつ配置して、シール材３２を均一に押し潰せるようにしている。

【0047】

このように、ブロック材可動部６０によってブロック材５４の端面５４ａでシール材３２を押圧することで、シール材３２が潰され（押し付けられ）、周溝３４からシール材３２がクランパ２６（貫通孔２８の内周面）側へはみ出し、シール材３２をクランパ２６に押し付けることができる。したがって、可動部材となるキャビティ駒２４とクランパ２６の摺動箇所において、シール材３２によって樹脂漏れを防止することができ、摺動性を確保することができる。また、シール材３２が消耗したときに追い締めすることで、シール材３２を適切な押し付け状態に保つことができる。

【0048】

なお、ブロック材可動部６０として複数の調節部６２をそれぞれ調節してもよいが、図２０に示すように、例えば無端ベルトなどの連動部材６３を各調節部に掛けて一斉に調節するようにしてもよい。

【0049】

（実施形態６）
前記実施形態５では、ブロック材可動部６０が、調節部６２を備え、キャビティ駒２４とクランパ２６の摺動方向から調節可能に設けられた場合について説明した。本発明の実施形態６では、図２１および図２２に示すように、ブロック材可動部６０が、調節部６２と方向変換機構部６４とを備え、摺動方向と交差する方向から調節可能に設けられる場合について説明する。図２１および図２２は本実施形態に係る動作過程における樹脂成形金型１０の拡大模式的断面図であり、図２１に貫通孔２８の内周面にシール材３２が非接触の状態（シール材３２が加圧される前の状態）、図２２に貫通孔３２の内周面にシール材３２が接触した状態（シール材３２が加圧された状態）を示す。

【0050】

樹脂成形金型１０は、周溝３４の一部を構成し、シール材３２と接する端面５４ａを有し、キャビティ駒２４の外周面に全周に渡って設けられる貫通筒状のブロック材５４を備える。本実施形態では、端面５４ａが内側から外側へ向かって拡がるテーパ面となる一方、端面５４ａと接するシール材３２の端面が外側から内側へ向かって狭まるテーパ面である。このブロック材５４の端面５４ａは、シール材３２を貫通孔２８の内周面側へ押し出すようにシール材３２を押圧するシール材押圧面である。また、樹脂成形金型１０は、シール材３２の加圧力を調節するため、調節部６２と方向変換機構部６４とを有するブロック材可動部６０を備える。ブロック材可動部６０は、調節部６２（例えば、ボルト）がキャビティ駒２４とクランパ２６の摺動方向と交差する方向の金型側方から調節可能に設けられ、方向変換機構部６４（例えば、ウエッジ）を介してブロック材５４に作用するよう設けられる。

【0051】

このようなブロック材可動部６０によれば、樹脂成形金型１０をプラテンに組み付けた後でも、金型側方からの調節部６２の締め込みを行うことで、シール材３２の加圧力を調節することができる。このため、金型を組み付けた後であっても金型の乗せ降ろしをすることなく調節することができる。また、シール材３２が消耗してクランパ２６の押し付けが十分でなくなったとしても、増し締めすることにより、クランパ２６へのシール材３２の押し付け状態を維持することができる。

【0052】

このように、ブロック材可動部６０によってブロック材５４の端面５４ａでシール材３２を押圧することで、シール材３２が押し付けられ、周溝３４からシール材３２がクランパ２６（貫通孔２８の内周面）側へ押し出され、シール材３２をクランパ２６に押し付けることができる。したがって、可動部材となるキャビティ駒２４とクランパ２６の摺動箇所において、シール材３２によって樹脂漏れを防止することができ、摺動性を確保することができる。

【0053】

（実施形態７）
前記実施形態５では、ブロック材可動部６０として調節部６２を備える場合について説明した。本発明の実施形態７では、図２３および図２４に示すように、ブロック材可動部６０が、調節部６２と、弾性部材６６と、保圧用ピン６８とを備え、シール材３２をクランパ２６へ加圧する加圧力を維持する構造の場合について説明する。図２３および図２４は本実施形態に係る動作過程における樹脂成形金型１０の拡大模式的断面図であり、図２３に貫通孔２８の内周面にシール材３２が非接触の状態（シール材３２が加圧される前の状態）、図２４に貫通孔３２の内周面にシール材３２が接触した状態（シール材３２が加圧された状態）を示す。

【0054】

樹脂成形金型１０は、周溝３４の一部を構成し、シール材３２と接する端面５４ａを有し、キャビティ駒２４の外周面に全周に渡って設けられる貫通筒状のブロック材５４を備える。また、樹脂成形金型１０は、シール材３２の加圧力を調節し、シール材３２をクランパ２６へ加圧する加圧力を維持するため、調節部６２（例えば、ボルト）と、保圧用ピン６８と、調節部６２と保圧用ピン６８との間に挟まれる弾性部材６６（例えば、バネ）とを備える。ブロック材可動部６０は、調節部６２がキャビティ駒２４とクランパ２６の摺動方向から調節可能に設けられ、弾性部材６６および保圧用ピン６８を介してブロック材５４に作用するよう設けられる。

【0055】

このようなブロック材可動部６０によれば、調節部６２の締め込みを行うことで、弾性部材６６を介して保圧用ピン６８を押し上げ、シール材３２の加圧力を調節することができる。また、弾性部材６６により、シール材３２を押し出す力を保持することができるため、シール材３２が摩耗しても押し出す力を継続的に加えることができる。したがって、シール材３２のクランパ２６への加圧力を保って樹脂漏れを防止することができ、摺動性を確保することができる。

【0056】

（実施形態８）
前記実施形態６では、ブロック材可動部６０が調節部６２と方向変換機構部６４とを備え、樹脂成形金型１０の組み付け後の樹脂成形前にシール材３２をクランパ２６に押し付ける場合について説明した。本発明の実施形態８では、図２５および図２６に示すように、ブロック材可動部６０がクランパ押さえピン７０と、押しピン７２と、方向変換機構部６４と、弾性部材付きのブロック材押さえピン７４とを備え、樹脂成形の際にシール材３２をクランパ２６に押し付ける場合について説明する。図２５および図２６は本実施形態に係る動作過程における樹脂成形金型１０の拡大模式的断面図であり、図２５に貫通孔２８の内周面にシール材３２が非接触の状態（シール材３２が加圧される前の状態）、図２６に貫通孔３２の内周面にシール材３２が接触した状態（シール材３２が加圧された状態）を示す。

【0057】

樹脂成形金型１０は、周溝３４の一部を構成し、シール材３２と接する端面５４ａを有し、キャビティ駒２４の外周面に全周に渡って設けられる貫通筒状のブロック材５４を備える。また、樹脂成形金型１０は、シール材３２の加圧力を調節するため、クランパ押さえピン７０と、押しピン７２と、方向変換機構部６４（例えば、ロッカー）と弾性部材付きのブロック材押さえピン７４とを有するブロック材可動部６０を備える。ブロック材可動部６０は、クランプ動作によってクランパ２６が押し込まれると、これにクランパ押さえピン７０が押しピン７２に当接し、方向変換機構部６４（例えば、ロッカー）を介してブロック材押さえピン７４によってブロック材５４に作用するよう設けられる。

【0058】

このようなブロック材可動部６０によれば、キャビティ駒２４とクランパ２６との隙間（摺動箇所）の摺動性およびシール性の両立を確保することができる。すなわち、型閉じによりクランパ２６が押し下げられることで、キャビティ駒２４とクランパ２６との隙間へ樹脂Ｒが流れ込む前にシール材３２が押し潰されてクランパ２６と密着し、締まりバメ状態となってシール機能を確保することができる。また、クランパ２６がワークＷをクランプする前の状態（未加圧状態）では、シール材３２も押し潰しが解放された状態（未加圧状態）であるため、クランパ２６にシール材３２が押し付けられることによる摺動抵抗が発生せず、動作が円滑となる。このように、摺動性が確保されると共に、シール材３２の加圧力を調節する組み立ても容易となる。

【0059】

（実施形態９）
前記実施形態１では、キャビティ凹部１８の底面をキャビティ駒２４の押圧面２４ａ（端面）のみで構成する場合について説明した。本発明の実施形態９では、図２７および図２８に示すように、クランパ２６に形成された凹部１８Ａの底面２８ｂと、底面２８ｂの中央部に形成された貫通孔２８に挿入されたキャビティ駒２４の押圧面２４ａとでキャビティ凹部１８の底面が構成される場合について説明する。図２７および図２８は本実施形態に係る動作過程における樹脂成形金型１０の模式的断面図であり、図２７に型開きしてワークＷおよび樹脂Ｒがセットされた状態、図２８に型閉じしてキャビティ凹部１８内で充填された樹脂Ｒを熱硬化させた状態を示す。

【0060】

樹脂成形金型１０は、下型１４にクランプ面１４ａから窪む四角錐台状のキャビティ凹部１８を備える。下型１４では、キャビティ駒２４とクランパ２６とによってキャビティ凹部１８が構成され、可動部材としてキャビティ駒２４とクランパ２６とが相対的に摺動可能に構成される。クランパ２６は、クランプ面１４ａから窪む平面視矩形状の凹部１８Ａと、凹部１８Ａの底面２８ｂの中央部に形成され、キャビティ駒２４が挿入される平面視円形状の貫通孔２８を有する。本実施形態では、キャビティ凹部１８の側面が凹部１８Ａの内周面（クランパ２６の開口側内周面２８ａ）で構成され、キャビティ凹部１８の底面が凹部１８Ａの底面２８ｂとキャビティ駒２４の押圧面２４ａ（端面）とで構成される。すなわち、平面視円形状の貫通孔２８に挿入された平面視円形状のキャビティ駒２４の平坦状の押圧面２４ａがキャビティ凹部１８の底面の一部となる。そして、平面視円形状のキャビティ駒２４と貫通孔２８とは同心円状に構成され、これらの隙間Ｇがキャビティ駒２４の押圧面２４ａにおける外周位置によって変わらず均一である。このように、本実施形態では、キャビティ凹部１８の底面がキャビティ駒２４およびクランパ２６で構成され、キャビティ凹部１８の側面がクランパ２６で構成される。

【0061】

本実施形態においても、樹脂成形金型１０は、摺動箇所となる貫通孔２８内においてキャビティ駒２４とクランパ２６との隙間Ｇに設けられるシール材３２を備える。シール材３２としては、樹脂成形の過程（樹脂成形金型１０の動作過程）によって成形される樹脂リングを用いる。このため、樹脂リングを成形するために、樹脂成形金型１０は、貫通孔２８の内周面と対向するキャビティ駒２４の外周面に全周に渡って形成される周溝３４と、周溝３４と連通するようキャビティ駒２４の押圧面２４ａから外周面にかけて摺動方向と平行に延在する溝状に形成される連通溝３６（連通路）とを備える。本実施形態では、連通溝３６は、一定の幅（ストレート）の溝状で型開閉方向に延在しており、平面視円形状の押圧面２４ａの外周に沿って複数設けられている。

【0062】

そして、キャビティ駒２４とクランパ２６とを相対的に摺動させて、キャビティ凹部１８内の樹脂Ｒをキャビティ駒２４で押圧することで、連通溝３６を介して周溝３４を充填するよう樹脂Ｒを流し込み、その後熱硬化させることでシール材３２としての樹脂リングを成形することができる。これによれば、クランパ２６（貫通孔２８の内周面の全周）に対して均一にシールするよう樹脂Ｒが周溝３４に充填されたシール材３２を形成することができる。したがって、可動部材となるキャビティ駒２４とクランパ２６の摺動箇所において、シール材３２によって樹脂漏れを防止することができ、摺動性を確保することができる。

【0063】

次に、樹脂成形金型１０を用いた樹脂成形方法（樹脂成形金型１０の動作方法）について説明する。まず、図２７に示すように、型開きした状態（シール材３２のない状態）において、ワークＷおよび樹脂Ｒを金型内部にセットする。具体的には、図示しない搬送部によって金型外部から金型内部にワークＷが搬送され、上型１２のクランプ面１２ａにワークＷがセット（供給）される。また、図示しない搬送部によって金型外部から金型内部に樹脂Ｒが搬送され、下型１４のキャビティ凹部１８内に樹脂Ｒがセット（供給）される。樹脂成形金型１０は、上型１２および下型１４に設けられたヒータを備え、このヒータによって金型内部が加熱されているため、樹脂Ｒはキャビティ凹部１８にセットされると溶融し始める。また、型閉じしてすぐに金型内部（密閉空間）を減圧するよう圧調節部４０はエア回路４８を介して吸引を開始する。

【0064】

続いて、型閉じ動作によって上型１２と下型１４とを近接させていき、図２を参照して説明した工程のように、チャンバブロック４２の下端面と、チャンバブロック４４の上端面に設けられているシール材４６とを当接（シーリングタッチ）させる。これにより、キャビティ凹部１８を含む金型内部が密閉空間となる。この密閉空間はエア回路４８を介して吸引されるため、減圧チャンバ（減圧空間）となる。

【0065】

続いて、更に上型１２と下型１４とを近接させていき、図３を参照して説明した工程のように、上型１２のクランプ面１２ａにセットされているワークＷと、クランパ２６の上端面（下型１４のクランプ面１４ａ）とを当接させる。すなわち、上型１２と下型１４とでワークＷをクランプする（型閉じする）。これにより、キャビティ凹部１８は、ワークＷによって閉塞されて実装部品Ｐを収容するキャビティとなる。なお、クランパ２６の上端面に図示しないエア溝を設けておくことで、圧調節部４０は、エア溝を介して閉塞されたキャビティ凹部１８内のエアを吸引することができる。

【0066】

続いて、更に上型１２と下型１４（ベース２２）とを近接させていき、図２８に示すように、キャビティ凹部１８内を樹脂Ｒで充填する。具体的には、型閉じ動作によって、上型１２にセットされたワークＷに対してキャビティ駒２４の距離が縮められる一方、ワークＷに対してクランパ２６が当接したまま（距離が変わらず）、クランパ２６を支持する弾性部材３０が縮められる。これにより、キャビティ駒２４とクランパ２６とが相対的に摺動し、キャビティ凹部１８内の樹脂Ｒをキャビティ駒２４の押圧面２４ａで押圧することになる。また、押圧面２４ａから周溝３４へ連通する連通溝３６を介して周溝３４を充填するよう樹脂Ｒを流し込むことになる。その後、樹脂Ｒに一定の圧力を加えた状態（圧縮させた状態）でキャビティ凹部１８内の樹脂Ｒを熱硬化させてワークＷに樹脂成形部（成形品）を成形する。また、周溝３４内の樹脂Ｒも熱硬化させてシール材３２としての樹脂リングを成形する。このとき、連通溝３６内の樹脂Ｒも熱硬化され、キャビティ凹部１８、連通溝３６および周溝３４内の樹脂Ｒが一体に成形されることとなる。

【0067】

続いて、図５を参照して説明した工程のように、型開き動作によって上型１２と下型１４とを離隔させる。このとき、上型１２ではセット部１６でワークＷ（樹脂成形部）が保持され、下型１４ではシール材３２（樹脂リング）が周溝３４で保持されている（埋め込まれている）ため、樹脂成形部と樹脂リングとが分断される。より具体的には、キャビティ凹部１８と連通溝３６との境界で成形された樹脂部分での応力集中により分離される。そして、連通溝３６が摺動方向と平行に延在する溝状であるため、成形品（樹脂成形部）の周縁部において樹脂突出部が形成されるのを防止することができる。また、周溝３４においては、連通溝３６を介して流れ込んだ樹脂Ｒが熱硬化されたシール材３２としての樹脂リングを成形することができる。このように、シール材３２として専用部材（例えば、Ｏリング）を用いなくとも成形品の樹脂成形部を構成する樹脂Ｒを用いることで、シール材３２を容易に設けることができる。

【0068】

次いで、シール材３２としての樹脂リングを残したまま、成形後のワークＷを金型内部から取り出した後、図６を参照して説明した工程のように、型開きした状態（シール材３２がある状態）において、図２７を参照して説明したように、成形前のワークＷおよび樹脂Ｒを金型内部へセットする。その後、図２、図３を参照して説明した工程を経て、図７を参照して説明した工程のように、キャビティ凹部１８内を樹脂Ｒで充填する。すなわち、キャビティ駒２４とクランパ２６とが相対的に摺動し、キャビティ凹部１８内の樹脂Ｒをキャビティ駒２４の押圧面２４ａで押圧する。このとき、同心円状のキャビティ駒２４と貫通孔２８の均一な隙間Ｇに対応したシール材３２としての樹脂リングが成形されているため、隙間Ｇにおいての樹脂漏れを防止することができる。したがって、可動部材であるキャビティ駒２４とクランパ２６の摺動性を確保することができる。

【0069】

その後、樹脂Ｒに一定の圧力を加えた状態（圧縮させた状態）でキャビティ凹部１８内の樹脂Ｒを熱硬化させてワークＷに樹脂成形部（成形品）を成形し、シール材３２としての樹脂リングを残したまま、成形後のワークＷを金型内部から取り出す。連続成形する場合には、同様の工程が繰り返される。

【0070】

以上、本発明を実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、次のとおり、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。

【0071】

前記実施形態１〜９では、ベースに対してキャビティ駒を固定し、また弾性部材を介してクランパを組み付けることで、型開閉動作に伴わせてキャビティ駒とクランパとを相対的に摺動可能に構成した場合について説明した。これに限らず、ベースに対してクランパを固定し、また弾性部材を介してキャビティ駒を組み付けたり、ベースに対してキャビティ駒およびクランパのそれぞれに弾性部材を介して組み付けたりする場合であってもよい。また、弾性部材の代わりに型開閉動作から独立した駆動機構を備え、キャビティ駒またはクランパの少なくともいずれか一方を駆動機構による可動部材とし、キャビティ駒とクランパとを相対的に摺動可能に構成する場合であってもよい。

【0072】

また、前記実施形態５〜８では、シール材をクランパに押し付けるブロック材がキャビティ駒に設けられる場合について説明した。これに限らず、シール材をキャビティ駒に押し付けるブロック材がクランパに設けられる場合であってもよい。この場合、ベースに対してクランパを固定し、また弾性部材を介してキャビティ駒を組み付けて、キャビティ駒とクランパとが相対的に摺動可能に構成され、クランパ２６の貫通孔２８の内周面に周溝３４が設けられ、この周溝３４にシール材３２が設けられる。

【0073】

また、前記実施形態１〜８では、キャビティ凹部の底面をキャビティ駒の平坦状押圧面のみで構成し、またキャビティ凹部の側面をクランパ貫通孔のテーパ状内周面のみで構成する場合について説明した。これに限らず、キャビティ駒の押圧面の外周縁部から突起する周突部を設け、キャビティ凹部の側面をこの周突部の内周面およびクランパ貫通孔のテーパ状の開口側内周面で構成する場合であってもよい。このような場合、クランパはキャビティ凹部の側面の少なくとも一部を構成するものとなる。

【0074】

また、前記実施形態１〜８では、キャビティ駒の樹脂押圧面における外周位置によりキャビティ駒とクランパとの隙間が相違する場合として、キャビティ駒の押圧面およびクランパ貫通孔の平面視形状が矩形状のものを説明したが、六角形状、八角形状などの多角形状のものであってもよい。

【0075】

また、前記実施形態１〜９では、下型にキャビティ凹部を設ける場合について説明したが、金型構成を上下逆にして上型にキャビティ凹部を設ける場合であってもよい。また、前記実施形態１〜９では、圧縮成形用の樹脂成形金型に適用した場合について説明したが、トランスファ成形用の樹脂成形金型においてキャビティ駒の高さを可変（摺動可能）とした樹脂成形金型（例えば、キャビティ内へ樹脂をトランスファさせた後にキャビティ駒を摺動させてキャビティ内の樹脂を圧縮させるＴＣＭ（Transfer Compression Mold）金型）にも適用することができる。

【符号の説明】

【0076】

１０ 樹脂成形金型
２４ キャビティ駒
２４ａ 押圧面
２６ クランパ
２８ 貫通孔
３２ シール材
３４ 周溝
３６ 連通溝
Ｒ 樹脂

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】

【図27】

【図28】