特許6568921側部開口部基板キャリアおよびロードポート

発明の名称　側部開口部基板キャリアおよびロードポート

出願人　ブルックス　オートメーション　インコーポレイテッド　（識別番号 505047094）

　　　　特許公開件数ランキング 31340 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 9371 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6568921

公報発行日　2019年8月28

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6568921

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