特許第6569048号(P6569048)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6569048イオンビーム機能性透過膜、イオンビーム機能性透過膜を用いたビームライン機器、イオンビーム機能性透過膜を用いたフィルター機器、フィルター機器の調整方法
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